2. Токоввод силовой

а) Высоковакуумный силовой токоввод (Т_прогр≤100°С)

Рис. 67 Высоковакуумный силовой токоввод

Обозначения: 1 - стенка вакуумной камеры (сталь 1Х18Н10Т непрогретая); 2 - токоввод (сталь 1Х18Н10Т или мдь М1); 3 - уплотнение резиновое; 4 - изоляционная втулка; 5 - натяжная суппортная гайка.

б) Сверхвысоковакуумный силовой токоввод (Т_прогр≤450°С)

Рис. 68 Сверхвысоковакуумный силовой токоввод

Обозначения: 1 - стенка вакуумной камеры из стали 1Х18Н10Т прогретая (Dу16÷Dу40); 2,4 - ковар (спрессованный слой с керамикой) FeNiCo; 3 – керамика вакуум-плотная q_г~q_{г нерж.ст.} ~(22ХС) Al₂O₃ основа; 5 – токоввод, сталь 1Х18Н10Т.

3. Термопарный ввод

а) Высоковакуумный термопарный ввод (Т_прогр≤100°С, Р`=10⁵÷10^-5Па)

Рис. 69 Высоковакуумный термопарный ввод

Обозначения: 1 – корпус ввода (с отверстием); 2 – уплотнение (прокладка кольцевая); 3 – стенка вакуумной камеры сталь 1Х18Н10Т; 4 – изоляторы; 5 – гайка уплотнительная; 6 – пробка уплотнитель; 7 – поршень; 8 – нажимная гайка; 9 – нить термопары.

б) Сверхвысоковакуумный термопарный ввод (Т_прогр≤450°С, Р`=10⁵÷10^-12 Па)

Рис. 70 Сверхвысоковакуумный термопарный ввод

Обозначения: 1 – стенка вакуумной камеры сталь 1Х18Н10Т; 2 – коваровый переход (фланец Dу40); 3 – керамика вакуумплотная; 4 – коваровый колпачок (переход); 5 – трубка (Ag) – токоввод; 6 – нити термопары.

4. Смотровые окна

а) Высоковакуумное смотровое окно (Т_прогр≤100°С)

Рис.71 Высоковакуумное смотровое окно

Обозначения: 1 – нажимные болты; 2 – нажимной фланец; 3 – нажимная прокладка (резина, картон, кожа); 4 – стекло вакуумплотное; 5 – уплотнение; 6,8 – кольцо стопорное; 7 – защитное стекло (тонкое).

б) Сверхвысоковакуумное смотровое окно (300°С<Т_прогр≤450°С)

Рис. 72 Сверхвысоковакуумное смотровое окно

Обозначения: 1 – стекло, впаянное на ковар; 2 – ковар (для согласования перехода); 3 – стенка (фланец Dу40-100); 4 – стопорное кольцо; 5 – защитное стекло; 6 – стопорное кольцо.

5. Вводы вращения в вакуум

а) Высоковакуумные манжетные вводы вращения (ОСТ 11 ПО 426.000-72 Разработчики Е.А. Деулин, Ю.В. Панфилов)

Рис. 73 Высоковакуумный манжетный ввод вращения. (Т_прогр≤100°С)

Обозначения: 1 – натяжной болт; 2 – нажимной фланец; 3 – вспомогательная манжета; 4 – нажимная втулка; 5 – сальник (фетр) с маслом д/упл.; 6 – рабочая манжета; 7 - корпус

Поток газовыделения из высоковакуумного манжетного ввода вращения

Q = q _u* F_u + q _{г рез}* F _рез + q _п * F_рез + Q_н + q _{г ст} * F _ст + q _к * F _к ≈ 10^-6 ÷ 10^-8 м³*Па*с^-1

где

q _u – удельный поток испарения смазки (уплотняющей место контакта манжеты)q_u=10^-4 м*Па*с^-1

Q_н – поток натекания через место подвижного контакта манжеты; Q_н =10^-9 ÷ 10^-7 м³*Па*с^-1 (меняется с наработкой из-за износа)

q _к – удельное газовыделение кинематических пар, для шарикоподшипника q_к= 10^-1÷10^-2м*Па*с^-1

(зависит от нагрузки и частоты вращения)

F_u – площадь покрытая смазкой, м2 (может занимать очень большие поверхности из-за миграции масла, определяется экспериментально)

F _к - площадь контакта кинематической пары, F _к ≈ 10^-5 ÷ 10^-8 м² (рассчитывается).

б) Сверхвысоковакуумные сильфонные вводы вращения (вводы - муфты) ОСТ11 ПО 426.000-72 Разработчик Е.А. Деулин.

Рис. 74 Схема сверхвысоковакуумного сильфонного ввода вращения.

Обозначения: 1 – входной вал; 2 – сильфон; 3 – глухая втулка (колебательный промежуточный элемент; 4 – выходной вал; 5 – корпус ввода (Dу16-100); 6 – стенка вакуумной камеры.

Поток газовыделения из сверхвысоковакуумного сильфонного ввода вращения

Q = q`_{г ст} * F _ст + q _{п ст} * F _сильф + q _к * F _к

где

q_{п ст} – удельный поток газопроницаемости стального сильфона q_{п ст} ≈ 10^-9 ÷ 10^-7 м*Па*с^-1 (зависит от толщины и температуры работы)