Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

OFP-Tretyak-Lozovski

.pdf
Скачиваний:
68
Добавлен:
19.03.2015
Размер:
13.24 Mб
Скачать

189

Розділ 15. ОПТИКА НАПІВПРОВІДНИКІВ

якщо рухливість і час життя електронів є набагато більшими за рухливість і час життя дірок, у напівпровіднику реалізується електронна фотопровідність

∆σnph = eβαµn τn

I

.

(15.272)

 

 

ω

 

У протилежному випадку у напівпровіднику спостерігається фотопровідність діркового типу

∆σphp = eβαµp τp

I

.

(15.273)

ω

За відомої фотопровідності неважко визначити стаціонарний фотострум

J phot

= eβα(µn τn + µp τp )

IE .

(15.274)

 

 

ω

 

Оскільки добуток рухливості на величину електричного поля дорівнює дрейфовій швидкості носія, то фотострум у зразку, довжина якого в напрямку поля дорівнює l, визначатиметься відношеннями часів релаксації до часів дрейфу носіїв

 

 

τn

 

τ

p

 

I

 

 

J phot

= eβα

+

 

 

l ,

(15.275)

t

 

ω

 

t

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

p

 

 

 

де часи дрейфу електронів і дірок, відповідно

tn =

l

=

l

, tp =

l

=

l

.

(15.276)

vdrn

µn E

vdrp

µpE

 

 

 

 

 

 

Таким чином, вимірюючи фотострум у зразку заданої геометрії за заданої довжини хвилі опромінюючого світла, можна визначити квантовий вихід фотоіонізації як функцію енергії фотону. Наприклад, для германію за температури 300 К квантовий вихід для енергій фотонів аж до 2.7 eВ дорівнює одиниці, при подальшого зростання енергії фотонів досить різко збільшується, досягаючи значення 1.8 приω = 5eV . Аналогічно для кремнію при T = 300K , β =1 за енергій фо-

тонів, менших від 3 eВ. Збільшення енергії фотонів спричиняє різке збільшення квантового виходу так, що при ω = 5eV квантовий вихід дорівнює 3.3. Така поведінка квантового виходу фотоіонізації пояснюється тим, що поглинання високоенергетичного фотону напівпровідником спричиняє появу високоенергетичних носіїв заряду, енергія яких достатня для утворення вторинних електрон-діркових пар через механізм ударної іонізації.

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

190

15.11.3. Релаксація фотопровідності

Уявимо, що зразок напівпро-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

відника

освітлюється

імпульсом

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

світла

 

прямокутної

форми

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(рис. 15.63). Зрозуміло, що через

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ненульові часи релаксації стаці-

 

 

 

 

V

 

 

 

 

V

 

 

 

 

V

 

 

онарне значення фотопровіднос-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

R

 

 

 

 

R

 

 

 

 

R

ті досягається не миттєво, а за

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

деякий час після початку дії сві-

 

 

 

I

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тла на зразок. Після вимкнення

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

освітлення нерівноважні носії,

 

Ip

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

згенеровані світлом, ще деякий

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

час даватимуть внесок до про-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t

відності,

оскільки їхня концент-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

∆σph

 

 

 

 

 

 

 

 

 

рація після припинення процесів

∆σst

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

генерації

зменшуватиметься та

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

за час релаксації зменшиться в е

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

разів.

Швидкість зміни концен-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t

трації

надлишкових

нерівнова-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

t0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

жних носіїв заряду у напівпро-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Релаксація фотопровідності

віднику

визначається

різницею

 

 

Рис. 15.63.

між швидкістю їхньої генерації і

 

 

 

 

 

 

 

за освітлювання зразка

 

 

 

 

прямокутним імпульсом світла

рекомбінації. Нехай процеси ре-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

комбінації визначаються швидкістю R. Тоді, беручі до уваги, що швидкість генерації носіїв за фотоіонізації визначається величиною G (див. (15.269)), можна записати

dn

= β

αI

R .

(15.277)

dt

 

ω

 

 

Це рівняння має досить універсальний характер за припущенням, що поглинання світла та рекомбінація вздовж товщини зразка є однорідними. Його легко розв'язати у граничних випадках слабкого та сильного рівнів накачування.

Якщо інтенсивність випромінювання є невеликою, тобто основний внесок до електронних процесів у напівпровіднику здійснюють рів-

новажні носії, тобто ∆n << (n0 + p0 ) , то можна вважати, що швидкість рекомбінації пропорційна концентрації надлишкових носіїв

R =

n

.

(15.278)

τ

Тоді (15.277) запишеться у вигляді простого диференціального рівняння зі змінними, що розділяються

191

Розділ 15. ОПТИКА НАПІВПРОВІДНИКІВ

dn

= β

αI

n

 

dt

ω

τ .

(15.279)

Беручи до уваги, що у початковий момент, коли було ввімкнене освітлення, концентрація надлишкових носіїв дорівнювала нулю ( n = 0 при t = 0 ), отримаємо закон зміни концентрації надлишкових носіїв після ввімкнення освітлення

n = ∆nst (1 et /τ ) ,

(15.280)

де стаціонарне значення надлишкової концентрації носіїв визначається (15.270). Таким чином, наростання фотопровідності після ввімкнення освітлення невеликої інтенсивності має експоненційний характер і визначається часом релаксації, що є часом життя нерівноважних носіїв. Після вимкнення освітлення релаксація фотопровідності визначається також із (15.279), але з іншими початковими умовами:

n = ∆nst при t = t0 . Розділюючи змінні та виконуючи інтегрування отриманого рівняння, дістаємо

n = ∆nst et /τ ,

(15.281)

тобто релаксація фотопровідності за малих рівнів освітлення визначається експоненційним законом зі сталою часу, що є часом життя нерівноважних носіїв заряду.

За великих рівнів освітлювання основний внесок до електронних процесів у напівпровіднику дають нерівноважні носії. Це означає, що

n >> (n0 + p0 ) і можна вважати, що швидкість рекомбінації пропорційна квадрату концентрації надлишкових носіїв, тобто

R = γ(n)2 .

(15.282)

Підставляючи цей вираз до (15.277), отримаємо рівняння, що описує динаміку зміни концентрації надлишкових носіїв заряду за великих рівнів збудження

dn = β αI − γ(n)2 . dt ω

Це рівняння також є рівнянням зі змінними, що розділяються

 

dn

= dt

 

αI

2

 

 

β

ω

− γ(n)

 

(15.283)

(15.284)

і може бути проінтегровано безпосередньо. Використовуючи початкові умови при t = 0 ∆n = 0 , отримуємо що при ввімкненні опромінюванняння концентрація нерівноважних носіїв наростатиме згідно із законом

n = ∆nst(I ) th(nst(I ) t) ,

(15.285)

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

192

де стаціонарне значення надлишкової концентрації носіїв, що досягається при t → ∞ , має вигляд

(I )

 

 

αI

1/2

 

nst

=

β

 

.

(15.286)

 

 

 

 

γ ω

 

Якщо після досить тривалої дії на зразок інтенсивного опромінювання освітлення вимкнути, концентрація надлишкових носіїв релаксува-

тиме згідно із (10.31) від величини ∆nst(I ) , оскільки за квадратичної ре-

комбінації велика надлишкова концентрація носіїв зменшується за гіперболічним законом. Таким чином, вимкнення освітлення спричинить спад концентрації надлишкових носіїв за законом

n(I )

n = st(I ) . (15.287)

1 + ∆nst t

Ми отримали досить передбачений результат: фотопровідність залежить від інтенсивності збуджуючого світла. За слабких рівнів освітлювання фотопровідність визначають процеси генерації носіїв, і її залежність від інтенсивності світла є лінійною

I, µA

0

4

8

12

×102, lx I, µA

0.4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.12

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.2

 

 

 

 

 

 

2

 

 

0.06

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

2

4

6

×10, lx

 

Рис. 15.64. Залежність стаціонарного фотоструму від інтенсивності

освітлювання у BiS за слабкого (1) та сильного (2) освітлювання

σph ~

I

.

(15.288)

 

 

ω

 

За збільшення інтенсивності світла все більшу роль починають відігравати рекомбінаційні процеси, і зростання фотопровідності уповільнюється (рис. 15.64). За великих інтенсивностей освітлювання поведінка фотопровідності визначається коренем квадратним від інтенсивності освітлювання

σph ~

 

I

 

.

(15.289)

 

 

 

ω

 

Крім випромінювальної рекомбінації із випромінюванням світла з

енергією ω = Eg у напівпровіднику

може відбуватись рекомбінація через рекомбінаційні центри без випромінюванням фотонів і випромінюванням світла із частотою, меншою за ширину забороненої зони. Такими центрами рекомбінації можуть виступати домішки та недосконалості ґратки. Наявність таких центрів впливатиме на кінетику фотопровідності, оскільки електрони не тільки рекомбінуватимуть із дірками, а також захоплюватимуться

193

Розділ 15. ОПТИКА НАПІВПРОВІДНИКІВ

на центри захоплення. Центри, будучі зайнятими електронами, не можуть захопити дірку, тому рекомбінація на таких центрах не відбувається. Такі пастки мають спеціальну назву центрів прилипання, і для опису впливу наявності таких центрів на кінетику фотопровідності вводять додаткові часи захоплення носіїв заряду на центри прилипання. Таким чином, наявність центрів прилипання спричинить зменшення швидкості наростання концентрації надлишкових носіїв заряду за освітлення зразку. У разі вимкнення освітлення наявність центрів прилипання спричинить спустошення таких пасток і спад фотопровідності затягнеться у часі.

15.12. Задачі

1.Визначити вплив центрів прилипання на кінетику фотопровідності напівпрові-

дника.

Розв'язок. Рівнями рекомбінації зазвичай є глибокі рівні. Неглибокі рівні при

цьому відіграють роль центрів прилипання. Нехай τ1 – час захоплювання дірки на акцепторі, а τ2 – час життя дірки на акцепторі, тобто 1/τ1 є ймовірністю, з якою дірка може бути захоплена на акцепторі потягом часуτ2 утримуватись на такому центрі. Якщо концентрація нерівноважних надлишкових носіїв p та n , то концентрація дірок, що захоплені на центрах прилипання, визначається як

pt = ∆n − ∆p .

(15.290)

Нехай 1/τp – ймовірність рекомбінації електрон-діркової пари. Тоді зміна концентрації надлишкових носіїв відбуватиметься згідно із рівнянням

dp

 

p

 

p

 

p

 

dt

= G

τ

p

τ

+

τ

t .

(15.291)

 

 

 

 

1

 

 

2

 

В умовах рівноваги швидкість захоплення на центри прилипання має дорівнювати швидкості теплової генерації дірок із акцепторів д зони, тобто

p

 

p(0)

 

τ

0 =

t

.

(15.292)

τ

1

2

 

 

У стаціонарному випадку швидкість генерації діро можна виразити через стаціонарну надлишкову концентрацію

 

p0

 

 

 

 

G = τp

 

,

 

(15.293)

а (15.291) із урахуванням (15.290) записати як

 

 

0

= G p0

p +

n0 − ∆p0 .

(15.294)

 

τp

τ1

τ2

 

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

194

Звідси, використовуючи (15.293), отримуємо надлишклву концентрацію електронів у стаціонарному випадку

n

 

= Gτ

1

+

τ2

 

 

0

τ

.

(15.295)

 

 

p

 

 

 

 

 

 

1

 

 

Вважаючи напівпровідник слабко легованим, тобто n0 = p0 , з (15.267) отримуємо

∆σ

=

 

G

τp

1 + b (1 + τ2

/τ1 )

.

(15.296)

σ0

n0

1 + b

 

 

 

 

 

 

Ця формула описує відносну зміну фотопровідності напівпровідника з ефективним часом релаксації

eff

 

1 + b (1 + τ2

/τ1 )

 

 

τp

= τp

 

 

.

(15.297)

1 + b

 

 

 

 

 

 

Звідси видно, що у випадку, коли час утримання носія на центрі прилипання істотно перевищує час захоплення дірки на акцептор, ефективний час релаксації значно

перевищує час релаксації за відсутності центрів прилипання τp . Це означає, що

наявність центрів прилипання істотно збільшує відносну фотопровідність, тобто центри прилипання збільшують фоточутливість напівпровідника. Цей результат дуже просто пояснити. Дійсно, чим більше дірок захопл юватимуться на центрах прилипання, тим більше електронів залишається вільними у зоні провідності, що забезпечить значне зростання провідності. Кількість дірок на центрах прилипання є тим

більшою, чим більшим є час перебування дірки на такому центрі τ2 .

2. Знайти порогову енергію поглинання фотону для прямих переходів у сильно легованому арсеніді галію n-типу. Вважати, що хвости зон за такому легування не утворюються та Ne = 2 1018cm3 .

3. Визначити світловий потік, що проходить через кристал германію завтовшки 1 мм, що освітлюється світлом з енергією фотонів ωphot = 0.82 eB. Потік світла

становить 1018 фот/cм2с , коефіцієнт поглинання – α =10 cм1 . Вважати, що ймовірність переходу не залежить від енергії, а процес випромінювання визначається непрямими переходами за участю фононів з енергією ωphon = 0.03 eB. Викори-

стати такі дані: час випромінювальної рекомбінації τr = 0.1 s , ширина забороненої зони Eg = 0.72 eV , ефективні маси me* = 0.2m (4 долини), mh* = 0.3m , коефі-

цієнт заломлення n = 4 .

4. Визначити форму спектру випромінювання у стаціонарному режимі для попередньої задачі

Список літератури

1.Смит Р. Полупроводники. – М.: Мир, 1982.

2.Панков Ж. Оптические процессі в полупроводниках,. – М.: Мир, 1973.

195

Розділ 15. ОПТИКА НАПІВПРОВІДНИКІВ

3.Зеєгер К. Физика полупроводников. – М.: Мир, 1977.

4.БогдпнкевичО.В., ДарзнекС.А,ЕлисеевП.Г.. Полупроводниковыелазеры.– М.:

Наука, 1976

6. Kasap S.O., Principles of Electronic Materials and Devices, McGraw-Hill, 2005.

Розділ 16 НИЗЬКОВИМІРНІ НАПІВПРОВІДНИКОВІ СИСТЕМИ

Зменшення розмірів твердого тіла спричиняє очевидне підсилення впливу поверхні на його фізичні властивості оптичні, електронні, електрофізичні, зокрема за розмірів частинок істотно менших за довжину хвилі зовнішнього світла, але набагато більших за сталу ґратки спектр поглинання світла стає залежним від форми частинки. Виникають так звані розмірні ефекти. За подальшого зменшення розмірів частинки виникають суттєво мікроскопічні ефекти так звані кван- тово-розмірні ефекти.

Таким чином, виникає питання а що таке низьковимірні системи? Очевидно, в ідеальному випадку, низьковимірні системи можна визначити як такі, розмірність яких менша за три. Д о низьковимірних систем належали би дво-, однота нульвимірні системи. Але в реал ь- ному житті всі системи, з яким доводиться стикатись, є тривимірними. І все ж існують ефекти, пов'язані із розмірністю, і таким чином можна визначити низьку розмірність реальних об'єктів. Ми визначатимемо низьковимірний об'єкт як такий, що має принаймні вздовж однієї з осей системи координат характерні розміри, набагато менші від характерних параметрів розмірності довжини зовнішніх "впливів". При цьому для існування розмірних ефектів у низьковимірних системах необхідно, щоб розмір системи був порівняним із деякими характерними довжинами, що відіграють вирішальну роль при виникненні тих чи інших ефектів. Наприклад, при розгляді квантово-розмірних ефектів роль внутрішніх параметрів для тривимірної системи може відігравати довжина вільного пробігу носіїв, довжина хвилі де Бройля тощо. У випадку класичних розмірних ефектів таким параметром розмірності довжини може бути довжина хвилі зовнішнього випромінювання при вивченні оптичних властивостей, або довжина вільного пробігу носіїв при розгляді впливу товщини плівки на її провідність.

Таким чином, існує можливість спостереження як класичних, так і квантових розмірних ефектів. Розглянемо обидва типи ефектів, маючи на увазі, що вониможуть використовуватись у сучасних електронних і мікроелектронних пристроях та є яскравими прикладами нових галузей фізики напівпровідників.

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

196

16.1. Квантові та класичні розмірні ефекти. Короткий огляд

Визначатимемо квантові розмірні ефекти як такі, що спричиняють зміни термодинамічних, кінетичних та оптичних властивостей системи, якщо хоча б один із геометричних розмірів зразку стає сумірним

із довжиною хвилі де Бройля λB електронів об'ємного зразку того самого матеріалу. Ці ефекти зумовлені квантуванням руху електронів у напрямку, в якому розмір системи є порівняним із λB . У масивному

ідеальному кристалі стан електронів визначається чотирма квантови- z ми числами трьома компонентами квазіімпульсу та номером

уенергетичної зони. У кристаліч-

 

 

 

 

 

x

ній плівці товщиною L (рис. 16.1)

 

 

 

 

 

рух електронів у площині плівки

L

 

 

 

 

 

 

 

 

залишається вільним. Компоне-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

нти квазіімпульсу kx і ky можуть,

як раніше, набувати будь-яких

Рис. 16.1. Схема квазідвовимірної системи значень, дозволених зонною тео-

рією. Вздовж вісі OZ квазіімпульс може мати тільки дискретний ряд значень, оскільки хвильова функція електрона на поверхні плівки має дорівнювати нулю. Таким чином, на товщині L плівки має вкладатись

ціле число напівхвиль де Бройля λB /2 = π /| pz |. Звідси маємо закон квантування проекції квазіімпульсу pz

| pz |=

π n .

(16.1)

 

L

 

У наближенні ефективної маси закон квантування енергії поперечного руху визначається формулою

 

 

π2

2

 

En (k = 0)

=

 

 

n2 .

(16.2)

 

* 2

 

 

2mz L

 

Тут mz* ефективна маса електрона у напрямку OZ. Рівні енергії (16.2) називаються рівнями розмірного квантування. Графічно енергія носіїв En (k) для різних значень z -компоненти квазіімпульсу (що в дійсності

означає для різних значень n) являє собою набір параболоїдів, вставлених один в один так, щоб дно кожного наступного було розташо-

ване вище попереднього. Дно параболоїда En (k = 0) відповідає енергії

руху у поперечному щодо площини плівки напрямку, тобто спектр носіїв складається з набору двовимірних розмірних підзон, кожна з

197

Розділ 16. Низьковимірні напівпровідникові системи

яких містить значення енергії для всіх можливих значень компонентів kx та kу за заданого pz. За зменшення товщини L енергія рівнів

En (k = 0) зростає, і як наслідок збільшується відстань між підзонами. Таким чином, енергетичний спектр носіїв у тонкій плівці має вигляд

 

2k2

 

2ky2

 

 

En (k) = En (k = 0) +

x

+

 

.

(16.3)

2mx*

2my*

 

 

 

 

Отже електрони у плівці утворюють двовимірний електронний газ, якщо вони заповнюють одну або кілька двовимірних підзон.

Важливою характеристикою електронних станів є їхня щільність, що має сенс концентрації електронів, яка приходиться на одиничний інтервал енергії. У подальшому розглянемо детально, як обчислюються щільності електронних станів для низьковимірних систем, а поки що деякі якісні висновки щодо поведінки щільності електронних станів. Якщо, наприклад у масивному зразку напівпровідника, щільність станів

N(E) ~

E

,

(16.4)

то в тонкій плівці розмірна підзона дає сталий (що для квадратичного закону дисперсії не залежить від енергії) внесок до щільності станів, який на одиницю площі плівки дорівнює

N(E) = s

m *

,

(16.5)

2π 2

де s кратність спінового та міждолинного виродження. А повна щільність станів, як буде далі, є східчастою функцією енергії Е. При

цьому n-й стрибок відбувається за енергії E = En (k = 0) і відбиває по-

яву або зникнення внеску n-ї підзони.

Для сталих значень енергії щільність станів на одиницю об'єму плівки як функція її товщини L зазнає стрибків за значень товщини

L = n

λB

.

(16.6)

2

Між цими стрибками щільність станів змінюється обернено пропорційно товщині. Період осциляцій за товщиною для щільності станів

L =

π

 

2m * E .

(16.7)

Оскільки електронні властивості металів, напівметалів і вироджених напівпровідників визначаються поведінкою електронів з енергіями у вузькому інтервалі (завширшки ~ kT) навколо поверхні Фермі (тобто із центром EF), то термодинамічні й кінетичні характеристики кванто-

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]