- •Содержание
- •Тема 1. Введение. Твердое тело. Силы
- •1.1 Введение 9
- •Тема 2. Строение твердого тела 23
- •Тема 3. Дефекты. Роль дефектов в твердом теле 57
- •3.2. Точечные дефекты решетки 57
- •Тема 4. Диаграммы состояния двухкомпонентных
- •Тема 5. Некоторые положения квантовой механики 99
- •Тема 6. Элементы зонной теории твердого тела. Взгляд на строение атома и твердого тела с позиций квантовой механики 119
- •Тема 7. Полупроводники. Собственный полупро-
- •Тема 8 . Размерное квантование и квантово-размер-
- •Тема 9. Основные положения термодинамики, механизмы роста пленок и образование зародышей 192
- •Тема 10. Технология получения, механизмы и режимы роста гетероэпитаксиальных структур 232
- •Тема 11. Методы получения нанообъектов и квантово-размерных структур 267
- •Тема 12. Методы исследования наноматериалов 341
- •Тема 1. Введение. Твердое тело. Силы взаимодействия. Типы связи.
- •1.1. Введение
- •1.2. Твердое тело. Силы взаимодействия. Типы связи.
- •Тема 2. Строение твердого тела. Цели и задачи изучения темы:
- •2.1. Кристалл.
- •2.2. Решетка Бравэ. Трансляция. Элементарная ячейка.
- •2.3.Элементы симметрии.
- •2.4. Группы симметрии. Сингонии.
- •2.5. Плотнейшие упаковки частиц в структурах.
- •2.6. Жидкие кристаллы.
- •2.7.Наночастицы с гранецентрированной решеткой. Кубоктаэдр.
- •Элементы симметрии.
- •Тема 3. Дефекты. Роль дефектов в твердом теле.
- •3.1. Дефекты кристаллических решеток.
- •3.2. Точечные дефекты решетки
- •3.3. Линейные дефекты кристаллической решетки.
- •3.4 Поверхностные дефекты кристаллической решетки.
- •3.5. Объёмные дефекты кристаллической решетки.
- •3.6. Энергетические дефекты кристаллической решетки.
- •3.7. Твёрдые растворы
- •Поверхностные дефекты кристаллической решетки.
- •Тема 4. Диаграммы состояния двухкомпонентных систем.
- •4.1. Типы диаграмм состояния.
- •Тема 5. Некоторые положения квантовой механики.
- •5.1.Возникновение квантовой механики.
- •5.2. Волновая функция ψ. Плотность вероятности.
- •5.3. Соотношение неопределенности Гейзенберга.
- •5.4. Общее уравнение Шредингера. Уравнение Шредингера для стационарных состояний.
- •5.5. Принцип причинности в квантовой механике.
- •5.6. Движение свободной частицы
- •5.7. Частица в одномерной прямоугольной «потенциальной яме» с бесконечно высокими «стенками».
- •5.8. Прохождение частицы сквозь потенциальный барьер. Туннельный эффект
- •5.9. Линейный гармонический осциллятор в квантовой механике.
- •Принцип причинности в квантовой механике.
- •Движение свободной частицы.
- •Тема 6. Элементы зонной теории твердого тела. Взгляд на строение атома и твердого тела с позиций квантовой механики.
- •6.1. Взгляд на строение атома и твердого тела с позиций кванто-вой механики.
- •6.1.1. Современный взгляд на строение и свойства
- •6.1.2. Взгляд на строение атома с позиций квантовой механики.
- •6.2. Элементы зонной теории.
- •6.2.1.Основные положения зонной теории.
- •6.2.2. Волновая функция электрона в периодическом поле.
- •6.2. 3. Зоны Бриллюэна.
- •6.2.4. Методы расчета энергетической структуры кристаллов.
- •6.2.4.1. Приближение сильносвязанных электронов.
- •6.2.4.2. Приближение свободных электронов. Энергетический спектр электронов в прямоугольной потенциальной яме.
- •6.2.4.3. Приближение слабосвязанных электронов.
- •6.2.5. Модель Кронига – Пенни.
- •6.2.6. Заполнение зон электронами. Металлы, диэлектрики, полупроводники.
- •Тема 7. Полупроводники. Собственный полупроводник. Генерация и рекомбинация носителей зарядов. Уровень Ферми. Эффективная масса носителя заряда. Примесный полупроводник. Цели и задачи изучения темы:
- •7.1. Полупроводники.
- •7.2.Собственные и примесные полупроводники. Носители заряда в полупроводниках.
- •7.3. Энергия Ферми.
- •7.4. Генерация и рекомбинация носителей зарядов.
- •7.5. Собственная проводимость полупроводника.
- •7.6. Примесные полупроводники.
- •7.6.1. Примесные уровни.
- •7.6.2. Примесная проводимость полупроводников.
- •7.6.3. Полупроводник р-типа.
- •7 .6.4. Сильно легированный полупроводник. Роль беспорядка в кристалле.
- •7.7. Температурная зависимость проводимости примесных полупроводников.
- •7.8. Дрейфовый и диффузионный токи в полупроводнике.
- •А плотность дырочного дрейфового тока
- •Вопросы для повторения:
- •Резюме по теме:
- •Тема 8 . Размерное квантование и квантово-размерные структуры.
- •8.1. Принцип размерного квантования
- •8.2. Условия наблюдения квантовых размерных эффектов.
- •8.3. Структуры с двумерным электронным газом.
- •8.4. Структуры с одномерным электронным газом (квантовые нити).
- •8.5. Структуры с нуль-мерным электронным газом
- •8.6. Структуры с вертикальным переносом.
- •Тема 9. Основные положения термодинамики, механизмы роста пленок и образование зародышей.
- •9.1. Основные понятия термодинамики.
- •9.2. Три начала термодинамики.
- •9.3. Термодинамические потенциалы.
- •9.4. Термодинамическая теория фазовых равновесий.
- •9.4.1. Термодинамические системы.
- •9.4.2. Условия фазового равновесия.
- •9.4.3. Фазовые переходы.
- •9.5. Принцип локального равновесия.
- •9.6. Самоорганизация систем.
- •9.7. Поверхностные явления.
- •9.7.1. Поверхностная энергия.
- •9.7.2. Поверхностное натяжение.
- •9.7.3. Капиллярные явления.
- •9.7.4. Адсорбция, десорбция и испарение с поверхности.
- •9.8. Массоперенос и ионизация на поверхности.
- •9.8.1. Массоперенос и ионизация на поверхности.
- •9.8.2. Межфазные характеристики.
- •9.9. Механизмы роста пленок на реальных подложках.
- •Тема 10. Технология получения, механизмы и режимы роста гетероэпитаксиальных структур.
- •10.1. Гетерогенные процессы формирования наноструктур
- •10.1.1. Молекулярно-лучевая эпитаксия.
- •10.2. Газовая эпитаксия из металлоорганических соединений.
- •10.3. Метод нанолитографии.
- •10.4. Самоорганизация квантовых точек и нитей.
- •10.4.1. Режимы роста гетероэпитаксиальных структур.
- •10.4.2. Рост наноструктур на фасетированных поверхностях.
- •10.4.3. Трехмерные массивы когерентно-напряженных островков.
- •10.4.4. Поверхностные структуры плоских упругих доменов.
- •1 0.4.5. Структуры с периодической модуляцией состава в эпи-таксиальных пленках твердых растворов полупроводников.
- •1 0.5. Изготовление наноструктур и наноприборов с помощью стм и асм.
- •Тема 11. Методы получения нанообъектов и квантоворазмерных структур.
- •11.1. Коллоидная и золь-гельная технология.
- •11.1.1. Формирование структур на основе коллоидных растворов.
- •11.1.2. Организация и самоорганизация коллоидных структур.
- •11.1.3. Оптические и электронные свойства коллоидных кластеров.
- •11.1.4. Коллоидные кристаллы. Формирование упорядоченных наноструктур.
- •11.1.5. Золь-гель технология.
- •11.1.6. Методы молекулярного наслаивания и
- •11.1.7. Методы получения металлов и диэлектриков.
- •11.2. Методы получения упорядоченных наноструктур. Гетероструктуры.
- •11.2.1. Гетероструктуры – основа получения наноструктур.
- •11.2.2. Формирование полупроводниковых и металлических нановолокон и спиралей.
- •11.2.3 Самоорганизация при эпитаксиальном росте.
- •12.2.3.1. Наногофрированные структуры.
- •11.2.3.2. Самоорганизация гетероэпитаксиальных структур.
- •11.3. Пучковые методы нанолитографии.
- •11.3.1. Литографические методы формирования структур.
- •11.3.2. Оптическая литография.
- •11.3.3. Рентгеновская литография.
- •11.3.4. Электронная литография.
- •11.3.5. Ионная литография.
- •11.3.6. Возможности пучковых методов нанолитографии в наноэлектронике.
- •11.3.7. Нанопечатная литография.
- •11.3.8. Ионный синтез квантовых наноструктур.
- •11.4. Рост на активированных поверхностях. Нановискеры.
- •11.5. Методы зондовой нанотехнологии.
- •11.5.1. Физические основы зондовой нанотехнологии.
- •11.5.2. Контактное формирование нанорельефа.
- •11.5.3. Бесконтактное формирование нанорельефа.
- •11.5.4. Локальная глубинная модификация поверхности.
- •11.5.5. Межэлектродный массоперенос.
- •11.5.6. Локальное анодное окисление.
- •11.5.8. Совместное использование лазера и стм
- •Тема 12. Методы исследования наноматериалов.
- •12.1. Введение.
- •12.2. Методы исследования химического состава поверхности.
- •12.2.1. Масс-спектроскопия.
- •12.2.3. Ионная масс-спектроскопия.
- •12.2.4. Фотоэлектронная спектроскопия.
- •12.2.5. Радиоспектроскопия.
- •12.3. Исследования физической структуры поверхности.
- •12.3.1. Рентгеноструктурный анализ.
- •12.3.2. Рентгеновская спектроскопия и дифракция.
- •1 2.3.2.1. Рассеяние на аморфных и частично упорядоченных объектах. Малоугловое рентгеновское рассеяние.
- •12.3.2.2. Рентгеновская спектроскопия поглощения: exafs, xans, nexafs.
- •12.3.3. Анализ поверхности электронным пучком.
- •12.3.4. Полевая эмиссионная микроскопия.
- •12.3.5. Сканирующая зондовая микроскопия.
- •12.3.5.1. Сканирующая туннельная микроскопия.
- •12.3.5.2. Атомно-силовая микроскопия.
- •12.3.6. Магнито – силовая микроскопия.
- •12.3.7. Электронная микроскопия.
- •12.3.8. Эллипсометрия.
- •12.4. Спектроскопия.
- •12.4.1. Инфракрасная и рамановская спектроскопия.
- •12.4.2. Фотоэмиссия и рентгеновская спектроскопия.
- •12.5. Методы исследования кинетических свойств объема и поверхности наноматериалов и наноструктур.
- •12.5.1. Исследование удельного сопротивления.
- •12.5.2. Диагностика поверхностных состояний.
- •12.5.3. Кинетические параметры.
1 2.3.2.1. Рассеяние на аморфных и частично упорядоченных объектах. Малоугловое рентгеновское рассеяние.
При рассеянии рентгеновского излучения на аморфных телах и жидкостях угловая зависимость интенсивности рассеяния не имеет резких дифракционных максимумов. Однако Фурье-преобразование плавных колебаний фона, наблюдаемых на этой зависимости, позволяет получать кривую радиального распределения атомов (РРА), максимумы которой соот-ветствуют межатомным расстояниям. Рассеяние на образцах, включающих нанокластеры, будет демонстрировать переход от аморфных веществ к кристаллам, при этом будут возникать дифракционные максимумы, ширина которых будет зависеть от размера наночастицы следующим образом:
, (12.3.4)
где d — диаметр кластера, λ — длина волны излучения, ΔГ — полуширина дифракционного максимума, θ — угол дифракции. Выражение (12.3.4) полезно при определении размеров нанокластеров и позволяет оценить минимальные размеры наноблоков на уровне ~5 нм.
При использовании жесткого рентгеновского излучения амплитуды рассеяния на легких атомах становятся малыми и на кривых РРА проявля-ются только максимумы, соответствующие расстояниям между тяжелыми атомами. В связи с этим такие исследования применяются для неоргани-ческих материалов с разупорядоченной структурой и стекол.
В соединениях с частично упорядоченной структурой (нанопленки, соединения внедрения, полимеры и т.д.), а также в фазах с некристалло-графической упорядоченностью (модулированные и несоразмерные фазы, квазикристаллы) типы пространственной симметрии различны для разных направлений и для разных компонентов образца. Так, интеркаляты слоистых соединений в виде нанопленок с параллельным расположением слоев и дальним порядком внутри слоя дают дифракционнную картину в виде узких рефлексов наряду с размытыми диффузионными полосами.
В основе метода малоуглового рассеяния лежит явление рассеяния рентгеновских фононов на оптических неоднородностях образца как единого целого (кластерах, порах) с размерами несколько десятков нанометров. Измеряется зависимость спада интенсивности рассеянного излучения от угла рассеяния в угловом диапазоне от нескольких угловых минут до нескольких градусов, т. е. в интервале изменения волнового вектора 0 < k ≤ 0,2. На дифрактограмме в малоугловой области также могут проявляться дифракционные, максимумы, соответствующие отражениям от атомных плоскостей с межплоскостным расстоянием от 10 до 50 нм. Периодическая структура может быть образована упаковкой полимерных глобул, нано-кластеров, молекулярных агрегатов. Анализ кривой спада интенсивности рассеянного излучения дает возможность оценить средний размер кластера (области неоднородности), а также распределение кластеров по размерам и форме.
Метод малоуглового рентгеновского рассеяния применяется для определения морфологии полимеров, коллоидов, наночастиц, исследования фазовой сегрегации в аморфных стеклах, зародышеобразовании, росте крис-таллов, аморфизации и т. д.
12.3.2.2. Рентгеновская спектроскопия поглощения: exafs, xans, nexafs.
В методах рентгеновской спектроскопии поглощения измеряется ко-эффициент поглощения μ в зависимости от энергии падающего излучения μ = μ(Е).
, (12.3.5)
где I0 и It – соответственно интенсивность падающего и прошедшего излучения.
Как уже отмечалось, для получения спектров поглощения используется СИ. На рис. 12.3.9 приведены типичные спектры поглощения.:
На фоне монотонного снижения μ(E) с ростом энергии излучения при определенных энергиях коэффициент рентгеновского поглощения резко возрастает. Это резонансное поглощение обусловлено фотоионизацией атомов определенного элемента и лежит в основе метода EXAFS (extended X-ray absorbtion fine structure). В результате фотоионизации кристалла возни-кают электроны в направлении вдоль и обратно направлению пучка рент-геновского излучения. Для упруго рассеянных электронов рассеяние назад вызывает осцилляции сечения фотоионизации по мере роста энергии фото-электрона, и характерная длина волны и энергия излучения соответствуют значениям, кратным расстояниям до ближайших атомов. Чтобы отделить изменение сечения фотоионизации, связанное с самим атомом, от изменения, обусловленного рассеянием соседних атомов, используется функция тонкой структуры χ в виде
, (12.3.6)
где σ0 — сечение свободного атома, σ — сечение атома в твердом теле. Для однократного рассеяния назад
, (12.3.7)
где k — амплитуда волнового вектора фотоэлектрона, суммирование про-водится по сфере окружающих ближайших атомов, Ri — расстояние от точки выхода фотоэлектрона до i-оболочки, 2kRi – фазовый множитель, связанный с путями выхода наружу и возвращения электрона назад к точке испускания, φi(k) определяет сдвиг фазы. Если пренебречь φi(k), то Фурье-преобразование χ(k) ведет к зависимости с максимумами при Ri, которое есть функция радиального распределения вблизи атома подвергнутого фотоионизации. На рис. 12.3.9,в, г приведены функция χ(k) и ее Фурье-представление, которые позволяют оценить характер осцилляции и электронного распределения.
Выделяется два типа тонкой структуры рентгеновского поглощения: околокраевую XANES (X-ray absorption near-edge structure), рис. 12.3.9,б и протяженную осцилляционную структуру, выраженную функцией χ(k). Структура XANES занимает энергетическую область от ~50 эВ перед краем поглощения до 100 ÷ 150 эВ после края и представляет собой набор резо-нансных полос, порождаемых переходами электрона с остовного на вакант-ные уровни вплоть до его полного отрыва от атома (фотоионизации) и более уширенные полосы за краем поглощения, отвечающие электронным перехо-дам в квазисвязанные состояния. Структура EXAFS, связанная с рассеянием фотоэлектронов на атомах ближайшего окружения, наблюдается в интервале энергий 100 ÷ 1000 эВ выше края поглощения.
Методом XANES исследуют электронное строение вещества, опреде-ляют симметрию и энергии вакантных молекулярных (в молекулах) или электронных зон, лежащих выше уровня Ферми в твердом теле. Таким ме-тодом можно определить степень окисления поглощающего атома и симмет-рию его координационной сферы .
Анализ EXAFS дает более обширную информацию о локальном окружении поглощающего атома, о типе и числе ближайших соседей и меж-атомных расстояниях в сфере радиусом 5 ÷ 6 Ǻ.
С пектры EXAFS получают после поглощения рентгеновского излучения тонкой пленкой. Для изучения кластеров и наночастиц приме-няются различные подложки и носители, особенно содержащие легкие эле-менты. В этом случае практически все металлические атомы представляются поверхностными и возможно достижение необходимой чувствительности и точности, подобной массивному материалу. Для изучения поверхности монокристаллов этот метод не обладает необходимой чувствительностью и не применяется. Однако при адсорбции тяжелого атома на поверхность кристалла металла удается различить поверхностные состояния металла, например, соединения атомов поверхности Си{111} с адсорбированными атомами I . Необходимо отметить при этом соответствие данных EXAFS результатам ДМЭ.
В мягкой рентгеновской области на краях поглощения легких атомов, таких как В, С, N, О, F при энергии возбуждения 100 ÷ 1000 эВ тонкая структура края поглощения обозначается как NEXAFS (near-edge X-ray absorption fine structure).
М ягкое рентгеновское излучение сильно поглощается веществом при длине свободного пробега фотонов несколько десятков нанометров, поэтому метод NEXAFS используется для исследования поверхности. Однако спектры нужно регистрировать в вакууме или в атмосфере гелия по выходу фототока. Спектроскопия NEXAFS широко используется при исследовании адсорбированных молекул, монослоев и т. д. Этим способом были исследованы и охарактеризованы тонкие пленки высших фулеренов (рис. 12.3.10).
Осцилляционная компонента тонкой структуры в спектрах NEXAFS проявляется слабо, однако эти спектры чувствительны к дальнему окруже-нию и позволяют идентифицировать конформации длинных углеводородных фрагментов и индивидуальные углеводородные кластеры Сn с п ≤ 96.