- •Лекция 1
- •Лекция 2
- •Отражение
- •Вращение
- •Инверсия
- •Отражение-вращение
- •Вращение-инверсия
- •Взаимодействие элементов симметрии (теоремы сложения).
- •Теорема №1
- •Обратная теорема
- •Виды симметрии кристаллов.
- •Виды симметрии кристаллов, обладающих единичным направлением.
- •Виды симметрии кристаллов без единичных направлений.
- •Лекция 4 Характеристика сингоний.
- •Обозначение плоскостей и направлений в кубических кристаллах.
- •Порядок нахождения индексов плоскостей.
- •Аспекты эквивалентности плоскостей.
- •Индексы направлений.
- •Алгоритм определения индексов направлений.
- •Определение кристаллографических индексов гексагональных кристаллов.
- •Индексы направлений
- •Лекция 5 Формулы геометрической кристаллографии.
- •Кристаллографические проекции.
- •I. Сферические координаты.
- •II. Стереографические проекции.
- •IV. Гномонические проекции.
- •Лекция 6 Решетки Бравэ
- •Теорема.
- •Симметрия внутреннего строения.
- •Плоскость скользящего отражения.
- •Винтовые оси
- •Тетрагональные кристаллы
- •Понятие о пространственной системе точек
- •Правила записи символа пространственной группы.
- •Распределение пространственных групп по классам симметрии, сингониям и категориям.
- •Лекция 8 Основы кристаллохимии.
- •Объемные характеристики кристаллического материала
- •Факторы, влияющие на кристаллическую структуру
- •Понятие о плотнейших упаковках
- •Лекция 9
- •Типичные структуры материалов используемых в микроэлектронике.
- •Структурный тип магния.
- •Основные кристаллохимические характеристики
- •Полупроводниковые соединения
- •Основные кристаллохимические характеристики
- •Лекция 11
- •Структурный тип поваренной соли (NaCl).
- •Структура цезий хлор (СsCl).
- •Структурный тип халькопирита (CuFeS2)
- •Лекция 12 Структурный тип перовскита
- •Кристаллическая структура SiO2.
- •Кристаллическая структура Al2o3.
- •Лекция 13 Полиморфизм, изоморфизм и политипия.
- •Неустойчивая устойчивая
- •Классификация полиморфных модификаций по Бюргеру
- •Классификация изоструктурных соединений пр Гримму.
- •Лекция 14 Кристаллофизика
- •Предельные группы симметрии (группы Кюри)
- •Принцип суперпозиции Кюри
- •Указательная поверхность
- •Системы координат
- •Лекция 15 Скалярные и векторные свойства кристаллов.
- •Физические свойства кристаллов, описываемых тензором второго ранга.
- •Геометрические свойства указательной поверхности.
- •Лекция 16 Оптические свойства кристаллов Двупреломление лучей
- •Дефекты в кристаллических материалах
- •Точечные дефекты
- •Межузельный атом
- •Примесные атомы
- •Комплексы точечных дефектов
- •Лекция 17
- •Дефект Френкеля (сложный).
- •Механизм Шотке или образование тепловых вакансий (при нагревании).
- •Термодинамика точечных дефектов.
- •Линейные дефекты.
- •Понятие о векторе Бюргерса.
- •Лекция 18
- •Взаимодействие дислокаций между собой
- •Метод селективного травления
- •Лекция 19
- •Методика прогнозирования формы ямки травления.
- •Двумерные дефекты (поверхностные).
- •Модели, объясняющие высокоугловые границы.
- •Дефекты упаковки (ду).
Взаимодействие дислокаций между собой
Если дислокации одного знака находятся в одной плоскости скольжения, они стремятся разойтись.
Если дислокации разного знака находятся в одной плоскости скольжения, то происходит их аннигиляция и уничтожение.
Если дислокации одного знака находятся в параллельных плоскостях скольжения, они могут выстраиваться друг под другом, образуя стенку дислокаций.
Если дислокации разного знака находятся в параллельных плоскостях скольжения, они могут выстраиваться под углом 450.
450
Дислокации взаимодействуют с точечными дефектами, являются их стоками.
Здесь действуют
упругие поля нап атмосфера Котрелла
ряжений, происх
одит притягиван
ие
дислокация точечные дефекты
Точечные дефекты затрудняют движение дислокации (являются стопорами).
Дислокации (только сидячие) могут размножаться.
У сидячих дислокаций концы закреплены. Источник этих дислокаций предложен Франком Ридом в 1950 году.
Под действием приложенного однородного напряжения происходит изгибание линии дислокации, а линейное напряжение дислокации будет стремиться ее выпрямить.
b
D D/
=Gb/r
r — радиус изгибания дуги дислокации
G — модуль сдвига
=0,51,0
D D/
Штриховкой показана площадь, через которую постепенно продвигается линия дислокации.
r=l/2
l — длина дислокации
кр=Gb/l (при=1/2) — критическое значение
При <кр — дуга стабильна
При кр площадь растет:
b
D D/
Приложенная сила всегда перпендикулярна линии дислокации.
D D/
C
В конце концов на стыке образуются дислокации разного знака (красная линия), DD/C стремится выпрямиться и занять положение DD/, а петля уходит в кристалл.
Такой источник Франка Рида может генерировать неограниченное число петель дислокаций в одной плоскости скольжения и может создать в ней значительный сдвиг.
Метод селективного травления
NД — плотность дислокаций [1/см2]
Средняя NД=102 107 1/см2
Для каждого материала подбирается свой травитель, так, чтобы скорость травления по поверхности относилась к скорости травления по дислокациям как10
VД/Vn10 Vn
VД
В местах выхода дислокаций на поверхность образуются ямки травления, они имеют правильную геометрическую форму и ограняются наиболее плотно упакованными плоскостями (d*max)
1 2 3 4
Тетрагональная пирамида, уходящая вглубь
Лодочка
Копье
Трапеция
Круглой формы быть не может, так как при травлении растворяются плоскости, у которых d*(hkl) минимальна.
Форма ямки травления зависит от двух факторов:
От вида и структуры кристаллического материала
От плоскости шлифа, по которой разрезают монокристалл
ПК, NaCl d*max{100}, в совокупность входит шесть плоскостей, значит это гексаэдр.
ГЦК, алмаз (сфалерит) d*max{111}, в совокупность входит восемь плоскостей, значит это октаэдр.