Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

МЭИ(ТУ) Физика

.pdf
Скачиваний:
1234
Добавлен:
31.03.2015
Размер:
40.05 Mб
Скачать

смотря на малую толщину (примерно 10-4 10-6 см) электрическое сопротивление пере- хода оказывается определяющим.

2. Формулировка задачи

P-n-переход образован ступенчатым распределением примесей. В левой части по- лупроводника концентрация доноров Nд, в правой части концентрация акцепторов Nа. Площадь p-n-перехода S. Диэлектрическая проницаемость полупроводника ε. Найти E(x), φ(x), контактную разность потенциалов и емкость p-n-перехода.

Как уже говорилось, задачу удобно разбить на несколько частей: поле однородно заряженного слоя диэлектрика, поле p-n-перехода, контактная разность потенциалов, емкость.

3. Решение

Задача 4.1

Плоский слой диэлектрика толщиной d1 (d2) равномерно заряжен по объему с по- стоянной плотностью заряда ρ1 (ρ2). Найти E как функцию координаты x, считая, что начало координат находится в середине соответствующего слоя.

Решение 4.1

Для нахождения вектора смещения D воспользуемся обобщенной теоремой Остро- градского-Гаусса. Выбирая гауссову поверхность в виде цилиндра с образующей, пер- пендикулярной поверхности слоя, и с основаниями, расположенными симметрично от- носительно центра слоя на расстоянии x от нее, получаем для D и E поля следующие выражения:

D

 

= ρ

x ü

 

 

 

 

D

 

=

ρ1d1

 

ü

 

 

 

 

x

 

d

 

 

 

 

ï

 

 

d

 

 

 

 

 

1

ï

 

 

1

 

 

x

 

2

 

 

 

 

 

 

 

ρ1x ý

x

£

 

;

 

 

 

 

ý

x

³

 

1

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E x

=

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

ρ1d1

 

 

 

 

2

 

ε

0

ε ï

 

 

E x =

 

 

ï

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

þ

 

 

 

 

 

 

 

2ε0ε

ï

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

þ

 

 

 

 

Аналогичные формулы получим для слоя отрицательного объемного заряда с плотностью ρ2. Графики зависимости Ex = f(x) для положительно и отрицательно заря-

Рис. 10.

Рис. 11.

женного плоского слоя представлены соответственно на рис. 10, 11.

На графиках отсутствуют скачки на границах объемных зарядов при x = ± d1/2 (± d2/2), так как поле определяется в одном и том же полупроводнике.

Задача 4.2

Найти зависимость E = f(x) >в p-n-переходе со ступенчатым распределением при- месей (рис. 9), если известны ρ1 и ρ2, d1 и d2.

Решение 4.2

Поле p-n-перехода определяется как сумма полей E+(x) положительного и Е-(x) от- рицательного объемного зарядов (рис. 12). Поскольку уже решена задача для диэлек- трического слоя с объемной плотностью заряда ρ (начало координат в середине слоя), то остается только перенести начало координат на d1/2 и d2/2 соответственно. Тогда для положительного и отрицательного объемных зарядов (для каждого отдельно) получим

значение E(x) внутри слоев:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(x )

 

 

ρ

1

æ

 

 

d

1

 

ö

 

 

 

 

 

(x )= -

 

ρ

2

æ

 

d

2

ö

E

+

=

 

 

 

çx

+

 

 

 

 

÷

 

; E

 

 

çx

-

 

÷ .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ε0

ε è

 

 

 

2

 

ø

 

 

 

 

 

 

 

ε0ε è

 

2 ø

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Согласно принципу суперпозиции в каждой точке поля,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E(x) = E+(x) + Е-(x),

 

 

 

 

 

 

 

поэтому

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ρ

æ

 

 

 

d

1

ö

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

çx +

 

 

 

÷

 

 

 

 

ρ2 d2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E1 (x )=

 

1 è

 

 

2

ø

+

 

 

(-d1 x 0);

 

 

(1)

 

 

 

 

ε0ε

 

 

 

 

 

2ε0ε

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- ρ

æ

-

d

ö

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

çx

 

 

 

1

÷

 

 

 

ρ1d1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E2 (x )

=

 

 

 

2 è

 

 

 

2

 

ø

+

(0 x d2).

 

 

(2)

 

 

 

 

ε0ε

 

 

 

 

 

 

2ε0ε

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В общем случае p-n-переход оказывается несимметричным, так как Nд Nа. Считая, что все атомы примеси ионизованы, для объемных плотностей зарядов в левой и пра- вой частях p-n-перехода можно записать ρ1 = Nдq, ρ2 = Nаq, где q элементарный заряд. Используя закон сохранения заряда, запишем

Q = ρ1d1S = ρ2d2S = Nдqd1s = Nаqd2s,

(3)

откуда ρ1d1 = ρ2d2, Nдd1 = Nаd2 и, учитывая, что d = d1 d2, получим

d1

=

 

 

dN а

 

 

 

;

d2 =

dN д

.

 

N а + N

 

 

N а + N д

 

 

 

д

 

 

 

С учетом соотношения ρ1d1 = ρ2d2 окончательно будем

иметь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E1

(x )=

 

 

ρ1

 

(x + d1 )

(5)

 

 

ε0ε

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E2 (x )= −

 

ρ2

 

(x d2 ),

(6)

Рис. 12.

 

ε0ε

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и вне областей объемного заряда Ex = 0. Графически зависимость E(x) представлена на рис. 12.

Задача 4.3

Найти φ(x) и контактную разность потенциалов для p-n-перехода в условиях задачи

4.2.

Решение 4.3

 

Для расчета зависимости φ(x) выбираем ноль потенциала в точке x = 0 (рис. 12) и

для области -d1 x 0 получаем

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ϕ1 = ò0

E1 (x )dx = −

ρ1x 2

 

 

ρ1d1

 

x .

 

(7)

 

 

 

2ε0ε

 

ε0ε

 

 

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Аналогично для области d2 x 0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ϕ2 = ò0

E2 (x )dx = −

 

ρ2 x 2

 

 

ρ2 d2

 

x .

 

(8)

 

 

 

 

2ε0ε

 

 

ε0ε

 

 

 

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вне области объемного заряда E = 0, поэтому φ = const, что для x -d1 дает

ϕ

x =d1

= − ρ d2

(2ε ε ), а для области x d2 ϕ

x =d2

= − ρ d2

(2ε ε )

(рис. 13). Контактная

 

1 1

0

 

 

 

 

1 2

0

 

Рис. 13.

разность потенциалов равна с учетом (3) и (4)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Dϕк = ϕ

 

 

-ϕ

 

 

 

qN

d2

 

 

 

 

qN

д

d2

 

 

qd2N

д

N

а

 

 

 

 

 

 

 

=

 

 

д

1

 

+

 

 

 

 

2

=

 

 

 

.

(9)

 

x =d1

 

x =d2

 

2ε0ε

 

 

 

2ε0ε

2ε0ε(N д + Nа )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

На практике, наоборот, по обычно известной

 

 

φк

определяют ширину p-n-перехода

обедненной области

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2ε

0

εDϕ

к

æ

 

1

 

 

 

1

 

ö

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

d =

 

 

 

ç

 

 

 

 

+

 

 

 

÷ .

 

 

 

 

 

(10)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

ç

 

 

 

 

 

 

 

N а

÷

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

è N д

 

 

ø

 

 

 

 

 

 

 

В обедненной области p-n-перехода практически отсутствуют электроны и дырки, т. е. эта область обладает высоким сопротивлением. Если к p-n-переходу прикладывать высокое напряжение, то это напряжение будет падать на высокоомную область p-n-перехода. Таким образом, толщину p-n-перехода можно регулировать внешним на- пряжением U:

 

2ε0

ε(Dϕк +U )æ

1

 

1

ö

 

d =

 

 

ç

 

+

 

÷ .

(11)

 

 

 

 

 

 

q

ç

N д

 

 

÷

 

 

 

è

 

N а ø

 

При изменении ширины обедненной области изменяется соответственно и заряд этой области, т. е. p-n-переход обладает нелинейными емкостными свойствами.

Задача 4.4

Найти емкость p-n-перехода, ширина и площадь которого соответственно равны d и s, при условии, что Nд >> Nа.

Решение 4.4

Емкость p-n-перехода носит название «барьерной» и определяется как C = dUdQ .

Практически большинство p-n-переходов являются несимметричными, что позволяет упростить расчетные формулы. В частности, если Nд >> Nа, то из (4) следует d2 >> d1 и d d2, т. е. ширина p-n-перехода практически определяется шириной области с мень- шей концентрацией примеси (в данном случае p-области). Выражение для контактной разности потенциалов (9) упрощается:

Dϕк =

qd 2 N а

.

(12)

 

 

2ε0ε

 

Найдем барьерную емкость несимметричного p-n-перехода. Обозначим ширину p-n-перехода, изменяющуюся под действием внешнего напряжения, как x. Тогда заряд

каждой из обедненных областей равен Q = Nаqsx, а разность потенциалов, приложенная к p-n-переходу в обратном направлении, в соответствии с (11) равна

qN x 2

U = 2εа0ε - Dϕк .

Найдя dQ = Nаqs dx и dU =

qN а x

dx , получим выражение для «барьерной» емкости

 

 

 

 

ε0ε

 

 

 

 

C =

dQ

 

ε0εs

или C = s

ε0εqN а

 

 

=

x

 

.

(13)

dU

2(Dϕк +U )

Таким образом, емкость p-n-перехода определяется так же, как емкость плоского кон- денсатора; существенная разница состоит в том, что x, а, следовательно, и емкость p-n-перехода, зависит от приложенной разницы потенциалов. Причина совпадения формул в характере изменения заряда p-n-перехода: при изменении напряжения па p- n-переходе заряд изменяется потому, что смещаются границы p-n-перехода.

4. Обсуждение

Изучение зависимости емкости p-n-перехода от приложенной разности потенциа- лов, позволяет определить характер распределения примесей.

Зависимость емкости p-n-перехода от величины приложенного обратного напряже- ния используется в специальных полупроводниках диодах, которые называются вари- капами и которые предназначены для использования в качестве элемента с электриче- ски управляемой емкостью. В частности, с помощью варикапа можно управлять резо- нансной частотой цепи, варьируя ее емкость изменением внешнего напряжения.

Рассмотрим численные примеры.

Пусть Nд = 1023 м-3, Nа = 1021 м-3, d = 0,8 мкм, s = l см2, ε = 12. Это случай, когда Nд = Nа и d2 d = 0,8 мкм, d1 d/100 = 0,008 мкм. Максимальное значение поле прини- мает в точке x = 0, а его численное значение равно Emax = ρ2 d/(ε0ε) = Nаqd/(ε0ε) = = l,2 · l06 В/м. Отсюда видно, что вблизи перехода существует довольно сильное поле.

Контактная разность потенциалов

Dϕ

 

»

qd2N

а

=

1,6 ×1019 ×0,8 ×1012 ×1021

» 0,48 В .

к

2ε ε

2 ×8,85 ×1012

×12

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

Значение емкости при U = 0 в нашем случае C = ε0εs/d = 1,3 · 104 пФ. При внешнем на- пряжении U1 = – 1 В, U2 = – 10В (обратное напряжение складывается с φк) емкость

соответственно будет равна C1 = 7,6 · 103 пФ, C2 = 2,8 · 103 пФ, т. е. емкость при напря- жении U2 уменьшилась примерно в пять раз.

ЗАДАЧА 5. ПОЛЕ В ЦИЛИНДРИЧЕСКОМ КОНДЕНСАТОРЕ. МОНОХРОМАТОР. СПЕКТРОМЕТР [6]

1. Постановка задачи

Для энергетического анализа пучков заряженных частиц используются приборы, получившие название энергоанализаторов. Они являются составной частью любого электронного спектрометра.

Исторически энергетическая спектроскопия пучков заряженных частиц развива- лась на основе магнитных спектрометров, первоначально задача разделения заряжен- ных частиц по их энергиям и точного ее определения остро встала в ядерной физике, где величина энергии частиц лежит в области мегаэлектрон-вольт. Однако в тех облас- тях, где энергия частиц составляет единицы килоэлектрон-вольт или электрон-вольт, в

качестве энергоанализаторов применяются почти исключительно электростатические системы, так как работа со слабыми магнитными полями затруднительна из-за явлений остаточной намагниченности при использовании ферромагнитных материалов. К пре-

имуществам электростатических систем над магнитными относятся большая простота локализации поля, меньшие размеры и вес, большая легкость экранирования от внеш- них полей. Так как электростатические анализаторы разделяют заряженные частицы по энергии, а не по скорости, то величина массы при заданной энергии роли не играет.

Первым электростатическим анализатором был анализатор, в котором использо- вался сектор цилиндрического конденсатора. Он был предложен Юзом и Рожанским в 1929 г. и получил название конденсатора Юза-Рожанского. В дальнейшем в качестве энергоанализаторов заряженных частиц были использованы и сферический, и плоский конденсаторы.

На рис. 14 изображена схема конденсатора Юза-Рожанского: А входная щель; В выходная щель; Д диафрагмы.

Рис. 14.

В плоскости, перпендикулярной к оси цилиндра, в конденсатор через малое отвер-

стие А в диафрагме Д входит слабо расходящийся пучок частиц с углом полураствора α. Отверстие в диафрагме Д находится на расстоянии r0 = (R1 + R2)/2 от оси конденсато- ра. Если пренебречь расталкивающим действием пространственного заряда пучка и считать пучок слаборасходящимся (α << l), то можно получить уравнение траектории любых частиц моноэнергетического пучка, из которого следует, что пучок фокусирует-

ся в точке r = r0, ϕ0 = π 2 , где помещается выходная щель В анализатора.

2. Формулировка задачи

Электрон, энергия которого соответствует разности потенциалов U0, попадает в ва- кууме в поле цилиндрического конденсатора с радиусами цилиндров R1 и R2. Направ- ление скорости электрона в начальный момент перпендикулярно к плоскости, прохо- дящей через ось конденсатора. При какой разности потенциалов U между обкладками электрон будет лететь внутри конденсатора по окружности?

3. Решение

Силовые линии электростатического поля в цилиндрическом конденсаторе направ- лены радиально (рис. 15), r радиус траектории движения заряда.

На заряженную частицу (электрон), находящуюся между обкладками конденсато- ра, действует электрическое поле с силой Fe = qE, направленной радиально (рис. 15) (q

заряд электрона; E напряженность электрического поля).

По условию задачи направление скорости в начальный момент времени перпенди- кулярно к плоскости, проходящей через ось конденсатора, в которой лежит вектор E, т. е. сила перпендикулярна скорости движения заряда.

Рис. 15.

Сила, перпендикулярная к скорости движения, не меняет величину скорости, но меняет ее направление. Траекторией движения является окружность, центр которой лежит на оси цилиндра.

По 2-му закону Ньютона

n

ma = åFi = qE ,

i=1

где m масса электрона.

В проекции на ось y, направленную к центру окружности, man = m vr2 = qE ,

где v скорость электрона, равная начальной скорости; r радиус окружности. Напряженность электрического поля E и разность потенциалов между обкладками

цилиндрического конденсатора

U

 

находим

по формулам E = τ/(2πε0r);

U = τ ln

R2

(2πε0 ) (см. решение задачи 3). Тогда

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

R1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

m v2

= qE =

 

 

qU

 

;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

r

 

 

 

 

 

r ln

 

R2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

R

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

mv2 ln

R2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U =

R

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Начальная скорость электрона определяется по закону сохранения энергии:

 

 

 

mv2

= A = qU

0

;

v =

2qU0

;

 

 

 

 

 

 

 

 

2

поля

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U = m2qU0

ln

R2

= 2U0 ln

R2

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

mq

 

 

R1

 

 

 

 

 

 

 

 

R1

4.Обсуждение

Взависимости от величины энергии частиц используют конденсаторы с различны-

ми геометрическими размерами. При энергии частиц ≈ 1 эВ радиусы цилиндров R1 = 10 мм, R2 = 15 мм, ширина входной и выходной щелей равна 0,5 мм. Высота цилиндров h = 4 мм. При исследовании высокоэнергетических частиц до 50 МэВ радиус основной траектории 2 м, зазор между электродами 1 см.

Если пучок частиц содержит частицы разных энергий, то, меняя разность потен- циалов между обкладками конденсатора, мы можем фокусировать в одной и той же точке частицы разных энергий.

В спектрометре, установленном на борту искусственного спутника Земли «Мол- ния-1», предназначенного для измерения энергии электронов и протонов в диапазоне энергий 1-20 кэВ, средний радиус обкладок 8см, ширина зазора 0,4 см.

Анализ энергетического спектра пучка заряженных частиц является одним из важ- ных методов, используемых во многих физических приборах.