- •Л.А. Торгонский
- •Содержание
- •1 Введение 6
- •2 Проектирование элементов и кристаллов биполярных имс 19
- •3 Элементы и кристаллы имс на полевых структурах 197
- •1 Введение
- •1.1 Термины и определения предметной области
- •1.2 Классификация микросхем
- •1.3 Обозначение имс
- •1.4 Конструкции и состав имс
- •1.5 Цели и задачи изучения дисциплины
- •1.6 Этапы проектирования микросхем
- •2 Проектирование элементов и кристаллов биполярных имс
- •2.2 Состав радиоэлементов бпт имс
- •2.3 Материалы имс
- •2.3.1 Введение
- •2.3.2 Кристаллические материалы имс
- •2.4 Изоляция элементов
- •2.5 Технологические слои структур бпт имс
- •2.6 Кремниевые пластины с эпс
- •2.7 Кремниевые пластины с эпс и скрытыми слоями
- •2.8 Кремниевые пластины с полной диэлектрической изоляцией карманов
- •2.9 Арсенид галлия в производстве имс
- •2.10 Технологические варианты структур бпт
- •2.11 Параметры слоев структур бпт имс
- •2.11.1 Оценка параметров слоя
- •2.12 Проектирование бпт
- •2.12.1 Введение
- •2.12.2 Функциональные параметры бпт
- •2.12.3 Расчетные соотношения оценки параметров бпт
- •2.12.4 Проектирование топологии бпт
- •2.12.5 Объемные формы и габаритные размеры элементов имс
- •2.12.6 Межэлектродные сопротивления бпт
- •2.12.7 Зависимость коэффициента передачи от топологии
- •2.12.8 Параметры быстродействия транзистора
- •2.13 Алгоритм проектирования бпт
- •2.14 Диоды ис
- •2.14.1 Общие замечания
- •2.14.2 Структуры интегральных диодов
- •2.14.3 Топологические конфигурации диодов
- •2.14.4 Проектные параметры диодов
- •2.14.5 Схема замещения диода
- •2.14.6 Алгоритм проектирования диодов
- •2.14.7 Диоды Шоттки в структурах бпт
- •2.15 Модификации бпт специального назначения
- •2.15.1 Общие сведения
- •2.15.2 Многоэмиттерный бпт
- •2.15.3 Многоколлекторный бпт
- •2.15.4 Транзисторы с контактными переходами Шоттки
- •2.15.5 Транзисторы с продольной структурой
- •2.15.6 Транзисторы со сверхтонкой базой
- •2.15.7 Транзисторы приборов совмещенных технологий
- •2.16 Резисторы полупроводниковых имс
- •2.16.1 Общие замечания
- •2.16.2 Структуры резисторов полупроводниковых имс
- •2.16.3 Топологические конфигурации резисторов
- •2.16.4 Проектные параметры резисторов
- •2.16.5 Расчетные соотношения
- •2.16.6 Алгоритм проектирования полупроводниковых резисторов
- •2.17 Конденсаторы биполярных имс
- •2.17.1 Общие сведения
- •2.17.2 Конденсаторы на основе р-n-перехода
- •2.17.3 Конденсаторы со структурой моп
- •2.17.4 Параметры конденсаторов бпт имс
- •2.17.5 Алгоритм проектирования конденсаторов бп имс
- •2.18 Соединения и контакты бпт имс
- •2.18.1 Общие сведения
- •2.18.2 Материалы и структуры соединений и контактов
- •2.18.3 Параметры и размеры соединений и контактов
- •2.19 Базовые элементы цифровых биполярных микросхем
- •2.19.1 Введение
- •2.19.2 Элементы транзисторно-транзисторной логики
- •2.19.3 Элементы ттл с приборами Шоттки
- •2.19.4 Элементы эмиттерно-связанной логики
- •2.19.5 Элементы инжекционной логики (и2л)
- •2.19.6 Элементы и2л с диодами Шоттки
- •2.20 Кристаллы ис
- •2.20.1 Введение
- •2.20.2 План кристалла
- •2.20.3 Сокращение потерь площади рабочей кристалла
- •2.20.4 Проектирование топологии ис на бпт
- •3 Элементы и кристаллы имс на полевых структурах
- •3.1 Проектирование полевых структур
- •3.1.1 Введение
- •3.1.2 Структуры и классификация мдп-транзисторов
- •3.1.3 Вольтамперные характеристики мдп-транзистров
- •3.1.4 Параметры мдп-транзистора и расчетные соотношения
- •3.1.5 Конструкции мдп-транзисторов
- •3.1.6 Алгоритмы проектирования мдп-транзисторов имс
- •3.2 Элементы цифровых имс на мдп-транзисторах
- •3.2.1 Введение
- •3.2.2 Защита конструкций мдп-микросхем
- •3.2.3 Логический инвертор с пассивной нагрузкой мдп
- •3.2.4 Логический инвертор с активной нагрузкой мдп
- •3.2.5 Логические элементы на мдп-структурах
- •3.2.6 Совмещенные биполярнополевые структуры
- •3.2.7 Полевые элементы устройств хранения информации
- •3.2.8 Проектирование топологии ис на мдп
- •3.3 Полевые структуры с зарядовой связью
- •3.3.1 Введение
- •3.3.2 Приборы с зарядовой связью (пзс)
- •3.3.3 Варианты структур элементов пзс
- •3.3.4 Ввод и детектирование заряда в пзс
- •3.3.5 Параметры пзс
- •3.3.6 Транзисторы с зарядовой связью (тзс)
- •3.3.7 «Пожарные» мдп-цепочки
- •3.3.8 Проектирование пзс
- •Список литературы
2.14.2 Структуры интегральных диодов
С
труктура
«неизолированного» диода на одном
p-n-переходе изображена на рисунке 2.28.
Для основных изолированных БПТ со
структурой n-p-n-типа исходная пластина
имеет р-тип проводимости и соответственно
является анодом интегрального диода.
Исполненный в таком техническом решении
диод не только соединен электрически
с основанием, но для подключения в
электрических схемах доступен только
по катоду. Рабочее обратное напряжение
диода обеспечивается переходом между
n-областью, которая может соответствовать
эмиттерному или коллекторному слою, и
слабо легированным основанием (исходной
пластиной) и в основном определяется
легированием основания, составляя
десятки вольт. Диод такой структуры
применяется в качестве защитного от
отрицательных выбросов на входах
логических элементов и дублирующего
защитного элемента под окисной изоляцией
контактных площадок внешних подключений
кристаллов.
Иные структуры диодов ИМС относятся к «изолированным» и исполняются на основе коллекторного, базового и эмиттерного слоев структур БПТ (см. рис. 2.11 — 2.13, 2.15) с обратным включением перехода коллектор — основание. Структуры с диэлектрической изоляцией коллекторных карманов (см. рис. 2.14, 2.16) в основном исполняются на основе одного перехода между базовым и коллекторным слоями транзисторной структуры.
Обобщенная
структура «изолированного» переходом
диода на основе структуры БПТ изображена
на рисунке 2.29. Там же схематично
представлена композиция взаимодополняющих
транзисторов основной структуры n-p-n и
дополняющей структуры p-n-p и барьерных
емкостей переходов эмиттер-база
(Сэб), коллектор-база (Скб),
коллектор-основание (Скп). По рисунку
несложно заключить, что при прямом
включении перехода коллектор-база
основной n-p-n структуры имеет место
инжекция в коллекторный слой из базового
и вынос преобладающей доли инжектированного
потока в основание через переход
коллектор-основание. Кроме этого,
названные транзисторы образуют секцию
с тиристорной статической характеристикой.
Вариации соединений электродов
приведенной структуры выбираются таким
образом, чтобы названные явления не
нарушали условия функционирования
электронных узлов при использовании
структуры в диодном включении. Число
возможных вариантов схем соединения
электродов основной структуры БПТ для
исполнения диодов равно пяти. Эти
сочетания отображены на рисунке 2.30 (на
схемах рисунка не показан паразитный
p-n-p-транзистор, дополняющий основной
БПТ).
В
схемах соединений, изображенных на
рисунках 2.30,а,
в,
рабочим является эмиттерный p-n-переход
транзисторной структуры как для прямого,
так и для обратного включения. В схеме
соединения (рис. 2.30, б)
характеристика прямого включения
определяется в основном коллекторно-базовым
переходом с повышенным электродным
сопротивлением базовой области, а
обратного включения — эмиттерно-базовым
переходом. В схемах, изображенных на
рисунках 2.30, г,
д,
рабочим переходом является
коллекторно-базовый переход как в
прямом, так и обратном включениях и
поэтому может применяться при повышенных
обратных напряжениях. Из приведенных
схем соединений только во включении по
схеме (рис. 2.30, а)
переход коллектор-база структуры БПТ
не подключается под прямое смещение,
благодаря чему исключается гальваническая
фильтрация тока из диодной цепи в
основание. Эта схема соединения является
наиболее удачной для применения в цепях,
где такая фильтрация нежелательна или
недопустима. Позитивными свойствами
структуры с этой схемой соединений
являются и минимальное диффузионное
накопление носителей при прямом включении
перехода эмиттер-база, и минимальное
сопротивление между анодом и катодом
диода, равное сопротивлению между
коллектором и эмиттером. К недостаткам
рассматриваемого соединения следует
отнести низкую электрическую прочность
эмиттерно-базового перехода и повышенную
емкость диода на основание, определяемую
повышенной площадью перехода
коллектор-основание.
Структура со схемой соединений по рисунку 2.30, б не представляет интереса для диодных приложений, уступая по всем показателям структуре со схемой соединений по рис. 2.30, а.
Структура со схемой соединений по рисунку 2.30, в уступает структуре со схемой соединений по рис. 2.30, а в части гальванической развязки от основания, в части диффузионного накопления неосновных носителей в процессе переключения, однако характеризуется меньшей емкостью электродов диода на основание (последовательное соединение емкостей Скб и Скп структуры рисунка 2.29).
В структурах со схемами соединений по рисункам 2.30, г, д наличие эмиттерных областей обуславливает лишь увеличение площади и емкости структуры, снижая скорость переключения диода, и потому эти области не следует исполнять. Имея достоинством высокое допустимое обратное напряжение (соответствующее коллекторно-базовому переходу), пониженную емкость на основание (благодаря низкой удельной емкости и пониженной площади), структуры со со схемами соединений по рисункам 2.30, г, д имеют недостатком гальваническую фильтрацию тока из диодной цепи в размере, превышающем рабочий ток диода в Вп раз (Вп — коэффициент передачи тока базы паразитного транзистора структуры р-n-p на рисунке 2.29) и в Вп раз большее диффузионное накопление неосновных носителей в сравнении со структурой, коммутируемой по схеме рисунка 2.30, а. Рассматриваемая структура и схема соединений приемлемы в высоковольтных входных цепях ТТЛ и ДТЛ схем, где фильтрация на основание тока из электродных областей открытого диода нежелательна. Таким образом, рациональное применение могут иметь три из пяти схем соединения электродов БПТ для диодных приложений.
К
роме
обычных диодов, в ИМС используются
интегральные стабилитроны. В качестве
стабилитронов с напряжениемстабилизации
(4—7) В применяется переход эмиттер-база
в обратном включении. Если необходимы
напряжения стабилизации (3—5) В,
то в качестве стабилитрона применяют
обратное включение диодной структуры
на основе перехода эмиттер — закороченные
электроды коллектор-база БПТ с тонкой
базой. Напряжением стабилизации при
этом является напряжение смыкания базы.
Стабилитроны могут быть также исполнены
в нескольких вариантах структур,
изображенных на рисунках 2.31, а,
б.
Вариант структуры стабилитрона, изображенный на рисунке 2.31, а, исполняется в разделительном слое на этапе эмиттерной диффузии. Так как поверхность разделительного слоя сильно легирована, то переход имеет структуру р+-n+ и ему свойствен туннельный низковольтный пробой. Другой вариант структуры стабилитрона, изображенный на рисунке 2.31, б, исполнен на двух р-n-переходах, один из которых работает в режиме лавинного пробоя, а второй — в режиме прямого смещения. Такой вариант привлекателен высокой температурной стабильностью напряжения стабилизации, так как температурные коэффициенты напряжений лавинного пробоя и напряжения спрямления имеют разные знаки. Следует обратить внимание на электрические связи электродов структур, изображенных на рисунке 2.31, с несущим основанием. В структуре на рисунке 2.31, а несущее основание является электродом стабилитрона, а в структуре на рисунке 2.31, б электроды стабилитрона статически отделены от несущего основания.
Для низких напряжений стабилизации, равных или кратных напряжению спрямления (около 0,7 В), применяются последовательные прямые включения диодов структуры БПТ с закороченными электродами коллектора и базы.
