- •Лекция №1 Исторический экскурс
- •Лекция №2 Кинетическая теория газов
- •Изменение количества движения при ударе молекулы
- •Лекция №4 Поведение реальных газов и паров
- •Лекция №5 Длина свободного пробега молекул
- •Графически данное выражение представлено на рис.10
- •Примеры:
- •Лекция №6 Явление переноса
- •Лекция №7 Основы процесса откачки. Термины и определения.
- •Лекция №8. Средства получения вакуума.
- •Лекция №9 Вращательные насосы
- •Если мы разделим все выражение на р, то получим
- •Лекция №10 Жидкосно–кольцевые вакуумные насосы
- •Лекция №11 Двухроторные насосы (насосы Рутса)
- •Лекция №12 Диффузионные насосы
- •Лекция №13 Молекулярные насосы
- •Лекция №14 Сорбция газов и паров твердыми телами
- •Лекция №15 Адсорбционные насосы
- •Лекция №16 Геттерно – ионные насосы
- •Лекция № 17 Криогенные насосы (крионасосы)
- •Лекция №18 Принципы измерения вакуума
- •Лекция №19 Механические (деформационные) манометры
- •Лекция №20 Тепловые манометры
- •Лекция №21 Ионизационные манометры.
- •Лекция №22 Приборы для измерения парциальных давлений - масс-спектрометры
- •Лекция №23 Течеискание
- •Лекция №24 Конструкция рабочей камеры вакуумного оборудования.
- •Компоновка вакуумных технологических линий
- •Лекция №25 Структура компоновок многокамерного вакуумного технологического оборудования
- •Лекция 26 Элементы вакуумной арматуры
- •Фланец разъемный
- •Токоввод силовой
- •Термопарный ввод
- •Смотровые окна
- •Вводы вращения в вакуум
- •Вводы поступательного движения в вакуум
- •Конструкция внутреннего камерного устройства.
- •1. Газовыделение (десорбция) с внутренних поверхностей. Для ненагретых поверхностей:
- •2. Испарение. Поток газа, испаряемый с поверхностей легкоиспаряемых материалов (вакуумного масла, цинка, органических соединений, находящихся на поверхности) может быть найден по формуле:
- •Тогда поток испаряющегося масла:
- •3. Проницаемость. Поток газопроницаемости тонкостенного элемента по I-му газу (h2, He и т. Д.) может быть рассчитан по формуле
- •4. Натекание.
- •Лекция 28. Расчёт газовыделения из кинематических пар.
- •Пример 2: рассчитать газовыделение qк из шарикоподшипника серии 100 в вакууме при следующих параметрах:
- •4. Планетарно-винтовая передача.
- •Лекция №29 адсорбция и десорбция газов
- •Скорости адсорбции и десорбции
- •Лекция №30
- •4.1. Растворимость и газосодержание в твердых телах
- •Диффузия и проницаемость газов в твердых телах
- •Нестационарный процесс диффузии
- •Совместное влияние диффузии и адсорбции на газовыделение
Лекция №11 Двухроторные насосы (насосы Рутса)
Принцип работы насосов Рутса, предложенный в 1857 г впервые был успешно использован в доменных воздуходувках, сейчас такие насосы успешно используются в вакуумной технике в качестве механических бустерных насосов ( т.е. вспомогательных насосов, улучшающих работу последовательно соединенных с ними высоковакуумных диффузионных) насосов.
Рис.25
1 - впускной патрубок (фланец),
2 - корпус,
3 – роторы, выполненные в форме “восьмерок”,
4 - вал,
5 - выпускной патрубок (фланец)
Насос использует два встречно-вращающихся ротора, выполненных в форме восьмерок . Принцип работы насоса (рис. 25) основан на том, что роторы 3 при вращении захватывают карманом, образованным боковой поверхностью ротора и статора, порцию откачиваемого газа из области, находящейся у впускного патрубка, и переносят его в область выхлопного патрубка. Обязательным требованием к конструкции роторов является чрезвычайно высокая точность их изготовления. При их встречном вращении величина зазора δ между поверхностями роторов не должна превышать 0,05 мм, при этом касание роторов недопустимо, т.к. приводит к их разогреву и заклиниванию. Увеличение зазора δ приводит к увеличению обратного потока газа и к снижению эффективности работы.
Обычно двухроторный насос устанавливают между механическим и диффузионным насосами. Двухроторный насос может работать с выхлопом в атмосферу, но это не рекомендуется из-за большого обратного потока газов через зазоры δ , а также из-за нагрева насоса, приводящего его к заклиниванию.
Геометрическая быстрота действия насоса:
SГ = 2πRWn0.5/60 [м3*с-1]
где R– радиус ротора , м
W - ширина ротора (статора), м
2 – количество роторов
0,5 – коэффициент, учитывающий относительный объем карманов ,
образуемых ротором и статором
n – частота вращения роторов, с-1
(Частота вращения роторов составляет 1500 – 4000 об/мин или n 25-70 с-1)
Суммарный поток газа, откачиваемый насосом:
Q = Q пр – Q обр [ м3*Па/с]
где Q пр ,Q обр – прямой и обратный потоки, соответственно.
Это выражение можно записать более подробно:
[м3*Па/с]
где P,Pобр – впускное и обратное давление насоса соответственно, Па
Uδ – суммарная проводимость зазоров (между роторами и между корпусом
и роторами), которые определяют обратный поток, м3*с-1
Разделив левую и правую части уравнения на Р получаем значение быстроты откачки: [м3*с-1]
График зависимости быстроты действия двухроторного насоса от впускного давления показан на рис. 26. Из этого графика видно, что наибольшей быстротой действия насос обладает в области 102 –10-2 тор (104-1Па), т.е. в той области где малоэффективными являются как механический (масляный), так и диффузионный насосы, что объясняет эффективность создания вакуумных агрегатов, состоящих из трех последовательно соединенных насосов: диффузионного, двухроторного, вращательного механического.
Рис.26
Типовые насосы: ДВН – 500 (Россия) быстрота действия SH = 500 л*с-1
ЕН – 500 (Англия “Эдвардс”) SH = 500 л*с-1