Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Физика полупроводниковых систем. Основные понятия
.pdf
Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 211
примитивной элементарной ячейке.
# Термин остаточные лучи означает, что в отсутствие электрон-
ных переходов ионные кристаллы, сильно поглощающие инфракрасные волны с частотой, равной частоте поперечных длинноволновых оптических фононов (TO-фононов), обладают высокой отражательной способностью на тех же частотах (≈1013Гц). Кристаллы такого типа (LiF, KBr и др.) использовались ранее (до создания
лазеров) в качестве поверхностей для многократных отражений, в
результате которых получались довольно монохроматические остаточные лучи от широкополосного источника инфракрасного электромагнитного излучения.
# Существуют искусственные и природные кристаллические
структуры, размер которых в одном, двух или трех направлениях
сопоставим со средней дебройлевской длиной волны электрона в
зоне проводимости (c-зоне) и/или дырки в валентной зоне (v-зоне),
а также расстоянием между электроном и дыркой при образовании
ими экситона. Оптические спектры рассеяния, поглощения и излучения таких структур сильно зависят от их размеров.
# Диэлектрические потери — часть энергии переменного элек-
трического поля, которая преобразуется в теплоту при изменении
ориентации или индуцировании (наведении) электрических диполей у составляющих диэлектрик молекул.
# Время релаксации показывает, насколько быстро восстанавли-
вается равновесное состояние системы. Длина релаксации энер-
гии частицы — произведение дрейфовой скорости частицы на время релаксации ее энергии. В проводниках электричества с размерами, меньшими длины релаксации энергии, перенос “горячих”
электронов (и/или дырок) происходит без рассеяния (на фононах,
примесях и т. д.), т. е. баллистически.
# В электрическом поле малой амплитуды и частоты (когда не
происходит “разогрев” носителей заряда) действительная часть
электропроводности кристаллического образца с зонным механизмом электропереноса меньше его статической проводимо-
сти, так как, не поспевая полностью за колебаниями электрического поля, система свободных (делокализованных) зарядов ведет
себя в какой-то мере как совокупность связанных зарядов. Напротив, действительная часть прыжковой электропроводности по
донорам на переменном токе в однородно неупорядоченных материалах больше, чем на постоянном токе, так как на переменном

212 Глава 12
токе в дрейфовое движение вовлекаются и электроны, находящиеся в несвязанных друг с другом кластерах локализованных состояний. В частности, в ионных кристаллах в условиях прыжковой
проводимости по узлам решетки, поляроны, совершающие прыжки
вокруг примесных атомов (атомных дефектов решетки) и поэтому
напрямую не участвующие в проводимости на постоянном токе,
обусловливают наличие участка увеличения действительной части
электропроводности при увеличении частоты электрического поля.
В поликристаллических материалах увеличение действительной
части электропроводности с повышением угловой частоты ω электрического поля обусловлено тем, что на переменном токе наряду с носителями заряда в цепочках электрически связанных при
данной температуре кристаллитов, напрямую “замыкающих” электроды (контактные обкладки) на постоянном токе (при ω = 0),
вклад в электрическую проводимость дают также и носители заряда в “оборванных” (не замыкающих обкладки) цепочках кристаллитов. Увеличение мнимой части электропроводности поликристаллов при увеличении частоты обусловлено запаздыванием
переходов носителей заряда между кристаллитами по отношению
к изменяющемуся во времени электрическому полю.
# Причина компенсации потерь в колебательной системе ге-
нератора на элементе с отрицательным дифференциальным электрическим сопротивлением заключается в наличии внутренней положительной обратной связи, которая обеспечивает такой режим
движения носителей заряда (электронов, дырок, ионов) через элемент, что число замедляемых переменным полем зарядов преобладает над числом ускоряемых; источником энергии является “постоянное” электрическое поле.
# Неравновесные электронные излучательные переходы, происходящие в собственном точечном дефекте кристаллической структуры (или в атоме примеси) без изменения колебательного состояния кристалла и/или излучающего “центра”, называют бесфо-
нонными. Такие переходы обычно наблюдаются в случае слабого
электрон-фононного взаимодействия. Спектральное распределение
излучения центра состоит из узкой бесфононной линии (ширина линии на полувысоте меньше тепловой энергии) и фононного
“крыла”. В области низких температур это крыло, связанное с испусканием фононов при электронных переходах, расположено со
стороны меньших энергий от бесфононной линии. С повышением

Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 213
температуры у бесфононной линии со стороны больших энергий
появляется крыло, связанное с поглощением фононов при электронных излучательных переходах.
# Пространственная когерентность света — согласованность
фаз световой волны в различных точках пространства в один момент времени. Временн´ая когерентность — согласованность фаз
светового колебания в одной точке пространства; излучение с шириной спектра δf обладает временной когерентностью в течение
интервала времени 1/δf.
# Квантовый генератор (лазер): [Усиление за счет вынужденного
испускания фотонов в веществе с инверсной заселенностью электронных и/или колебательных, вращательных и т. д. уровней энергии] + [Спонтанная эмиссия фотонов] = [Потери в резонаторе и
на когерентное электромагнитное излучение].
# Признаки генерации когерентного электромагнитного из-
лучения: 1) увеличение интенсивности излучения, носящее пороговый характер; 2) спектральное сужение и появление в спектре
линии (или нескольких линий в многомодовом режиме), энергетическая ширина которой на полувысоте много меньше тепловой
энергии; 3) появление более острой направленности излучения на
фоне диффузной направленности спонтанного излучения (иногда
говорят о формировании светового пятна лазерного излучения в
дальней зоне); 4) появление пятнистой структуры на излучающей
грани лазерного диода (иногда говорят о формировании пятен в
ближней зоне, т. е. на излучающем зеркале) при постоянной плотности электрического тока в диоде.
# В полупроводниковом лазере генерируется когерентное элек-
тромагнитное излучение благодаря вынужденным квантовым переходам с участием свободных носителей заряда в кристалле —
электронов и дырок. Длина волны λ излучения полупроводникового лазера связана с шириной запрещенной зоны Egполупроводника соотношением: λ ≈ 2πћc/˜nEg, где c/˜n — скорость света в
полупроводнике с показателем преломления˜n. В твердотельных
лазерах (на основе диэлектрических кристаллов) рабочими квантовыми переходами являются переходы “внутри” примесных центров, поэтому их оптический спектр определяется сортом примеси
и ее позицией (в узле или междоузлии кристаллической решетки).
# Поляритон — квазичастица в кристаллических диэлектриках
и полупроводниках с ионно-ковалентной химической связью меж-

214 Глава 12
ду атомами, сопоставляемая связанным между собой поперечному
оптическому фонону и фотону, имеющим почти одинаковые энергии и (квази)импульсы. Распространение электромагнитной волны
в кристалле сопровождается его поляризацией, которая оказывает обратное воздействие на волну. Видоизмененный в результате
поляризации фотон называется “поляритон”. Квантовому понятию
поляритона или “фотона в поляризуемом кристалле” соответствует классическое понятие “собственной электромагнитной волны”,
аналогично тому, как собственным колебаниям и волнам кристаллической решетки соответствуют фононы. В понятии “поляритона”
отражен тот факт, что фотоны и элементарные возбуждения в кристалле (фононы, экситоны, плазмоны и др.) могут смешиваться,
причем квант смешанного возбуждения состоит из энергии механического движения (решетки, электронной и/или дырочной плазмы и т. д.) и энергии электромагнитного поля. Так как тепловые
движения электронов, дырок и ионных остовов сопровождаются и
излучением, и поглощением фотонов, то поляритоны существуют
в кристалле и в состоянии термодинамического равновесия.
# Пироэлектрический эффект — изменение поляризации кри-
сталла без центра симметрии при нагревании: возникают новые
заряды, которые не успевают нейтрализоваться ионами, содержащимися в воздухе при лабораторных условиях.
# Сегнетоэлектрики — кристаллические диэлектрики, обладаю-
щие в определенном интервале температур спонтанной электрической поляризацией (однородной или в виде доменов). Зависимость
поляризации от величины напряженности и направления приложенного извне постоянного электрического поля имеет вид петли гистерезиса. Необходимыми условиями возникновения сегнетоэлектрических свойств являются отсутствие центра симметрии
(операции инверсии) и наличие хотя бы одного неэквивалентного
направления в кристаллической структуре, т. е. сегнетоэлектрический кристалл должен быть пьезо- и пироэлектрическим, однако
обратное не обязательно.
# Сегнетоэлектрик (диэлектрический аналог ферромагнетика),
материал, обладающий в определенной области температур и/или
напряженностей внешнего электрического поля поляризацией с
доменной структурой (т. е. имеются участки, различающиеся направлением вектора электрической поляризации). Структурирование (иначе доменизация) электрической поляризации в сегнето-

Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 215
электрическом материале определяется типом химической связи и
допустимыми модами колебательных движений образующих диэлектрик атомов.
# Система оптически бистабильна, если при одном и том же
значении входного оптического сигнала в некоторой области его
изменения выходной сигнал имеет два уровня интенсивности. Чтобы получить бистабильный отклик, одной нелинейности системы
недостаточно. Необходима еще обратная связь, которая создает
двузначность нелинейного пропускания, т. е. бистабильность. Та-
ким образом, в оптическом бистабильном элементе интенсивность
выходящего света имеет гистерезисную зависимость от интенсивности входящего, а коэффициент пропускания — два устойчивых
значения. Простейший бистабильный элемент — резонатор Фаб-
ри – Перо, составленный из двух полупрозрачных зеркал, между
которыми помещен материал, изменяющий показатель преломления в зависимости от интенсивности распространяющегося в нем
света. Если свет входит в резонатор в отсутствие резонанса, происходят многократные отражения, которые быстро ослабляют интенсивность, и излучение практически не выходит из резонатора.
При увеличении интенсивности входящего света изменяется показатель преломления вещества, помещенного в резонатор, изменяя
фазу излучения. В результате этого настает момент, когда возникает резонанс, и свет проходит сквозь резонатор.
# Спонтанное нарушение симметрии системы связано с тем,
что ее состояние с нарушенной симметрией энергетически более
выгодно. Капля воды, “лежащая” при лабораторных условиях на
плоском кварцевом стекле (a-SiO2), — пример нарушения симметрии, поскольку взаимодействие молекул H2O между собой и с молекулами SiO2допускает более симметричное состояние, когда вода распределена в виде монослоя по кварцу, но это состояние для
капель энергетически невыгодно. Кристалл — пример нарушения
симметрии относительно поворота его на угол 2π/5. Спонтанное
изменение симметрии квазиодномерных кристаллов может происходить при их охлаждении (переход Пайерлса). Вообще, симметрию межатомных взаимодействий в твердых телах полнее отражало бы однородное расположение атомов, как в жидкости.
# В вакууме интенсивность лазерного излучения I0и амплиту-
да вектора напряженности E0электрической компоненты поля
излучения связаны так: I0= E
2
/2Z0, где Z0=pµ0/ε0≈ 377 Ом —
0

216 Глава 12
импеданс свободного пространства, ε0= 8.85 пФ/м — электрическая постоянная, µ0= 1.26 мкГн/м — магнитная постоянная;
c = 1/√ε0µ0— скорость света в вакууме.
# Альбедо — отношение интенсивности отраженного от тела
электромагнитного излучения к интенсивности падающего. Термин “альбедо” употребляют, когда говорят о широкой полосе длин
волн, тогда как применительно к монохроматическому излучения
говорят об отражательной способности.
# Электрооптика — раздел оптики, в котором исследуется вза-
имодействие оптического излучения с веществом, помещенным в
квазистационарное электрическое поле. Действие электрического
поля на атомы (молекулы) приводит к сдвигу и расщеплению их
уровней энергии (эффект Штарка). В результате этого спектральные линии распадаются на компоненты, отличающиеся частотой и поляризацией. Несовпадение линий поглощения для различных поляризаций света приводит к наведенному полем дихроизму
и двулучепреломлению. Влияние электрического поля на оптические свойства изотропной конденсированной системы, состоящей
из молекул с собственным электрическим дипольным моментом
или анизотропией поляризуемости, приводит к тому, что система
приобретает свойства одноосного кристалла. Этот ориентационный
эффект сильно выражен в жидких кристаллах. При наложении
электрического поля на кристаллические материалы наблюдается появление оптической анизотропии, обусловленной установлением различий в средних расстояниях между атомами вдоль и
поперек поля (стрикционный эффект). Материалы, изменяющие
оптические свойства под действием электрического поля (электрооптические материалы) применяются для управления оптическим
излучением, в жидкокристаллических дисплеях и др.
# Пьезоэлектрик — кристаллический диэлектрик конечных раз-
меров, который поляризуется под действием приложенного к нему
механического напряжения в пределах упругих деформаций (прямой пьезоэффект) и обратимо изменяет свои размеры (упруго деформируется) под действием внешнего электрического поля (обратный пьезоэффект). При прямом пьезоэлектрическом эффекте
на двух поверхностях образца, расположенных перпендикулярно
приложенному механическому напряжению, индуцируются электрические заряды противоположных знаков. Прямой пьезоэффект
в кристалле кварца обнаружили Жак и Пьер Кюри (1880 г.). Об-

Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 217
ратный пьезоэффект предсказан Г. Липпманом (1881 г.). Пьезоэффект наблюдается только в кристаллах, не имеющих центра симметрии (т. е. если они неинвариантны относительно инверсии).
# Электрический пробой диэлектриков и полупроводников —
резкое увеличение их электропроводности под действием внеш-
него электрического поля при достижении критического (пробивного) значения напряженности этого поля. Электрический пробой
отличается от теплового пробоя слабой зависимостью пробивной напряженности электрического поля от температуры, а также
малым временем пробоя. Электрический пробой обусловлен ударной ионизацией атомов вещества электронами зоны проводимости
и/или дырками валентной зоны (см. Зонная теория). Электрон
обладает возможностью ударной ионизации, если энергия, получаемая им от внешнего электрического поля, больше энергии, теряемой при неупругом рассеянии (на тепловых колебаниях атомов и
дефектах структуры вещества) и на испускание электромагнитного излучения. При этом электрон может ускоряться в электрическом поле до энергии, достаточной для ионизации атомов вещества
электрическим ударом и тем самым для развития лавинного процесса. Электрический пробой обычно сопровождается образованием проводящего ток канала, приводящего к локальному изменению
структуры вещества.
# Эксимер (от англ. excited dimer) — двухатомное гомоядерное
соединение, у которого возбужденные состояния образуют устойчивую химическую связь, а нижнее, основное состояние является
легко диссоциирующим. Двухатомные молекулы инертных газов —
типичные эксимеры. Их невозбужденное состояние — практически
чисто отталкивательный терм и спектроскопические резонансные
переходы двухатомных молекул, благодаря этой особенности строения электронных оболочек инертных атомов, дают непрерывные
участки спектра, перекрывая диапазон длин волн от 60 до 200 нм.
Это свойство эмиссионных спектров инертных газов дает возможность практически получать непрерывные спектры в вакуумной
ультрафиолетовой области.
# Фотонные кристаллы (ФК) — регулярные системы, в которых диэлектрическая и/или магнитная проницаемости являются трехмерно-периодическими функциями координат с периодом,
сравнимым с длиной волны света. Примером ФК являются опалы — коллоидные кристаллы, каркас которых состоит из одина-

218 Глава 12
ковых сферических частиц (глобул) аморфного диоксида кремния,
образующих простую гранецентрированную кубическую решетку.
До 26 % полного объема опала (при условии точечного контакта между шарами a-SiO2) приходится на долю пор. Диаметр частиц a-SiO2в опалах — от 0.1 до 1 мкм. Интерференцией света
в трехмерно-периодической структуре опалов определяется их искрящийся цвет, зависящий от угла падения и наблюдения.
# Оптический аналог эффекта Мёссбауэра. Оптические спек-
тры поглощения и испускания одноатомных газов состоят из ряда дискретных линий, соответствующих разным энергиям фотонов. Спектры многоатомных молекул представляют “скопления”
отдельных линий, образующих полосы различной интенсивности.
Примесные атомы и собственные дефекты в кристаллических диэлектриках обычно имеют широкие спектральные полосы со сложной структурой из-за поглощения и/или испускания ими фононов,
сопровождающих оптические переходы. Однако при низких (криогенных) температурах на фоне почти сплошной полосы проявляется узкая интенсивная бесфононная линия. (Ее ширина на полувысоте, т. е. полуширина, меньше тепловой энергии.) Узкие линии
люминесценции дефектов кристаллической структуры являются
следствием внутрицентровых бесфононных излучательных электронных переходов в дефектах. Энергия квантов, соответствующих
бесфононной линии, специфична для каждого вида (сорта) точечных дефектов кристалла. Пример: в измеренном при температуре
жидкого азота спектре электролюминесценции кремниевого р–nдиода, облученного гамма-квантами (энергия кванта 1.25 МэВ) от
источника60Co флюенсом 5·1018см−2и затем отожженного в вакууме при температуре 200◦С в течение 15 мин, наблюдается бесфононная линия (0.967 эВ), обусловленная излучательным переходом электрона в точечном дефекте этой приборной структуры.
# Бесфононные линии (БФЛ) в низкотемпературных спектрах
люминесценции точечных центров (= атомов примесей и/или собственных точечных дефектов структуры кристаллической матрицы) обусловлены чисто электронными внутрицентровыми излучательными переходами. БФЛ представляет собой оптический аналог линии Мёссбауэра. В случае оптических БФЛ взаимодействие
центров с фононами матрицы приводит к возмущению координат
центров, а в случае мёссбауэровских переходов в ядрах атомов
приводит к возмущению скоростей атомов. С вполне достаточ-

Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 219
ной точностью колебания атомов кристалла около их положений
равновесия описываются как колебания совокупности гармонических осцилляторов. Гамильтониан осциллятора инвариантен относительно взаимной перестановки координат и скоростей. На этом и
основана аналогия оптической БФЛ и линии Мёссбауэра. Для оптических БФЛ (в отличие от мёссбауэровских) характерно очень
сильное неоднородное уширение. Электронный переход подвержен
влиянию неоднородностей в строении окружающей центр кристаллической матрицы: частоты БФЛ несколько различаются в зависимости от местонахождения излучающего свет центра.
# Солнечные элементы — устройства, напрямую преобразующие
энергию излучения Солнца в электрическую энергию. Функционирование солнечных элементов обусловлено возникновением при
поглощении света в полупроводниках подвижных электронов и дырок (электронных вакансий) и разделением их по знаку заряда
электрическим полем контактов (переходов) полупроводник–полупроводник, металл–полупроводник и др.
# Сцинтиляции — кратковременные световые вспышки, возникающие в прозрачных твердых телах, жидкостях или газах из-за
действия на них ионизирующих излучений; акты радиолюминесценции. Для появления вспышек необходимо присутствие в сцинтиляторе центров люминесценции, переходящих из основного состояния в возбужденное в процессе поглощения (рассеяния) в них
энергии ионизирующего излучения и переходящих обратно из возбужденного состояния в основное посредством излучения фотонов.
# Рассеяние Мандельштама – Бриллюэна — рассеяние оптиче-
ского излучения конденсированными системами (твердыми телами
и жидкостями) происходящее из-за взаимодействия света с акустическими и оптическими фононами в этих системах. Такое рас-
сеяние монохроматического света сопровождается изменением его
спектрального состава, т. е. появлением частотных компонент в
рассеянном свете.
# Фототермоакустика — преобразование света в тепло при по-
глощении в материальной среде света, модулированного во времени по интенсивности, что обусловливает возникновение колебаний
температуры в среде и, как следствие, акустических волн.
# Комбинационное рассеяние света (КРС), неупругое рассеяние
оптического излучения на веществе, сопровождающееся изменением частоты этого излучения (Ч. Раман, К. Кришнан, Г. Ландсберг,

220 Глава 12
Л. Мандельштам; 1928 г.). При КРС в спектре рассеянного излучения появляются спектральные линии, которых нет в спектре первичного (возбуждающего) света. Число и расположение
появившихся линий определяется молекулярным строением вещества. Электромагнитное излучение частотой ν можно рассматривать как поток фотонов с энергией hν, где h — постоянная Планка. При столкновениях с молекулами фотоны рассеиваются. В случае упругого рассеивания фотоны отклоняются от первоначального
направления движения, но не изменяют своей энергии (рэлеевское рассеяние). В случае неупругого рассеивания фотона происходит обмен энергией между фотоном и молекулой (импульс
фотона много меньше импульса молекулы). Молекула при этом
может как приобрести, так и потерять часть своей энергии ∆E,
соответствующей разности энергий двух разрешенных ее состояний, точнее, величина ∆E должна быть равна изменению колебательной и/или вращательной энергий молекулы. Если молекула
приобретает энергию ∆E, то после рассеяния фотон будет иметь
энергию hν−∆E и соответственно частоту излучения ν−∆E/h. Если молекула потеряет энергию ∆E, частота рассеяния излучения
будет равна ν + ∆E/h. Излучение, рассеянное с частотой меньшей, чем у падающего на вещество света, называется стоксовым
излучением, а излучение с большей частотой называется антистоксовым. В кристаллах алмаза (c-Dia), кремния (c-Si) и германия (c-Ge), принадлежащих кубической сингонии и содержащих
по два атома в примитивной элементарной ячейке, существуют
по три оптические ветви колебаний атомов. Их кристаллическую
структуру можно представить состоящей из двух взаимопроникающих кубических гранецентрированных подрешеток Браве: каждый
атом одной подрешетки находится в центре правильного тетраэдра, в вершинах которого находятся четыре таких же атома, принадлежащие к другой подрешетке. Если одна подрешетка колеблется относительно другой (оптическая ветвь колебаний атомов),
то величина стоксовского сдвига ∆E (в миллиэлектронвольтах)
при КРС на оптических фононах из центра зоны Бриллюэна для
комнатной температуры равна: 165 (Dia), 64.2 (Si) и 37.3 (Ge).
# Дифракционный предел, минимально возможный размер све-
тового пятна, которое можно получить, фокусируя на поверхности
или внутри материала электромагнитное излучение заданной длины волны. Из-за дифракции света разрешающая способность оптического микроскопа (т. е. минимальное расстояние d
min
между
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]
