![](/user_photo/2706_HbeT2.jpg)
- •Содержание
- •Тема 1. Введение. Твердое тело. Силы
- •1.1 Введение 9
- •Тема 2. Строение твердого тела 23
- •Тема 3. Дефекты. Роль дефектов в твердом теле 57
- •3.2. Точечные дефекты решетки 57
- •Тема 4. Диаграммы состояния двухкомпонентных
- •Тема 5. Некоторые положения квантовой механики 99
- •Тема 6. Элементы зонной теории твердого тела. Взгляд на строение атома и твердого тела с позиций квантовой механики 119
- •Тема 7. Полупроводники. Собственный полупро-
- •Тема 8 . Размерное квантование и квантово-размер-
- •Тема 9. Основные положения термодинамики, механизмы роста пленок и образование зародышей 192
- •Тема 10. Технология получения, механизмы и режимы роста гетероэпитаксиальных структур 232
- •Тема 11. Методы получения нанообъектов и квантово-размерных структур 267
- •Тема 12. Методы исследования наноматериалов 341
- •Тема 1. Введение. Твердое тело. Силы взаимодействия. Типы связи.
- •1.1. Введение
- •1.2. Твердое тело. Силы взаимодействия. Типы связи.
- •Тема 2. Строение твердого тела. Цели и задачи изучения темы:
- •2.1. Кристалл.
- •2.2. Решетка Бравэ. Трансляция. Элементарная ячейка.
- •2.3.Элементы симметрии.
- •2.4. Группы симметрии. Сингонии.
- •2.5. Плотнейшие упаковки частиц в структурах.
- •2.6. Жидкие кристаллы.
- •2.7.Наночастицы с гранецентрированной решеткой. Кубоктаэдр.
- •Элементы симметрии.
- •Тема 3. Дефекты. Роль дефектов в твердом теле.
- •3.1. Дефекты кристаллических решеток.
- •3.2. Точечные дефекты решетки
- •3.3. Линейные дефекты кристаллической решетки.
- •3.4 Поверхностные дефекты кристаллической решетки.
- •3.5. Объёмные дефекты кристаллической решетки.
- •3.6. Энергетические дефекты кристаллической решетки.
- •3.7. Твёрдые растворы
- •Поверхностные дефекты кристаллической решетки.
- •Тема 4. Диаграммы состояния двухкомпонентных систем.
- •4.1. Типы диаграмм состояния.
- •Тема 5. Некоторые положения квантовой механики.
- •5.1.Возникновение квантовой механики.
- •5.2. Волновая функция ψ. Плотность вероятности.
- •5.3. Соотношение неопределенности Гейзенберга.
- •5.4. Общее уравнение Шредингера. Уравнение Шредингера для стационарных состояний.
- •5.5. Принцип причинности в квантовой механике.
- •5.6. Движение свободной частицы
- •5.7. Частица в одномерной прямоугольной «потенциальной яме» с бесконечно высокими «стенками».
- •5.8. Прохождение частицы сквозь потенциальный барьер. Туннельный эффект
- •5.9. Линейный гармонический осциллятор в квантовой механике.
- •Принцип причинности в квантовой механике.
- •Движение свободной частицы.
- •Тема 6. Элементы зонной теории твердого тела. Взгляд на строение атома и твердого тела с позиций квантовой механики.
- •6.1. Взгляд на строение атома и твердого тела с позиций кванто-вой механики.
- •6.1.1. Современный взгляд на строение и свойства
- •6.1.2. Взгляд на строение атома с позиций квантовой механики.
- •6.2. Элементы зонной теории.
- •6.2.1.Основные положения зонной теории.
- •6.2.2. Волновая функция электрона в периодическом поле.
- •6.2. 3. Зоны Бриллюэна.
- •6.2.4. Методы расчета энергетической структуры кристаллов.
- •6.2.4.1. Приближение сильносвязанных электронов.
- •6.2.4.2. Приближение свободных электронов. Энергетический спектр электронов в прямоугольной потенциальной яме.
- •6.2.4.3. Приближение слабосвязанных электронов.
- •6.2.5. Модель Кронига – Пенни.
- •6.2.6. Заполнение зон электронами. Металлы, диэлектрики, полупроводники.
- •Тема 7. Полупроводники. Собственный полупроводник. Генерация и рекомбинация носителей зарядов. Уровень Ферми. Эффективная масса носителя заряда. Примесный полупроводник. Цели и задачи изучения темы:
- •7.1. Полупроводники.
- •7.2.Собственные и примесные полупроводники. Носители заряда в полупроводниках.
- •7.3. Энергия Ферми.
- •7.4. Генерация и рекомбинация носителей зарядов.
- •7.5. Собственная проводимость полупроводника.
- •7.6. Примесные полупроводники.
- •7.6.1. Примесные уровни.
- •7.6.2. Примесная проводимость полупроводников.
- •7.6.3. Полупроводник р-типа.
- •7 .6.4. Сильно легированный полупроводник. Роль беспорядка в кристалле.
- •7.7. Температурная зависимость проводимости примесных полупроводников.
- •7.8. Дрейфовый и диффузионный токи в полупроводнике.
- •А плотность дырочного дрейфового тока
- •Вопросы для повторения:
- •Резюме по теме:
- •Тема 8 . Размерное квантование и квантово-размерные структуры.
- •8.1. Принцип размерного квантования
- •8.2. Условия наблюдения квантовых размерных эффектов.
- •8.3. Структуры с двумерным электронным газом.
- •8.4. Структуры с одномерным электронным газом (квантовые нити).
- •8.5. Структуры с нуль-мерным электронным газом
- •8.6. Структуры с вертикальным переносом.
- •Тема 9. Основные положения термодинамики, механизмы роста пленок и образование зародышей.
- •9.1. Основные понятия термодинамики.
- •9.2. Три начала термодинамики.
- •9.3. Термодинамические потенциалы.
- •9.4. Термодинамическая теория фазовых равновесий.
- •9.4.1. Термодинамические системы.
- •9.4.2. Условия фазового равновесия.
- •9.4.3. Фазовые переходы.
- •9.5. Принцип локального равновесия.
- •9.6. Самоорганизация систем.
- •9.7. Поверхностные явления.
- •9.7.1. Поверхностная энергия.
- •9.7.2. Поверхностное натяжение.
- •9.7.3. Капиллярные явления.
- •9.7.4. Адсорбция, десорбция и испарение с поверхности.
- •9.8. Массоперенос и ионизация на поверхности.
- •9.8.1. Массоперенос и ионизация на поверхности.
- •9.8.2. Межфазные характеристики.
- •9.9. Механизмы роста пленок на реальных подложках.
- •Тема 10. Технология получения, механизмы и режимы роста гетероэпитаксиальных структур.
- •10.1. Гетерогенные процессы формирования наноструктур
- •10.1.1. Молекулярно-лучевая эпитаксия.
- •10.2. Газовая эпитаксия из металлоорганических соединений.
- •10.3. Метод нанолитографии.
- •10.4. Самоорганизация квантовых точек и нитей.
- •10.4.1. Режимы роста гетероэпитаксиальных структур.
- •10.4.2. Рост наноструктур на фасетированных поверхностях.
- •10.4.3. Трехмерные массивы когерентно-напряженных островков.
- •10.4.4. Поверхностные структуры плоских упругих доменов.
- •1 0.4.5. Структуры с периодической модуляцией состава в эпи-таксиальных пленках твердых растворов полупроводников.
- •1 0.5. Изготовление наноструктур и наноприборов с помощью стм и асм.
- •Тема 11. Методы получения нанообъектов и квантоворазмерных структур.
- •11.1. Коллоидная и золь-гельная технология.
- •11.1.1. Формирование структур на основе коллоидных растворов.
- •11.1.2. Организация и самоорганизация коллоидных структур.
- •11.1.3. Оптические и электронные свойства коллоидных кластеров.
- •11.1.4. Коллоидные кристаллы. Формирование упорядоченных наноструктур.
- •11.1.5. Золь-гель технология.
- •11.1.6. Методы молекулярного наслаивания и
- •11.1.7. Методы получения металлов и диэлектриков.
- •11.2. Методы получения упорядоченных наноструктур. Гетероструктуры.
- •11.2.1. Гетероструктуры – основа получения наноструктур.
- •11.2.2. Формирование полупроводниковых и металлических нановолокон и спиралей.
- •11.2.3 Самоорганизация при эпитаксиальном росте.
- •12.2.3.1. Наногофрированные структуры.
- •11.2.3.2. Самоорганизация гетероэпитаксиальных структур.
- •11.3. Пучковые методы нанолитографии.
- •11.3.1. Литографические методы формирования структур.
- •11.3.2. Оптическая литография.
- •11.3.3. Рентгеновская литография.
- •11.3.4. Электронная литография.
- •11.3.5. Ионная литография.
- •11.3.6. Возможности пучковых методов нанолитографии в наноэлектронике.
- •11.3.7. Нанопечатная литография.
- •11.3.8. Ионный синтез квантовых наноструктур.
- •11.4. Рост на активированных поверхностях. Нановискеры.
- •11.5. Методы зондовой нанотехнологии.
- •11.5.1. Физические основы зондовой нанотехнологии.
- •11.5.2. Контактное формирование нанорельефа.
- •11.5.3. Бесконтактное формирование нанорельефа.
- •11.5.4. Локальная глубинная модификация поверхности.
- •11.5.5. Межэлектродный массоперенос.
- •11.5.6. Локальное анодное окисление.
- •11.5.8. Совместное использование лазера и стм
- •Тема 12. Методы исследования наноматериалов.
- •12.1. Введение.
- •12.2. Методы исследования химического состава поверхности.
- •12.2.1. Масс-спектроскопия.
- •12.2.3. Ионная масс-спектроскопия.
- •12.2.4. Фотоэлектронная спектроскопия.
- •12.2.5. Радиоспектроскопия.
- •12.3. Исследования физической структуры поверхности.
- •12.3.1. Рентгеноструктурный анализ.
- •12.3.2. Рентгеновская спектроскопия и дифракция.
- •1 2.3.2.1. Рассеяние на аморфных и частично упорядоченных объектах. Малоугловое рентгеновское рассеяние.
- •12.3.2.2. Рентгеновская спектроскопия поглощения: exafs, xans, nexafs.
- •12.3.3. Анализ поверхности электронным пучком.
- •12.3.4. Полевая эмиссионная микроскопия.
- •12.3.5. Сканирующая зондовая микроскопия.
- •12.3.5.1. Сканирующая туннельная микроскопия.
- •12.3.5.2. Атомно-силовая микроскопия.
- •12.3.6. Магнито – силовая микроскопия.
- •12.3.7. Электронная микроскопия.
- •12.3.8. Эллипсометрия.
- •12.4. Спектроскопия.
- •12.4.1. Инфракрасная и рамановская спектроскопия.
- •12.4.2. Фотоэмиссия и рентгеновская спектроскопия.
- •12.5. Методы исследования кинетических свойств объема и поверхности наноматериалов и наноструктур.
- •12.5.1. Исследование удельного сопротивления.
- •12.5.2. Диагностика поверхностных состояний.
- •12.5.3. Кинетические параметры.
8.6. Структуры с вертикальным переносом.
Физика размерного квантования и энергетический спектр соот-ветствующих наноструктур обсуждались в разделе 8.1 на примере одиноч-ных пленок, нитей и точек. Реальные экспериментальные образцы (в особен-ности квантовые точки) в большинстве случаев содержат большое количество одинаковых или почти одинаковых квантовых объектов. Как правило, это не меняет физической картины, поскольку вклады от всех объектов просто суммируются. Ситуация, однако, резко меняется, если отдельные слои, нити или точки находятся столь близко друг к другу, что носители заряда могут туннелировать между ними.
Рассмотрим
систему параллельных квантовых ям,
показанную на рис. 8.6.1, с очень тонкими
(порядка единиц нанометров) широкозонными
разделяющими слоями. При этом ямы уже
не являются независимыми и могут
обмениваться электронами за счет
туннелирования через широкозон-ный
слой. Подобные структуры принято называть
структурами с вертикаль-ным переносом.
Рис 8.6.1 отвечает системе квантовых
ям, но, подвергнув эту систему
литографической процедуре (см. раздел
8.4), мы можем иметь систему квантовых
нитей или точек, между которыми возможен
вертикальный перенос. Подобные структуры
служат основой для ряда п
риборов
наноэлектроники, таких, например, как
резонансно-туннельный диод или
одноэлектронный транзистор.
Если число параллельных слоев в структурах с вертикальным переносом велико (как минимум, несколько десятков), мы имеем искусствен-ную периодическую структуру, или сверхрешетку. Наиболее важным свойством сверхрешеток, определяющим все их уникальные физические свойства, является видоизменение их энергетического спектра по сравнению со спектром одиночной квантовой ямы (8.1.4).
Из рис. 8.6.1 видно, что на электроны и дырки в сверхрешетке дейст-вует дополнительный прямоугольный потенциал V(z), связанный с разрыва-ми зон на гетерограницах. Этот потенциал является периодическим, как и потенциал кристаллической решетки, и к нему применимы все основные выводы о свойствах уравнения Шредингера с периодическим потенциалом, излагаемые в любом курсе физики твердого тела. Напомним важнейшие из них.
Движение
носителей вдоль оси z
(ось
сверхрешетки) может быть опи-сано с
помощью квазиимпульса pv
причем
энергия является периодической
функцией pz
с
периодом
.
Энергетический
спектр носит зонный характер и представляет
собой чередование разрешенных En(pz)
и
запре-щенных зон. Эти зоны есть результат
дробления исходной зоны проводи-мости
(для электронов) и валентной зоны (для
дырок), поэтому их принято называть
минизонами.
Наибольший интерес представляют минизоны, образованные из нижних уровней квантовой ямы, где сконцентрирована основная масса носи-телей. Их ширина определяется вероятностью туннелирования из ямы в яму и потому невелика. Такие минизоны хорошо описываются в приближении сильной связи, которое приводит к закону дисперсии
(8.6.1)
Между энергетическими спектрами сверхрешетки и обычной крис-талллической решетки существуют большие различия.
Во-первых, зонным спектром (8.6.1) характеризуется лишь движение вдоль оси сверхрешетки z. В плоскости слоев носители движутся как свобод-ные и полный спектр сверхрешетки резко анизотропен, так же как в рассмот-ренных выше двумерных системах (8.1.4):
(8.6.2)
Во-вторых, благодаря тому, что период сверхрешетки намного больше, чем параметр решетки кристалла, характерный масштаб энергий и импульсов в спектре En(pz) оказывается значительно меньшим. Характерные ширины минизон 2∆n измеряются десятыми или сотыми долями электронвольта, что сравнимо с тепловой энергией электрона. Поэтому движение по минизоне нельзя описать постоянной эффективной массой. Динамика в направлении оси сверхрешетки носит сложный характер, что служит причиной ряда необычных эффектов.
При увеличении толщины барьерных слоев b их туннельная прозрач-ность уменьшается и минизоны сужаются, превращаясь в дискретные уровни Еп отдельных слоев. В противоположном случае b → 0 сужаются все запре-щенные минизоны и мы приходим к случаю однородного полупроводника. Поэтому формально сверхрешетки можно рассматривать как промежуточный случай между дву- и трехмерными электронными системами.
Существуют также непериодические квантовые сверхрешетки, в которых параметры чередующихся слоев (толщина барьера или ширина ямы) меняются по определенному закону либо совершенно случайным образом. Энергетический спектр таких сверхрешеток существенно отличается от спектра периодических сверхрешеток, так, например, в сверхрешетках со случайным чередованием полностью отсутствуют минизоны. Среди непериодических сверхрешеток выделяются квазипериодические сверх-решетки, у которых решетка образуется путем чередования двух структур-ных элементов А и В, каждый из которых состоит из барьера и ямы. Структурные элементы отличаются либо шириной ямы, либо шириной (или высотой) барьера. В сверхрешетке Фибоначчи последовательное увели-чение количества слоев в решетке происходит по закону Фибоначчи и решетки по мере роста количества слоев образуют иерархическую структуру Sn , в которой каждый последующий член ряда образуется как последователь-ное соединение двух предыдущих: Sn = Sn-2 + Sn-1. Так, например, S1 = ВА, S2 = ABA, S3 = ВААВА,..., S = АВААВАВААВА... Существуют и другие законы образования непериодических сверхрешеток. Их особенностью является фрактальная структура энергетического спектра и самоподобие спектра плотности состояний. Это выражается в том, что в решетках с достаточно большим количеством слоев структура спектра плотности состояний в целом оказывается такой же, как и в небольшом интервале энергий. При этом в спектре плотности состояний проявляется чередование широких и узких ступеней. По своим свойствам квазипериодические сверхрешетки занимают промежуточное положение между периодическими и совершенно неупорядоченными сверхрешетками.
Вопросы
Принцип или идея размерного квантования.
Условия, в которых наблюдаются квантоворазмерные эффекты.
Что мы называем двумерным электронным газом?
Нарисуйте зонную диаграмму МДП структуры.
Нарисуйте зонную диаграмму одиночного гетероперехода и зонную диаграмму дельта-слоя.
Расскажите о получении и свойствах структур с размерностью меньше двух.
Расскажите о свойствах структур с нуль-мерным электронным газом.
Как устроены структуры с вертикальным переносом?
Резюме по теме
В процессе изучения данной темы мы ознакомились с физикой размерного квантования и классификацией размерноквантованных структур.
Литература
А.Я. Шик, Л.Г. Бакуева, С.Ф. Мусихин, С.А. Рыков, Физика низкоразмерных систем, Санкт-Петербург, «Наука», 2001, с.150.
А.А. Щука, Наноэлектроника, М., Физматкнига, 2007, с.463.
Ч. Пул, Ф. Оуэн Нанотехнологии, М., «Техносфера», 2007, с.375.