OFP-Tretyak-Lozovski
.pdf
|
|
ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ |
|
|
|
|
230 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ни EV1 одного напівпро- |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
відника за енергією роз- |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆EC |
|
|
|
|
|
ташовуються |
всередині |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
Eg1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Eg2 |
забороненої зони |
іншого |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(рис. 16.22). У надґратках |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆EV |
|
|
|
|
такого типу виникає пе- |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ріодична |
система кван- |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а |
тових ям для носіїв у |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
першому |
напівпровідни- |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ку, які відділені одна від |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
одної бар'єрами, що |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Eg2 |
утворюються |
в |
іншому |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
E |
g1 |
|
|
|
∆EC,V |
напівпровіднику. |
|
При |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
цьому |
для |
електронів |
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
глибина |
квантової |
ями |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
б |
визначається |
різницею |
|||
|
|
Рис. 16.22. Розташування країв енергетичних зон |
∆EC між мінімумами зон |
||||||||||||||||||||
|
|
у гетеропереходах (ліворуч) і надґратках (праворуч) |
провідності. |
А |
глибина |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
при утворенні надґраток: |
квантових ям для дірок – |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а –першого роду; б – другого роду |
різницею між стелями ва- |
||||||||||||
|
|
лентної зони ∆EV напівпровідників, що утворюють надґратку. |
Ши- |
||||||||||||||||||||
роко розповсюдженою системою, що утворює надґратку першого типу, є AlxGa1–xAs-GaAs. У надґратках другого типу мінімум зони провідності одного напівпровідника розташований у забороненій зоні другого, а максимум валентної зони другого – у забороненій зоні першого. Таким чином, енергетична діаграма надґратки другого типу має східчастий хід зон (рис. 16.22 б). У таких надґратках модуляція країв зони провідності та валентної зони має один знак, що означає: просторово енергетичній ямі електрона відповідає бар'єр для дірки. Прикладом надґратки із такою енергетичною структурою є система
InxGa1–x AS-GaSbyAs1–у.
До надґраток другого типу часто зараховуючть і надґратки, утворені матеріалами із гетеропереходами третього типу, де мінімум зони провідності одного напівпровідника за енергією розташовується нижче, ніж максимум валентної зони другого напівпровідника. Такі надґратки часто називають надґратками другого типу із забороненими зонами, що не перекриваються. Прикладом такої надґратки є система
InAs-GaSb.
Інший метод отримання надґраток – застосування технології пошарового легування. У легованих надґратках використовується один напівпровідник, а періодичний потенціал утворюють чергуванням
231 |
Розділ 16. Низьковимірні напівпровідникові системи |
шарів n- та p-типів одного й того самого напівпровідника. Іноді такі леговані шари відділяють один від одного тонким шаром діелектрика. Незалежно від способу утворення надґратки вона характеризується загальними рисами, головною з яких є наявність у структурі періодичного потенціалу, параметри якого можна задати наперед. Оскільки наявність потенціалу надґратки істотно змінює зонну енергетичну структуру висхідних напівпровідників, то, таким, чином, надгратка за сутністю являє собою новий тип напівпровідникового матеріалу, часто із характеристиками, аналогічних яким у природі не існує. Напівпровідникові надґратки характеризуються особливими властивостями, що зумовлюють їх широке практичне застосування. Наприклад, у них спостерігається:
істотна зміна порівняно із висхідними матеріалами енергетичного спектру;
наявність великої кількості енергетичних зон;
значна анізотропія;
пригнічення процесів електрон-діркової рекомбінації;
концентрація носіїв може контрольовано змінюватись у широкому діапазоні значень, і не визначається легуванням;
широкі можливості перебудови зонної структури.
Для детальнішого розгляду властивостей таких структур спочатку розглянемо ефекти взаємодії електронних станів у двох квантових ямах. Коли ми розглядали одиничні квантові ями, то з'ясували, що електронна хвильова функція є відмінною від нуля в області бар'єра. Відповідно й електрон має ненульову ймовірність проникнення до підбар'єрної області. Цей ефект можна продемонструвати шляхом обчислення ймовірності перебування електрона у бар'єрному шарі гетероструктури, а саме
Pb = ∫ dz |
|
χ(z) |
|
2 . |
(16.100) |
||
|
|
||||||
|
|
||||||
|
z |
>L /2 |
|
||||
Цю ймовірність можна обчислити чисельно. Результат такого обчислення подано на рис. 16.23. Він є однією з основних відмінностей квантової поведінки частинки у тонкій плівці від класичного випадку. Таке тунелювання електрона до підбар'єрної області є основою для взаємодії двох і більше квантових ям і утворення так званих надґраток.
ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ |
234 |
[εi |
+V (z + d /2)− ]Ai χi (z − d /2) + [εi +V (z − d /2)− ]Bi χi (z + d /2) = 0 . |
(16.107) |
|
|||||||||||
Помножимо (16.107) |
спочатку на |
χ* (z − d /2) а потім – на χ* (z + d /2) . |
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
i |
|
|
Обидва тримані рівняння проінтегруємо за z. |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
* |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
εi + ∫ |
−∞∫ dzχi (z − d /2)V (z + d |
/2)χi (z − d /2)− Ai + |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ (εi − )∫dzχi* (z − d /2)χi (z + d /2)+ |
|
|
та |
|
|
||||||
|
|
|
|
−∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
* |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ ∫ dzχi (z −d /2)V (z − d /2)χi (z + d /2) Bi = 0 |
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
−∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(ε − ) ∞ dzχ* (z + d /2)χ (z − d /2) + |
∞ dzχ* (z |
+ d /2)V (z + d /2)χ (z − d |
/2) A |
+ |
||||||||||
i |
∫ |
i |
|
i |
|
∫ |
i |
|
|
|
|
i |
i |
|
|
−∞ |
|
|
|
|
−∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ |
|
(ε − + |
∞ dzχ* (z + d /2)V (z − d /2)χ (z |
+ d /2) B |
i |
= 0 |
|
|
|||||
|
|
|
i |
∫ |
i |
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
−∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Введемо позначення |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
∫dzχi* (z − d /2)χi (z + d /2) = ∫dzχi* (z + d /2)χi (z − d /2) = ri |
(16.108) |
|
|||||||||||
|
|
|
|
∫dzχi* (z ± d /2)V (z d /2)χi (z ± d /2) = si |
|
(16.109) |
|
|||||||
|
|
|
|
∫dzχi* (z − d /2)V (z − d /2)χi (z + d /2) = |
|
|
(16.110) |
|
||||||
|
|
|
|
= ∫dzχi* (z + d /2)V (z + d /2)χi (z − d /2) = ti |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||
та отримаємо систему рівнянь для визначення невідомих коефіцієнтів |
|
|||||||||||||
Ai, Bi |
|
|
[εi + si − ]Ai + [(εi − )ri |
+ ti ]Bi |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
= 0 , |
|
|
(16.111) |
|
||||||
|
|
|
|
[(εi − )ri + ti ]Ai + [(εi − +si ]Bi |
= 0 . |
|
|
(16.112) |
|
|||||
Для існування нетривіальних розв'язків системи рівнянь (16.111)–(16.112) |
|
|||||||||||||
необхідно занулити детермінант цієї системи, тобто виконати умову |
|
|||||||||||||
|
|
|
|
(ε |
+ s − )2 − [(ε − )r |
+ t |
]2 = 0 . |
|
|
(16.113) |
|
|||
|
|
|
|
i |
i |
i |
i |
i |
|
|
|
|
|
|
Звідси маємо

z