- •Введение
- •1.Физические основы строения материалов
- •1.1. Квантово-механическая теория строения атома
- •1.2. Волновое уравнение электронов
- •1.3. Электронная конфигурация атомов
- •2. Строение твердого тела
- •2.1. Химическая связь в молекулах
- •2.2. Агрегатные состояния вещества
- •2.3. Строение твердых тел. Кристаллическая решетка
- •2.4. Дефекты кристаллических решеток твердых тел
- •2.5. Химические связи в кристаллах
- •2.6. Электронные состояния твердых тел
- •2.7. Металлы, диэлектрики, полупроводники с точки зрения зонной теории
- •3. Электропроводность полупроводников
- •3.1. Собственные полупроводники
- •3.2. Статистика свободных носителей заряда
- •3.3. Эффективная масса электрона
- •3.4. Концентрация свободных носителей и положение уровня Ферми в собственном полупроводнике
- •3.5. Примесные полупроводники
- •3.5.1. Донорные полупроводники
- •3.5.2. Акцепторные полупроводники
- •3.5.3. Оценка энергии активации и размеров примесных атомов
- •3.6. Рекомбинация носителей заряда
- •3.7. Концентрация свободных носителей заряда в примесном полупроводнике
- •3.7.1. Донорный полупроводник
- •3.7.2. Акцепторный полупроводник
- •3.7.3. Уравнение электронейтральности
- •3.7.4. Однородный вырожденный полупроводник
- •3.8. Связь между концентрациями носителей заряда в примесном и собственном полупроводниках (закон действующих масс)
- •3.9. Электрический ток в полупроводниках
- •3.10. Физические основы анализа полупроводниковых приборов
- •3.10.1. Общий порядок расчета
- •3.10.2. Неравновесные носители заряда
- •3.10.3. Уравнения непрерывности
- •4. Контактные явления в полупроводниках
- •4.1. Неоднородный полупроводник одного типа электропроводности
- •4.2. Электронно-дырочный переход в условиях равновесия
- •4.3. Энергетическая диаграмма р-n перехода в условиях равновесия
- •4.4. Расчет концентраций носителей заряда в электронно-дырочном переходе
- •4.5. Электронно-дырочный переход под воздействием внешнего напряжения
- •4.6. Толщина р-n перехода
- •4.7. Методика определения параметров р-п перехода
- •4.7.1. Основные параметры перехода
- •4.7.2. Граничные условия в области пространственного заряда
- •4.7.3. Анализ идеализированного диода
- •4.8. Вольт-амперная характеристика электронно-дырочного перехода
- •4.9. Генерация и рекомбинация в электронно-дырочных переходах
- •4.10. Емкости p-n перехода
- •4.10.1. Барьерная емкость перехода
- •4.10.2. Диффузионная емкость перехода
- •4.11. Контакт между полупроводниками с одним типом электропроводности
- •4.12. Работа выхода
- •4.13. Контакт металл – полупроводник
- •4.14. Влияние состояния поверхности на характеристики электронно-дырочного перехода
- •4.14.1. Теория приповерхностной области пространственного заряда
- •4.14.2. Поверхностная проводимость
- •4.14.3. Расчет поверхностных токов
- •4.15. Гетеропереходы
- •5. Пробой электронно-дырочного перехода
- •5.1. Лавинный пробой
- •5.2. Туннельный пробой
- •5.3. Тепловой пробой
- •6. Кинетические и термоэлектрические явления в полупроводниках
- •6.1. Эффект Холла
- •6.2. Эффект Эттингсгаузена
- •6.3. Эффект Зеебека
- •6.4. Эффект Пельтье
- •6.5. Эффект Томсона
- •7.Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •7.1. Природа фотопроводимости
- •7.2. Зависимость фотопроводимости от интенсивности облучения
- •7.3. Люминесценция полупроводников
- •Заключение
- •Библиографический список
- •Оглавление
- •1.Физические основы строения материалов 4
- •2. Строение твердого тела 16
- •3. Электропроводность полупроводников 31
- •4. Контактные явления в полупроводниках 56
- •5. Пробой электронно-дырочного перехода 108
- •6. Кинетические и термоэлектрические явления в полупроводниках 116
- •7.Фотопроводимость и поглощение света 123
- •Владимир Михайлович Бардаков Алефтина Алексеевна Лессинг Основы физики полупроводников
4.13. Контакт металл – полупроводник
При контакте металла с полупроводником основную роль в контактных явлениях играют работы выхода металла и полупроводника.
К огда металл и полупроводник находятся на некотором расстоянии, между ними существует разность потенциалов, определяемая разностью работ выхода металла и полупроводника (рис. 4.22).
При сближении металла и полупроводника возникшее электрическое поле вызывает перераспределение зарядов в них.
Если уровень Ферми изолированного металла WFм лежит ниже уровня Ферми полупроводника WFn, то есть АМ > АП, то в первый момент их соприкосновения поток электронов из полупроводника превышает поток электронов из металла. Металл заряжается отрицательно, а полупроводник положительно, и возникшее между ними электрическое поле будет препятствовать переходу электронов из полупроводника в металл.
Направленный поток электронов будет иметь место до тех пор, пока уровни Ферми в металле и полупроводнике не сравняются и не установится динамическое равновесие, характеризующееся равенством токов термоэлектронной эмиссии:
jм0 = jп0.
Однако из-за большой концентрации электронов область объемного заряда в металле очень тонка, а падение напряжения на ней невелико. Можно сказать, что практически вся контактная разность потенциалов падает на область объемного заряда в полупроводнике. Поэтому небольшая добавка за счет контактного поля не может изменить ширину запрещенной зоны полупроводника, но искривляет его энергетические уровни (рис. 4.23). В зависимости от соотношения между работами выхода и типом электропроводности полупроводника в контакте металл – полупроводник может появиться слой как обогащенный зарядами, так и обедненный.
В электронном полупроводнике, если работа выхода электронов из полупроводника меньше работы выхода из металла АП < АМ, то полупроводник заряжается положительно и зоны энергии в приконтактной области искривляются кверху. Поэтому вблизи контакта число электронов в зоне проводимости убывает, а число дырок в валентной зоне возрастает по сравнению с их числом в объеме полупроводника, возникает обедненный основными носителями слой, то есть слой с пониженной удельной проводимостью. Такой контакт называется запирающим.
У дырочного полупроводника при том же условии возникает слой, обогащенный основными носителями заряда (слой с повышенной удельной проводимостью), который называется антизапирающим.
Если работа выхода из полупроводника больше работы выхода из металла АМ < АП, полупроводник заряжается отрицательно и зоны энергии в приконтактной области искривляются книзу, поэтому вблизи контакта число электронов в зоне проводимости увеличивается, а число дырок в валентной зоне убывает. Таким образом, в электронном полупроводнике возникает антизапи-рающий слой, а в дырочном – запирающий (рис 4.24).
В том случае, если работа выхода электронного полупроводника меньше работы выхода металла АПn<AМ или работа выхода дырочного полупроводника больше, чем работа выхода металла АМ < АПр, то возникает выпрямляющий контакт. В отсутствие внешнего поля потоки носителей заряда, переходящих из одного материала в другой, уравновешивают друг друга. Если приложить внешнее напряжение плюсом к металлу, минусом к полупроводнику, то величина барьера снизится, и потоки электронов из полупроводника в металл и дырок из металла в полупроводник возрастут, а обратные потоки уменьшатся. В реальных переходах потоками дырок в обоих направлениях можно пренебречь, поэтому инжекции дырок в n-полупроводник или электронов в р-полупроводник не происходит.
Т аким образом, основное отличие контакта металл – полупроводник от электронно-дырочного перехода состоит в том, что в этом случае не происходит инжекции неосновных носителей заряда. Такой выпрямляющий контакт называют барьером Шоттки.
Невыпрямляющий контакт образуется при контакте электронного полупроводника с металлом при условии, что работа выхода полупроводника больше работы выхода металла. В этом случае вблизи границы раздела в полупроводнике возникает обогащенный основными носителями слой. Поэтому все электроны полупроводника могут переходить в металл, а электроны металла, энергия которых больше пороговой, – в полупроводник. В равновесных условиях эти потоки уравновешивают друг друга. Если приложить внешнее напряжение плюсом к металлу, минусом к полупроводнику, то количество электронов, переходящих из металла в полупроводник, уменьшится, следовательно, возрастет прямой ток, определяемый разностью потоков. При приложении обратного напряжения возрастает переход электронов из металла в полупроводник, то есть обратный ток. Таким образом, контакт одинаково хорошо пропускает в обоих направлениях.