- •Содержание
- •Введение
- •Объекты анализа материалов микроэлектроники
- •1. Основы качественного анализа
- •Классификация анионов
- •2. Аналитические реакции катионов
- •Лабораторная работа № 1 Частные реакции катионов I - II групп Опыт 1. Обнаружение катиона калия
- •Опыт 2. Обнаружение катиона натрия
- •Опыт 3. Обнаружение магния в растворе
- •Опыт 4. Определение иона аммония
- •Реакции катионов I группы
- •Опыт 5. Обнаружение катиона бария
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 7. Обнаружение катиона кальция
- •Лабораторная работа № 2 Анализ смеси катионов I и II групп
- •3. Аналитические реакции катионов III группы
- •Лабораторная работа № 3 Частные реакции катионов III группы Опыт 1. Обнаружение катиона алюминия
- •Опыт 2. Обнаружение хрома
- •Реакции хромат- и бихромат-ионов
- •Опыт 3. Обнаружение железа
- •Опыт 5. Обнаружение цинка в растворе
- •Опыт 6. Обнаружение кобальта
- •Опыт 7. Обнаружение никеля
- •Лабораторная работа № 4 Анализ смеси катионов III, II и I групп
- •4. Аналитические реакции катионов IV и V групп
- •Опыт 2. Обнаружение катионов кадмия
- •Опыт 3. Обнаружение катионов висмута
- •Подгруппа мышьяка Опыт 5. Обнаружение ионов мышьяка
- •Реакции катионов подгруппы меди
- •Обнаружение арсенит-ионов
- •Обнаружение арсенат-ионов
- •Опыт 6. Обнаружение ионов сурьмы
- •Обнаружение ионов сурьмы (III)
- •Обнаружение ионов сурьмы (V)
- •Опыт 7. Обнаружение ионов олова
- •Обнаружение ионов олова (II)
- •Обнаружение ионов олова (IV)
- •Лабораторная работа № 6 Анализ смеси катионов IV группы
- •Лабораторная работа № 7 Частные реакции катионов V группы Опыт I. Определение катионов серебра
- •Опыт 2. Обнаружение катионов свинца
- •Лабораторная работа № 8 Анализ смеси катионов V - I групп
- •Реакции катионов V группы
- •5. Аналитические реакции анионов
- •Опыт 2. Определение аниона со32–
- •Опыт 3. Определение аниона ро4–
- •Опыт 4. Определение аниона SiO32–
- •Опыт 5. Определение аниона f –
- •Вторая аналитическая группа анионов Опыт 6. Определение аниона с1–
- •Опыт 7. Определение аниона Вr –
- •Опыт 8. Определение аниона I –
- •Опыт 9. Определение аниона s2–
- •Третья аналитическая группа анионов Опыт 10. Определение аниона no3–
- •Опыт п. Определение анионов no2–
- •6. Количественный анализ
- •7. Гравиметрия
- •Весовые методы определения некоторых элементов
- •Лабораторная работа № 10 Весовое определение серы в сульфиде кадмия
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение серы
- •Лабораторная работа №11 Весовое определение никеля и железа в резистивных сплавах Определение никеля
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение железа
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •8. Титриметрия
- •Растворение образца.
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 16 Определение стехиометрического состава сверх проводящей керамики ( система y-Ba-Cu )
- •Определение бария
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Иодометрическое титрование
- •Стандартизация раствора тиосульфата натрия по бихромату калия
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение меди
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение иттрия комплексонометрическим титрованием
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Расчет стехиометрии y1 Ва2 Cu3o7
- •9.Физико-химические методы анализа
- •А. Определение фосфора по желтой форме
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Определение фосфора в виде фосфорномолибденовой сини
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В. Определение кремния
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Фотометрическое определение железа в виде роданидного комплекса
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 19 Экстракционно – фотометрическое определение германия в полупроводниковых халькогенидных стеклах системы Te–As-Si-Ge
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 20 Спектрофотометрическое определение хрома и марганца при совместном присутствии в контактных проводниковых сплавах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 21 Спектрофотометрическое определение висмута в присутствии свинца
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •11. Люминесцентный анализ
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •12. Инфракрасная спектроскопия
- •Лабораторная работа № 23 Измерение толщины пленок диоксида и нитрида кремния методом икс
- •Применение икс для исследования материалов микроэлектроники
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В отчете долж ны быть представлены:
- •Пример расчета:
- •13.Эмиссионный спектральный анализ
- •Лабораторная работа № 24 Определение примесей металлов методом трех эталонов
- •А. Фотографирование спектров трех эталонов и образцов Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Характерные группы линий железа на планшетах атласа
- •В. Измерение почернений линий примесей на микрофотометре и построение калибровочных графиков
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Последовательность фотографирования образцов
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Длины волн определяемых примесей
- •14. Электрохимические методы анализа
- •15.Потенциометрия
- •Прямая потенциометрия (ионометрия)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Результаты ионометрического определения ионов в воде
- •Б. Определение фторид-ионов
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 27 Определение рН в водных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Потенциометрическое титрование (пт)
- •Результаты титрования
- •Лабораторная работа № 28 Определение соляной кислоты в травильной ванне
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 29 Определение соляной и уксусной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 30 Определение соляной и борной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 31 Определение содержания кобальта (II) в растворе
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 32 Определение концентрации хлорида железа (III)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •16. Кондуктометрическое титрование
- •Лабораторная работа № 33 Дифференцированное определение солей железа (п) и(ш) в травильных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •17. Вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 34 Определение примеси цинка в фосфоре
- •18. Инверсионная вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 36 Определение примесей цинка, кадмия, свинца и меди методом инверсионной вольтамперометрии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •19. Хроматография
- •Раздельное вымывание примесей с катионита ку-2
- •Лабораторная работа № 37 Определение меди и цинка при их совместном присутствии на катионите ку-2
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Описание определения
- •Определение кадмия
- •Результаты хроматографического определения ионов кадмия
- •Определение теллура
- •20. Рекомендуемая литература
- •Реакции катионов III группы
- •Реакции ионов подгруппы мышьяка
Опыт 3. Определение аниона ро4–
В зависимости от кислотности раствора фосфор может существовать в форме РО43–, НРО42– или Н2РО4–. В кислой среде устойчивы гидро- и дигидро-фосфаты, в щелочной – фосфаты. В воде растворимы все фосфаты щелочных металлов и аммония, а также дигидрофосфаты щелочноземельных металлов. Ион РО43– в водных растворах бесцветен.
А) Реакция с групповым реагентом
Хлорид бария осаждает гидрофосфат в виде белого осадка гидрофосфата бария
НРО42– + Ва2+ = ВаНРО4
К 4 - 5 каплям раствора гидрофосфата натрия прибавьте 2 - 3 капли раствора хлорида бария до образования белого осадка.
В присутствии щелочей или гидроксида аммония образуется белый осадок фосфата бария
2НРО42– + 2ОН – + 3Ва2+ = Ва3(РО4)2 + 2Н2О
Осадки ВаНРО4 и Ва3(РО4)2 растворимы в сильных кислотах (за исключением серной), а также в уксусной кислоте.
Б) Реакция с молибденовой жидкостью
Молибденовая жидкость, т.е. раствор молибдата аммония (NН4)2МоО4 в азотной кислоте, образует с анионами РО43– и НРО42– желтый кристаллический осадок фосфоромолибдата аммония
РО43– + 3NH4+ + 12МоО42– + 24Н+ = (NН4)3Н4[Р(Мо2О7)6]+ 10Н2О
НРО42– + 3NH4+ + 12МоО42– + 23Н+ = (NН4)3Н4[Р(Мо2О7)6] +10Н2О
Выполняя реакцию, действуют избытком реактива, так как осадок растворяется в гидрофосфате натрия. К 5 - 6 каплям молибденовой жидкости, предварительно нагретой на водяной бане, прибавьте 1 - 2 капли раствора гидрофосфата натрия и дайте постоять. Полезно добавить несколько кристаллов нитрата аммония, так как присутствие в растворе одноименного иона NH4+ понижает растворимость осадка. Осадок растворим в щелочах и гидро-ксиде аммония
(NН4)3Н4[Р(Мо2О7)6] + 24ОН– = РО43– + 12МоО42– + 14Н2О
В) Реакция с магнезиальной смесью
Магнезиальная смесь (МgС12 + NН4ОН +NН4С1) образует с фосфатами и гидрофосфатами белый кристаллический осадок. Например:
НРО42– +Mg2+ + NH4OH = MgNН4РО4 + H2O
Осадок растворим в сильных кислотах и в уксусной кислоте.
К 2 - 3 каплям раствора хлорида магния прибавьте столько же раствора гидроксида аммония, и выпавший осадок гидроксида магния растворите в хлориде аммония, прибавляя его по каплям. Полученную таким образом магнезиальную смесь нагрейте на водяной бане и прибавляйте раствор гидрофосфата натрия до появления осадка. Испытайте отношение полученного осадка к кислотам.
Г) Реакция с бензидином
Выполнять реакцию удобнее всего капельным методом. На кусочек фильтровальной бумаги наносят каплю исследуемого раствора, а затем по одной капле (одну за другой) азотнокислого раствора молибдата аммония и бен-зидина C12H8(NH2)2. Далее влажное пятно выдерживают в парах аммиака или обрабатывают каплей ацетата натрия. Перед проведением этой операции полезно влажное пятно для ускорения реакции подержать над нагретой электрической плиткой. В присутствии аниона РО43– появляется синяя окраска, интенсивность которой зависит от концентрации аниона в растворе.
Аналогичную, но растворимую в воде, соль образует также анион SiO32–, присутствие небольших количеств которого в воде всегда возможно. Поэтому опыт лучше вести в присутствии винной кислоты Н2С4Н4О6, которая добавляется в раствор молибдата аммония и препятствует образованию молибде-нокремниевой кислоты.
Реакция позволяет обнаружить 1,5 мкг РО43– в присутствии 500 кратного избытка аниона SiO32–. Предельное разбавление 1:33 000.