- •Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования
- •2 Материалы самостоятельной работы
- •2.1 Состав понятий, определений, отношений дисциплины
- •2.2 Контрольные работы по дисциплине
- •Вариант 5
- •Вариант 13
- •Вариант 14
- •Вариант 15
- •Вариант 16
- •2.2.2 Работа №1б. Резисторы полупроводниковых ис
- •2.2.3 Контрольная № 2 Параметры и проектирование топологии бпт
- •Вариант 1
- •Вариант 2
- •Вариант 3
- •Вариант 4
- •Вариант 5
- •Вариант 13
- •Вариант 14
- •Вариант 15
- •Вариант 16.
- •Вариант 21
- •Вариант 22
- •Вариант 23
- •Вариант 24
- •Вариант 25
- •Вариант 26
- •Вариант 34
- •Вариант 35
- •Вариант 36
- •Вариант 37
- •Вариант 42
- •Вариант 50
- •Вариант 51
- •Вариант 52
- •Вариант 53
- •3 Методический материал к контрольным работам
- •3.1 Расчётные соотношения и константы работы №1а
- •Напряжение лавинного пробоя Uпроб, в:
- •Nпов – поверхностная концентрация примесей;
- •3.2 Расчётные соотношения и формы к работе №1б
- •3.3 Расчётные формы и соотношения к работе №2
- •4 Контроль знаний
- •Вопрос 2.7 Комбинированной изоляции элементов кристаллов соответствует:
- •Вопрос 3.2 Условия легирования технологических слоёв при формировании бпт структуры эпсб:
- •Вопрос 3.3 Условия легирования технологических слоёв при формировании бпт структуры эпск:
- •Вопрос 3.4 Условия легирования технологических слоёв при формировании бпт структуры эпск со скрытым слоем в коллекторе:
- •Вопрос 3.5 Условия легирования технологических слоёв при формировании бпт структуры квд с дополнительным скрытым легированным слоем в коллекторе:
- •Вопрос 3.6 Какому из перечисленных способов проектной оценки поверхностного сопротивления легированных полупроводниковых слоёв необходимы первичные сведения:
- •Вопрос 4.10 Для удовлетворения требований ко времени переключе-ния бпт выбором топологических форм и размеров необходимо:
- •Тема 5 Диоды имс, модификации бпт, элементы на бпт
- •Вопрос 5.1 Укажите структурные соединения слоёв n-p-n-бпт структуры эпсб для гальванически максимально «изолированных» от подложки диодов:
- •Вопрос 5.5 Укажите среди приведенных требования, которым должны соответствовать конструкции мэт для применения в качестве входных элементов схем ттл:
- •Вопрос 5.6 Укажите актуальные требования, которым должны соот-ветствовать конструкции многоколлекторных транзисторов (мкт) для применения в качестве элементов интегральных цифровых схем:
- •Вопрос 5.7 Укажите соответствие приведенных свойств конструкциям транзисторов и барьером Шоттки (тш) для применения в качестве элементов цифровых схем:
- •Вопрос 6.5 Структуры конденсаторов полупроводниковых микросхем представлены:
- •Вопрос 7.9 Укажите положительные качества совмещённых бпт и полевых приборов с управляемым p-n-переходом каналом для применения в конструкциях имс.
- •Вопрос 7.10 Время хранения состояния структуры пзс как регистра сдвига и памяти с последовательным доступом определяется:
- •Вопрос 7.11 Выделите корректные утверждения по конструкциям, свойствам и управлению зарядовыми приборами на транзисторах с зарядовой связью (тзс):
- •Вопрос 7.12 Выделите корректные утверждения для приборов c зарядовой связью на пожарных цепочках:
- •Тема 8 Гибридные микросхемы
- •Вопрос 8.1 Выделите корректные утверждения относительно конструкций плат гимс:
- •Вопрос 8.2 Выделите корректные утверждения относительно конструкций тонкоплёночных резисторов гимс:
- •Вопрос 8.3 Выделите корректные утверждения относительно параметров конструкций толстоплёночных резисторов гимс:
- •Вопрос 8.4 Выделите корректные утверждения относительно параметров конструкций тонкоплёночных конденсаторов гимс:
- •Вопрос 8.5 Выделите корректные утверждения относительно параметров конструкций толстоплёночных конденсаторов гимс:
- •Вопрос 8.6 Выделите корректные утверждения относительно параметров конструкций резисторов с подгонкой номинала гимс:
- •Вопрос 8.7 Выделите корректные утверждения относительно пара-метров конструкций плёночных катушек индуктивности гимс:
- •Вопрос 8.8 Выделите корректные утверждения относительно конструкций пассивных компонент гимс;
- •Вопрос 8.9 Выделите корректные утверждения относительно конструкций и применяемости активных компонент гимс:
- •Вопрос 8.10 Выделите корректные утверждения относительно конструкций свч имс:
- •Тема 9 Большие ис, планирование кристаллов
- •Вопрос 9.1 Степень интеграции имс это число, округлённое до целого в верхнюю сторону, равное:
- •Вопрос 9.2 Отнесение к категории больших интегральных микросхем (бис):
- •Вопрос 9.3 в производстве и проектировании бис имеют место:
- •Вопрос 9.4 Отличие перечня этапов проектирования кристаллов бис от состава этапов проектирования кристаллов более низких степеней интеграции:
- •Вопрос 9.5 Элементной базой кристаллов полузаказных цифровых бис являются:
- •Вопрос 9.6. Библиотеки и каталоги топологий элементов, топологических ячеек с наборами не соединённых радиоэлементов, логических вентилей, функциональных групп, структурных единиц устройств позволяют:
- •Вопрос 10.5. Каналы доступа агрессивных химических веществ к элементам конструкции микросхем, определяющим устойчивость и стабильность функциональных параметров микросхем:
- •Вопрос 10.6 Повышение устойчивости микросхем к действию агрессивных сред достигается:
- •Билет № 11
- •Билет № 13
- •Билет № 14
- •Билет №19
Билет №19
1. Выбор форм и размеров п/п резисторов под заданные параметры. Варианты конструкций п/п резисторов.
2. Задача. Изобразите на рисунке структуру транзистора с барьером Шоттки и объясните механизм повышения быстродействия по переключению БПТШ.
Билет № 20
1. Диоды ИС с барьером Шоттки. Структура, топология. Параметры. Применение. БПТ с диодами Шоттки. Цифровые ТТЛШ ИС.
2. Задача. Выполните выбор формы и расчет размера полупроводникового резистора под следующие параметры: R = 80 ом; R0 = 5∙10-6 ом/см2; R□ = 10 ом; R = 0,2; R□ = 0,1; Резистор в эмиттерном слое структуры ЭПСК; Do = 2мкМ – минимальное расстояние между смежными границами в топологии; Хeb = 1,5 мкМ. Учесть влияние профиля.
Билет № 21
1. Инжекционный БПТ. Структура, топология БПТ с инжекционным диодом. Формирование топологии базиса схем И2Л. Выбор размеров и форм элементов.
2. Задача. Сравните в форме отношения площади топологических рисунков БПТ в структурах ЭПСК и ЭПСВ при следующих данных: Толщина структуры в приборах – 6 мкм; границы топологии на поверхности образуют квадраты размером 50х50 мкм. Технология – 4 мкм. В площадь прибора включается половина разделительной области между смежными приборами.
Билет № 22
1. План кристаллов ИС. Области и их назначение на кристалле. Зависимость размеров элементов от структуры приборов. Направления снижения потерь и площади кристалла.
2. Задача. Определите напряжение пробоя и удельную емкость изоляции структуры ЭПСК по донной и боковой поверхности при следующих данных: материал Si; NЭПС = 1017 [см-3]; NP = 1016 [см-3]; Nразд.пов. = 1018 [см-3]; FК = 0,7 в. – конт. разность, NЭПС = 6 мкм; ХРАЗД = 8 мкм.
Билет № 23
1. Эффекты модуляции размеров структурных областей резисторов, транзисторов. Влияние на ВАХ резисторов, БПТ «поперечной» структуры.
2. Задача. Определите размеры и представьте эскиз контактного перехода резистора при следующих данных: РR = 0,2 вт, РУД = 2 вт/см2, R□ = 0,4 ком, Р = 4 ком, Р0 = 0,2 ом∙мм2, ∆l = ∆с = 50 мкм.
Определите погрешность Rk/R (.Rk – сопротивление контактов).
Билет № 24
1. Эффект модуляции проводимости на п/п кристаллах. Планарный полевой транзистор (ППТ). Параметры полевого транзистора. Зависимость от первичных параметров слоев. Влияние топологии на параметры ППТ.
2. Задача. Выполните расчет резистора. Исходные данные: R = 5 кОм; R□ = 500 ом; R 2∙10-2; R□ = 5∙10-2; L = ∆C 20 мкм; R0 = 0,1ом*мм2; Р = 0,1 вт; Руд = 2 вт/см2.
Билет № 25
1. Оценка и обеспечение показателей качества конструкций ИС. Обеспечение теплового режима. Учет свойств материалов и конструкций ИС. Модели учета.
2. Задача. Определите индуктивность и добротность катушки индуктивности пленочного типа круглой формы, размещенной на площади 1 см2. Разрешенный минимальный размер и соответственно зазор 50 мкм, сопротивление проводника R□ пр. = 0,05 ом, частота применения 2 мГц.
Поверхностным эффектом пренебречь.
Билет № 26
1. Средства защиты кристаллов и плат ИС. Конструкции ИС. Корпусы. Нормирование требований к конструкциям корпусированных ИС.
2. Задача. Определите толщину коллекторного слоя структуры с ЭПСВ (n-p-n) при следующих данных: NЭПС = 1018 см-3; NОСНОВ = 1016 см-3; Nmаx коллектора = 5∙1018 см-3. Используя планшеты Ирвина, выполните расчет сопротивления квадрата слоя коллектора.
Билет № 27
1. Влияние частоты на параметры планарных конструкций. Частотные эффекты в материалах и радиоэлементах. Модификация конструкций элементов для применения в диапазоне СВЧ. Требования к конструкциям, формам, размерам. Средства согласования
2. Для однополосковых планарных конструкций электродов к эмиттеру и базе БПТ приведите и объясните ожидаемую графическую форму зависимости плотности тока в электродах от координат Х, У. Начало системы координат на плоскости каждой из названных электродных областей предпочтительно совместить с границей начала активной области электрода.
Билет № 28
1. Компоненты ГИС. Конструкции. Сравнительная характеристика. Основные параметры активных и пассивных радиоэлементов – компонент. Ограничения на применение.
2. Задача. В структуре ЭПСК n-p-n необходимо обеспечить напряжение (рабочее) изоляции коллектор – основание ≥ 10в. Известно: толщина ЭПС – 8 мкМ; глубина разделительной диффузии -10 мкМ; NЭПСК = 1016 см-3.
Определите концентрации в пластине и на поверхности разделительной области, при которых требование задания удовлетворяется.
Билет № 29
1. Индуктивности ГИС и ИС. Параметры, конструкции. Выбор форм и размеров. Схема замещения индуктивности. Зависимость параметров от частоты.
2. Задача. В структуре ЭПСВ концентрация примесей ЭПС и исходной пластины равны NЭПС. Толщина ЭПС = 6 мкМ; ХКВ = 3 мкМ. Глубина разделительной диффузии - 4 мкМ. Максимальные концентрации в разделительной области и слое коллектора относятся как 1/5. Сравните напряжени см-3е пробоя изоляции коллектора по боковой поверхности и основанию.
Билет № 30
1. Конденсаторы тонко- и толстопленочные без и с подгонкой номинала. Параметры. Выбор форм и размеров. Схемы замещения зависимости частотных параметров.
2. Задача. Определите коэффициент передачи тока базы в структуре БПТ (n-p-n) с ЭПС базы при рабочем напряжении UКЭ = 4в и следующих данных: Neo = 1020 см-3; Nbo = 1017 см-3; Nkm = 1018 см-3; Хeb = 10 – 4 см ; Хkb= 2∙10-4 см; Xэпс = 5∙10-4 см; Feb = Fkb = 0,7 в; Tnb= 1 мкС; Tpe = 0,1мкС; Ukb проб.> 20 в; Dnb = 5 см2/сек.
Билет № 31
1. Резисторы с подгонкой номинала. Выбор форм и размеров тонко и толстопленочных резисторов с подгонкой конструкции. Параметры.
2. Задача. При неизменном токе эмиттера БПТ (n-p-n) типа оцените изменение коэффициента передачи тока базы при увеличении напряжения между коллектором и эмиттером с 4 до 8 вольт при следующих данных: структура – ЭПСК; Ueb = 0,6 в; Web(0)= 0,1мкМ; Wkb(0) = 0,3мкМ; Хkb = 2мкМ; Хeb =1мкМ; La = 0,3мкМ; Ld = 0,1мкМ; Dnb = 5см2/сек; Tpe= 0,1мкС; Tnb= 1мкС; Ukb проб.= 35 в;.
Билет № 32
1. Резисторы ГИС. Конструкции, параметры резисторов. Выбор форм и размеров резисторов без подгонки. Схемы замещения. Частотные зависимости параметров.
2. Задача. Определите максимальный ток одноэмиттерной топологии БПТ с двухсторонним базовым контактом при следующих исходных данных: R□соед. = 0,2 ом; I0 = 2 А/мм2; В = 100; R□b акт.= 1500 ом; Do = 2∙10-4 см, при отклонении плотности тока по эмиттеру не более 10%. (Do-минимальный технологический размер окна в слое)..
Билет № 33
1. ГИС. Платы, материалы, соединения, контакты. Планирование областей плат ГИС. Выбор форм и размеров, контактов, соединений.
2. Задача. Определите максимальный ток одноэмиттерной топологии БПТ с двухсторонним базовым контактом при следующих исходных данных: R□соед. = 0,2 ом; I0 = 2 А/мм2; В = 100; R□b акт.= 1500 ом; Do = 2∙10-4 см, при отклонении плотности тока по эмиттеру не более 10%. (Do-минимальный технологический размер окна в слое)..
Билет № 34
1. Схема замещения ППТ, ММДПТ для оценки временных и частотных параметров приборов и схем с их применением. Зависимость параметров от частоты.
2. Задача. Выполните выбор формы и расчет размера полупроводникового резистора под следующие параметры: R = 80 ом; R0 = 5∙10-6 ом/см2; R□ = 10 ом; R = 0,2; R□ = 0,1; Резистор в эмиттерном слое структуры ЭПСК; Do = 2мкМ – минимальное расстояние между смежными границами в топологии; Хeb = 1,5 мкМ. Учесть влияние профиля.
Билет № 35
1. Топологический чертеж ИС, оригинал, шаблон. Назначение, состав объектов и форм представления на топологическом чертеже кристаллов.
2. В выходном усилителе мощности ТТЛ схемы применен смещающий уровни напряжений диод. Выходной узел усилителя расположен между катодом диода и коллектором активного транзистора. Аргументируйте выбор структуры интегрального диода.
Билет № 36
1. Торцевые БПТ. Структура. Топология. Обеспечение параметров назначения через первичные параметры структуры, форму и размеры. Типовые значения параметров. Область применения.
2. Оцените емкость и добротность пленочного конденсатора при следующих ограничениях: Суд. = 8000 пф/см2; частота применения - 10 МГц; tg б = 0,01; R□ пр.= 0,05 Ом; длина и ширина перекрытия обкладок соответственно равны 5мм и 10 мм; Оцените габариты при L = ∆C 20 мкм;
Билет № 37
1. Функциональная интеграция п/п ИС. Принципы функциональной интеграции. Привести пример топологии к цифровым ИС.
2. Задача. Сравните в форме отношения площади топологических рисунков БПТ в структурах ЭПСК и ЭПСВ при следующих данных: Толщина структуры в приборах – 6 мкм; границы топологии на поверхности образуют квадраты размером 50х50 мкм. Технология – 4 мкм. В площадь прибора включается половина разделительной области между смежными приборами.
Билет № 38
1. Искажения и помехи в п/п ИС и ТИС. Классификация искажений и помех. Способы ослабления влияния. Модели и методы оценки влияния помех
2. Задача. Выполните расчет размеров тонкопленочного резистора при следующих исходных данных: R = 2,5 кОм; R□ = 0,5 кОм; R0 = 0,5 ом*мм2, R 0,15; R□ 0,06; P 200 мвт; Руд 2 вт/см2; совм ∆лин 10 мкм.