книги из ГПНТБ / Малкин, О. А. Импульсный ток и релаксация в газе
.pdfРис. 6.11. Изменение концентраций |
электронов |
пс, |
|||
атомарных ионов n f |
молекулярных |
ионов я “ |
(а) |
||
и величины |
1/яс (б) |
при |
распаде |
плазмы |
(р= |
= 0,1 торр). |
Точки — измерения, линии— расчет по |
||||
|
системе |
(6.6). |
|
|
торых сечение рекомбинационного захвата больше). Для диссоциативной рекомбинации в условиях опыта aft ~
~(,кТе э ф ф ) ~ і / 2 > поэтому заметного увеличения потока элек
тронов при распаде не происходит. В то же время большая интенсивность рекомбинации обеспечивает быстрое обед нение континуума и возбужденных уровней. В итоге наблю дается монотонное снижение заселенностей уровней.
Для количественного описания релаксационных про цессов при резких изменениях разрядного тока на фронтах прямоугольного импульса высокочастотного поля составле на система балансных кинетических уравнений. При ее сос тавлении предполагали, что совокупность элементарных процессов, действующая в стационарном состоянии слабоионизованной высокочастотной плазмы, сохраняется и при релаксации. Ввиду небольшого различия между величинами коэффициентов скорости реакции Молнара — Хорнбека (ассоциативной ионизации) с разных возбужденных уровней (см. [246]), а также коэффициентов а т/;,к_і и ßB,K—і.кДля верх них возбужденных уровней, будем рассматривать кинетику заселенности только уровня 5d, изменение которой мы на блюдали экспериментально. Для упрощения полагали,
что величины арк одинаковы для различных уровней (счи
тали, что их три), участвующих в реакции Молнара — Хорнбека. Система нестационарных кинетических баланс ных уравнений имеет следующий вид:
d n jd l = ßle пеіц -!- 3 |
nr,d— D3Ul V2 ne— |
|
||||
|
|
— a f t n e t i " ; |
|
|
|
|
dn)/dt = ßle ne ih — Dmi V2 ne\ |
ne |
nt + n“; |
(6 .6) |
|||
du™/dt = |
Зиа ß5а пы — DaM„ V2 ne— aft ne nf> |
|
||||
d n b d I d t |
= ( « p |
/3) П е t l \ -)- ßBBp : b!i |
ll g p H e |
BP ^ o d l^ e ’ |
|
|
Здесь |
nbd — заселенность уровня |
5d; |
остальные обозначе |
|||
ния те же, что были приняты в |
системах (4.23) и |
(4.24). |
В систему (6.6) подставляли значения коэффициентов ско рости элементарных процессов с учетом их зависимости от времени при релаксации и находили величины концентраций электронов и ионов, а также заселенность уровня 5d в каж дый момент времени. Система описывает кинетику релак сации как во время развития разряда, так и при распаде плазмы. Однако для каждого из обоих процессов необходимо учитывать специфические особенности.
239
Вначале рассмотрим релаксацию при развитии разряда. Коэффициент прямой ионизации ßnp выше был рассчитан в функции времени (рис. 6.3). Коэффициент диссоциативной рекомбинации аД при 7ф >7\ пропорционален (/гГеэфф)~1/2.
Ввиду того, что время релаксации уровнен и континуума* не превышает 30—40 мксек, температуру ионов в течение всей релаксации заселенностей можно считать постоянной и равной ~300° К- Средняя энергия электронов при релакса ции функции распределения снижается лишь на 20% (рис. 6.2). Таким образом, с точностью около 10% можно
считать о.р яв const и не зависящим от времени. Коэффици енты скоростей возбуждения ßBK, ,.-+і и дезактивации а-гк.к— 1 слабо зависят от 7’ГОфф (см. 11481), их также мож но полагать постоянными. Наконец, коэффициент образо вания молекулярных ионов с возбужденных состояний
ߣ-n зависит лишь от температуры тяжелых частиц, кото рая практически неизменна при релаксации. Поэтому в сис теме (6.6) лишь коэффициенты ßJe и DaM = ср (кТе) зави сят от времени (Ѵ2пе полагали неизменной при релаксации на основании измерений пе по радиусу в нескольких точках по времени).
При численном |
решении системы удобно в качестве |
||
начальных условий взять |
параметры квазистационар- |
||
ного |
состояния и |
вести решение в сторону обращен |
|
ного |
времени вплоть до момента возникновения разря |
||
да. |
Результаты расчета для |
р = 0,1 mopp представлены |
на рис. 6.12; совпадение рассчитанных и измеренных вели чин пе (t) и пSd (/) удовлетворительное. Интересно отметить немонотонный ход концентрации молекулярных ионов, объясняющийся конкуренцией процессов образования пос ледних и диссоциативной рекомбинации. Максимум концен
трации tif совпадает по времени с максимумом заселенно сти уровня 5d, наблюдаемым по временному ходу изменения интенсивности спектральных линий при переходах с этого уровня. Естественно предположить, что максимумы засе ленностей возбужденных уровней, зарегистрированные на ми при развитии разряда, обусловлены диссоциативной ре комбинацией на соответствующие уровни.
Теперь рассмотрим применение системы (6.6) для описа ния распада плазмы. Поведение коэффициентов системы
* Из рис. 6.2 видно, что за 40 мксек пе достигает 4-1012 см~3,
что составляет 90% стационарной концентрации, которая появляется лишь через 450 мксек.
240
аналогично исследованному выше для развития разряда. Различие определяется лишь тем, что релаксация при рас паде плазмы проходит не при начальной температуре тяже лых частиц, равной 300° К, а при Та = Tt = const, сос тавляющей 450 и 350° К при р = 0,1 и 0,05 mopp. В прин ципе надо учесть это различие при расчетах коэффициентов
ар |
11 |
ß«", |
однако |
влияние |
столь небольшого измене |
ния |
Та, Ті, |
по-видимому, невелико, так как зависимости |
|||
° р |
= |
Ф (Тт) |
и Рк " = |
Ф (Ту) |
обладают показателем сте- |
0 |
Ю |
20 |
30 t, шеек |
|
|
|
а |
|
|
Рис. 6.12. |
Изменение |
концентраций |
электронов пс, атомарных |
|
ионов п ? |
, |
молекулярных ионов |
п “ (а) и заселенности уров |
ня 5 d аргона (б) при развитии разряда.
пени не более единицы. Вследствие резкого падения коэф фициента ионизации ßnp = ßle из-за сужения энергетиче ской области функции распределения уже через 5—10 мксек после обрыва поля членом ßleHa/2e можно пренебречь. Снова в качестве начальных взяты квазистационарные параметры плазмы. Результаты расчета для 0,1 mopp изображены на рис. 6.10, 6.11. Можно констатировать хорошее совпадение рассчитанного и измеренного временного хода пе (t) и n5d (/). Необходимо отметить, что совпадение расчетных и опытных данных наблюдается при тех значениях коэффициентов дис
социативной рекомбинации а^, столкновительного возбуж дения ßB, и дезактивации ат, которые соответствуют усло виям релаксации при развитии и распаде плазмы высокоча стотного разряда и зависимостям коэффициентов от парамет ров плазмы. Следовательно, система нестационарных уров ней, соответствующая предполагаемой схеме элементарных
241
процессов в слаболонизованной плазме, правильно описы вает кинетику заселенностей верхних возбужденных уровней и континуума. Таким образом, можно сделать вывод о досто верности предполагаемой схемы элементарных процессов как в квазистационарном, так и релаксирующих состояниях, при резких изменениях напряженности электрического поля импульсного высокочастотного разряда. Однако надо ука зать, что при решении системы (6.6) пришлось ввести не
измеренную нами величину концентрации л" молекуляр ных ионов Ar^ в квазистационарном состоянии. Согласно данным работ [241, 246], в которых масс-спектрометрически
была измерена концентрация |
в плазме высокочастотно |
го разряда в аргоне при р та0,1 |
mopp nf = (0,05 -г 0,15) пе |
В связи с изложенным при решении системы (6.6) в ка |
|
честве начальной была принята |
величина nf га 0,1ле для |
р = 0,1 mopp. Неопределенность величины nf в условиях опыта обусловливает неточность определения заселенно стей или, обратно, оценки коэффициентов скорости элемен тарных процессов, входящих в систему, по измеренным за
селенностям. Итак, непосредственно измеряемой величиной при распаде плазмы является произведение л“а^. Поэ тому выявить температурную зависимость a f из полу
ченных данных невозможно. Отметим, что оценки интенсив ностей обеднения континуума различными элементарными рекомбинационными процессами; сравнительной роли элементарных процессов с участием электронов и тяжелых частиц; доли ступенчатой ионизации, выполненные выше для квазистационарного состояния, вследствие сравнитель но небольших изменений параметров плазмы в течение пе реходных режимов сохраняют свою справедливость и для релаксации на фронтах импульса высокочастотного поля.
В заключение приведем общее описание физических про цессов при релаксации слаболонизованной плазмы высоко частотного разряда. При наложении прямоугольного импуль са поля на холодный атомарный газ под действием большой напряженности электрического поля на периферии разряд ной трубки возникает электрический пробой с образованием электронов и атомарных ионов аргона. Далее возбуждение и ионизация атомов аргона осуществляются ударом элек тронов из основного и возбужденных состояний. Одновре менно в результате реакции Молнара — Хорнбека при давлениях ниже 1 mopp появляются молекулярные ионы
242
аргона. Начинается диссоциативная рекомбинация элек тронов и ионов Arif, ч т о приводит к резкому повышению заселенностей верхних возбужденных уровней и появлению максимума кривой изменения пк (t). На перечисленные про цессы при р = 0,05 0,1 mopp затрачивается около 4 мксек, так как высвечивание самых верхних уровней начи нается через —4 мксек после начала импульса высокочас тотного поля. Характерное время заселения более нижних уровней снизу много больше. Вплоть до 8—10 мксек кон центрация электронов остается настолько малой, что дебаев ский радиус превышает размеры разрядной трубки (пе ^ <В05-^-10в слг3). Из-за малой пе интенсивность возникнове ния заряженных частиц прямой ионизацией может оказать ся недостаточной для компенсации их гибели вследствие диссоциативной рекомбинации и амбиполярной диффузии. В этом случае заряженных частиц, возникших на периферии разрядной трубки, не хватит для развития электронной ла вины по всему сечению плазменного объема — разряд не возникает. Будет наблюдаться лишь слабое свечение из-за наличия возбужденных частиц, однако электрический зонд, расположенный на оси трубки, не будет регистрировать зондовый ток. При повышении давления интенсивность про цессов возникновения молекулярных ионов возрастает, начинает проявляться влияние ионной конверсии, интен сивность которой пропорциональна квадрату давления ней тралов, что приводит к росту скорости исчезновения заря женных частиц при диссоциативной рекомбинации. Интен сивность же прямой ионизации пропорциональна концен трации атомов; кроме того, из-за увеличения частоты соуда рений снижается доля электронов в функции распределения при $ > ё п. Все это приводит к ухудшению условий за жигания разряда с ростом р, что и наблюдается на опыте.
Вторая стадия развития разряда, начинающаяся спустя ~ 1 0 мксек после наложения поля, наступает лишь тогда, когда реализуются условия возникновения электронной лавины по всему сечению разряда и резко возрастает концен трация электронов. Скорость нарастания ее dnjdt опреде лена взаимодействием противоположных элементарных про цессов — прямой ионизации и диссоциативной рекомбина ции вместе с амбиполярной диффузией. Рост пе вызывает, с одной стороны, увеличение концентрации молекулярных ионов Агг из-за роста заселенности возбужденных уровней и реакции Молнара — Хорнбека, а с другой — повышение расходования ионов ArJ при диссоциативной рекомбина
243
ции. В результате возникает максимум концентрации /г”,
расположенный близ начала второй стадии. Это обусловли вает появление соответствующих максимумов заселенностей возбужденных уровней. Вследствие конечного времени, требуемого для перехода с верхних уровнен на средние п нижние, максимумы на более нижних уровнях появляются позже, чем на верхних. Совместным действием двух потоков электронов сверху и снизу из основного состояния в тече ние 30—40 мксек устанавливается квазибольцмановское распределение заселенностей возбужденных уровней. Энер гетическая зависимость функции распределения и средняя энергия электронов определяются неупрупши процессами взаимодействия их с атомами. Ввиду того, что в течение второй стадии устанавливается практически стационарная концентрация электронов, заканчивается и «стационарнзация» их функции распределения.
На последней, третьей стадии развития разряда, для щейся 500—1000 мксек при давлениях 0,1—0,05 mopp, протекает релаксация температуры тяжелых частиц — ато мов и ионов. Это самый медленный из релаксационных про цессов вследствие малой эффективности энергообмена меж ду электронами и тяжелыми частицами, определяемой боль шой разницей масс н относительной малой частотой соуда рений при низком давлении газа. Стационарное значение концентрации электронов, устанавливающееся на этой ста дии, по-видимому, зависит от значений коэффициентов ско рости диссоциативной рекомбинации и реакции Молнара — Хорнбека, являющихся функциями температуры тяжелых частиц.
После обрыва высокочастотного поля из-за прекращения подвода энергии резко падает средняя энергия электронов, расходуемых на неупругие процессы соударений с атомами. Соответствующее падение коэффициента скорости ионизации существенно меняет соотношение между возникновением и гибелью заряженных частиц. В то же время коэффициент диссоциативной рекомбинации, слабо зависящей от Ге0фф, обусловливает резкое падение пе в первые 5— 10 мксек пос ле обрыва тока. Однако далее интенсивность рекомбинации снижается из-за уменьшения количества электронов и моле кулярных ионов — темп падения концентрации электронов уменьшается. Инверсная заселенность верхних уровней при распаде объясняется интенсивным спонтанным излу чением со средних и нижних уровней, а также снижением
244
интенсивности столкновителы-іых переходов снизу из-за падения Те эфф, пе и коэффициентов скорости возбуждения при релаксации функции распределения к равновесной с тем пературой электронов, приближающейся к комнатной. Опи санные элементарные процессы, определяющие заселенность уровней и континуума во время распада плазмы, длятся около 50 мксек и протекают при практически постоянной температуре тяжелых частиц, совпадающей со значением ее в газоразрядной плазме в квазистацнонарном режиме.
§ 6.4. КИНЕТИКА РАЗВИТИЯ И РАСПАДА МНОГОКРАТНО ИОНИЗОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНОГО ТОКА
Развитие больш’ого импульсного тока проходит обычно через несколько стадий. Известно [123, 125, 126], что дуго вому разряду предшествует стадия тлеющего разряда, ха рактеризующаяся большим падением напряжения и малым током. В настоящей работе изучение процесса развития сильноточного разряда проводили лишь с целью установить, когда начинается стационарная стадия разряда на плато прямоугольного импульса тока. Это вызвано тем, что фор
мирование канала большого тока с плотностью і > 1 ка-слг2 сопровождается целым комплексом, сложных гидродинами ческих и электродинамических явлений, в том числе: воз никновение облака горячего электронного газа и амбиполяр- - ное ускорение электронов и ионов [123, 125], контрагирование и линчевание разряда [37,320, 322], различного рода колебания, неустойчивости и турбулизация [323], тепловое расширение газа в образующемся канале тока [124, 126], магннтогндродинамическое отжатие канала к стенке труб ки [44], интенсивная эрозия стенок трубки [38—41, 118], и т. п. Многие из перечисленных явлений эффективно ис пользуются для различных практических применений: импульсные газовые лазеры на пинч-разряде [37, 322], эталонные источники излучения [38, 39], источник высоко температурной плазмы для изучения ее оптических свойств [40, 41]. Однако с точки зрения основной задачи настоящей работы — исследование характеристик элементарных про цессов в низкотемпературной плазме, указанные процессы являются вредными, затрудняющими получение однород ного объема плазмы, в которой преобладали бы объемные про цессы. Как следует из проведенного рассмотрения (см. § 1.2 и 2.2), большая часть факторов, мешающих выполнению поставленной задачи, была устранена.
245
Основное внимание в настоящем разделе уделяли иссле дованию кинетики распада сильноионизованной плазмы после резкого выключения тока. Во время распада проводи ли измерения всего комплекса параметров плазмы: концент рации и температуры электронов, заселенностей возбужден ных уровней атомов и ионов, давления плазмы (рис, 6.13).
Рис. 6.13. Изменение концентрации электронов, температуры и дав-
(іст = 4 ка-см~2; р„= 10 |
торр) |
для водорода |
На рисунке (а) указаны символы спектральных линий |
серин |
Бальмера, по ко- |
спектральных линий атомов и ионов гелия, по которым измеряли: концентра-
X — 4026: Н-----4713 и температуру электронов |
О — отношение интенсивно- |
4387: 2 — то ж е для линий НеІ 4713 и 4387: 3 |
— то же для линий 4471 и |
|
НеІ 4921 |
246
Концентрация электронов снижается на 1,5—2 порядка: для водорода и азота за 60 мксек; гелия — 90 мксек и арго на — более 120 мксек. Возможно, что замедленная реком бинация в плазме аргона объясняется пониженными сече ниями неупругих процессов атомов аргона, концентра ция которых преобладает на поздних стадиях распада. Тем пературу электронов в течение распада наиболее достовер но можно измерить лишь для водорода и гелия, так как в этих случаях ее можно измерять по отношению интенсивно стей линий к континууму [94]. В последнее время появились расчеты непрерывного излучения азота, кислорода и воз духа [113, 114]: поэтому в принципе возможна указанная диагностика и для азота. Вследствие немонотонного распре деления заселенностей уровней НеІ как в стационарном, так и распадающемся состояниях, определение температуры электронов по отношению заселенностей уровней лишено смысла. Самым достоверным считают измерение температуры электронов по отношению интенсивностей линий ионов раз ной кратности вследствие большой разности энергий верх них уровней. Однако линия H ell 4686 заметна в спектре
л е н и я п л а з м ы р а з л и ч н ы х г а з о в п р и р а с п а д е |
п о с л е |
о б р ы в а |
т о к а |
|||||||||||||
( с ) ; |
г е л и я ( б ) ; |
а з о т а |
и а р г о н а ( е ) . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
торым |
проводили |
измерения |
п е |
и Т . На |
рис. (б) приведены длины |
волн |
(А) |
|||||||||
цию электронов о |
— H ell |
4 6 8 6 ; |
• |
— НеІ |
3 8 8 9 ; |
д — 44 7 1 |
; |
□ |
— |
и |
НеІ |
|||||
стей |
линий |
H ell |
4 6 8 6 |
и НеІ |
5 8 7 6 ; |
/ — то |
же для |
линий НеІ 4 4 7 1 |
||||||||
НеІ 4 0 2 6 ; |
4 — то |
же |
для |
линий |
4 7 1 3 |
и |
4 0 2 6 ; |
S — то |
же |
для |
линий |
|||||
и 4 0 2 6 . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
247