МЭИ(ТУ) Физика
.pdf
женного плоского слоя представлены соответственно на рис. 10, 11.
На графиках отсутствуют скачки на границах объемных зарядов при x = ± d1/2 (± d2/2), так как поле определяется в одном и том же полупроводнике.
Задача 4.2
Найти зависимость E = f(x) >в p-n-переходе со ступенчатым распределением при- месей (рис. 9), если известны ρ1 и ρ2, d1 и d2.
Решение 4.2
Поле p-n-перехода определяется как сумма полей E+(x) положительного и Е-(x) от- рицательного объемного зарядов (рис. 12). Поскольку уже решена задача для диэлек- трического слоя с объемной плотностью заряда ρ (начало координат в середине слоя), то остается только перенести начало координат на d1/2 и d2/2 соответственно. Тогда для положительного и отрицательного объемных зарядов (для каждого отдельно) получим
значение E(x) внутри слоев: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
(x ) |
|
|
ρ |
1 |
æ |
|
|
d |
1 |
|
ö |
|
|
|
|
|
(x )= - |
|
ρ |
2 |
æ |
|
d |
2 |
ö |
|||||
E |
+ |
= |
|
|
|
çx |
+ |
|
|
|
|
÷ |
|
; E |
− |
|
|
çx |
- |
|
÷ . |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
ε0 |
ε è |
|
|
|
2 |
|
ø |
|
|
|
|
|
|
|
ε0ε è |
|
2 ø |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
Согласно принципу суперпозиции в каждой точке поля, |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
E(x) = E+(x) + Е-(x), |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
поэтому |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ρ |
æ |
|
|
|
d |
1 |
ö |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
çx + |
|
|
|
÷ |
|
|
|
|
ρ2 d2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
E1 (x )= |
|
1 è |
|
|
2 |
ø |
+ |
|
|
(-d1 ≤ x ≤ 0); |
|
|
(1) |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
ε0ε |
|
|
|
|
|
2ε0ε |
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
- ρ |
æ |
- |
d |
ö |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
çx |
|
|
|
1 |
÷ |
|
|
|
ρ1d1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
E2 (x ) |
= |
|
|
|
2 è |
|
|
|
2 |
|
ø |
+ |
(0 ≤ x ≤ d2). |
|
|
(2) |
||||||||||||||||
|
|
|
|
ε0ε |
|
|
|
|
|
|
2ε0ε |
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
В общем случае p-n-переход оказывается несимметричным, так как Nд ≠ Nа. Считая, что все атомы примеси ионизованы, для объемных плотностей зарядов в левой и пра- вой частях p-n-перехода можно записать ρ1 = Nдq, ρ2 = Nаq, где q – элементарный заряд. Используя закон сохранения заряда, запишем
Q = ρ1d1S = ρ2d2S = Nдqd1s = Nаqd2s, |
(3) |
откуда ρ1d1 = ρ2d2, Nдd1 = Nаd2 и, учитывая, что d = d1 – d2, получим
разность потенциалов равна с учетом (3) и (4) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
Dϕк = ϕ |
|
|
-ϕ |
|
|
|
qN |
d2 |
|
|
|
|
qN |
д |
d2 |
|
|
qd2N |
д |
N |
а |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
= |
|
|
д |
1 |
|
+ |
|
|
|
|
2 |
= |
|
|
|
. |
(9) |
||||||||
|
x =d1 |
|
x =d2 |
|
2ε0ε |
|
|
|
2ε0ε |
2ε0ε(N д + Nа ) |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
На практике, наоборот, по обычно известной |
|
|
φк |
определяют ширину p-n-перехода |
|||||||||||||||||||||||||
обедненной области |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2ε |
0 |
εDϕ |
к |
æ |
|
1 |
|
|
|
1 |
|
ö |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
d = |
|
|
|
ç |
|
|
|
|
+ |
|
|
|
÷ . |
|
|
|
|
|
(10) |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
q |
|
|
ç |
|
|
|
|
|
|
|
N а |
÷ |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
è N д |
|
|
ø |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
В обедненной области p-n-перехода практически отсутствуют электроны и дырки, т. е. эта область обладает высоким сопротивлением. Если к p-n-переходу прикладывать высокое напряжение, то это напряжение будет падать на высокоомную область p-n-перехода. Таким образом, толщину p-n-перехода можно регулировать внешним на- пряжением U:
|
2ε0 |
ε(Dϕк +U )æ |
1 |
|
1 |
ö |
|
|
d = |
|
|
ç |
|
+ |
|
÷ . |
(11) |
|
|
|
|
|||||
|
|
q |
ç |
N д |
|
|
÷ |
|
|
|
è |
|
N а ø |
|
|||
При изменении ширины обедненной области изменяется соответственно и заряд этой области, т. е. p-n-переход обладает нелинейными емкостными свойствами.
Задача 4.4
Найти емкость p-n-перехода, ширина и площадь которого соответственно равны d и s, при условии, что Nд >> Nа.
Решение 4.4
Емкость p-n-перехода носит название «барьерной» и определяется как C = dUdQ .
Практически большинство p-n-переходов являются несимметричными, что позволяет упростить расчетные формулы. В частности, если Nд >> Nа, то из (4) следует d2 >> d1 и d ≈ d2, т. е. ширина p-n-перехода практически определяется шириной области с мень- шей концентрацией примеси (в данном случае p-области). Выражение для контактной разности потенциалов (9) упрощается:
Dϕк = |
qd 2 N а |
. |
(12) |
|
|||
|
2ε0ε |
|
|
Найдем барьерную емкость несимметричного p-n-перехода. Обозначим ширину p-n-перехода, изменяющуюся под действием внешнего напряжения, как x. Тогда заряд
каждой из обедненных областей равен Q = Nаqsx, а разность потенциалов, приложенная к p-n-переходу в обратном направлении, в соответствии с (11) равна
qN x 2
U = 2εа0ε - Dϕк .
Найдя dQ = Nаqs dx и dU = |
qN а x |
dx , получим выражение для «барьерной» емкости |
|||||
|
|||||||
|
|
|
ε0ε |
|
|
|
|
C = |
dQ |
|
ε0εs |
или C = s |
ε0εqN а |
|
|
|
= |
x |
|
. |
(13) |
||
dU |
2(Dϕк +U ) |
||||||
Таким образом, емкость p-n-перехода определяется так же, как емкость плоского кон- денсатора; существенная разница состоит в том, что x, а, следовательно, и емкость p-n-перехода, зависит от приложенной разницы потенциалов. Причина совпадения формул – в характере изменения заряда p-n-перехода: при изменении напряжения па p- n-переходе заряд изменяется потому, что смещаются границы p-n-перехода.
4. Обсуждение
Изучение зависимости емкости p-n-перехода от приложенной разности потенциа- лов, позволяет определить характер распределения примесей.
Зависимость емкости p-n-перехода от величины приложенного обратного напряже- ния используется в специальных полупроводниках диодах, которые называются вари- капами и которые предназначены для использования в качестве элемента с электриче- ски управляемой емкостью. В частности, с помощью варикапа можно управлять резо- нансной частотой цепи, варьируя ее емкость изменением внешнего напряжения.
Рассмотрим численные примеры.
Пусть Nд = 1023 м-3, Nа = 1021 м-3, d = 0,8 мкм, s = l см2, ε = 12. Это случай, когда Nд = Nа и d2 ≈ d = 0,8 мкм, d1 ≈ d/100 = 0,008 мкм. Максимальное значение поле прини- мает в точке x = 0, а его численное значение равно Emax = ρ2 d/(ε0ε) = Nаqd/(ε0ε) = = l,2 · l06 В/м. Отсюда видно, что вблизи перехода существует довольно сильное поле.
Контактная разность потенциалов
Dϕ |
|
» |
qd2N |
а |
= |
1,6 ×10−19 ×0,8 ×10−12 ×1021 |
» 0,48 В . |
||
к |
2ε ε |
2 ×8,85 ×10−12 |
×12 |
||||||
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
Значение емкости при U = 0 в нашем случае C = ε0εs/d = 1,3 · 104 пФ. При внешнем на- пряжении U1 = – 1 В, U2 = – 10В (обратное напряжение складывается с φк) емкость
соответственно будет равна C1 = 7,6 · 103 пФ, C2 = 2,8 · 103 пФ, т. е. емкость при напря- жении U2 уменьшилась примерно в пять раз.
Сила, перпендикулярная к скорости движения, не меняет величину скорости, но меняет ее направление. Траекторией движения является окружность, центр которой лежит на оси цилиндра.
По 2-му закону Ньютона
n
ma = åFi = qE ,
i=1
где m – масса электрона.
В проекции на ось y, направленную к центру окружности, man = m vr2 = qE ,
где v – скорость электрона, равная начальной скорости; r – радиус окружности. Напряженность электрического поля E и разность потенциалов между обкладками
цилиндрического конденсатора |
U |
|
находим |
по формулам E = τ/(2πε0r); |
|||||||||||||||
U = τ ln |
R2 |
(2πε0 ) (см. решение задачи 3). Тогда |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
R1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
m v2 |
= qE = |
|
|
qU |
|
; |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
r |
|
|
|
|
|
r ln |
|
R2 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
R |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
mv2 ln |
R2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
U = |
R |
|
. |
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
q |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Начальная скорость электрона определяется по закону сохранения энергии: |
|||||||||||||||||||
|
|
|
mv2 |
= A = qU |
0 |
; |
v = |
2qU0 |
; |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
2 |
поля |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
U = m2qU0 |
ln |
R2 |
= 2U0 ln |
R2 |
. |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
mq |
|
|
R1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
R1 |
|||
4.Обсуждение
Взависимости от величины энергии частиц используют конденсаторы с различны-
ми геометрическими размерами. При энергии частиц ≈ 1 эВ радиусы цилиндров R1 = 10 мм, R2 = 15 мм, ширина входной и выходной щелей равна 0,5 мм. Высота цилиндров h = 4 мм. При исследовании высокоэнергетических частиц до 50 МэВ радиус основной траектории 2 м, зазор между электродами 1 см.
Если пучок частиц содержит частицы разных энергий, то, меняя разность потен- циалов между обкладками конденсатора, мы можем фокусировать в одной и той же точке частицы разных энергий.
В спектрометре, установленном на борту искусственного спутника Земли «Мол- ния-1», предназначенного для измерения энергии электронов и протонов в диапазоне энергий 1-20 кэВ, средний радиус обкладок 8см, ширина зазора 0,4 см.
Анализ энергетического спектра пучка заряженных частиц является одним из важ- ных методов, используемых во многих физических приборах.

