- •Содержание
- •Введение
- •Объекты анализа материалов микроэлектроники
- •1. Основы качественного анализа
- •Классификация анионов
- •2. Аналитические реакции катионов
- •Лабораторная работа № 1 Частные реакции катионов I - II групп Опыт 1. Обнаружение катиона калия
- •Опыт 2. Обнаружение катиона натрия
- •Опыт 3. Обнаружение магния в растворе
- •Опыт 4. Определение иона аммония
- •Реакции катионов I группы
- •Опыт 5. Обнаружение катиона бария
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 7. Обнаружение катиона кальция
- •Лабораторная работа № 2 Анализ смеси катионов I и II групп
- •3. Аналитические реакции катионов III группы
- •Лабораторная работа № 3 Частные реакции катионов III группы Опыт 1. Обнаружение катиона алюминия
- •Опыт 2. Обнаружение хрома
- •Реакции хромат- и бихромат-ионов
- •Опыт 3. Обнаружение железа
- •Опыт 5. Обнаружение цинка в растворе
- •Опыт 6. Обнаружение кобальта
- •Опыт 7. Обнаружение никеля
- •Лабораторная работа № 4 Анализ смеси катионов III, II и I групп
- •4. Аналитические реакции катионов IV и V групп
- •Опыт 2. Обнаружение катионов кадмия
- •Опыт 3. Обнаружение катионов висмута
- •Подгруппа мышьяка Опыт 5. Обнаружение ионов мышьяка
- •Реакции катионов подгруппы меди
- •Обнаружение арсенит-ионов
- •Обнаружение арсенат-ионов
- •Опыт 6. Обнаружение ионов сурьмы
- •Обнаружение ионов сурьмы (III)
- •Обнаружение ионов сурьмы (V)
- •Опыт 7. Обнаружение ионов олова
- •Обнаружение ионов олова (II)
- •Обнаружение ионов олова (IV)
- •Лабораторная работа № 6 Анализ смеси катионов IV группы
- •Лабораторная работа № 7 Частные реакции катионов V группы Опыт I. Определение катионов серебра
- •Опыт 2. Обнаружение катионов свинца
- •Лабораторная работа № 8 Анализ смеси катионов V - I групп
- •Реакции катионов V группы
- •5. Аналитические реакции анионов
- •Опыт 2. Определение аниона со32–
- •Опыт 3. Определение аниона ро4–
- •Опыт 4. Определение аниона SiO32–
- •Опыт 5. Определение аниона f –
- •Вторая аналитическая группа анионов Опыт 6. Определение аниона с1–
- •Опыт 7. Определение аниона Вr –
- •Опыт 8. Определение аниона I –
- •Опыт 9. Определение аниона s2–
- •Третья аналитическая группа анионов Опыт 10. Определение аниона no3–
- •Опыт п. Определение анионов no2–
- •6. Количественный анализ
- •7. Гравиметрия
- •Весовые методы определения некоторых элементов
- •Лабораторная работа № 10 Весовое определение серы в сульфиде кадмия
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение серы
- •Лабораторная работа №11 Весовое определение никеля и железа в резистивных сплавах Определение никеля
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение железа
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •8. Титриметрия
- •Растворение образца.
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 16 Определение стехиометрического состава сверх проводящей керамики ( система y-Ba-Cu )
- •Определение бария
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Иодометрическое титрование
- •Стандартизация раствора тиосульфата натрия по бихромату калия
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение меди
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение иттрия комплексонометрическим титрованием
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Расчет стехиометрии y1 Ва2 Cu3o7
- •9.Физико-химические методы анализа
- •А. Определение фосфора по желтой форме
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Определение фосфора в виде фосфорномолибденовой сини
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В. Определение кремния
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Фотометрическое определение железа в виде роданидного комплекса
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 19 Экстракционно – фотометрическое определение германия в полупроводниковых халькогенидных стеклах системы Te–As-Si-Ge
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 20 Спектрофотометрическое определение хрома и марганца при совместном присутствии в контактных проводниковых сплавах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 21 Спектрофотометрическое определение висмута в присутствии свинца
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •11. Люминесцентный анализ
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •12. Инфракрасная спектроскопия
- •Лабораторная работа № 23 Измерение толщины пленок диоксида и нитрида кремния методом икс
- •Применение икс для исследования материалов микроэлектроники
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В отчете долж ны быть представлены:
- •Пример расчета:
- •13.Эмиссионный спектральный анализ
- •Лабораторная работа № 24 Определение примесей металлов методом трех эталонов
- •А. Фотографирование спектров трех эталонов и образцов Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Характерные группы линий железа на планшетах атласа
- •В. Измерение почернений линий примесей на микрофотометре и построение калибровочных графиков
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Последовательность фотографирования образцов
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Длины волн определяемых примесей
- •14. Электрохимические методы анализа
- •15.Потенциометрия
- •Прямая потенциометрия (ионометрия)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Результаты ионометрического определения ионов в воде
- •Б. Определение фторид-ионов
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 27 Определение рН в водных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Потенциометрическое титрование (пт)
- •Результаты титрования
- •Лабораторная работа № 28 Определение соляной кислоты в травильной ванне
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 29 Определение соляной и уксусной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 30 Определение соляной и борной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 31 Определение содержания кобальта (II) в растворе
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 32 Определение концентрации хлорида железа (III)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •16. Кондуктометрическое титрование
- •Лабораторная работа № 33 Дифференцированное определение солей железа (п) и(ш) в травильных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •17. Вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 34 Определение примеси цинка в фосфоре
- •18. Инверсионная вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 36 Определение примесей цинка, кадмия, свинца и меди методом инверсионной вольтамперометрии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •19. Хроматография
- •Раздельное вымывание примесей с катионита ку-2
- •Лабораторная работа № 37 Определение меди и цинка при их совместном присутствии на катионите ку-2
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Описание определения
- •Определение кадмия
- •Результаты хроматографического определения ионов кадмия
- •Определение теллура
- •20. Рекомендуемая литература
- •Реакции катионов III группы
- •Реакции ионов подгруппы мышьяка
Оборудование и реактивы
Иономер.
Индикаторный электрод, платиновый.
Электрод сравнения хлоридсеребряный
Гексацианоферрат(III)калия, 0,05000 н раствор.
Хлорид аммония, 20%-ный раствор.
Аммиак, 25%-ный раствор.
Описание определения
Иономер после включения в сеть и прогревания в течение 30 минут устанавливают в режим измерения потенциала.
Предварительно подготавливают платиновый электрод к работе
(Индикаторный платиновый электрод предварительно обрабатывают горячим раствором азотной кислоты (1:1), а затем после многократного промывания его дистиллированной водой обрабатывают горячей концентрированной соляной кислотой и снова промывают дистиллированной водой. Промывание электрода проводят толь-ко после его охлаждения.)
Бюретку заполняют титрантом – рабочим раствором K3[Fe(CN)6] и подготавливают к работе.
В стакан для титрования помещают аликвотную часть 10,00 мл анализируемого, раствора, прибавляют 10 мл раствора NH4Cl и 10 мл раствора аммиака. Полученный раствор разбавляют до 60 –70 мл дистиллированной водой, тщательно перемешивают. Затем погружают в стакан платиновый и хлоридсеребряный электроды. После окончания работы электроды промывают и оставляют погруженными в воду или буферный раствор.
Выполняют ориентировочное титрование, прибавляя из бюретки по 1 –2 мл титранта. Оценив объем (V) K3[Fe(CN)6], пошедший на титрование до точки эквивалентности, приступают к повторному более точному титрованию (в тех же условиях), прибавляя в области точки эквивалентности титрант минимальными порциями(по 0,1 – 0,2 мл). Заполняют форму табл. 15.2.
Содержание кобальта(II) находят по формуле:
m(Со2+), г = ·Э(Со2+)·n·10–3,
где – объем и нормальная концентрация раствора K3[Fe(CN)6];
Э(Со2+) – эквивалент кобальта, равный 58,9;
n – число аликвотных частей анализируемого раствора.
Лабораторная работа № 32 Определение концентрации хлорида железа (III)
Солянокислые растворы хлорида железа широко используются для химического травления различных металлов, сплавов и полупроводников, например, при производстве печатных плат для травления меди, в тонкопленочной технологии для растворения тонких пленок меди, алюминия, хрома, нихрома и других, в полупроводниковой технике для травления антимонида индия и т.д. Непрерывное определение концентрации хлорида железа в травильных растворах имеет большое практическое значение для корректировки состава этих растворов. Быстрое и надежное определение концентрации Fe3+ в присутствии ионов Cu2+, образующихся в процессе травления медных покрытий, можно приводить потенциометрическим титрованием.
Определение проводят титрованием слабого солянокислого испытуемого раствора (рН ~ 2) стандартным раствором аскорбиновой кислоты. За изменением потенциала индикаторного платинового электрода следят, измеряя ЭДС гальванического элемента и используя в качестве электрода сравнения насыщенный хлоридсеребряный электрод. Аскорбиновая кислота С6Н8О6,. стандартные растворы которой характеризуются высокой устойчивостью, является достаточно сильным восстановителем. В процессе титрования раствора железа аскорбиновой кислотой протекает химическая реакция, которая описывается уравнением:
2Fe3+ + C6H8O6 = 2Fe2+ + C6H6O6 + 2H+
В то же время медь (П) не восстанавливается аскорбиновой кислотой в условиях титрования железа (Ш). Титрование целесообразно проводить при нагревании, так как основная реакция характеризуется малой скоростью.
Электрохимическими реакциями при титровании являются следующие.
1) до точки эквивалентности:
Fe3+ + ē = Fe2+
;
2) после точки эквивалентности:
С6Н6О6 + 2Н+ + 2ē С6Н8О6
.
Из-за достаточной разности величин стандартных потенциалов (φ1º=+ 0.77 В и φ2º= + 0.18 В) в конечной точке титрования наблюдается довольно резкий скачок потенциала.