Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

OFP-Tretyak-Lozovski

.pdf
Скачиваний:
68
Добавлен:
19.03.2015
Размер:
13.24 Mб
Скачать

299 Розділ 17. Невпорядковані напівпровідникові структури

рентгенорезисторів, фотошаблонів, що використовуються у сучасній

мікрота нанотехнологіях.

I

 

 

Одним із напрямків практичного застосу-

 

 

вання аморфних халькогенідних напівпрові-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дників, що широко обговорювався в 70-ті роки

 

 

 

 

 

минулого століття, було створення перемика-

 

 

 

 

 

чів, що базувались на ефекті перемикання.

 

 

 

 

 

Перехід аморфного напівпровідника із висо-

 

 

 

 

 

коомного до низькоомного стану під дією

IH

 

 

 

 

зміщення Vt і подальше утримання зразка у

IT

 

 

 

 

стані високої провідності за прикладення не-

 

 

 

 

V

 

 

 

 

великого зміщення VH (рис. 17.13) служило базою

 

VH

VT

для створення електронних перемикачів.

Рис. 17.13. Вольт-амперна

Іншим напрямком застосування аморфних

характеристика аморфного

напівпровідників є використання фотоволь-

 

халькогенідного

таїчного ефекту в них для створення простих

 

напівпровідника

у режимі перемикача

у виготовленні недорогих сонячних елементів.

 

 

 

 

 

Оскільки аморфний кремній поглинає сонячне світло майже у сорок разів ефективніше, ніж монокристалічний кремній, то основним напрямком застосування аморфного кремнію є побудова фотовольтаїчних приладів, зокрема сонячних елементів. Ще однією перевагою сонячних елементів на аморфному кремнії є їхня радіаційна стійкість. Дійсно, оскільки аморфний кремній не є структурно однорідним, то навіть значні порушення структури, спричинені дією іонізуючого випромінювання, суттєво не змінять його властивості. Однак виникнення радіаційних дефектів спричинить більш активні рекомбінаційні процеси на цих дефектах, і провідність матеріалу зменшуватиметься. Зрозуміло, що застосування такого матеріалу в електронних приладах не є доцільним. Але якщо аморфний кремній отримується таким чином, що містить деяку кількість водню, то атоми водню насичуватимуть обірвані зв'язки і, таким чином, "заліковуватимуть" радіаційні пошкодження. Приклад можливої схеми сонячних елементів з аморфного кремнію подано на рис. 17.14. Комірка складається із надтонкого (8 нм) шару аморфного кремнію р-типу, середнього шару товщиною 0,51,0 мкм і тонкого (20 нм) нижнього шару n-типу. Верхній шар зроблено відносно прозорим, і майже все світло проходить крізь нього та генерує електрони у середньому шарі. р- та n-шари, виготовлені за допованого аморфного кремнію, створюють електричне поле у чистому середньому шарі, таким чином створюючи рух електронів через нього, що спричиняє розділення зарядів і виникнення різниці потенціалів між верхнім і нижнім шарами.

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

300

скло світло

прозорий провідний шар

+

 

α-Si p-типу

середній шар

α-Si n-типу

 

 

металічна підкладка

Рис. 17.14. Структура типової комірки сонячного елементу з аморфного кремнію

Останніми часами здійснюються інтенсивні роботи із розробки нових електронних приладів на базі аморфних матеріалів, наприклад, нещодавно (2005) на основі нового аморфного матеріалу IGZO (аморфна сполука In-Ga-Zn-O) було розроблено та виготовлено прозорий тонкоплівковий транзистор. Новий матеріал, на відміну від аморфного гідрогенізованого кремнію, де рухливість носіїв не пере вищує

1 см2В1с1, характеризується досить високою рухливістю, що сягає ве-

а

б

в

Рис. 17.15: а – схема тонкоплівкового

транзистора на основі α-IGZO

на полімерній плівці поліетилен-терефталату – PET; бв – фотографії гнучкої плівки із прозорими транзисторами

личини 10 см2В1с1. Такі високі значення рухливості визначаються іншим, ніж у аморфного кремнію, механізмом провідності. Як відомо, електропровідність аморфного кремнію забезпечується стрибковим механізмом і тим самим значення рухливості сильно обмежені. Електропровідність аморфного IGZO забезпечується перенесенням носіїв по делокалізованим станам і в цьому сенсі нагадує перенесення носіїв заряду у звичайних кристалічних напівпровідниках.

Іншою суттєвою відмінністю аморфного IGZO від аморфного кремнію є велика заборонена зона, завдяки чому він прозорий у видимому діапазоні. Це дозволяє використовувати матеріал для виготовлення прозорих електронних пристроїв, наприклад прозорих дисплеїв, які можна наносити безпосередньо на лобове скло автомобілів або літаків. На рис. 17.15 подано структурну схему такого транзистора

301

Розділ 17. Невпорядковані напівпровідникові структури

та фотографії готових пристроїв. Масив гнучких прозорих тонкоплівкових польових транзисторів було створено на поверхні тонкої (200 мкм) полімерної плівки РЕТ. Нанесення шару α-IGZO на поверхню плівки відбувалось шляхом лазерного випаровування кристалічної мішені InGaZnO4 за кімнатної температури в атмосфері кисню. Отримана плівка була напівпровідником n-типу. При цьому концен-

трацію носіїв можна було варіювати у широких межах від 1014 см–3 до

1020 см–3, змінюючи тиск кисню.

У наступному етапі за допомогою стандартної літографії було сформовано масив польових транзисторів із верхнім затвором. Тонкий шар α-IGZO відігравав роль каналу. Електроди та діелектричні шари також виготовлялись із прозорих матеріалів ITO та Y2O3 . Вивчення характеристик транзисторів показали, що нова технологія дає перспективний матеріал для створення гнучких прозорих тонкоплівкових електронних пристроїв, зокрема було виявлено, що вигинання плівки практично не впливає на робочі характеристики транзисторів(рис. 17.16), які здатні функціонувати за температур до 1200 С.

Струм стоку, IDS, мА

0.03

VGS (B)

5.0

0.02

4.0

0.01

 

 

3.0

 

0

 

2.0

1.0

5

10

VDS, B

0

Струм стоку, IDS, мА

0.03

 

 

 

0.02

 

5.0

 

 

 

 

 

 

4.0

 

0.01

 

3.0

 

 

 

 

 

 

2.0

 

0

 

1.0

 

 

 

VDS, B

0

5

10

а б

Рис. 17.16. Залежність струму витікстік IDS від напруги між витоком і стоком VDS за різних напруг на затворі VGS у плівці: а – ненапруженій, б –напруженій (вигнутій)

Аморфні напівпровідники також використовуються при побудові потужних напівпровідникових лазерів інфрачервоного діапазону, зокрема відомо, що надійність потужних напівпровідникових лазерів визначається, крім всього, багатошаровим інтерференційним дзеркалом, що формується на торці структури (див. розд. 15). Матеріали, що використовуються у таких оптичних покриттях, мають бути стійкими до дії інтенсивних випромінювань (аж до випромінювання з ін-

тенсивністю ~ 106 Вт см–2. Використання аморфного кремнію як речовини із високим значенням коефіцієнту заломлення у шарі, що

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

302

формує інтерференційне дзеркало лазерної структури на основі тве-

рдих розчинів AIIIBV,має багато переваг порівняно із суто діелектричними дзеркалами. По-перше, таке покриття може бути достатньо малої товщини, що зумовлена високими значеннями відбиваючої здатності на межах розподілу аморфний кремнійдіелектрик, яка визначається великою різницею коефіцієнтів заломлення. По-друге, оскільки за-

звичай напівпровідникові лазери на основі матеріалів AIIIBV випромінюють в області ~ 1 мкм, тобто поблизу області прозорості аморфного кремнію, втрати через поглинання, отже й нагрівання вихідних дзеркал лазерів будуть незначними. Крім того, оптичні властивості аморфного кремнію значно залежать від умов його отримання. Це означає, що ретельний підбір умов отримання α-Si дозволяє створювати покриття із мінімальними втратами й тим самим оптимізувати лазерну структуру у цілому.

17.7. Завдання

1. Пояснити, чому у некристалічних речовинах формуються енергетичні зони.

2. Визначте переваги та недоліки використання аморфного кремнію у сонячній енергетиці

Список літератури

1.Смит Р. Полупроводники. – М.: Мир, 1982.

2.Мотт Н., Электроны в неупорядоченных структурах . – М.: Мир, 1969.

3.МоттН.,ДэвисЭ. Электронныепроцессывнекристаллическихвеществах: В 2

т. – М.: Мир, 1982

4.Pollak M.,, Noncrystalline Semiconductors: v.1–3. – CRS Press, 1987.

5.Kasap S.O. Principles of Electronic Materials and Devices, McGraw-Hill, 2005.

Розділ 18 МОЛЕКУЛЯРНІ НАПІВПРОВІДНИКИ

Сучасна мікро- та наноелектроніка базується на твердотільних технологіях і за багатьма параметрами класична1 твердотільна електроніка наблизилась до межі подальшого вдосконалення. Як реальна альтернатива їй розглядається молекулярна електроніка.

Молекулярна електроніка це наука про електронні властивості молекулярних матеріалів та можливості їх застосуванні в електроніці, як елементів та приладів для запису, зберігання, обробки та передачі інформації.

Тому є кілька причин. За мільйони років еволюції природа створила велике розмаїття молекул, що виконують всі необхідні для живих організмів функції сенсорні, логічно-аналітичні, пам'яті, моторні тощо. Ці молекули характеризуються оптимальною конфігурацією та нанометровими розмірами. Крім того, електроніка, що базується на молекулярних сполуках, за необхідності є одноелектронною, тобто характерними електричними струмами в молекулярних структурах є одноелектронні збудження. Це знімає, наприклад проблему тепловиділення, що стоїть перед сучасною твердотільною мікроелектронікою. Тому молекулярну електроніку можна вважати найефективнішою з погляду енергетичних витрат на один біт обробленої інформації. Основні переваги молекулярної електроніки перед традиційною твердотільною:

лінійний розмір активного елемента принаймні на три порядки менший;

розташування молекулярних фрагментів точно детерміновано (напр., як у молекули ДНК), на відміну від випадкового розподілу домішок у неорганічних матеріалах;

можливість тривимірної організації і самоорганізації, на відміну від переважно планарних сучасних напівпровідникових технологій;

відсутність обірваних хімічних зв'язків;

зменшення розмірів елементів молекулярної електроніки до 10–7 см, що означає зростання швидкодії молекулярних пристроїв. Оцінки показують, що максимальна швидкодія (за швидкості передачі заряду

108см/с) становитиме 10–15 с. Зазначимо, що у низці випадків необхідно застосовувати жорсткіші обмеження швидкодії, пов'язані з обмеженістю частоти молекулярних коливань, які зменшують час пе-

реформування молекули до 10–13 10–14 с;

1 Під терміном "класична твердотільна електроніка" ми маємо на увазі електроніку, що базується на неорганічних кристалічних (або невпорядкованих) матеріалах – Si, Ge, GaAs тощо.

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

276

можливість застосування багатозначної логіки (кубіти) та, відповідно, ефективніших способів обробки інформації (як це відбувається, наприклад у мозку людини).

Визначимо молекулярні напівпровідники як такі, основні властивості яких пов'язані з хімічною будовою молекул. Міжмолекулярна взаємодія, що в основному визначається ван-дер-ваальсовими силами, у цьому випадку виявляється набагато слабкішою, ніж внутрішньомолекулярна взаємодія. Таким чином, електрони виявляються в основному локалізованими на молекулах, а не "розмазаними" по кристалічній ґратці. Як приклад можна навести бензол та антрацен, що кристалізуються в однаковій кристалічній групі зі схожими параметрами ґратки. Однак електронні параметри, наприклад такі, як ширина забороненої зони у цих молекулярних кристалах, виявляються різними. Справа в тому, що в таких речовинах енергія забороненої зони Eg суттєво залежить від числа π-електронів (див. далі), яке є пропорційним кількості n бензольних кілець у молекулі. У бензолі n = 1, в антрацені n = 3, а ширина забороненої зони виражається емпіричною формулою

b

 

Eg =a + kn ,

(18.1)

 

де a, b, k константи.

Можна виділити дві основні властивості молекулярних напівпровідників. По-перше, це локалізація електрона на молекулі; по-друге, визначене розташування атомів у молекулі, на відміну від розташ у- вання домішок в кристалічному напівпровіднику. До молекулярних напівпровідників можуть бути зараховані як органічні, так і неорганічні сполуки. Однак, оскільки органічні матеріали існують у набагато більшій кількості, ніж неорганічні, та, крім того, характеризуються багатьма цінними властивостями, ми, коли йтиметься про молекулярні напівпровідники, в основному матимемо на увазі органічні сполуки.

Треба зауважити, що молекулярні напівпровідники являють собою системи різної розмірності. Молекули в розчині є нічим іншим, як системою квантових точок; довгі полімерні молекули можна розглядати як квантові нитки; молекулярні плівки та шари типу графіту є прикладом двовимірних електронних систем; молекулярні кристали являють собою тривимірні системи.

277

Розділ 18. Молекулярні напівпровідникі

18.1. Фізичні обмеження твердотільної мікроелектроніки та переваги молекулярних систем

Розвиток твердотільної електроніки, що відбувався під знаком невпинного зменшення характерних розмірів елементів приблизно вдвічі кожні півтора роки, у 90-ті рр. ХХ ст. почав сповільнюватись і на початок ХХІ ст., діставши показник ~ 0.2 мкм, практично наблизився до фізичної межі, що обмежує подальшу мініатюризацію напівпровідникових приладів. Розглянемо детальніше ці фізичні обмеження.

Перша полягає в наявності флуктуацій концентрацій домішок. У

розд. 7 ми детально обговорювали проблему легування напівпровідників і з'ясували, що сучасні напівпровідникові технології значною мірою визначаються процесами легування напівпровідникових матеріалів. При цьому розподіл домішок усередині зразку значною мірою залишається випадковим. Середньоквадратична флуктуація ∆N числа домішок в об'ємі V

N N1/2 = (nV )1/2.

(18.2)

Для стабільної роботи електронних приладів необхідно, щоб відносна флуктуація концентрації домішки не перевищувала 1 %, тобто

N

≤10

−2

,

(18.3)

N

 

 

 

 

 

звідки маємо nV ≥104. Це означає, що за концентрації легуючої домішки nV ≈1018 cм3 об'єм системи не має бути меншим за V ≈1014 cм3 , тобто граничне значення лінійних розмірів системи становить l ≈ 0,2 мкм. Розвиток сучасних технологій модуляційного легу-

вання дає можливість значно зсунути цей розмір у бік менших значень, але це зменшення не може перевищувати порядок l, тобто, навіть зважаючи на майбутнє значне вдосконалення технологій легування, навряд чи можливе обмеження, пов'язане з наявності флуктуацій концентрації домішки до показника, меншого за 0,01 мкм. Наступною перешкодою до подальшого зменшення елементів електронних приладів є дифузія домішок на поверхні. Поверхневий коефіцієнт дифузії зазвичай виявляється істотно більшим за його значення в об'ємі. Ця обставина обмежує мінімальні значення латеральних розмірів елементів величиною ~ 0.1 мкм.

При зменшенні лінійних розмірів елементів електронних пристроїв виникає проблема зміни характеру електронного транспорту. Дій-

сно, у розділі 16 цієї книги ми бачили, що якщо розмір пристрою

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

278

менший за довжину вільного пробігу електрона l, то характер транспорту визначається специфічними квантовими ефектами, наприклад такими, як квантування кондактансу. Крім того, рух електронів у цьому випадку є балістичним, що підвищує швидкодію пристроїв, оскільки час перебування електрона в пристрої набагато менший за час процесів, що визначаються дифузійним переносом. Але при цьому різко збільшуються вимоги до реалізації пристрою, адже процеси розсіювання на границях пристрою набувають визначального характеру.

Іншим важливим фактором є ефекти, пов'язані з квантовою когерентністю, що виявляються в ситуації, коли транспорт у межах пристрою є фазово-когерентним. Це відбувається, якщо розмір пристрою

є меншим за довжину дифузії збою фази lvτϕ (v швидкість електрона, τϕ час збою фази, що в найпростішому випадку дорівнює часу

релаксації електронів на фононах). У випадку високих температур час релаксації фази є дуже малим, і квантово-інтерференційні ефекти не виявляються. Але для пристроїв, що працюють в умовах низьких температур, довжина фазової когерентності може досягати 1 мкм, та електронний транспорт можуть визначати квантово-інтерференційні ефекти. Ці обставини, що по суті пов'язані з розмірними ефектами, також призводять до принципових обмежень створення пристроїв малих розмірів (але не варто виключати можливість побудови приладів на інших засадах).

Ще одним фактором, що принципово обмежує можливість зменшення розмірів напівпровідникових пристроїв, є нагрівання елементів електронних пристроїв при проходженні через них електричного струму. Вважається, що для нормальної роботи електронних пристроїв

їхній нагрів не має перевищувати величини 102 Вт/см2. Ця вимога приводить до визначення величини мінімальних лінійних розмірів електронних пристроїв значеннями ~ 0.25 мкм. Але перехід до мідних технологій і надслабких струмів уже в наш час зсунув цю прогнозовану величину до значень ~ 0.1 мкм.

Але головна проблема, що постає перед твердотільною електронікою, полягає у філософії побудови електронних пристроїв як набору великої кількості елементарних об'єктів, які поєднані величезною кількістю зв'язків. Це призводить до надзвичайної складності сучасних приладів (мікросхем) і пов'язаної з цим проблеми низького виходу приладів у процесі їх виробництва та великих труднощів при їх тестуванні. З іншого боку, вивчення біологічних систем привело до розгляду окремих біомолекул, які за своєї складності та, головне, за функціональними можливостями порівняні із сучасними інтегральними мікросхемами. Крім того, окрема біомолекула є одиничним елементом молекулярної

279

Розділ 18. Молекулярні напівпровідникі

електроніки. Саме ця перевага й змушує все більшу кількість учених і наукових груп переходити до вивчення молекулярних структур як елементів електроніки майбутнього.

18.2. Елементи молекулярної електроніки

Наскільки ж взагалі є реальною молекулярна електроніка?При аналізі цього питання стриманого оптимізму надає факт існування людського мозку як неперевершеного приладу обробки інформації та органів відчуття. Найкращими сенсорами є очі та ніс. Людське око може реєструвати світлові потоки на рівні одного фотона, а ніс детектує хімічні речовини концентрацією у кілька молекул у кубічному метрі.

Дослідження з молекулярної електроніки почались із синтезу молекул, що здатні вико нувати логічні функції, зокрема бістабільних молекул, які мають два стабільних стани та змінюють свій стан під дією зовнішніх факторів (електричного поля, тиску, світла тощо), тобто працюють у режимі тригерів. Проблема передача інформації безпосередньо до самих молекул після відкриття електропровідних полімерів

молекулярних сполук зі спряженими зв'язками фактично переведена в практичну площину пошуку відповідних полімерів і контрольованої побудови молекулярних структур. Виготовлення та маніпулювання пристроями на молекулярному рівні може базуватись на добре розвинених методах нанолітографії, коли структури з органічного матеріалу виготовляються шляхом молекулярної адсорбції на відповідно виготувану поверхню. Існують також безпосередні методи молекулярного дизайну, коли потрібні молекули висаджуються на поверхню за допомогою зонду скануючого мікроскопа атомних сил. Останнім часом велику увагу приділяють вивченню процесів самоорганізації органічних молекул при влаштуванні відповідних умов. Наприклад, отримання мономолекулярних шарів за допомогою метода Ленгмюра-Блоджетт (див. додаток К) може поєднуватись з організацією молекул у досить добре контрольовані молекулярні комплекси. Про такі комплекси, а саме молекулярні пакети фталоцианінів металів, ми вже згадували, коли обговорювали можливість утворення одновимірних кристалічних структур.

Таким чином, молекулярні органічні сполуки можуть уже тепер складати конкуренцію твердотільній напівпровідниковій електроніці. Які ж характерні риси електронних станів є причиною незвичайних властивостей органічних сполук?

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

280

18.3. sp2-гібридизація у вуглеці

Незвичайні властивості органічних напівпровідників значною мірою зумовлені структурою хімічних зв'язків, що утворюють атоми вуглецю, з'єднуючись у молекули. Серед різноманітних конфігурацій атом вуглецю може утворювати електронні стани, що формуються з одного s-рівня та двох рівнів p-симетрії. У результаті виникають три стани, які

ще називають sp2-гібридізованими орбіталями. Оскільки ці орбіталі мають ковалентну природу, вони мають визначений напрямок у прос-

торі: sp2-орбіталі направлені вздовж променів правильної трикутної зірки та розташовуються в одній площині. Перпендикулярно до цієї

площини розташовується pz-орбіталь. Коли два атоми вуглецю взаємо-

діють, дві sp2-орбіталі перекриваються та утворюють σ-зв'язок (рис.18.1). Відстань між основним і першим збудженим станами σ-зв'язку є досить великою та відповідає частотному діапазону ультрафіолету (рис.18.2). Однак при з'єднанні атомів вуглецю можуть виникати додаткові зв'язки

між pz-орбіталями, які називаються π-зв'язками. Ці зв'язки мають набагато менший енергетичний зазор між основним і збудженим станами, який відповідає оптичному діапазону частот і забезпечує напівпровідникові властивості органічних сполук. Атоми вуглецю можуть з'єднуватись у довгі ланцюжки. Відповідно, довгі ланцюжки зв'язків вуглецю характеризуватимуться деякою енергетичною щілиною між найвищім заповненим рівнем (HOMO – highest occupied molecular orbital) і на й-

нижчим, незайнятим молекулярним рівнем (LUMO – lowest unoccupied molecular orbital).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

π+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

pz-орбіталь

π-зв'язок

pz-орбіталь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ-зв'язок

 

 

 

 

p

z

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

z

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

π

 

 

площина

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

π-зв'язок

 

 

 

 

sp2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

sp2

sp2-орбіталей

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис.18.1. Утворення зв'язків

Рис.18.2. Енергетична діаграма

 

 

хімічних зв'язків вуглецю

 

 

 

між атомами вуглецю

 

 

 

 

 

із врахуванням sp2-гібридізації

 

 

 

 

 

 

 

На прикладі формування бензольного кільця розглянемо, як такі стани виникають при формуванні органічних молекул з невеликою

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]