книги из ГПНТБ / Малкин, О. А. Импульсный ток и релаксация в газе
.pdfопытов основную роль играли процессы с участием электро нов, однако в каждом конкретном случае проводили тща тельный учет процессов с участием тяжелых частиц.
§ 3.2. ИССЛЕДОВАНИЕ НЕРАВНОВЕСНОЙ ФУНКЦИИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В КВАЗИСТАЦИОНАРНОЙ ПЛАЗМЕ
Одной из важнейших характеристик слабоионизованной низкотемпературной плазмы является функция рас пределения свободных электронов по энергиям. Как уже указывалось, слабоионизованная газоразрядная плазма в большинстве случаев неравновесна. Это прежде всего отражается на виде ФРЭ по энергиям. Тем не менее непо средственное экспериментальное изучение неравновесной ФРЭ началось относительно недавно. В фундаментальных трудах, посвященных газовому разряду (см. кн. В. Л. Гра новского [20], Лёба [187], Н. А. Капцова [188] и др.), вышедших в СЕет с 1920—1930 годов до 1950—1960 годов, в большинстве случаев функция распределения принима лась равновесной, максвелловской. Это было основано на экспериментальных данных, полученных еще Ленгмю ром [189]. Перестроив зондовую вольт-амперную характе ристику в полулогарифмическом масштабе, Ленгмюр и некоторые другие исследователи [190—192] получили в об ласти электронной части характеристики участки прямых линий, что, по их мнению, свидетельствовало о наличии максвелловской функции распределения в диапазоне энер гий электронов, близких к потенциалу плазмы. Отсюда был сделай ошибочный вывод о равновесности функции рас пределения в положительном столбе газового разряда при всех энергиях электронов.
В то же время в ряде теоретических работ [193—195 и др. ] еще в 30-х годах было показано, что в условиях газо разрядной плазмы распределение электронов по энергиям должно значительно отклоняться от максвелловского, осо бенно в диапазоне энергий, сравнимых или превышающих порог неупругпх процессов. Аналогичные результаты полу чены и в более поздних работах [13, 196—203].
Одной из основных работ, посвященных неравновесной ФРЭ в стационарной газоразрядной плазме, является работа В. Л. Гинзбурга и А. В. Гуревича [13]. В ней рассмотрено влияние однородного по пространству переменного элект рического поля на функцию распределения в невырожден-
4 Зак. 497 97
ной неподвижной плазме. В рамках предлагаемой элемен тарной теории не рассматривают решение кинетического уравнения Больцмана для ФРЭ. Элементарная теория справедлива для приближенной модели плазмы, когда можно считать не зависящими от скорости электронов сум марную частоту соударений электронов между собой и с другими компонентами плазмы ѵѵ и долю энергии, пере даваемой ими при одном столкновении б^. Величины их полагают функциями лишь эффективной температуры элек-
тронов |
2 тс°е |
Здесь ѵе — полная скорость |
|||
Теэфф = g • —2 ~ . |
|||||
электрона, по определению равная |
ѵе = ѵет -|- |
ue, |
где |
||
ѵет и |
ue — хаотическая и |
дрейфовая |
скорости. |
В |
этих |
условиях достаточно составить уравнение движения элект ронов под действием электрического поля; для средней направленной скорости электрона ие оно примет вид:
dt |
=-- е0Е + — [ис Н01- me иеѵэфф, |
(3.4) |
Cq |
|
|
где E = £ 0 exp |
[icot) и H0 — внешние переменное |
элек |
трическое и постоянное магнитное поля: ѵэфф = (тэ ф ф ) - 1 —■ эффективная частота соударений электронов между собой и с другими компонентами плазмы; тэфф определяют как время уменьшения импульса электронов на величину metie.
Эффективная частота соударений в общем случае за висит от интенсивности упругих и иеупругих столкновений электронов с нейтралами и ионами и межэлектронных соуда рений. В первом приближении считают, что ѵэфф = / (Те офф).
Элементарная теория дает следующие выражения для средней направленной скорости электронов:
ие= — |
( ------ |
і — ё_ _ |
M e |
\ü>“ -f- Ѵэфф |
CO2 -f- Ѵэфф |
и баланса энергии электронов
|
I t [ ~ 2 Пе ^ э ф ф ) = |
|
j^ |
^эфф’'’эфф ,ге k (Тедфф Тт). |
(3.6) |
Здесь бвфф — средняя доля энергии, передаваемой электроном тяжелым частицам за время (Ѵдфф)-1. В сла98
боионизованной |
плазме |
5афф |
І |
и меняется |
с ростом |
Те эфф от Sy = 2 |
melmr |
до |
10_3 |
— ІО- 1 из-за |
неупругих |
соударений. В сильноионизованнон плазме из-за возраста ния роли кулоновских соударений электронов с ионами бэфф 2 mJtnT. Так как S всегда много меньше единицы, стационарная хаотическая скорость электронов значитель но больше направленной ие.
В отсутствие поля при |
б эффѴэфф = |
const |
Т'е эфф Гт+ {Теофф |
Тт ) , = 0 СХр ( |
^эфф^эффО- (3-7) |
Таким образом, время релаксации эффективной темпера туры электронов после обрыва электрического поля по рядка (бзффѴдфф)-1. Время релаксации скорости (импульсов) электронов — порядка (ѵэфф) _ 1 и из-за того, что б эфф -С 1 ,
значительно меньше, чем |
время релаксации температуры |
|||||
(энергии). Так |
как jE |
= |
е0 пеиеЕ, уравнения (3.4) и (3.6) |
|||
надо |
решать |
совместно; |
решение |
получено |
лишь для |
|
S эффѵэфф — const. |
|
|
|
|
||
Различают |
случаи: |
|
|
|
|
|
а) низкая |
частота внешнего электрического поля — |
|||||
со С |
бЭффѴэфф; |
здесь |
с точностью |
до . малой |
величины |
|
^/ЙдффѴдфф . |
|
|
|
|
|
|
|
|
Т'е эфф |
7"т |
2 е;\Е(І) |
(3.8) |
|
|
|
2 kmeбэфф Ѵэфф |
||||
|
|
|
|
|
В этом случае температура электронов следует по времени
за изменением значения напряженности |
поля; |
|||
б) высокая частота электрического поля — ®)§>6эффх |
||||
Х'ѵэфф; с тон же |
точностью |
|
||
Тл с* Эфф |
• і |
т |
р2 р2 |
(3.9) |
I |
||||
|
— т |
|
-I- |
|
Итак, для высокой частоты поля получают постоянство температуры электронов в стационарных условиях. Ре зультат очевиден, так как время релаксации Т еафф порядка (бэффѵэфф)- \ поэтому температура электронов практи чески ие меняется за время изменения поля т = со- 1 С
( б эффѵ эфф) 1-
Результаты элементарной теории сводятся, таким об разом, к выражениям (3.7) — (3.9) для эффективной тем пературы электронов в отсутствие и при наличии электри ческого поля низкой и высокой частоты. Справедливость элементарной теории ограничена требованием постоянства
4* |
99 |
величин vs и 6 S и отсутствием их зависимости от тепловой скорости электронов. Возможность пренебрежения реально существующими зависимостями ѵ (ѵ) и б (ѵ) и, в частности, замена их абстрактными величинами v 3(il(1) и б ЭІІ,ф должны контролироваться более строгой кинетической теорией, также рассмотренной в работе [13].
Кинетическая теория оперирует с уравнением Боль цмана для ФРЭ:
^ - + vgradr /e-f — ( £ [vH0] gradufe') -f S = 0. (3.10)
Здесь S — интеграл столкновений, описывающий влияние столкновений электронов друг с другом и другими ком понентами плазмы на ФРЭ. Учитывая специфические осо бенности плазмы — сильное различие масс электрона и тяжелых частиц и далыюдействующпе кулоновские взаи модействия частиц, можно упростить уравнение (3.10) и получить решения его для стационарного режима в двух крайних случаях — сильноионизованная плазма, когда ■Ѵее^бѵ, и слабоионизованная плазма, когда ѵ ое<^Ьѵ. Отметим, что ФРЭ обычно удобно представлять в виде суммы f e ~ f о + ѵ/у/ід где f0 — изотропная часть, зави сящая только от модуля скорости электронов I ѵ\, а /у — составляющая, направленная по вектору скорости дрейфа их во внешнем поле ие (для газоразрядной плазмы — элект рическом поле внешнего источника). Вследствие того, что
/у. |
Это |
время релаксации функции / 0 |
много |
больше, чем |
|
дает возможность оперировать |
лишь |
с функцией |
|||
/о, |
а /у заменять |
приближенными выражениями через |
|||
/о, |
что |
сделано в |
обоих рассматриваемых ниже случаях. |
а. Сильноионизованная плазма. Здесь вид изотропной части ФРЭ /о определяется межэлектронными соударения ми. Показано, что при отыскании решения упрощенного
уравнения Больцмана в виде f 0 = f 0o + foi + fo2 + •••;
первый член представляет собой максвелловскую функцию распределения, т. е.
с |
( те \ 3/2 |
|
те ѵе |
(3.11) |
|
' « " ' ■ Ы |
ех» |
2 k T „ |
|||
|
|||||
а второй и последующие члены |
обладают величинами по |
||||
рядка |
|
|
|
|
/о/с — (6 v/Ve)«/0.
100
Отсюда видно, что для сильноионизованной плазмы ФРЭ в стационарном случае всегда максвелловская. Действи тельно, из-за межэлектронных соударений максвелловское
распределение |
устанавливается |
за |
время |
(ѵее)-1, а оно |
||
здесь меньше, |
чем (б ^ ѵ ^ ) - 1 |
при ударах с тяжелыми час |
||||
тицами. |
|
|
Здесь ѵ ее |
|
||
б. Слабоионизованная плазма. |
бѵ, и ФРЭ |
|||||
определяется |
столкновениями |
электронов |
с |
нейтралами, |
||
а межэлектронными соударениями |
можно |
пренебречь. |
Б этом случае неизотропная часть ФРЭ с точностью до членов порядка б может быть выражена так:
Таким образом, снова рассматривается только изотропная часть ФРЭ. Получены решения для двух случаев: медленно меняющееся электрическое поле и <Д бѵ и противополож ный случай, когда со )§> бѵ.
При |
со |
бѵ и упругих соударениях электронов с ней |
тралами (реализуется при Т еЭфф ^ 1 эв): |
||
|
|
(3.12) |
|
|
00 |
где С = |
n j [ |
J f (v, г, t) dv] — постоянная нормировки. |
|
|
о |
Если поле настолько мало, что второй член в знаменателе меньше первого, то выражение (3.12) дает максвелловскую ФРЭ. Наоборот, в сильном поле получаем распределение Дрювестейиа:
(3.13),
При быстропеременном поле со > бѵ функция / 0 не ус певает за полем и устанавливается на среднем стационар ном уровне, около которого она осциллирует с амплитудой порядка бѵ/co 1 ; поэтому можно пренебречь производной df0/dt. В итоге при отсутствии магнитного поля
|
V |
fo = С exp |
(3.14) |
|
О |
101
Для k T еэфф 1 зб, вследствие существенного влияния неупругих соударении, необходимо учитывать конкретный вид зависимости частоты столкновений от скорости ѵ (ѵ). В работах [13,334] даны лишь общие выражения для урав нений, из которых можно рассчитать ФРЭ. Кроме того, не учтены изменения последней из-за появления медленных электронов, потерявших энергию при неупругих процессах.
Попытки учета влияния неупругих столкновений были сделаны в ранних работах [193, 194, 204], однако они при менимы лишь для малых средних энергий электронов по сравнению с пороговой энергией неупругих процессов. Ограниченность полученных решений, кроме того, свя зана с конкретным видом зависимости неупругого сечения от скорости, рассматриваемым в данной работе. Более общие результаты получены в работах Л. М. Коврижных [196, 1971, в которых предложены модельные представления интеграла неупругих соударений, выбранные так, чтобы изотропная часть ФРЭ выражалась через аналитические функции, включающие квадратуры от неупругих сечений. Влияние неупругих процессов учитывают введением не которой функции А (и), так что
foHy («) = /оу («М («)■ |
(3-15) |
|
Здесь и = т еѵ2і2(пп — безразмерная |
энергия; |
<Sn — энер |
гия возбуждения энергетического |
уровня |
атома; f0„у, |
f0y — ФРЭ с учетом и без учета неупругих соударений. Таким образом, задачу отыскания ФРЭ с учетом не
упругих процессов удалось свести к определению некоторой поправочной функции А («), которую ищут в двух областях
энергии — до порога |
неупругих процессов (т. е. при |
и < 1) и после него. |
Важно отметить, что вид функции |
А (и), а следовательно, и самой ФРЭ, в допороговой области
энергий зависит от ее поведения при |
Таким обра |
зом, в отличие от модели В. Л. Гинзбурга и А. |
В. Гуревича |
[13] здесь учитывают изменение ФРЭ в области медленных электронов из-за неупругих процессов в запороговой об ласти энергий (переход электронов в пространстве энергий). Выведено общее интегродифференциалыюе уравнение для А (и) и аналитически решена задача ее определения для случая однократной ионизации атомарного газа, обладаю щего одним возбужденным энергетическим уровнем и находящегося в электрическом и магнитном полях. Такая модель хорошо пригодна для инертного газа в условиях
1 0 2
слабой степени ионизации. Функции распределения элект
ронов |
представлены |
в виде |
графика |
и2/ 0 (и) |
= |
ф ( ] /и) |
||
для |
различных значений |
параметра |
а = |
{hep 0)]^+i |
||||
(рис. |
3.1). |
Здесь |
К? — отношение |
энергии, |
теряемой |
|||
в единицу |
времени |
электроном на |
возбуждение |
атома, |
к энергии, получаемой им от электрического поля; р 0, q — постоянные, величина которых зависит от хода сечения возбуждения близ пороговой энергии. Зависимость не упругих сечений инертных газов от энергии для 0 < и ^ 3 хорошо описывается q = 1/2 , что представляет собой ли-
Рис. З.І. |
Функции рас |
||
пределения |
|
электронов, |
|
рассчитанные |
с учетом |
||
неупругих |
|
соударений |
|
по |
теории |
Коврпж- |
|
|
ных |
[197]. |
нейную аппроксимацию зависимости неупругого сечения от энергии. Можно показать, что при этом выражение для а примет вид:
|
а = (Ье Ро) 2 / 3 |
= |
Ж п сгу оеа Пн 1/3 |
(3.16) |
|||
|
ео Е'1(“— >) _ |
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
||
где ау, |
а ея — сечения |
упругих и |
неупругих |
соударений |
|||
электрона с атомом; пи — концентрация |
нейтральных час |
||||||
тиц; для л'п |
1 пн « |
/V; Е — напряженность электри |
|||||
ческого |
поля. |
|
|
|
|
|
|
Конкретизируя энергетическую зависимость неупругого |
|||||||
сечения |
в виде |
|
|
|
|
|
|
|
<7еа == Ф)в |
|
= Оов |
(И - |
1). |
(3-17) |
|
получаем |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а = |
|
3 (? в О у Оов |
1/3 |
|
(3.18) |
|
|
|
|
|
|
eg (EIN?
103
Величины сг0в см. в работах [20, 18 (стр. 471)]; для аргона g0 п = 7 • 10-1S он2 — сечение возбуждения на уровень 4s
с <SB= 11,5 эв.
Модельные представления, предложенные в работе
[196], |
пригодны вплоть до значений а |
' ^ 1 , что соответст |
вует |
большим значениям параметра |
E I N — отношения |
напряженности электрического поля к полной концентра ции частиц. Этот параметр обычно вводят для характеристи ки влияния поля на свойства газоразрядной плазмы [13, 20, 72]. В работе [196] рассмотрены также отдельные слу чаи влияния переменных полей на ФРЭ. Показано, что полученное решение остается справедливым, если частота
переменного поля |
удовлетворяет одному из |
неравенств: |
сот2 1 или cdTj [ф> |
1, гдет2 äj (SyVy) Ч а |
(0цуѴНу) Ч |
Здесь Ѵу и ѵну — частоты упругих и неупругих соударений, определяемые по средней скорости электронов. В обоих случаях можно по-прежнему применять метод представле ния / ($) в виде ряда по степеням параметра сот2 или (сотj)~Ч В первом случае в полученное ранее решение надо лишь подставить величину переменного электрическо
го поля |
£ = £ о cos со/, |
а во втором—-ввести функцию |
■ф= ( 1 + |
шѴѵу) - 1 (в |
отсутствие внешнего магнитного |
поля), которая, в частности, меняет значение параметра а. Так, формула (3.18) примет вид:
f |
б Т в О у СТ0В ( l -J-C O -ZVy) |
1/3 |
(3.18')
e's (E0/N)"
Таким образом, разработанный Л. М. Коврижных метод расчета ФРЭ с учетом иеупругих соударений позво ляет определить ее как для постоянного, так и переменного электрического и магнитного полей. Конкретная задача, рассмотренная в качестве примера в работе [196], слишком проста, однако сам метод с соответствующей доработкой принципиально можно распространить на более сложные случаи. Так, А. И. Луковников и Е. П. Фетисов [198, 199] по методу Л. М. Коврижных рассчитали на ЭВМ ФРЭ в азо те с учетом возбуждения вращательных, колебательных и электронных состояний молекулы азота, а также иониза ции и рекомбинации.
В последнее время появился ряд теоретических работ по расчету ФРЭ в слабоионизованной плазме с учетом уп ругих и неупругих соударений [200—203 и др.]. Практи ки
Чески все они используют метод разложения f (<ß) в ряд по подходящим аналитическим функциям и определения ее изотропной части. Учет неупругих соударении приводит либо к получению решения в табулированных специальных функциях [198, 200—202] (при более простых моделях состояния плазмы), либо к численным способам расчета [199—203]. В серии работ Постма [203] проведены числен ные расчеты ФРЭ для однородной н стационарной плазмы. Рассматривали упругие и неупругие столкновения с невоз-
Рис. 3.2. Функция распределе ния электронов в плазме це зия; расчет [203]:
1— E/N=4-10—21в-см"- 2 — 1,3-10-!0х
XS-C.U-; 3 — 4-10—20 e-c.il5; 4 — 1,ЗХ
X10—10 в-см-.
\
|
і%Л - |
л3 |
|
|
\<\ ч |
V |
|
|
\іч\; \ |
|
|
JM2 |
ѵ \ \ \ |
||
|
|
Л'\\ |
\j |
|
________\М '■ |
' |
|
|
0,5 |
ip mv2/2Zg |
бужденными атомами и кулоновские столкновения; пред полагали, что единственной возмущающей силой является сила, обусловленная внешним электрическим полем. Энер гетическую зависимость сечения упругих соударений рас считывали способом последовательных приближений и сравнением с опытными данными по скорости дрейфа. Про деланы расчеты для паров цезия, гелия и смесей гелия с ар гоном. Неравновесная ФРЭ в плазме цезия (рис. 3.2) резко отклоняется от максвелловской как в области малых энер гий — вследствие влияния рамзауэровского пика упругого сечения близ $ = 0,3 эв, так и в области порога неупругих процессов — из-за влияния последних. В обоих случаях изменения ФРЭ с энергией более резкие, чем для максвел ловской. Расчеты для цезия выполнены для EIN в диапазоне от 4 -ІО- 2 1 до 1,3-ІО- 1 9 в-см2 и степеней ионизации от
105
О до 10“®. В |
последнем случае ФРЭ весьма близка к |
рав |
||
новесной |
из-за сильного влияния межэлектронных |
со |
||
ударений, |
которые становятся существенными, |
начиная |
||
с л-,, ^ 2 10"5. |
Критическая степень ионизации, |
начиная |
с которой заметно влияние межэлектронных взаимодействий, определяется формулой
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(3.19) |
где |
|
|
3 ' ((8/3) лео)3 ^ |
1 1/2 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
ППе |
|
|
|
|
|
|
( для |
гелия — — > |
|
|
А |
|
|
|
|
сечение |
||
1 0 “ 10 |
— ]; 0 У(ß) — упругое |
||||||||||
V |
ё = |
N |
|
Р" } |
постоянная. |
В |
ши |
||||
при |
е0 — диэлектрическая |
||||||||||
роких |
пределах изменения |
Е/р — 1,0—60 в-слг1-mopp'1 |
|||||||||
рассчитана |
ФРЭ для гелия (рис. 3.3). Здесь влияние |
||||||||||
степени ионизации |
становится |
заметным |
при |
малых |
|||||||
Е/р <: 10 |
при л'„ = |
ІО-4; |
для Е/р ^ |
10 |
изменение хп от |
||||||
0 до |
10" 4 |
практически |
не |
сказывается |
на |
виде |
ФРЭ. |
Результаты расчетов [203] позволили выявить относитель ное влияние кулоновских соударений в общем вкладе не упругих ударов. Как и можно было ожидать, для слабоио-
ннзованной |
плазмы с |
Д 8 ѵѴѵ (что реализуется для |
хи <£ ІО“3) |
это влияние |
мало. |
Важным |
вопросом является влияние неоднородностей |
электрического поля на ФРЭ. В предыдущем рассмотрении всюду полагали, что поле однородно по объему плазмы. Однако для газоразрядной плазмы и в особенности для вихревого высокочастотного разряда более характерно наличие переменного по пространству электрического поля. В работе [205] разобрано влияние неоднородного поля на ФРЭ. Неоднородность считают малой, если характерный размер неоднородности а оказывается много больше сво бодного пробега электрона. Для простоты принимают, что внешнее магнитное поле отсутствует. Возможны два случая: 1) пространственное изменение ФРЭ определяется малой добавкой к ней, рассчитанной для максимального поля на краю плазменного объема при г = RTJ) — квазиоднород ный случай; 2) ФРЭ в каждой точке определяется локаль ным значением электрического поля в данной точке — локально однородный случай. В первом случае ФРЭ зависит от некоторого эффективного поля, близкого к максималь-
106