Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ЛП_ОХЭ_АХ2.doc
Скачиваний:
58
Добавлен:
30.08.2019
Размер:
2.62 Mб
Скачать

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ

ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

________________________________________________________________

Т.И. Хаханина, Н.Г. Никитина, Е.Е. Козлова, А.Г. Борисов

УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ РАЗРАБОТКИ ДЛЯ

ЛАБОРАТОРНОГО ПРАКТИКУМА ПО КУРСУ

«АНАЛИТИЧЕСКАЯ ХИМИЯ

МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ»

Утверждено редакционно-издательским советом института

МОСКВА 2007

УДК

ББК

Рецензент профессор

ХАХАНИНА Т.И., НИКИТИНА Н.Г., КОЗЛОВА Е.Е., БОРИСОВ А.Г.

Учебно-методические разработки для лабораторного практикума

по курсу «Аналитическая химия материалов электронной техники».

М.: МГИЭТ (ТУ), 2007

Пособие включает описание методик качественного и количественного анализа современных материалов электронной техники. Количественный анализ представлен как классическими химическими методами (гравиметриче­ским, титриметрическим), так и физико – химическими (инструментальными), а также работами по применению ионного обмена для раздельного определения примесей в материалах. Объектами изучения являются полупроводниковые и диэлектрические материалы, широко применяемые в технологии микроэлектроники. Кратко рассмотрены теоретические основы методов анализа.

.

 МГИЭТ (ТУ), 2007

Содержание

ВВЕДЕНИЕ__________________________________________________

7

1. ОСНОВЫ КАЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА______________________

9

2. АНАЛИТИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ КАТИОНОВ I - II ГРУПП_________

14

Лабораторная работа № 1

Частные реакции катионов I – II групп__

15

Лабораторная работа № 2

Анализ смеси катионов I – II групп_____

26

3. АНАЛИТИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ КАТИОНОВ III ГРУППЫ_________

33

Лабораторная работа № 3

Частные реакции катионов III групп____

33

Лабораторная работа № 4

Анализ смеси катионов I , II и III групп_

52

4. АНАЛИТИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ КАТИОНОВ IV И V ГРУПП______

60

Лабораторная работа № 5

Частные реакции катионов IV группы__

61

Лабораторная работа № 6

Анализ смеси катионов IV группы_____

87

Лабораторная работа № 7

Частные реакции катионов V группы___

93

Лабораторная работа № 8

Анализ смеси катионов I - V групп_____

102

5. АНАЛИТИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ АНИОНОВ_____________________

108

Лабораторная работа № 9

Частные реакции анионов____________

109

6. КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ_______________________________

127

7. ГРАВИМЕТРИЯ____________________________________________

128

Лабораторная работа № 10

Весовое определение серы

в сулфиде кадмия___________________

130

Лабораторная работа № 11

Весовое определение никеля и железа

в резистивных сплавах _______________

132

8. ТИТРИМЕТРИЯ_____________________________________________

136

Лабораторная работа № 12

Определение фосфора в

полупроводниковом оксидном стекле

методом нейтрализации______________

139

Лабораторная работа № 13

Определение никеля в Si – Ni_________

141

Лабораторная работа № 14

Определение свинца

в теллуриде свинца.__________________

143

Лабораторная работа № 15

Определение галлия в фосфид-арсениде галлия_____________________________

144

Лабораторная работа № 16

Определение стехиометрического

состава сверх проводящей керамики

( система Y-Ba-Cu )__________________

145

9. ФИЗИКО_ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА_________________

154

10. ФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ______________________________

155

Лабораторная работа № 17

Определение фосфора и кремния

в пассивирующих пленках

фосфорно-силикатных стекол_________

155

Лабораторная работа № 18

Фотометрическое определение примесей меди и железа в металлическом галлии_

163

Лабораторная работа № 19

Экстракционно – фотометрическое

определение германия в

полупроводниковых халькогенидных стеклах системы Te–As-Si-Ge_________

167

Лабораторная работа № 20

Спектрофотометрическое определение хрома и марганца при совместном

присутствии в контактных

проводниковых сплавах______________

170

Лабораторная работа № 21

Спектрофотометрическое определение висмута в присутствии свинца_________

174

11. ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЙ АНАЛИЗ______________________________

176

Лабораторная работа № 22

Определение алюминия с

салициаль-о-аминофенолом в

тетрахлориде германия_____________

178

12. ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ_________________________

181

Лабораторная работа № 23

Измерение толщины пленок диоксида и нитрида кремния методом ИКС________

182

13. ЭМИССИОННЫЙ СПЕКТРАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ_________________

187

Лабораторная работа № 24

Определение примесей металлов

методом трех эталонов_______________

192

Лабораторная работа № 25

Определение примесей различных

металлов в теллуриде кадмия

методом добавок____________________

205

14. ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА_________________

211

15. ПОТЕНЦИОМЕТРИЯ________________________________________

212

Лабораторная работа № 26

Ионоселективное определение примесей различных ионов в водных растворах___

214

Лабораторная работа № 27

Определение рН в водных растворах___

219

Лабораторная работа № 28

Определение соляной кислоты

в травильной ванне___________________

221

Лабораторная работа № 29

Определение соляной и уксусной кислот в растворе при совместном присутствии

223

Лабораторная работа № 30

Определение соляной и борной кислот в растворе при совместном присутствии__

225

Лабораторная работа № 31

Определение содержания кобальта (II)

в растворе__________________________

227

Лабораторная работа № 32

Определение концентрации

хлорида железа (III)__________________

229

16. КОНДУКТОМЕТРИЧЕСКОЕ ТИТРОВАНИЕ___________________

232

Лабораторная работа № 33

Дифференцированное определние солей железа (П) и(Ш) в

травильных растворах__________

232

17. ВОЛЬТАМПЕРОМЕТРИЯ____________________________________

235

Лабораторная работа № 34

Определение примеси цинка в фосфоре__

239

Лабораторная работа № 35

Определенно примеси сурьмы в олове___

240

18. ИНВЕРСИОННАЯ ВОЛЬТАМПЕРОМЕТРИЯ___________________

241

Лабораторная работа № 36

Определение примесей цинка, кадмия, свинца и меди методом

инверсионной вольтамперометрии_____

244

19. ХРОМАТОГРАФИЯ_________________________________________

248

Лабораторная работа № 37

Определение меди и цинка при их

совместном присутствии на катионите КУ-2_______________________________

250

Лабораторная работа № 38

Определение кадмия и теллура

в пленках теллурида кадмия методом хроматографии на бумаге_____________

252

20. РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА___________________________

255

21. ПРИЛОЖЕНИЕ_____________________________________________

257

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]