Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Физика полупроводниковых систем. Основные понятия

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
08.09.2026
Размер:
2 Мб
Скачать
☆
Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 211
примитивной элементарной ячейке. # Термин остаточные лучи означает, что в отсутствие электрон-
ных переходов ионные кристаллы, сильно поглощающие инфра­красные волны с частотой, равной частоте поперечных длинновол­новых оптических фононов (TO-фононов), обладают высокой отра­жательной способностью на тех же частотах (≈1013Гц). Кристал­лы такого типа (LiF, KBr и др.) использовались ранее (до создания лазеров) в качестве поверхностей для многократных отражений, в результате которых получались довольно монохроматические оста­точные лучи от широкополосного источника инфракрасного элек­тромагнитного излучения.
# Существуют искусственные и природные кристаллические структуры, размер которых в одном, двух или трех направлениях сопоставим со средней дебройлевской длиной волны электрона в зоне проводимости (c-зоне) и/или дырки в валентной зоне (v-зоне), а также расстоянием между электроном и дыркой при образовании ими экситона. Оптические спектры рассеяния, поглощения и излу­чения таких структур сильно зависят от их размеров.
# Диэлектрические потери — часть энергии переменного элек- трического поля, которая преобразуется в теплоту при изменении ориентации или индуцировании (наведении) электрических дипо­лей у составляющих диэлектрик молекул.
# Время релаксации показывает, насколько быстро восстанавли- вается равновесное состояние системы. Длина релаксации энер- гии частицы — произведение дрейфовой скорости частицы на вре­мя релаксации ее энергии. В проводниках электричества с раз­мерами, меньшими длины релаксации энергии, перенос “горячих” электронов (и/или дырок) происходит без рассеяния (на фононах, примесях и т. д.), т. е. баллистически.
# В электрическом поле малой амплитуды и частоты (когда не происходит “разогрев” носителей заряда) действительная часть
электропроводности кристаллического образца с зонным ме­ханизмом электропереноса меньше его статической проводимо-
сти, так как, не поспевая полностью за колебаниями электриче­ского поля, система свободных (делокализованных) зарядов ведет себя в какой-то мере как совокупность связанных зарядов. На­против, действительная часть прыжковой электропроводности по донорам на переменном токе в однородно неупорядоченных мате­риалах больше, чем на постоянном токе, так как на переменном
212 Глава 12
токе в дрейфовое движение вовлекаются и электроны, находящие­ся в несвязанных друг с другом кластерах локализованных состо­яний. В частности, в ионных кристаллах в условиях прыжковой проводимости по узлам решетки, поляроны, совершающие прыжки вокруг примесных атомов (атомных дефектов решетки) и поэтому напрямую не участвующие в проводимости на постоянном токе, обусловливают наличие участка увеличения действительной части электропроводности при увеличении частоты электрического поля. В поликристаллических материалах увеличение действительной части электропроводности с повышением угловой частоты ω элек­трического поля обусловлено тем, что на переменном токе наря­ду с носителями заряда в цепочках электрически связанных при данной температуре кристаллитов, напрямую “замыкающих” элек­троды (контактные обкладки) на постоянном токе (при ω = 0), вклад в электрическую проводимость дают также и носители за­ряда в “оборванных” (не замыкающих обкладки) цепочках кри­сталлитов. Увеличение мнимой части электропроводности поли­кристаллов при увеличении частоты обусловлено запаздыванием переходов носителей заряда между кристаллитами по отношению к изменяющемуся во времени электрическому полю.
# Причина компенсации потерь в колебательной системе ге- нератора на элементе с отрицательным дифференциальным элек­трическим сопротивлением заключается в наличии внутренней по­ложительной обратной связи, которая обеспечивает такой режим движения носителей заряда (электронов, дырок, ионов) через эле­мент, что число замедляемых переменным полем зарядов преоб­ладает над числом ускоряемых; источником энергии является “по­стоянное” электрическое поле.
# Неравновесные электронные излучательные переходы, происхо­дящие в собственном точечном дефекте кристаллической струк­туры (или в атоме примеси) без изменения колебательного состо­яния кристалла и/или излучающего “центра”, называют бесфо- нонными. Такие переходы обычно наблюдаются в случае слабого электрон-фононного взаимодействия. Спектральное распределение излучения центра состоит из узкой бесфононной линии (шири­на линии на полувысоте меньше тепловой энергии) и фононного “крыла”. В области низких температур это крыло, связанное с ис­пусканием фононов при электронных переходах, расположено со стороны меньших энергий от бесфононной линии. С повышением
Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 213
температуры у бесфононной линии со стороны больших энергий появляется крыло, связанное с поглощением фононов при элек­тронных излучательных переходах.
# Пространственная когерентность света — согласованность фаз световой волны в различных точках пространства в один мо­мент времени. Временн´ая когерентность — согласованность фаз светового колебания в одной точке пространства; излучение с ши­риной спектра δf обладает временной когерентностью в течение интервала времени 1/δf.
# Квантовый генератор (лазер): [Усиление за счет вынужденного испускания фотонов в веществе с инверсной заселенностью элек­тронных и/или колебательных, вращательных и т. д. уровней энер­гии] + [Спонтанная эмиссия фотонов] = [Потери в резонаторе и на когерентное электромагнитное излучение].
# Признаки генерации когерентного электромагнитного из- лучения: 1) увеличение интенсивности излучения, носящее поро­говый характер; 2) спектральное сужение и появление в спектре линии (или нескольких линий в многомодовом режиме), энерге­тическая ширина которой на полувысоте много меньше тепловой энергии; 3) появление более острой направленности излучения на фоне диффузной направленности спонтанного излучения (иногда говорят о формировании светового пятна лазерного излучения в дальней зоне); 4) появление пятнистой структуры на излучающей грани лазерного диода (иногда говорят о формировании пятен в ближней зоне, т. е. на излучающем зеркале) при постоянной плот­ности электрического тока в диоде.
# В полупроводниковом лазере генерируется когерентное элек- тромагнитное излучение благодаря вынужденным квантовым пе­реходам с участием свободных носителей заряда в кристалле — электронов и дырок. Длина волны λ излучения полупроводнико­вого лазера связана с шириной запрещенной зоны Egполупро­водника соотношением: λ ≈ 2πћc/˜nEg, где c/˜n — скорость света в полупроводнике с показателем преломления˜n. В твердотельных лазерах (на основе диэлектрических кристаллов) рабочими кван­товыми переходами являются переходы “внутри” примесных цен­тров, поэтому их оптический спектр определяется сортом примеси и ее позицией (в узле или междоузлии кристаллической решетки).
# Поляритон — квазичастица в кристаллических диэлектриках и полупроводниках с ионно-ковалентной химической связью меж-
214 Глава 12
ду атомами, сопоставляемая связанным между собой поперечному оптическому фонону и фотону, имеющим почти одинаковые энер­гии и (квази)импульсы. Распространение электромагнитной волны в кристалле сопровождается его поляризацией, которая оказыва­ет обратное воздействие на волну. Видоизмененный в результате поляризации фотон называется “поляритон”. Квантовому понятию поляритона или “фотона в поляризуемом кристалле” соответству­ет классическое понятие “собственной электромагнитной волны”, аналогично тому, как собственным колебаниям и волнам кристал­лической решетки соответствуют фононы. В понятии “поляритона” отражен тот факт, что фотоны и элементарные возбуждения в кри­сталле (фононы, экситоны, плазмоны и др.) могут смешиваться, причем квант смешанного возбуждения состоит из энергии меха­нического движения (решетки, электронной и/или дырочной плаз­мы и т. д.) и энергии электромагнитного поля. Так как тепловые движения электронов, дырок и ионных остовов сопровождаются и излучением, и поглощением фотонов, то поляритоны существуют в кристалле и в состоянии термодинамического равновесия.
# Пироэлектрический эффект — изменение поляризации кри- сталла без центра симметрии при нагревании: возникают новые заряды, которые не успевают нейтрализоваться ионами, содержа­щимися в воздухе при лабораторных условиях.
# Сегнетоэлектрики — кристаллические диэлектрики, обладаю- щие в определенном интервале температур спонтанной электриче­ской поляризацией (однородной или в виде доменов). Зависимость поляризации от величины напряженности и направления прило­женного извне постоянного электрического поля имеет вид пет­ли гистерезиса. Необходимыми условиями возникновения сегнето­электрических свойств являются отсутствие центра симметрии (операции инверсии) и наличие хотя бы одного неэквивалентного направления в кристаллической структуре, т. е. сегнетоэлектриче­ский кристалл должен быть пьезо- и пироэлектрическим, однако обратное не обязательно.
# Сегнетоэлектрик (диэлектрический аналог ферромагнетика), материал, обладающий в определенной области температур и/или напряженностей внешнего электрического поля поляризацией с доменной структурой (т. е. имеются участки, различающиеся на­правлением вектора электрической поляризации). Структурирова­ние (иначе доменизация) электрической поляризации в сегнето-
Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 215
электрическом материале определяется типом химической связи и допустимыми модами колебательных движений образующих ди­электрик атомов.
# Система оптически бистабильна, если при одном и том же значении входного оптического сигнала в некоторой области его изменения выходной сигнал имеет два уровня интенсивности. Что­бы получить бистабильный отклик, одной нелинейности системы недостаточно. Необходима еще обратная связь, которая создает двузначность нелинейного пропускания, т. е. бистабильность. Та- ким образом, в оптическом бистабильном элементе интенсивность выходящего света имеет гистерезисную зависимость от интенсив­ности входящего, а коэффициент пропускания — два устойчивых значения. Простейший бистабильный элемент — резонатор Фаб- ри – Перо, составленный из двух полупрозрачных зеркал, между которыми помещен материал, изменяющий показатель преломле­ния в зависимости от интенсивности распространяющегося в нем света. Если свет входит в резонатор в отсутствие резонанса, про­исходят многократные отражения, которые быстро ослабляют ин­тенсивность, и излучение практически не выходит из резонатора. При увеличении интенсивности входящего света изменяется пока­затель преломления вещества, помещенного в резонатор, изменяя фазу излучения. В результате этого настает момент, когда возни­кает резонанс, и свет проходит сквозь резонатор.
# Спонтанное нарушение симметрии системы связано с тем, что ее состояние с нарушенной симметрией энергетически более выгодно. Капля воды, “лежащая” при лабораторных условиях на плоском кварцевом стекле (a-SiO2), — пример нарушения симмет­рии, поскольку взаимодействие молекул H2O между собой и с мо­лекулами SiO2допускает более симметричное состояние, когда во­да распределена в виде монослоя по кварцу, но это состояние для капель энергетически невыгодно. Кристалл — пример нарушения симметрии относительно поворота его на угол 2π/5. Спонтанное изменение симметрии квазиодномерных кристаллов может проис­ходить при их охлаждении (переход Пайерлса). Вообще, симмет­рию межатомных взаимодействий в твердых телах полнее отража­ло бы однородное расположение атомов, как в жидкости.
# В вакууме интенсивность лазерного излучения I0и амплиту-
да вектора напряженности E0электрической компоненты поля
излучения связаны так: I0= E
2
/2Z0, где Z0=pµ0/ε0≈ 377 Ом —
0
216 Глава 12
импеданс свободного пространства, ε0= 8.85 пФ/м — электри­ческая постоянная, µ0= 1.26 мкГн/м — магнитная постоянная; c = 1/√ε0µ0— скорость света в вакууме.
# Альбедо — отношение интенсивности отраженного от тела электромагнитного излучения к интенсивности падающего. Тер­мин “альбедо” употребляют, когда говорят о широкой полосе длин волн, тогда как применительно к монохроматическому излучения говорят об отражательной способности.
# Электрооптика — раздел оптики, в котором исследуется вза- имодействие оптического излучения с веществом, помещенным в квазистационарное электрическое поле. Действие электрического поля на атомы (молекулы) приводит к сдвигу и расщеплению их уровней энергии (эффект Штарка). В результате этого спек­тральные линии распадаются на компоненты, отличающиеся часто­той и поляризацией. Несовпадение линий поглощения для различ­ных поляризаций света приводит к наведенному полем дихроизму и двулучепреломлению. Влияние электрического поля на оптиче­ские свойства изотропной конденсированной системы, состоящей из молекул с собственным электрическим дипольным моментом или анизотропией поляризуемости, приводит к тому, что система приобретает свойства одноосного кристалла. Этот ориентационный эффект сильно выражен в жидких кристаллах. При наложении электрического поля на кристаллические материалы наблюдает­ся появление оптической анизотропии, обусловленной установ­лением различий в средних расстояниях между атомами вдоль и поперек поля (стрикционный эффект). Материалы, изменяющие оптические свойства под действием электрического поля (электро­оптические материалы) применяются для управления оптическим излучением, в жидкокристаллических дисплеях и др.
# Пьезоэлектрик — кристаллический диэлектрик конечных раз- меров, который поляризуется под действием приложенного к нему механического напряжения в пределах упругих деформаций (пря­мой пьезоэффект) и обратимо изменяет свои размеры (упруго де­формируется) под действием внешнего электрического поля (об­ратный пьезоэффект). При прямом пьезоэлектрическом эффекте на двух поверхностях образца, расположенных перпендикулярно приложенному механическому напряжению, индуцируются элек­трические заряды противоположных знаков. Прямой пьезоэффект в кристалле кварца обнаружили Жак и Пьер Кюри (1880 г.). Об-
Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 217
ратный пьезоэффект предсказан Г. Липпманом (1881 г.). Пьезоэф­фект наблюдается только в кристаллах, не имеющих центра сим­метрии (т. е. если они неинвариантны относительно инверсии).
# Электрический пробой диэлектриков и полупроводников — резкое увеличение их электропроводности под действием внеш- него электрического поля при достижении критического (пробив­ного) значения напряженности этого поля. Электрический пробой отличается от теплового пробоя слабой зависимостью пробив­ной напряженности электрического поля от температуры, а также малым временем пробоя. Электрический пробой обусловлен удар­ной ионизацией атомов вещества электронами зоны проводимости и/или дырками валентной зоны (см. Зонная теория). Электрон обладает возможностью ударной ионизации, если энергия, получа­емая им от внешнего электрического поля, больше энергии, теря­емой при неупругом рассеянии (на тепловых колебаниях атомов и дефектах структуры вещества) и на испускание электромагнитно­го излучения. При этом электрон может ускоряться в электриче­ском поле до энергии, достаточной для ионизации атомов вещества электрическим ударом и тем самым для развития лавинного про­цесса. Электрический пробой обычно сопровождается образовани­ем проводящего ток канала, приводящего к локальному изменению структуры вещества.
# Эксимер (от англ. excited dimer) — двухатомное гомоядерное соединение, у которого возбужденные состояния образуют устой­чивую химическую связь, а нижнее, основное состояние является легко диссоциирующим. Двухатомные молекулы инертных газов — типичные эксимеры. Их невозбужденное состояние — практически чисто отталкивательный терм и спектроскопические резонансные переходы двухатомных молекул, благодаря этой особенности стро­ения электронных оболочек инертных атомов, дают непрерывные участки спектра, перекрывая диапазон длин волн от 60 до 200 нм. Это свойство эмиссионных спектров инертных газов дает возмож­ность практически получать непрерывные спектры в вакуумной ультрафиолетовой области.
# Фотонные кристаллы (ФК) — регулярные системы, в кото­рых диэлектрическая и/или магнитная проницаемости являют­ся трехмерно-периодическими функциями координат с периодом, сравнимым с длиной волны света. Примером ФК являются опа­лы — коллоидные кристаллы, каркас которых состоит из одина-
218 Глава 12
ковых сферических частиц (глобул) аморфного диоксида кремния, образующих простую гранецентрированную кубическую решетку. До 26 % полного объема опала (при условии точечного контак­та между шарами a-SiO2) приходится на долю пор. Диаметр ча­стиц a-SiO2в опалах — от 0.1 до 1 мкм. Интерференцией света в трехмерно-периодической структуре опалов определяется их ис­крящийся цвет, зависящий от угла падения и наблюдения.
# Оптический аналог эффекта Мёссбауэра. Оптические спек- тры поглощения и испускания одноатомных газов состоят из ря­да дискретных линий, соответствующих разным энергиям фото­нов. Спектры многоатомных молекул представляют “скопления” отдельных линий, образующих полосы различной интенсивности. Примесные атомы и собственные дефекты в кристаллических ди­электриках обычно имеют широкие спектральные полосы со слож­ной структурой из-за поглощения и/или испускания ими фононов, сопровождающих оптические переходы. Однако при низких (крио­генных) температурах на фоне почти сплошной полосы проявляет­ся узкая интенсивная бесфононная линия. (Ее ширина на полувы­соте, т. е. полуширина, меньше тепловой энергии.) Узкие линии люминесценции дефектов кристаллической структуры являются следствием внутрицентровых бесфононных излучательных элек­тронных переходов в дефектах. Энергия квантов, соответствующих бесфононной линии, специфична для каждого вида (сорта) точеч­ных дефектов кристалла. Пример: в измеренном при температуре жидкого азота спектре электролюминесценции кремниевого р–n­диода, облученного гамма-квантами (энергия кванта 1.25 МэВ) от источника60Co флюенсом 5·1018см−2и затем отожженного в ва­кууме при температуре 200◦С в течение 15 мин, наблюдается бес­фононная линия (0.967 эВ), обусловленная излучательным перехо­дом электрона в точечном дефекте этой приборной структуры.
# Бесфононные линии (БФЛ) в низкотемпературных спектрах люминесценции точечных центров (= атомов примесей и/или соб­ственных точечных дефектов структуры кристаллической матри­цы) обусловлены чисто электронными внутрицентровыми излуча­тельными переходами. БФЛ представляет собой оптический ана­лог линии Мёссбауэра. В случае оптических БФЛ взаимодействие центров с фононами матрицы приводит к возмущению координат центров, а в случае мёссбауэровских переходов в ядрах атомов приводит к возмущению скоростей атомов. С вполне достаточ-
Оптические и электрические свойства полупроводниковых материалов 219
ной точностью колебания атомов кристалла около их положений равновесия описываются как колебания совокупности гармониче­ских осцилляторов. Гамильтониан осциллятора инвариантен отно­сительно взаимной перестановки координат и скоростей. На этом и основана аналогия оптической БФЛ и линии Мёссбауэра. Для оп­тических БФЛ (в отличие от мёссбауэровских) характерно очень сильное неоднородное уширение. Электронный переход подвержен влиянию неоднородностей в строении окружающей центр кристал­лической матрицы: частоты БФЛ несколько различаются в зави­симости от местонахождения излучающего свет центра.
# Солнечные элементы — устройства, напрямую преобразующие энергию излучения Солнца в электрическую энергию. Функцио­нирование солнечных элементов обусловлено возникновением при поглощении света в полупроводниках подвижных электронов и ды­рок (электронных вакансий) и разделением их по знаку заряда электрическим полем контактов (переходов) полупроводник–полу­проводник, металл–полупроводник и др.
# Сцинтиляции — кратковременные световые вспышки, возни­кающие в прозрачных твердых телах, жидкостях или газах из-за действия на них ионизирующих излучений; акты радиолюминес­ценции. Для появления вспышек необходимо присутствие в сцин­тиляторе центров люминесценции, переходящих из основного со­стояния в возбужденное в процессе поглощения (рассеяния) в них энергии ионизирующего излучения и переходящих обратно из воз­бужденного состояния в основное посредством излучения фотонов.
# Рассеяние Мандельштама – Бриллюэна — рассеяние оптиче- ского излучения конденсированными системами (твердыми телами и жидкостями) происходящее из-за взаимодействия света с аку­стическими и оптическими фононами в этих системах. Такое рас- сеяние монохроматического света сопровождается изменением его спектрального состава, т. е. появлением частотных компонент в рассеянном свете.
# Фототермоакустика — преобразование света в тепло при по- глощении в материальной среде света, модулированного во време­ни по интенсивности, что обусловливает возникновение колебаний температуры в среде и, как следствие, акустических волн.
# Комбинационное рассеяние света (КРС), неупругое рассеяние оптического излучения на веществе, сопровождающееся изменени­ем частоты этого излучения (Ч. Раман, К. Кришнан, Г. Ландсберг,
220 Глава 12
Л. Мандельштам; 1928 г.). При КРС в спектре рассеянного из­лучения появляются спектральные линии, которых нет в спек­тре первичного (возбуждающего) света. Число и расположение появившихся линий определяется молекулярным строением веще­ства. Электромагнитное излучение частотой ν можно рассматри­вать как поток фотонов с энергией hν, где h — постоянная План­ка. При столкновениях с молекулами фотоны рассеиваются. В слу­чае упругого рассеивания фотоны отклоняются от первоначального направления движения, но не изменяют своей энергии (рэлеев­ское рассеяние). В случае неупругого рассеивания фотона про­исходит обмен энергией между фотоном и молекулой (импульс фотона много меньше импульса молекулы). Молекула при этом может как приобрести, так и потерять часть своей энергии ∆E, соответствующей разности энергий двух разрешенных ее состоя­ний, точнее, величина ∆E должна быть равна изменению коле­бательной и/или вращательной энергий молекулы. Если молекула приобретает энергию ∆E, то после рассеяния фотон будет иметь энергию hν−∆E и соответственно частоту излучения ν−∆E/h. Ес­ли молекула потеряет энергию ∆E, частота рассеяния излучения будет равна ν + ∆E/h. Излучение, рассеянное с частотой мень­шей, чем у падающего на вещество света, называется стоксовым излучением, а излучение с большей частотой называется анти­стоксовым. В кристаллах алмаза (c-Dia), кремния (c-Si) и герма­ния (c-Ge), принадлежащих кубической сингонии и содержащих по два атома в примитивной элементарной ячейке, существуют по три оптические ветви колебаний атомов. Их кристаллическую структуру можно представить состоящей из двух взаимопроникаю­щих кубических гранецентрированных подрешеток Браве: каждый атом одной подрешетки находится в центре правильного тетраэд­ра, в вершинах которого находятся четыре таких же атома, при­надлежащие к другой подрешетке. Если одна подрешетка колеб­лется относительно другой (оптическая ветвь колебаний атомов), то величина стоксовского сдвига ∆E (в миллиэлектронвольтах) при КРС на оптических фононах из центра зоны Бриллюэна для комнатной температуры равна: 165 (Dia), 64.2 (Si) и 37.3 (Ge).
# Дифракционный предел, минимально возможный размер све- тового пятна, которое можно получить, фокусируя на поверхности или внутри материала электромагнитное излучение заданной дли­ны волны. Из-за дифракции света разрешающая способность оп­тического микроскопа (т. е. минимальное расстояние d
min
между