- •Лекция №1 Исторический экскурс
- •Лекция №2 Кинетическая теория газов
- •Изменение количества движения при ударе молекулы
- •Лекция №4 Поведение реальных газов и паров
- •Лекция №5 Длина свободного пробега молекул
- •Графически данное выражение представлено на рис.10
- •Примеры:
- •Лекция №6 Явление переноса
- •Лекция №7 Основы процесса откачки. Термины и определения.
- •Лекция №8. Средства получения вакуума.
- •Лекция №9 Вращательные насосы
- •Если мы разделим все выражение на р, то получим
- •Лекция №10 Жидкосно–кольцевые вакуумные насосы
- •Лекция №11 Двухроторные насосы (насосы Рутса)
- •Лекция №12 Диффузионные насосы
- •Лекция №13 Молекулярные насосы
- •Лекция №14 Сорбция газов и паров твердыми телами
- •Лекция №15 Адсорбционные насосы
- •Лекция №16 Геттерно – ионные насосы
- •Лекция № 17 Криогенные насосы (крионасосы)
- •Лекция №18 Принципы измерения вакуума
- •Лекция №19 Механические (деформационные) манометры
- •Лекция №20 Тепловые манометры
- •Лекция №21 Ионизационные манометры.
- •Лекция №22 Приборы для измерения парциальных давлений - масс-спектрометры
- •Лекция №23 Течеискание
- •Лекция №24 Конструкция рабочей камеры вакуумного оборудования.
- •Компоновка вакуумных технологических линий
- •Лекция №25 Структура компоновок многокамерного вакуумного технологического оборудования
- •Лекция 26 Элементы вакуумной арматуры
- •Фланец разъемный
- •Токоввод силовой
- •Термопарный ввод
- •Смотровые окна
- •Вводы вращения в вакуум
- •Вводы поступательного движения в вакуум
- •Конструкция внутреннего камерного устройства.
- •1. Газовыделение (десорбция) с внутренних поверхностей. Для ненагретых поверхностей:
- •2. Испарение. Поток газа, испаряемый с поверхностей легкоиспаряемых материалов (вакуумного масла, цинка, органических соединений, находящихся на поверхности) может быть найден по формуле:
- •Тогда поток испаряющегося масла:
- •3. Проницаемость. Поток газопроницаемости тонкостенного элемента по I-му газу (h2, He и т. Д.) может быть рассчитан по формуле
- •4. Натекание.
- •Лекция 28. Расчёт газовыделения из кинематических пар.
- •Пример 2: рассчитать газовыделение qк из шарикоподшипника серии 100 в вакууме при следующих параметрах:
- •4. Планетарно-винтовая передача.
- •Лекция №29 адсорбция и десорбция газов
- •Скорости адсорбции и десорбции
- •Лекция №30
- •4.1. Растворимость и газосодержание в твердых телах
- •Диффузия и проницаемость газов в твердых телах
- •Нестационарный процесс диффузии
- •Совместное влияние диффузии и адсорбции на газовыделение
Лекция №9 Вращательные насосы
(Механические “масляные” насосы)
Немецкий инженер Геде в 1911 году сконструировал два типа механических вращательных насосов (пластинчато-роторный и пластинчато-статорный) которые практически без существенных изменений используются до настоящего времени.
Принципы работы насоса заключается в том, что вращающийся ротор и неподвижный статор образуют замкнутый объём, увеличивающийся в размере и всасывающий газ. Для уплотнения движущихся частей насоса используют жидкости (вакуумное масло ВМ-4) с низким давлением насыщенных паров. Первоначально Геде пытался использовать ртуть, которую затем заменил на масло.
Схема вращательного пластинчато-статорного насоса показана на рис. 19, где
1 - впускной патрубок,
2 - корпус,
3 - пластины,
4 - ротор,
5 - выпускной патрубок,
6 – выпускной (шариковый клапан),
7 – масло,
8 – пружина между пластинами (не
обязательно).
Рабочие зоны насоса :
I – область всасывания,
II – область переноса,
III – область сжатия.
Рис.19
Насос состоит из стального ротора 4, закрепленного эксцентрично внутри стального корпуса 2. Две пластины 3 скользят внутри ротора 4 и плотно прижимаются к внутренним стенкам корпуса 2 с помощью пружины 8 или центробежной силой. При вращении ротора с пластинами откачиваемый газ по впускному патрубку 1 входит в область всасывания I, которая расширяется. Затем газ захватывается следующей пластиной, образуя область переноса II, переносится к впускному патрубку 5, образуя область сжатия, где сжимается до атмосферного давления и выбрасывается из насоса через клапан 6.
“Геометрическая” быстрота откачки (измеряемая на входном отверстии статора) составит:
Sг=2V1*n/60 [м3*с-1]
где V1- максимальный объем всасывающей области, м3
V1
n – частота вращения ротора, с-1;
D – диаметр статора, м;
d – диаметр ротора, м ;
W – ширина ротора (статора), м.
Максимальная быстрота действия Smax меньше геометрической из-за влияния впускного патрубка, ограничивающего пропускную способность
Smax =
где U – проводимость впускного патрубка 1.
Реальная быстрота откачки меньше максимальной геометрической из-за обратного потока газов и натекания. Суммарный поток газа, проходящий через насос:
Q = Q пр – Q обр
Q пр , Q обр – прямой и обратный потоки газа в насосе.
Из уравнения стационарного потока (существующего в насосе ):
Q = Q пр – Q обр = SmaxP - Qобр
где P - впускное давление насоса, Па
В соответствии с определением понятия предельный вакуум PI мы можем записать:
если P = PI , то Q = 0, откуда Qпр=Qобр
Q = 0 = SmaxPI – Qобр, откуда Qобр = SmaxPI
тогда SнP = Smax P - SmaxPI