Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Физика полупроводниковых систем. Основные понятия

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
08.09.2026
Размер:
2 Мб
Скачать
☆
Делокализованные электронные состояния. Энергетические зоны 81
решенной энергетической зоне которого из n состояний p не заня­ты электронами: p воображаемых положительно заряженных ды­рок создают точно такой ток, как и n − p электронов, частично заполняющих зону. Сравним две совокупности частиц: 1) n −p электронов, оставляющих p состояний из n возможных состояний зоны незанятыми; 2) n электронов, целиком заполняющих зону, и p воображаемых положительно заряженных электронных ва­кансий. Тогда токи, образуемые ими, будут одинаковыми, когда под действием внешнего электрического поля Eexи поля кристал­лической решетки Ein(создаваемого всеми зарядами, кроме рас­сматриваемого) p электронных вакансий будут двигаться таким же образом, как те p электронов заполненной зоны (2-я совокуп­ность), которые занимают p состояний, свободных в реальной зоне (1-я совокупность). Электроны целиком заполненной зоны вклада в электрический ток не дают. Уравнение движения электрона есть m0dv/dt = −e(Eex+ Ein) = −eE, где m0— масса электрона в ва- кууме, −e < 0 — заряд электрона. Для того чтобы электронная вакансия с зарядом +e двигалась с тем же ускорением dv/dt, что и электрон, уравнение движения должно иметь вид: −m0dv/dt = eE. Это значит, что электронной вакансии следует приписать массу
−m0. Итак, если вместо p вакантных состояний зоны ввести в
рассмотрение p электронов (m0, −e) и p электронных вакансий (−m0, +e), то движение n −p электронов сводится к движению p электронных вакансий; электрон непрерывно сопровождает элек­тронная вакансия и электронейтральность кристалла не нарушает­ся. От введенных выше электронных вакансий (−m0, +e), подвер­женных действию кристаллического потенциала, можно перейти к дыркам — квазичастицам с эффективной массой m > 0 и заря­дом +e, аналогично тому, как это делается для электронов; замена
−m0на m > 0 учитывает действие сил кристаллической матрицы.
# Эффективная масса электрона и дырки — тензорная вели- чина, характеризующая в рамках зонной теории кристаллов дей­ствие на электрон c-зоны и дырку v-зоны внешних электрических и магнитных полей, а также градиента температуры. Действие на электрон ядер атомов, а также других электронов кристалла учи­тывается заменой массы электрона в вакууме на эффективную
массу плотности состояний md, которая входит в выражение для концентрации электронов n ∝ m
3/2
. Величина эффективной мас-
d
сы определяется из зависимости энергии электрона от его ква­зиимпульса E(p). (Квазиимпульс p является аналогом импульса
82 Глава 5
при движении электрона проводимости в кристалле.) Эффектив­ной массой характеризуется и дырка в валентной зоне кристалла.
Эффективная масса электропроводности mσ, входящая в выра-
жение σ = e2nτ/mσ, где e — элементарный заряд, τ — среднее вре­мя изотропной релаксации квазиимпульса, определяется отноше­нием приложенной внешней силы к ускорению электрона и входит также в выражение для средней кинетической энергии mσv2/2 = = 3kBT/2, где kB— постоянная Больцмана, T — абсолютная тем- пература. Циклотронная эффективная масса mc= (1/2π)∂A/∂E, где A — площадь экстремального сечения изоэнергетической по­верхности E(p) = const плоскостью, нормальной к магнитному по­лю. Для квадратичного изотропного закона дисперсии, т. е. когда
E(p) = p2/2m, имеем: m = md= mσ= mc. При введении эффектив-
ной массы в случае произвольного закона дисперсии E(p) речь может идти об удобстве того или иного определения, о большей или меньшей связи с известными и привычными в физике поня­тиями. Свойства полупроводников во многом обусловлены свобод­ными (между актами рассеяния и/или рекомбинации) электрона­ми и дырками, которые отличаются величинами масс (а дырки и знаком заряда) от массы электрона в вакууме. Однако приближе­ние эффективной массы не описывает опыт Толмена – Стюарта: действие на электрон проводимости сил инерции с ускорением a эквивалентно действию на него однородного электрического поля напряженностью (m0/e)a, где m0= me— масса электрона в ва­кууме. В этом случае каждый электрон (массой m0) движется с ускорением a независимо от степени заполнения электронами зо­ны проводимости (c-зоны) и валентной зоны (v-зоны) кристалла.
# Для описания равновесных свойств электронов проводимости и дырок в кристаллических полупроводниках важна сравнитель­но малая часть зоны Бриллюэна, отвечающая экстремумам энер­гии (“дно” и “потолок” зоны разрешенных энергий). Окрестность абсолютного минимума в зависимости энергии электрона c-зоны (дырки v-зоны) от квазиимпульса называют долиной, а кристал- лы с несколькими минимумами — многодолинными. В кристал- лах Si и Ge вблизи каждого минимума энергии электронов c-зоны изоэнергетическая поверхность имеет вид эллипсоида вращения; в кристалле Si в первой зоне Бриллюэна расположено 6 долин, в Ge на первую зону Бриллюэна приходится 4 долины. В состоянии тер­модинамического равновесия электроны распределяются поровну между долинами. Изоэнергетические поверхности вблизи миниму-
Делокализованные электронные состояния. Энергетические зоны 83
ма энергии легких и тяжелых дырок v-зоны в Si и Ge имеют вид гофрированных сфер, расположенных в центре зоны Бриллюэна. Для Si доля легких дырок (lh) составляет приблизительно 14 % от общего числа дырок (lh+ hh), а для Ge — 4 %.
# С одной стороны, в зонной теории электрические свойства твер­дого тела определяются квазичастицами — электронами и дыр­ками, которые отличаются величиной массы (а дырки и знаком заряда) от свободного электрона. С другой стороны, в опытах Толмена – Стюарта (измерялось количество электричества, про­шедшее по вращающейся катушке провода за время ее торможе­ния) и Барнетта (измерялся механический момент, возникающий в катушке при изменении величины протекающего через нее за­ряда) было установлено, что отношение массы к заряду носителей электричества даже у металлов (Be, Zn, Cd) с положительным значением постоянной Холла равно −m0/e < 0, где m0— масса электрона в вакууме, e > 0 — элементарный заряд. Таким обра­зом, описание твердого тела в полях неэлектромагнитной приро­ды (инерционном, гравитационном) в рамках приближения эффек­тивной массы не адекватно опыту. Например, в одноэлектронном приближении действие на электрон поля инерции с ускорением g эквивалентно действию на него однородного электрического поля с напряженностью m0g/e; поле сил инерции действует на каждый электрон в отдельности, независимо от степени заполнения элек­тронами энергетической зоны.
# Гальванометр — электромеханический прибор, измеряющий (или регистрирующий) силу электрического тока по магнитному действию этого тока. В гальванометре ток пропускается через про­вод (проводник электричества), намотанный таким образом, что­бы он многократно проходил вокруг некоторой открытой области пространства, где на диэлектрической нити подвешен постоянный магнит, и создавал в этой области электромагнитную силу, интен­сивность которой измеряется по углу поворота магнита на нити.
# Толмена – Стюарта опыт — измерение количества электриче- ства, проходящего через вращающуюся катушку из металлической проволоки за время ее торможения. Р. Толменом и Т. Стюартом экспериментально выявлено (1916 г.), что отношение массы к за­ряду носителей электричества в проводниках равно −m0/e < 0, где m0= me— масса электрона в вакууме; e > 0 — элементар­ный заряд. Идея этого электронно-инерционного опыта предложе-
84 Глава 5
на Дж. Максвеллом (1873 г.). Пусть кольцо радиусом rcиз метал­лической проволоки равномерно вращается вокруг своей оси, про­ходящей через центр кольца перпендикулярно его плоскости. (Для достаточно тонкой проволоки зависимостью линейных скоростей ионов и электронов кольца от расстояния до оси вращения можно пренебречь.) При торможении кольца электроны проводимости в течение некоторого времени будут двигаться по инерции относи­тельно ионов металла, в результате чего возникнет зависящий от времени t ток I (t), и некоторое количество электричества Q будет перенесено в кольце. Если бы электроны были жестко связаны с ионами, т. е. двигались бы с той же скоростью, что и ионы, ток в кольце не возник бы. (Движение электронов и ионов с одинаковой по величине скоростью в одном направлении создавало бы рав­ные по величине и противоположно направленные токи.) Исходя из представлений о сосуществовании в металле делокализованных электронов и локализованных ионных остовов, можно вычислить количество электричества, прошедшее по электрической цепи за время ее торможения. Пусть линейная скорость ионов и электро­нов равномерно вращающегося кольца до начала его торможения есть v, а ускорение кольца при торможении ac< 0 (направлено по касательной к окружности кольца). Тогда при торможении кольца электроны проводимости, двигаясь по инерции, приобретут ускоре­ние −ac. Движение электронов будет таким, как если бы на каж­дый из них действовало однородное электрическое поле напряжен­ностью ETS, определяемое так: −eETS= −m0ac, здесь −e < 0 — заряд электрона. В результате смещения электронов проводимости относительно ионов в кольце возникает переменный во времени t ток электронов I , который определяется из дифференциального уравнения Кирхгофа для электрической цепи:
dI
L
+ RI =IETSdlc=
dt
m
0
edvdt
lc,
где L — индуктивность кольца; R — электрическое сопротивление кольца; ac= dv/dt — ускорение кольца; lc= 2πrc— длина окруж­ности кольца радиусом rc.
Интегрируя приведенное выше уравнение Кирхгофа по времени
t от начала торможения кольца при t = t1до остановки кольца при t = t2, получаем
Z
t
R
2
I dt = RQ = −
t
1
m
0
lcv,
e
Делокализованные электронные состояния. Энергетические зоны 85
так как в моменты времени t1и t2ток I (t1) = I(t2) = 0, и индуктив­ность L кольца не дает вклад в количество электричества Q, кото­рое будет перенесено в кольце за время торможения; v(t1) = v — начальная скорость кольца, v(t2) = 0 — конечная скорость кольца.
Итак, отношение m0/e можно найти по известным значениям электрического сопротивления кольца R, диаметра кольца lc/π, ли­нейной скорости его вращения до начала торможения v, а также измеренному количеству электричества Q, иначе суммарному за­ряду, прошедшему по кольцу за время торможения t2− t1.
На практике вместо кольца используется цилиндрическая ка­тушка из медной проволоки, которая приводится в быстрое враще­ние вокруг своей оси, и затем быстро останавливается. Неподвиж­ным баллистическим гальванометром, присоединенным гибкими проводами к концам катушки, измеряется количество электриче­ства Q, прошедшее через катушку за время торможения t2−t1, а по знаку возникшей разности электрических потенциалов ETSlc= U
TS
определяется знак зарядов, образующих ток. Конкретно, отноше­ние −m0/e < 0 определяется из соотношения RQ = −(m0/e)lcv, где R — суммарное электрическое сопротивление катушки, гибких проводов и баллистического гальванометра, lc— длина проволоки в катушке, v — линейная скорость вращения катушки до начала ее торможения.
Найденное отношение массы к заряду носителей тока как у металлов с положительным эффектом Холла (Al, Zn, Mo, Nb, W, V), так и у металлов с отрицательным эффектом Холла (Au, Ag, Pt, Cu) по знаку и по величине оказалось равным −m0/e < 0, т. е. как для электронов в вакууме. Исходя из этого факта, некоторые исследователи утверждали: “предположение, что положительный эффект Холла можно объяснить, принимая положительное значе­ние m0/e > 0, опровергнуто, поскольку на опыте это отношение отрицательно и для металлов с положительным коэффициентом Холла”. В результате некоторое время ошибочно считалось, что электронно-инерционные опыты дают прямое доказательство то­го факта, что носителями заряда в проводниках являются только электроны с массой m0> 0, и отрицательным элементарным заря­дом −e < 0. Однако, теория кристаллических (полу)проводников электричества показывает, что их термодинамические и кинетиче­ские свойства обусловлены квазичастицами — электронами (с отрицательным зарядом −e < 0 и эффективной массой mn> 0) и/или дырками (с положительным зарядом e > 0 и эффективной
86 Глава 5
массой mp> 0). Итог: в условиях, когда свойства квазичастиц в
(полу)проводнике не проявляются, можно определить отношение массы к заряду их подвижных структурных единиц — свободных электронов на фоне неподвижных ионных остовов.
# Энергетические зоны — квазинепрерывные совокупности од- ночастичных квантовых состояний в энергетическом спектре мно­гочастичной системы (например, кристалла). Возникновение зон (полос) обусловлено тем, что при агрегации свободных атомов (молекул) в кристалл происходят расщепления и сдвиги их уров­ней энергии вследствие перекрытия электронных оболочек атомов. Стационарное состояние электрона (дырки) в кристалле харак­теризуется номером энергетической зоны и квантовыми числами (квазиимпульсом, магнитным моментом), определяющими энер- гию электрона в зоне. Если на движение электрона проводимо­сти накладываются пространственные ограничения (например, при уменьшении толщины кристаллической пленки и/или наложении внешнего магнитного поля), то энергетические зоны расщепляются на подзоны. При введении в кристалл атомов примесей формиру­ются примесные энергетические зоны, расположенные в запрещен­ной зоне или в зоне разрешенных энергий.
# Разрешенная энергетическая зона (полоса) — область зна- чений энергии, которые может принимать квантовая система; ин­тервал энергий, заполненный собственными значениями энергии квазичастицы в кристалле. Разрешенные энергетические зо- ны электронов в кристалле образованы совокупностью атомных уровней энергии, “расщепившихся” в результате агрегации атомов в кристаллическую матрицу, т. е. это области разрешенных зна­чений полной энергии электрона. Хотя структура зоны дискрет­на, уровни весьма близки (квазинепрерывны) и им соответствуют делокализованные волновые функции — вероятность обнаружить электрон в любой точке кристалла одинакова.
# Валентная зона (v-зона) кристаллического полупроводника (диэлектрика) — наивысшая по энергии разрешенная энергетиче­ская зона, заполненная электронами или содержащая малое число дырок при абсолютной температуре T → 0. Зона проводимости (c-зона) — низшая по энергии разрешенная энергетическая зо­на, незаполненная или содержащая малое число электронов при T → 0. Энергетическое расстояние от дна c-зоны до уровня вакуу- ма называют электронным сродством EA (для кристаллов крем-
Делокализованные электронные состояния. Энергетические зоны 87
ния и германия EA ≈ 4 эВ). Сродство к электрону одиночного ато­ма есть разность его энергий в нейтральном и отрицательно заря­женном состояниях; положительное сродство означает, что анион более стабилен, чем нейтральный атом. Разность энергий между уровнем Ферми и уровнем вакуума называется работой выхода электрона.
# Запрещенная зона (энергетическая щель) кристалла — ми- нимальная разность электронных энергий между дном c-зоны и потолком v-зоны. Появление щели связывается с брэгговскими от­ражениями электронных волн от атомных плоскостей кристалли­ческой структуры.
# Многодолинный кристаллический полупроводник имеет несколько минимумов (максимумов) энергии электронов в c-зоне (дырок в v-зоне) при различных значениях квазиимпульса.
# Ферми-поверхность — поверхность постоянной энергии в про- странстве вектора квазиимпульса, отделяющая занятые состояния электронов в зоне проводимости металла (или в валентной зоне вырожденного полупроводника p-типа) от незанятых при абсолют­ном нуле температуры. Поверхность Ферми показывает, какие из квазиимпульсов в зоне Бриллюэна соответствуют занятым одно­электронным состояниям, а какие — свободным.
# Ферми-жидкость — квантовая жидкость, в которой элемен- тарные возбуждения (квазичастицы) обладают полуцелым (в еди­ницах постоянной Планка ћ = h/2π) спином; пример: электроны проводимости нормального металла.
# Энергия Ферми EFобозначает границу между занятыми и сво­бодными электронными состояниями в зоне разрешенных значе­ний энергии в пределе нулевой абсолютной температуры. Ферми­поверхности в энергетической зоне (полосе энергий) с номером j соответствует уравнение EF= Ej(p) = Ej(p+ћb), где p — квазиим­пульс электрона проводимости, b — вектор обратной решетки. В трехмерном кристалле может быть несколько частично заполнен­ных зон, так что в этом случае поверхность Ферми принадлежит нескольким зонам — имеет полости (листы, ветви, долины), соот­ветствующие различным энергетическим зонам. Если поверхность Ферми или одна из ее полостей непрерывно проходит через всю зо­ну Бриллюэна, ее называют открытой, если же она замыкается внутри одной зоны Бриллюэна (конечно, периодически повторяясь в остальных), то такую поверхность называют замкнутой. Огра-
88 Глава 5
ниченный поверхностью Ферми объем ΓF, приходящийся на одну элементарную ячейку (зону Бриллюэна) в пространстве квазиим­пульсов, определяется концентрацией электронов проводимости в металле 2ΓF/(2πћ)3= n. Радиус сферы Ферми для типичных ме- таллов ≈ћ/a, где a — постоянная решетки; обычно n ≈ a−3. Чис­ло электронов проводимости металла равно числу электронов в частично заполненных энергетических зонах, образованных внеш­ними электронными оболочками атомов. У полуметаллов и вырож­денных полупроводников объем под поверхностью Ферми мал по сравнению с объемом элементарной ячейки в пространстве ква­зиимпульсов (1-й зоны Бриллюэна). Если занятые электронные состояния находятся внутри поверхности Ферми, то она называет­ся электронной, если же внутри поверхности Ферми электронные состояния свободны, то такая поверхность называется дырочной;
vnF— скорость электрона на “электронной” поверхности Ферми; vpF— скорость электрона на “дырочной” поверхности Ферми. Вы-
рождение электронного газа нормальных (несверхпроводящих) металлов проявляется в том, что многие процессы в них определя­ются только электронами с кинетической энергией E ≈ EF≈ 5 эВ, в то время как большая часть электронов проводимости “заморо­жена” принципом Паули; kBT ≈ 26 мэВ при T ≈ 300 К.
# Полярон — квазичастица, описывающая автолокализованное состояние одиночного электрона c-зоны (или дырки v-зоны) в де­формируемом ионном кристалле. Достаточно медленный электрон локально искажает кристаллическую решетку (иначе матрицу) в месте своего нахождения, и возникающая при этом поляризация, в свою очередь, воздействует на электрон и уменьшает его энер­гию. Уменьшение энергии полярона по отношению к энергии элек­трона c-зоны в неискаженной решетке называется энергией связи полярона и складывается из трех слагаемых: 1) уменьшения энер­гии взаимодействия Up< 0 электрона c окружающими его иона­ми; 2) увеличения упругой энергии Ud> 0 из-за наведенной элек­троном локальной деформации в его окружении; 3) кинетической энергии локализации Kl> 0 электрона в потенциальной яме. Веро­ятные порядки величин можно оценить следующим образом. Так как положительные ионы смещаются по направлению к электрону, а отрицательные удаляются, то до смещения ионов потенциальная энергия другого электрона на расстоянии r от рассматриваемого равна e2/4πε2r, где ε2— высокочастотная абсолютная диэлектри­ческая проницаемость кристалла, а после смещения e2/4πε1r, где
Делокализованные электронные состояния. Энергетические зоны 89
ε1— низкочастотная абсолютная диэлектрическая проницаемость.
Если на расстоянии rpот электрона кристаллическая матрица пол­ностью поляризована, то потенциальная яма, которую “формирует” электрон, имеет вид: Up= −e2/4πεprpпри r 6 rpи U = −e2/4πεpr при r > rp, где ε
−1 p
= ε
−1 2
− ε
−1
. Потенциальная энергия упругой
1
деформации (искажения) кристалла вокруг электрона
Z
Ud= 2πε
∞
2
E
p
r2dr = −
r
p
r
U
p
, где eEr= −
2
dU
.
dr
Так называемая кинетическая энергия локализации электрона (т. е. энергия, которую имеет электрон вследствие локализации внутри сферы радиуса rp) равна Kl≈ π2ћ2/2mr
2
, где m — эффек-
p
тивная масса электрона в неискаженной решетке. Энергия связи полярона находится путем минимизации Up+Ud+ Klпо rpи равна
e2/16πεprp, где rp≈ 8π3ћ2εp/me2— так называемый радиус поля-
рона. Если в полной энергии электрона преобладает кинетическая энергия движения, то rp a, где a — межатомное расстояние (пе- риод решетки), и образуется полярон большого радиуса. Это соот­ветствует тому, что электрон продолжает свое движение в c-зоне, но его эффективная масса возрастает. Если rp≈ a, то электрон за- хватывается каким-либо одним ионом (“садится” на ионную орби­ту) и возникает полярон малого радиуса. В кристалле состояния поляронов малого радиуса перекрываются и образуют поляронную зону, подобную c-зоне в жесткой решетке, однако поляронная зо­на достаточно узка и ее ширина экспоненциально уменьшается при повышении температуры T. При T < TD, где TD— температура Де­бая, полярон движется без изменения числа фононов (туннелирует сквозь кристалл, увлекая за собой облако поляризации), т. е. име­ет место зонный (когерентный) механизм миграции. При T > T движение поляронов малого радиуса осуществляется “прыжками” из одного узла в эквивалентный, который образуется при аналогич­ном искажении решетки. Для такой деформации требуется энер­гия, которая поставляется фононами и движение полярона мож­но рассматривать как туннелирование между соседними узлами с помощью фононов (некогерентная миграция; электрон долго на­ходится вблизи одного иона перед тем, как перейти на другой). Уровень энергии электрона, квазилокализованного на данном узле кристаллической решетки, является функцией мгновенного поло­жения атомов. Из-за атомных колебаний эти положения меняются, и в некоторый момент времени может возникнуть ситуация, при
D
90 Глава 5
которой энергия узла с квазисвязанным электроном равна энергии ближайшего соседнего узла без электрона. Образование потенци­альной ямы на узле, где нет электрона, энергетически невыгодно, и вероятность возникновения такой флуктуации пропорциональ­на exp(−Ep/2kBT), где Ep— энергия связи полярона. Туннель­ный переход полярона происходит в условиях, когда уровни энер­гии в обеих ямах одинаковы. Термин “автолокализация электрона” следует понимать в несколько условном его смысле: в отсутствие каких-либо структурных дефектов полярон может быть с равной вероятностью обнаружен в любой точке кристалла. Если два поля­рона объединяются в пару, то возникает биполярон — бозеподоб­ное связанное состояние, для которого характерно коллективное поведение входящих в него (квази)частиц.
# Квазиимпульс в одноэлектронной зонной теории появляется как следствие инвариантности гамильтониана кристалла относи­тельно трансляции электрона на постоянную кристаллической ре­шетки. На вероятность пребывания электрона в данной точке кристалла никак не влияют остальные электроны, т. е. эффек­ты корреляции между электронами отсутствуют. Но при сильном электрон-электронном взаимодействии (корреляции) гамильтониан не обладает указанным свойством симметрии для одного электро­на: он инвариантен только относительно трансляции на постоян­ную решетки всех электронов в кристаллической структуре.
# Временем жизни носителя заряда (электрона, дырки) в кри- сталлическом полупроводнике (и диэлектрике) называют средний интервал времени, в течение которого заряд может свободно (или с рассеянием) перемещаться по кристаллу (и тем самым вносить вклад в электропроводность, теплопроводность и т. д.); среднее время пребывания электрона в c-зоне и/или дырки в v-зоне.
# Упругая деформация кристаллического полупроводника изме- няет ширину Egзапрещенной энергетической зоны с ростом дав­ления P. При температуре T ≈ 300 К всестороннее сжатие Si дает
dEg/dP ≈ −1.5·10
−11
эВ/Па; Ge — dEg/dP ≈ +5·10
−11
эВ/Па.
# Зона проводимости (c-зона) и валентная зона (v-зона) об- разованы совокупностью уровней энергии атомов, “расщепивших­ся” в результате объединения свободных атомов в кристалличе­скую структуру (иначе решетку, матрицу). Энергетическая щель
Egмежду дном c-зоны и потолком v-зоны определяется постоян­ной кристаллической решетки. В кристалле из N идентичных ато-