Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Физика полупроводниковых систем. Основные понятия

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
08.09.2026
Размер:
2 Мб
Скачать
☆
Нелинейные свойства конденсированных систем 251
PSfrag replacements
PSfrag replacements
# Измерение спонтанной поляризованности диэлектриков
1. Схема Сойера – Тауэра (рис. 1, а) измерения зависимости электрической индукции D = εE = ε0E + P от напряженности электрического поля E в заполняющем плоский конденсатор C сегнетоэлектрическом образце толщиной L. Спонтанную поляризо- ванность Psнаходят, из петли гистерезиса (рис. 1, б); U = U1+ U2.
+P
c
D
s
E = U1/L
0
+E
c
−P
s
а) б)
O
U
U
1
U
+Q
C
s
−Q
+Q
2
−E
−Q
Рис. 1. а) Электрическая схема. б) D(E) на экране осциллографа O
2. Плоский сегнетоконденсатор соединяют с гальванометром G и погружают в инертную жидкость (рис. 2). Гальванометр регистриру­ет электрический ток по его магнитному дей-
G
I
p
Cs= εA/L
ствию. Увеличение температуры T масла с по­стоянной во времени t скоростью dT /dt = K вызывает изменение Ps, что приводит к возник­новению пироэлектрического тока плотностью Jp= Ip/A. Величина Jpдостигает максимума перед самой температурой Кюри TC, а затем уменьшается до нуля. В итоге имеем:
Z
Jp=
dP
dt
dP
s
=
s
dTdTdt
= K
dP
dT
s
, Ps=
K
T
1
JpdT.
T
C
3. Если через баллистический гальвано­метр (BG) разрядить сегнетоконденсатор Cs, то стрелка гальванометра будет колебаться с за­туханием во времени (рис. 3). Максимальное
Масло
+Q
C
s
−Q
A
L
A
√
A
Рис. 2
BG
Рис. 3
отклонение θpстрелки пропорционально прошедшему через BG заряду Q = qθp, где коэффициент q находят из калибровки. Обра­зец, поляризованный при определенной температуре T соединяют с гальванометром и погружают в масло, нагретое выше темпера­туры Кюри TC. При исчезновении спонтанной поляризованности Psвыделяется заряд Q = PsA, который находят по величине θp. Повторяя измерения при различных температурах поляризации се­гнетоэлектрика, можно найти температурную зависимость Ps.
s
252 Глава 13
# Поляризация диэлектриков
Если диэлектрик поместить между обкладками конденсатора и создать на них в момент времени t = 0 разность электрических потенциалов U , то в цепи возбуждается переменный зарядный ток I (t), который создается процессами образования электрических ди- польных моментов (рис. 1). При этом заряд Q на электродах имеет такой знак, что происходит нейтрализация зарядов диполей.
I
+Q
+
U
−
A
−
+
−
+
Рис. 1. Схема измерения поляризационного заряда
−
−
+
+
−
−
+
+
−Q
Электрод
−
+
Диэлектрик
−
+
Диполь
I
Z
∞
Q =
I (t) dt
0
t0
Четыре вида поляризации индуцируются электрически полем:
электронная, ионная, дипольная (ориентационная) и миграцион­ная (поляризационная за счет перемещений носителей заряда в
пределах кристаллических зерен или включений другой фазы вну­три диэлектрика). У пьезоэлектрических кристаллов поляризация возникает и в случае приложения механического напряжения рас­тяжения-сжатия или сдвига. Поляризацию, которая имеет место в отсутствие внешнего электрического поля или механического напряжения, называют спонтанной. При изменении температу- ры кристалла, обладающего спонтанной поляризацией, изменяют­ся состояния колебаний атомов и поляризованность, что вызывает
появление зарядов на поверхности кристал-
1
2
ла и разности потенциалов между про­тивоположными гранями (пироэлектриче- ский эффект). Механическое воздействие
3
4
на пироэлектрический кристалл изменяет состояние его поляризации, поэтому он проявляет и пьезоэлектрические свойства. Изменение направления спонтанной поля-
Рис. 2. Ареал кристал­лических диэлектриков (1): отношения между пьезоэлектриками (2), пироэлектриками (3) и сегнетоэлектриками (4)
ризации под действием внешнего электри­ческого поля характерно для сегнетоэлек­триков, которые всегда относятся к пиро­электрикам, и у них всегда проявляются пьезоэлектрические свойства (рис. 2).
Глава 14. Полупроводниковые приборные структуры
# Проектирование — план и процесс создания детального описа- ния устройства, ранее не существовавшего или отличающегося от известных. Проектирование является одним из этапов конструи­рования, позволяющего изготовить устройство средствами техни­ки. Проектирование реализует возможность определять (в смыс­ле “предсказывать”) характеристики устройства теоретически, т. е. без построения его действующего образца. Проектирование объ­единяет расчеты, выбор необходимых материалов и технологий, использование стандартов, чертежи. Проектирование, вместе с из­готовлением образца устройства и его испытаниями, образует еди­ный процесс опытного конструирования. При этом учитываются экономические, социальные и экологические последствия реали­зации проекта на практике. Проектирование начинается с анали­за требований заказчика к устройству и включает ряд действий: определение основных идей технического решения, расчет пара­метров устройства и его конструкции, создание описания (спе­цификации) и его оформление в виде стандартной документации. При каждом таком действии возможно использование рассчитан­ных параметров и документации для создания макета (опытного образца) технической системы. Далее проводятся испытания ма­кета с целью уточнения его параметров, проверки совместимости составных частей между собой и соответствия требованиям заказ­чика. После испытаний устройства, изготовленного по созданной в процессе проектирования документации, в проект вносятся из­менения (устройство и его документация “доводятся”). При этом документация должна быть пригодна для реализации (и доводки) устройства, а также согласована с целями его дальнейшего произ­водства, эксплуатации и утилизации.
# Импеданс — характеристика дискретного элемента электриче- ской цепи, препятствующего возбуждению в нем тока от внешне­го источника электрического напряжения (О. Хевисайд; 1886 г.). Импеданс Z = Z1+ iZ2— полное электрическое сопротивление линейного двухполюсника для гармонического (синусоидального) сигнала; Z1= Re Z, Z2= Im Z, i =√−1. Если свойства двухпо- люсника постоянны во времени, то импеданс равен отношению комплексной амплитуды напряжения гармонического сигнала, при-
253
254 Глава 14
кладываемого к двухполюснику, к комплексной амплитуде тока, возбужденного в двухполюснике. Адмиттанс Y = 1/Z = Y1+ iY2. Иммитанс — совокупность {Z, Y }.
# Гиратор (от греч. gyros “круг”) — участок электрической цепи, имитирующий индуктивность или емкость в некотором интервале частот переменного тока. Гиратор (изобрел Б. Теллеген; 1948 г.) осуществляет инвертирование полного комплексного электриче­ского сопротивления ZRC= Z1− iZ2участка цепи, т. е. заменяет
ZRCна ZRL= Z3+ iZ4, где Z1, Z2, Z3, Z4— вещественные (действи-
тельные) величины сопротивлений, i =√−1 — мнимая единица. Активные сопротивления Z1и Z3обусловливают потери электри­ческой энергии в цепи. Реактивные сопротивления Z2и Z4обу­словливают сдвиги фаз между переменными во времени токами и напряжениями. Так как плоские катушки индуктивности из ме­талла не всегда могут применяться в интегральных микросхемах на кристаллическом кремнии, то использование гиратора, имити­рующего индуктивность, позволяет обходиться без катушек. Для этого используется цепь, состоящая из операционного усилите­ля, электрического конденсатора и резисторов, которая позволяет “синтезировать” электрические характеристики индуктивности.
# Лавинно-пролетный диод. Генерация диодом из кристалличе- ского германия с плоским р–n-переходом электромагнитных коле­баний в гигагерцовом диапазоне частот возникает из-за появления у диода (в отсутствие разогрева его током и внешней подсвет­ки) отрицательного динамического сопротивления при близком к пробивному отрицательном электрическом напряжении в области положительного наклона вольт-амперной характеристики.
# Оптрон состоит из источника света и приемника этого же све­та. Электрический сигнал подается на вход источника света, где преобразуется в световой сигнал. Далее свет достигает светопри­емника и формирует на его выходе электрический сигнал. В оп­троне: 1) осуществляется развязка (разрыв) между входом и выхо­дом электрической цепи, что обеспечивает связь между цепями с различным рабочим напряжением; 2) происходит подавление элек­трического шума при прохождении сигнала через оптрон. Именно с оптронов началось введение оптических элементов в электриче­ские схемы и возникла оптоэлектроника.
# Прибор с зарядовой связью (на структуре металл–изолятор (a-SiO2)–кремний p-типа): 1) неравновесные электроны и дырки
Полупроводниковые приборные структуры 255
генерируются при локальном освещении кристаллического p-Si че­рез слой прозрачного аморфного изолятора; 2) электроны накап­ливаются в “потенциальной яме”, созданной в приповерхностной области p-Si положительным электрическим потенциалом на ме­таллическом электроде, а дырки уходят из приповерхностной об­ласти в толщу p-Si (подложку); 3) под действием электрических потенциалов, подаваемых на соседние электроды, меняется конфи­гурация ямы для электронов, что приводит к перемещению обла­сти нескомпенсированного заряда электронов вдоль границы раз­дела a-SiO2/p-Si. Итак: прибор с зарядовой связью принимает оп­тическое изображение и преобразует его в переменный во времени электрический сигнал на электродах.
# Оптический пинцет — прибор для перемещения полупроводни­ковых частиц микронных размеров с помощью света в не слишком вязкой среде. Если пучок света сфокусировать с помощью линзы, то интенсивность света в фокусе больше, чем на периферии све­тового пучка, т. е. возникает градиентное световое поле. Частица в области градиентного светового поля испытывает действие сил, обусловленных взаимодействием вектора напряженности электри­ческой компоненты световой волны с наведенной светом поляри­зацией частицы. Если показатель преломления частицы больше показателя преломления среды, в которой она находится, то гра­диентные силы направлены к центру перетяжки светового пуч­ка. На частицу в световом пучке действуют также силы давления света (силы радиационного давления), которые обусловлены рас­сеянием света на частице и направлены вдоль оси светового пуч­ка. Градиентные силы затягивают частицу в область перетяжки, а силы светового давления — выталкивают из этой области. Ес­ли градиентные силы больше сил светового давления, то частица захватывается в область перетяжки светового пучка и ее можно перемещать в пространстве световым пучком.
# Электронно-дырочный переход (иначе n–p-переход или p– n-переход) — область кристаллического полупроводника, в кото- рой тип электрической проводимости изменяется от дырочной p к электронной n. Область p-типа содержит водородоподобные акцеп­торы, а область n-типа содержит водородоподобные доноры. В со­стоянии термодинамического равновесия электрический ток через p–n-переход отсутствует: напряженность контактного (или внут­реннего) электрического поля, направленного от нескомпенсиро-
256 Глава 14
ванных электронами c-зоны положительно заряженных доноров к нескомпенсированным дырками v-зоны отрицательно заряженным акцепторам, препятствует движению электронов из n-области и дырок из p-области навстречу друг другу. (Между электрически нейтральными p- и n-областями существует двойной электриче­ский слой — энергетический барьер для движения электронов из n-области в p-область и дырок из p-области в n-область.) Если положительный электрический потенциал от внешнего источника создать на p-области, а отрицательный потенциал — на n-области (при этом направления внешнего и контактного полей противопо­ложны), то энергетический барьер для движения электронов и ды­рок уменьшится. Если создать внешний положительный электри­ческий потенциал на n-области, а отрицательный — на p-области (при этом направления внешнего и контактного электрических по­лей совпадают), то энергетический барьер для движения электро­нов и дырок увеличится. Отсюда следует основное свойство p–n­перехода — зависимость силы тока через p–n-переход от направле­ния напряженности внешнего электрического поля по отношению к направлению напряженности контактного поля.
# Солнечный элемент — устройство, преобразующее энергию оптического излучения Солнца непосредственно в электрическую энергию, минуя тепловую и/или механическую формы энергии. Полупроводниковый солнечный элемент представляет собой p–n­диод, состоящий из двух полупроводников с разным типом элек­трической проводимости (электронной — n и дырочной — p) и двух металлических контактов к ним. Электрический контакт к освеща­емой поверхности делается прозрачным или сетчатым, контакт к неосвещаемой поверхности — сплошной. Работа солнечного эле­мента основана на внутреннем фотоэффекте в полупроводниковой структуре: поглощаемое в структуре оптическое излучение (поток фотонов) создает пары “электрон–дырка” при условии, что энер­гия фотона превышает ширину запрещенной зоны (энергетиче­ской щели) полупроводника. Глубина расположения p–n-перехода под освещаемым электродом рассчитывается таким образом, что при поглощении фотонов электроны и дырки возникают в обла­сти обеднения p–n-перехода и электронами, и дырками. В этой области существует встроенное электрическое поле (поле двойно­го электрического слоя). Большая часть созданных поглощенными фотонами пар “электрон–дырка” не рекомбинирует, а разделяется под действием встроенного поля: электрон переходит в n-область,
Полупроводниковые приборные структуры 257
а дырка — в р-область. Работа по разделению зарядов есть элек­тродвижущая сила (ЭДС). Таким образом, поглощение света на p–n-переходе приводит к возникновению фото-ЭДС.
# Транзистор — приборная структура из полупроводникового ма- териала с тремя электродами. Посредством электрического сигна­ла во входной электрической цепи транзистор осуществляет управ­ление током в выходной цепи. Биполярный p–n–p-транзистор (n–
p–n-транзистор) функционирует за счет электрической связи двух p–n-переходов. В полевом транзисторе используется полупровод-
ник одного типа электрической проводимости в виде тонкого ка­нала между истоком и стоком, на который воздействует электри­ческое поле изолированного от канала затвора. В отличие от би­полярного, полевой транзистор управляется электрическим напря­жением, а не током.
# Триггер (от англ. trigger “защелка”) — устройство, которое мо- жет сколь угодно долго находиться в одном из двух устойчивых состояний и по сигналу извне скачком переключаться из одного состояния в другое. В электрических цепях в качестве сигналов на входах и выходах триггера используются импульсы тока или перепады электрического напряжения, которые реализуют логиче­скую “1” (высокий уровень напряжения) и логический “0” (низкий уровень напряжения). Триггер Шмитта имеет один вход и один выход. Этот триггер переключается, когда входной сигнал стано­вится выше верхнего порога переключения и возвращается в ис­ходное состояние, когда входной сигнал становится ниже нижнего порога переключения. Разность напряжений верхнего и нижнего порогов называется гистерезисом переключения. RS-триггер име­ет два входа (S — установка и R — сброс) и два выхода (основной
Q и инверсный Q). Два выходных сигнала, на выходе Q и Q (не Q),
находятся в противофазе: если Q = 1, то Q = 0, и наоборот. При подаче логической 1 одновременно на два входа (R = S = 1) на двух выходах устанавливается неопределенное (логически недопу­стимое) состояние, когда нельзя заранее сказать, какое из двух устойчивых состояний (Q или Q) установится.
258 Глава 14
PSfrag replacements
# Напряжение и разность потенциалов в электрической цепи
Электрическое напряжение — это работа источника электри­ческой энергии по перемещению точечного положительного элек­трического заряда (пробного заряда) вдоль заданного контура, со­единяющего две точки (1 и 2) электрической цепи:
где U — электрическое напряжение, Eel— вектор напряженности электрического поля, E них сил, dl — элемент длины электрического контура. Сторонние (электродвижущие) силы в электрической цепи переносят элек­трические заряды против электростатических сил и обеспечивают электрический ток в замкнутой цепи.
U =
Z
((Eel+ E
1→2
— вектор напряженности поля сторон-
ext
I
) ·dl), (1)
ext
ϕ
1
1 2
Разность электрических потенциалов определяется так:
E
ϕ2− ϕ1= −
R
Z
(Eel· dl). (2)
1→2
r
ϕ
2
Электрическое напряжение U по (1) и модуль разности электри­ческих потенциалов |ϕ2− ϕ1| по (2) между точками 1 и 2 элек­трической цепи совпадают только в том случае, если контур ин­тегрирования не проходит через источники электрической энер­гии, где имеется поле электродвижущих сил. На рисунке пред­ставлен источник электродвижущей силы E с внутренним элек­трическим сопротивлением r. Источник нагружен сопротивлением R, так что сила стационарного тока в цепи I = E/(R + r). Если интегрировать (1) по верхней части контура между точками 1 и 2, то U = Ir = Er/(R + r), так как на гальваническом элементе
Eel+ E
= 0. Если интегрировать (1) по нижней части контура
ext
между точками 1 и 2, то U = I R = ER/(R + r). Величина |ϕ2− ϕ1| по (2) не зависит от пути интегрирования между точками 1 и 2 контура: |ϕ2− ϕ1| = ER/(R + r). Вольтметр, подсоединенный к точкам 1 и 2 электрической цепи, показывает значение ER/(R + r), т. е. величину разности электрических потенциалов |ϕ2− ϕ1| > 0.
Полупроводниковые приборные структуры 259
d
1
d
2
# Пассивные элементы кремниевой микроэлектроники
а) б) в)Резистор Электрический
конденсатор
2
p+-poly-Si
a-SiO
2
a-SiO
Катушка
индуктивности
a-SiO
2
Al
Al
p+-Sip+-Sip+-Si
Напряже­ние UR(t)
Время t
R(CR, LR)
Ток
IR(t)
UC(t)
C(RC, LC)
IC(t)
L(RL, CL)
UL(t) IL(t)
а) Интегральный резистор из поликристаллического кремния
p+-типа, отделенный от подложки p+-типа слоем аморфного диок-
сида кремния (a-SiO2). Реальное сопротивление R включает пара­зитную емкость CRи индуктивность LR. б), в) Плоская пленка и спираль Архимеда из алюминия, напыленные на слой a-SiO2.
# Схемы включения биполярного p–n–p-транзистора
E E
C C
pp n
B B
На внутреннем уровне
транзистор работает во
всех схемах совершенно
одинаково, но внешнее
поведение различно
Коэффициент усиления по току AI= I
Коэффициент усиления по напряжению AU= U
Входной импеданс
|Zin| = Uin/I
Выходной импеданс
|Z
| = U
out
out/Iin
out/Uin
in
out/Iout
Схема с общим
эмиттером
I
out
U
U
in
out
Схема с общим
коллектором
I
I
in
U
out
U
in
out
> 1> 1
≈1≈1
Высокий
Низкий
Схема с общей
базой
I
in
U
in
I
out
U
out
≈1
> 1
НизкийНизкий
ВысокийВысокий
260 Глава 14
# Электрофотографический способ репродуцирования (созда- ние копий исходного документа)
Электрофотография (или ксерография) — процесс, в котором используются фотопроводящие свойства селенового стекла (a-Se).
Схема ксерографического процесса:
Коронирующий
электрод
а) Коронирующий электрод (положитель­ный потенциал ≈ 3 кВ), движущийся в воз­духе параллельно поверхности слоя аморф­ного селена, заряжает его ионами положи-
а)
a-Se
тельно. На металлической заземленной под­ложке, на которую нанесено селеновое стек-
Электрод (подложка)
Свет от документа
ло, образуется отрицательный заряд.
б) На слой проецируется изображение ко­пируемого документа. Фотоны, отраженные от светлых областей оригинала, поглощают-
б)
Электрон + дырка
ся слоем a-Se. Энергия фотонов должна быть такой, чтобы электронно-дырочные п´ары со­здавались только вблизи верхней (положи-
в)
Ион воздуха
−
e
+
h
тельно заряженной) поверхности стекла.
в) Под действием сильного электрическо­го поля внутри селенового стекла дырки (h+) дрейфуют по направлению к металлической
Краситель
подложке, а электроны (e−) — в противопо­ложном направлении и нейтрализуют поло­жительный заряд, созданный на поверхности
г)
a-Se. В результате верхняя поверхность стек­ла становится электронейтральной там, где на оригинале была светлая область, и оста-
Коронирующий
электрод
Бумага
ется положительно заряженной там, где на оригинале была буква.
г) На слой a-Se наносятся отрицательно заряженные частицы красителя (сажа, дис-
д)
Селеновое
стекло
пергированная в легкоплавкой смоле), кото­рые прилипают к положительно заряженным участкам поверхности слоя.
д) С помощью второго коронного разряда краситель перено­сится с поверхности слоя a-Se на положительно заряженный лист бумаги. После этого бумагу убирают и полученное на ней изобра­жение закрепляют с помощью нагревания.