- •Лекция №1 Исторический экскурс
- •Лекция №2 Кинетическая теория газов
- •Изменение количества движения при ударе молекулы
- •Лекция №4 Поведение реальных газов и паров
- •Лекция №5 Длина свободного пробега молекул
- •Графически данное выражение представлено на рис.10
- •Примеры:
- •Лекция №6 Явление переноса
- •Лекция №7 Основы процесса откачки. Термины и определения.
- •Лекция №8. Средства получения вакуума.
- •Лекция №9 Вращательные насосы
- •Если мы разделим все выражение на р, то получим
- •Лекция №10 Жидкосно–кольцевые вакуумные насосы
- •Лекция №11 Двухроторные насосы (насосы Рутса)
- •Лекция №12 Диффузионные насосы
- •Лекция №13 Молекулярные насосы
- •Лекция №14 Сорбция газов и паров твердыми телами
- •Лекция №15 Адсорбционные насосы
- •Лекция №16 Геттерно – ионные насосы
- •Лекция № 17 Криогенные насосы (крионасосы)
- •Лекция №18 Принципы измерения вакуума
- •Лекция №19 Механические (деформационные) манометры
- •Лекция №20 Тепловые манометры
- •Лекция №21 Ионизационные манометры.
- •Лекция №22 Приборы для измерения парциальных давлений - масс-спектрометры
- •Лекция №23 Течеискание
- •Лекция №24 Конструкция рабочей камеры вакуумного оборудования.
- •Компоновка вакуумных технологических линий
- •Лекция №25 Структура компоновок многокамерного вакуумного технологического оборудования
- •Лекция 26 Элементы вакуумной арматуры
- •Фланец разъемный
- •Токоввод силовой
- •Термопарный ввод
- •Смотровые окна
- •Вводы вращения в вакуум
- •Вводы поступательного движения в вакуум
- •Конструкция внутреннего камерного устройства.
- •1. Газовыделение (десорбция) с внутренних поверхностей. Для ненагретых поверхностей:
- •2. Испарение. Поток газа, испаряемый с поверхностей легкоиспаряемых материалов (вакуумного масла, цинка, органических соединений, находящихся на поверхности) может быть найден по формуле:
- •Тогда поток испаряющегося масла:
- •3. Проницаемость. Поток газопроницаемости тонкостенного элемента по I-му газу (h2, He и т. Д.) может быть рассчитан по формуле
- •4. Натекание.
- •Лекция 28. Расчёт газовыделения из кинематических пар.
- •Пример 2: рассчитать газовыделение qк из шарикоподшипника серии 100 в вакууме при следующих параметрах:
- •4. Планетарно-винтовая передача.
- •Лекция №29 адсорбция и десорбция газов
- •Скорости адсорбции и десорбции
- •Лекция №30
- •4.1. Растворимость и газосодержание в твердых телах
- •Диффузия и проницаемость газов в твердых телах
- •Нестационарный процесс диффузии
- •Совместное влияние диффузии и адсорбции на газовыделение
4. Натекание.
Определяется чувствительностью течеискателя, используемого при контроле.
Т ак, для высоковакумных непрогреваемых системы, герметичность системы проверяется с помощью галоидного течеискателя, для которого максимальная чувствительность( минимальный поток натекания) составляет:
При проверке с помощью масс-спектрометрического течеискателя (без азота) чувствительность метода, соответственно, расчетный поток натекания составляет
Д ля СВВ прогреваемых систем должен использоваться масс-спектрометрический течеискатель с азотной ловушкой и, соответственно, расчетная величина течи составляет
Рис. 5. Изменение натекания через инжекторный ввод в зависимости от времени работы и от шероховатости поверхности вала представлено на следующем графике.
В вводах движения манжеты изнашиваются в прцессе работы, циклически работающие на изгиб сильфоны “устают”, поэтому поток натекания через эти вводы с течением времени растет, как показано на рис. 5.
Лекция 28. Расчёт газовыделения из кинематических пар.
В общем виде поток газовыделения из кинематической пары определяется зависимостью:
QК≈F∙qК , QК≈ Fi∙qКi
Где Fi—площадь поверхности контакта i-й кинематической пары;
qКi—удельное газовыделение из кинематической пары в контакте;
1. Вал-втулка
рис.1 Схема кинематической пары ‘вал-втулка’
Удельное газовыделение для кинематической пары вал/втулка определяется по
формуле:
П лощадь контакта:
В диапазоне варьирования параметров:
Vск=0,2-0,9 м/с, σк=10-50 МПа
Скорость скольжения определяется следующим соотношением:
Vск=πR2n/30,
где n-частота вращения, об/мин.
где
Здесь: μ1,μ2—коэффициенты Пуассона для материалов вала и втулки;
Е1,Е2—модули упругости материалов вала и втулки;
N—нормальная нагрузка;
L—длина контакта;
Po— удельная нагрузка;
VСК—скорость скольжения;
σК—контактное напряжение;
Пример 1
Расчёт газовыделения из пары ‘вал-втулка’ со следующими геометрическими размерами и параметрами:
N=12 H (=1 кг)
L=10-2 м
Определяем скорость скольжения:
Qк=?
Определяем контактные напряжения:
Площадь контакта:
Тогда газовыделение пары ‘вал-втулка’:
2. Шарикоподшипники:
рис.2 Схема шарикоподшипника
Удельное газовыделение для кинематической пары кольцо подшипника-тела качения выражается соотношением:
Пример 2: рассчитать газовыделение qк из шарикоподшипника серии 100 в вакууме при следующих параметрах:
N=80H; n=2000об/мин; радиус желоба: ρж=2,56•10-3м; диаметр шариков DТ=4,74•10-3м;
D=2,6•10-2м; d=10-2м; Е=2•1011Н/м2 (для стали ШХ15); μ=0,3;
Расчет:
Пример 3: тот же подшипник (серии 100) вращается при той же нагрузке N=80H, но с частотой n=20об/мин. В этом случае поток газовыделения составит:
V СК=1,6•10-4м/с;
3. Зубчатая волновая передача.
Рис. 3 Схема контактного взаимодействия в зоне зацепления волновой зубчатой передачи:
1—жесткое колесо (ведомое);
2—двухкулачковый генератор волн (закрепление на ведущем валу);
3-гибкое герметичное колесо;
Удельное газовыделение из зубчатого зацепления для волновой передачи определяется по формуле:
П ример 4: Рассчитать поток газовыделения из волновой зубчатой передачи ГВЗП-42 при следущих параметрах:
Dдж=4,385•10-2м; Zж=144; αw=20˚; φ=30˚
Мвых=5,3Н•м; СZ=0.15; m=3•10-4м
Нд=0,562•10-3м; hд=Нд/m=1.88
wo=4•10-4м; n1=10•c-1; В=8•10-3м