книги из ГПНТБ / Лодиз, Р. Рост монокристаллов
.pdf100 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
|
|
||||
[5]. Для |
этого нужна |
не исчезающая |
в |
процессе |
роста, |
или по- |
|
вторимая, ступень. Такие повторимые |
ступени |
всегда |
имеются |
||||
на шероховатой грани. Что касается |
роста |
атомарно-гладких |
|||||
граней |
при низких |
пересыщениях, |
то |
эта |
проблема |
длитель |
|
ное время оставалась неясной. Пониманию механизма роста таких граней способствовали представления о винтовых дис
|
|
|
локациях [6] (фиг. 3.4), ге |
||||||||
|
|
|
нерирующих на |
поверхности |
|||||||
|
|
|
не |
исчезающую |
в |
процессе |
|||||
|
|
|
роста ступень, а также экс |
||||||||
|
|
|
периментальные |
данные |
о |
||||||
|
|
|
существовании |
таких |
ступе |
||||||
|
|
|
ней |
на выращенных кристал |
|||||||
|
|
|
лах (в разд. 3.7 рассматри |
||||||||
|
|
|
вается количественная |
зави |
|||||||
|
|
|
симость |
скорости |
роста |
на |
|||||
|
|
|
винтовых |
дислокациях |
от |
||||||
|
|
|
пересыщения). |
Высота |
сту |
||||||
|
|
|
пеней |
для |
большей |
|
части |
||||
|
|
|
материалов |
обычно |
|
равна |
|||||
|
|
|
многим |
периодам |
|
ячейки, |
|||||
Ф и г . 3.4. |
Спираль |
роста, обословлен- |
благодаря |
чему |
ступени |
ча |
|||||
ная |
винтовой |
дислокацией. |
сто |
видны |
невооруженным |
||||||
|
|
|
глазом. Ниже показано, |
что |
|||||||
теория коалесценции, разработанная Кабрерой и Франком, объ ясняет генезис макроскопических ступеней.
Первым количественный анализ свободной поверхностной энергии кристаллических граней провел Вульф [7]. В дальней
шем его углубил и расширил Херринг [8]. |
|
Гиббс в 1878 г. [9] показал, что форма маленького |
кристал |
ла, находящегося в равновесии с раствором, должна |
удовлет |
ворять условию минимума 2 с*Л*, где о?,- — удельная |
межфаз |
ная поверхностная энергия грани i (поверхностная энергия на единичную площадь грани), Л — площадь этой грани. Бели рост (или растзорение) осуществляются в сильно неравновесных ус ловиях, форма кристалла также будет отличаться от равновес ной. Удельную межфазную поверхностную энергию иногда на зывают капиллярной постоянной, а чаще межфазным поверх ностным натяжением. Вульф предложил простой метод изо
бражения зависимости а в кристалле |
от направления. |
На |
||
фиг. 3.5 изображена так называемая |
диаграмма |
Вульфа |
для |
|
гипотетического кристалла. Она дает |
в |
полярных |
координатах |
|
главное сечение приблизительно сферической поверхности, изо бражающей полную зависимость свободной поверхностной энер гии от направления. Расстояние от центра пропорционально энергии а в данном направлении. Если в каждой точке диа-
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
101 |
граммы провести плоскости, перпендикулярные соответствую щим радиусам-векторам в этих точках, то заполненный точками, достижимыми из начала координат без пересечения какой-либо из плоскостей, объем будет подобен равновесной форме кри сталла. Чтобы убедиться в этом, вообразим, что маленький сфе рический зародыш разращивается достаточно долго, пока не образуется равновесная форма. Если при этом появляется част ная форма, например грань АВ на фиг. 3.6, а, скорость роста
Ф и г . 3.5. Полярная диаграмма свободной поверхностной энергии кристалла (по Вульфу).
которой, пропорциональная отрезку /—2, больше, чем другой (например, грани ВС, скорость роста которой пропорциональна расстоянию 3—4), то площадь быстро растущей грани будет уменьшаться в процессе роста (А'В'<АВ), а площадь мед ленно растущей станет увеличиваться (В'С > ВС)'. В конечном итоге быстро растущая грань выклинится. Сказанное иллюстри руется схемой на фиг. 3.6. В реальном кристалле выклинивание или, наоборот, разрастание граней определяется их геометриче ским расположением друг относительно друга и соотношением скоростей роста. Однако в подавляющем большинстве случаев грань, площадь которой увеличивается по мере роста, характери зуется меньшей скоростью роста по сравнению с гранью, площадь поверхности которой убывает. Таким образом, при выращивании кристалла в близких к равновесным условиях расстояние от центра на фиг. 3.5 и 3.6, а пропорционально как натяжению о,
102 Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ
так и скорости роста. Замкнутая фигура наименьшего объема, которая образована плоскостями, перпендикулярными радиу сам-векторам в точках пересечения граней с полярной диаграм мой свободной поверхностной энергии (фиг. 3.5), представляет собой равновесную форму кристалла, включающую грани с наименьшими скоростями роста. Так как остроконечным впадинам на диаграмме свободной поверхностной энергии со ответствуют, вообще говоря, самые короткие радиусы-векторы (отвечающие граням с низкими натяжениями), грани кристалла будут возникать в местах пересечения радиуса-вектора с остро конечной впадиной или седловой точкой на диаграмме Вульфа.
Ф и г . 3.6. Промежуточные |
формы растущего кристалла. |
Объем, занятый достижимыми |
из центра без пересечения какой- |
либо из плоскостей точками, представляет собой форму, обес печивающую наименьшую свободную поверхностную энергию.
Равновесная форма чаще всего реализуется на маленьких кристаллах. Так как существенное изменение формы может про исходить только вследствие перемещения значительных масс кристалла на заметное расстояние, необходимая для этого энер гия значительно превышает выигрыш, достигаемый за счет уменьшения поверхностной энергии.
Херринг [8] обратил внимание на важность сопоставления для крупных кристаллов поверхностных энергий соседних форм, даже если ни одна из последних не совпадает с гранями мини мальной поверхностной энергии на диаграмме Вульфа. Херринг, проанализировавший диаграмму Вульфа для подобных сосед
них конфигураций, пришел к следующим важным |
выводам: |
1. Если данная макроскопическая поверхность кристалла не |
|
совпадает по ориентации с частью поверхности |
равновесной |
формы, то такая поверхность всегда будет иметь макроступенчатую структуру (CD на фиг. 3.6, б ) 1 ) , свободная поверхностная
') Эта ситуация осуществляется только тогда, когда равновесная форма кристалла имеет остроконечные вершины и ребра. — Прим. ред.
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
103 |
энергия которой меньше, чем у плоской поверхности. Если же выбранная грань встречается на равновесной форме, то макроступенчатая структура перестает быть устойчивой.
2. Если поверхность свободной энергии на диаграмме Вульфа остается за пределами сферы, касательной к поверхности в точке пересечения радиуса-вектора с этой поверхностью, то со ответствующая поверхность, или «грань», кристалла должна быть искривленной. Если же поверхность свободной энергии ле жит где-то внутри такой сферы, то поверхность кристалла ана логична упоминавшейся в первом случае макроступенчатой структуре.
3. В местах пересечения плоских граней поверхностную энергию можно снизить посредством округления двугранных углов. Подобное округление, как правило, столь незначительно, что остается почти необнаруженным, но оно тем больше, чем меньше площадь (объем в трехмерном пространстве) между по верхностью Вульфа и сферой, касательной к пересекающимся граням ' ) .
Надо отметить, что с приближением температуры кристалла к температуре его плавления кристаллическая поверхность ста новится все более и более шероховатой. Поэтому представления о преимущественных местах присоединения атомов и идеализи рованная диаграмма Вульфа, по всей вероятности, утрачивают правомерность при выращивании с температурами, близкими к температуре плавления. Построения подобного рода более на дежны в применении к процессам роста из раствора.
Донней и Харкер [10] предприняли попытку выявлять грани с минимальными поверхностными энергиями путем прямых вы числений ретикулярной плотности атомов в различных сечениях кристалла. Плотноупакованным граням действительно присущи минимальные значения свободной поверхностной энергии, од нако необходимо учитывать направленный характер связей в кристалле и особенности взаимного расположения атомов, что особенно важно в случае негомеополярных связей в кристаллах, образуемых атомами не одного элемента. Определенного про
гресса в учете этих факторов добились |
Хартман и Пердок |
[11] в теории цепей периодических связей 2 |
) . Разработанный ими |
метод предусматривает разбиение всякого кристалла на цепи
периодических связей в предположении, что кристалл |
быстрее |
|
всего |
растет в направлении цепей сильнейших связей. |
|
') |
Вопросы морфологической стабильности рассматриваются |
далее в |
статьях [33—38]. |
|
|
2 ) |
Periodic bond chain (РВС) . |
|
104 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
3.4.П Р О Ц Е С С Ы П Р И В Ы Р А Щ И В А Н И И КРИСТАЛЛА
ИЗ РАСТВОРА
Как уже отмечалось, рост кристалла представляет собой сложный процесс, состоящий из ряда последовательных стадий. Одна или несколько из таких стадий и определяют наблюдаю щуюся скорость роста. Природа таких стадий зависит от ха рактера системы, в которой происходит рост. В многокомпо нентной системе рост идет из раствора, причем нередко раство рение и рост осуществляются в пространственно разобщенных зонах сосуда. В таких системах число стадий бывает наиболь
шим. В качестве таких стадий надо |
назвать |
(в порядке |
их |
про |
||||||||||
текания) |
следующие: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Р1 . Растворение. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Р2. Перенос растворенного вещества. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
РЗ. Диффузия *) через обедненную зону у границы |
раздела |
|||||||||||||
кристалл/раствор. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Р4. Частичная или полная десольватация, а также обра |
||||||||||||||
щение реакции с помощью минерализатора |
(см. |
ниже). |
|
|||||||||||
Р5. Диффузия 4 ) |
|
растворителя, |
минерализатора и |
примесей |
||||||||||
от растущей поверхности. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Р6. Десорбция |
|
примесей, |
растворителя |
или |
компонентов |
|||||||||
минерализатора с кристаллической |
поверхности. |
|
|
|
|
|
||||||||
Р7. Адсорбция или хемосорбция на поверхности затравки |
||||||||||||||
частиц, образующих |
|
кристалл. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Р8. Двумерная |
диффузия 1 ) адсорбированных |
или |
хемосор- |
|||||||||||
бированных частиц к ступени. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Р9. Частичная |
|
десольватация2 ) или обращение |
реакции с |
|||||||||||
помощью |
минерализатора. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Р10. Присоединение частицы к ступени. |
|
|
|
|
|
|
||||||||
Р 1.1. Диффузия |
') |
от |
растущей |
поверхности |
компонентов |
|||||||||
растворителя или |
минерализатора |
(дополнительно |
освобождаю |
|||||||||||
щихся на стадии Р9). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Р12. Одномерная |
диффузия1 ) частиц |
вдоль |
ступени |
к из |
||||||||||
лому. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Р. 1,3. |
Частичная |
десольватация2 ) или |
обращение |
реакции с |
||||||||||
помощью |
минерализатора. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Р14. Присоединение частицы в изломе. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
Р15. Диффузия компонентов растворителя или минерализа |
||||||||||||||
тора от кристаллической |
поверхности. |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Р16. Рассеяние |
|
|
теплоты |
кристаллизации, |
которое |
может |
||||||||
происходить отдельными порциями после каждой стадии при соединения. Если среди перечисленных стадий есть эндотерми-
) |
А также связанные с диффузией процессы. |
! ) |
А также связанные с десольватацией процессы. |
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
105 |
ческие процессы, то они сопряжены с поглощением теплоты кри сталлизации.
Сам процесс растворения может слагаться из следующих по следовательных стадий:
Д1 . Отрыв из излома.
Д2. Одномерная диффузия частицы от излома.
ДЗ. Частичная сольватация или реакция с минерализато
ром.
Д4. Диффузия растворителя или минерализатора к раство ряющейся кристаллической поверхности.
Д5. Отрыв частицы от ступени.
Д6. Двумерная диффузия частицы по поверхности от сту пени.
Д7. Частичная сольватация или реакция с минерализато
ром.
Д8. Диффузия растворителя или минерализатора к раство ряющейся поверхности.
Д9. Десорбция частицы с поверхности.
Д10. Диффузия через обогащенную растворенным вещест вом зону у растворяющейся поверхности.
Д11. Частичная или полная сольватация или реакция с ми нерализатором.
Д12. Диффузия растворителя или минерализатора к раство ряющейся грани.
Д13. Поглощение теплоты растворения, которое может про исходить порциями после каждой стадии отрыза частицы.
В общем случае последовательность стадий при росте и раст ворении точно неизвестна. В частности, для большинства систем неизвестно и то, осуществляются ли некоторые стадии процесса, например Р4, Р9, Р13, последовательным образом.
Не все из перечисленных здесь стадий возможны в конкрет ных системах, но обычно не составляет труда, руководствуясь перечнем Р1-Р16 и Д1-Д13, выявить возможные стадии в дан ной системе. Проанализируем теперь подробные отдельные ста дии и раскроем в следующем разделе их роль при росте, отве чающем различным типам равновесия.
Если для осуществления роста не требуется предваритель ного растворения, например при выращивании посредством ох лаждения насыщенного раствора, стадии растворения (Р1) и переноса материала (Р2) отсутствуют. Варьируя геометрию сис темы, можно подобрать такие условия, при которых влияние растворения на скорость роста перестанет быть существенным. В ряде случаев для этого достаточно сильно увеличить площадь
поверхности растворяющейся твердой фазы (питающего |
веще |
|
ства). |
Перенос вещества обеспечивается диффузией, |
конвек |
цией, |
механическим перемешиванием раствора, а также |
потоком. |
106 |
|
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
|
порожденным |
разностью |
давлений. Объемная диффузия (РЗ) |
|
уже |
была рассмотрена в |
разд. 3.2. |
|
В |
системе |
растворитель — растворенное вещество растворе |
|
ние происходит благодаря взаимодействию между этими ком понентами. В определенный период роста реакция взаимодей ствия раствора с кристаллом должна изменить направление на
обратное |
с переходом |
к десольватации растворенного веще |
ства. В |
таких системах |
нередко используют дополнительные |
компоненты, такие, как комплексообразователи, которые взаи модействуют с растворенным веществом активнее, чем с раство рителем. Такие дополнительные компоненты, повышающие раст воримость благодаря образованию новых форм растворяемого вещества в растворе, отличных от существующих в чистом раст ворителе, обычно называются минерализаторами. Реакции по следних с растворяемым веществом должна быть, разумеется, обратимой. Вполне вероятно, что растворенное вещество не обя зательно десользатируется, или освобождается от минерализа тора, за один этап. Подобным же образом логично допустить, что присоединение растворенного вещества к кристаллической поверхности проходит не за одну стадию. Как было показано в разд. 3.3, присоединение атома к кристаллической грани может сопровождаться образованием одной связи (адсорбция или хе-
мосорбция), |
двух связей |
(присоединение |
к ступени) |
или трех |
||
связей |
(присоединение в |
изломе |
ступени) 1 ) . Можно |
предполо |
||
жить, |
что с |
увеличением |
числа |
связей |
растворенной |
частицы |
собственного вещества с кристаллической поверхностью умень шается число ее связей с минерализатором или растворителем, так что координационное число частицы в процессе кристалли зации остается постоянным. Именно по эгой причине мы выде
лили десольватацию |
(обращение реакции с помощью минера |
лизатора) в качестве |
отдельных стадий Р4, Р9 и Р13 в общей |
последовательности |
кристаллизационных процессов. Всякий |
раз десольватация сопровождается образованием дополнитель ных связей частицы с кристаллической поверхностью (стадии Р7, Р10 и Р14). Разумно предположить, что различные диффу зионные процессы, благодаря которым растворенная частица перемещается к правильным положениям на поверхности, всегда предшествуют образованию дополнительной связи с по верхностью (стадии РЗ, Р8 и Р12). Подобным же образом объемная диффузия от растущего кристалла компонентов раст ворителя или минерализатора, которые необходимо удалить,
') В разд. 3.3 мы исходили из кубической модели атомов, образующих кристалл. В реальных кристаллах число ближайших соседей часто отличается от шести, благодаря чему присоединение атома к поверхности может сопро вождаться образованием более чем одной связи, присоединение к ступени — более чем двух связей и т. д.
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
107 |
всегда сопровождает десольватацию (стадии Р5, Р11 |
л Р15). |
Если место присоединения собственных частиц на кристалличе ской поверхности блокировано адсорбированным или хемосорбированным атомом примеси, то для того, чтобы связь могла сформироваться, последний приходится оттеснять (стадия Р6). Стадия, аналогичная Р6, может наступать вслед за стадией Р9 или Р13.
Возникает интересный вопрос о том, к каким процессам сле дует отнести образование первой связи между растворенной частицей и кристаллической поверхностью — к адсорбции или хемосорбции. Вероятно, в том случае, когда растворенная час тица близко подходит к кристаллической грани, возникшая связь практически аналогична связям в объеме кристалла и, следова тельно, процесс можно классифицировать как хемосорбцию. Если же частица находится от кристаллической грани на рас стоянии, недостаточном для возникновения химической связи (раковина из растворителя или минерализатора способна стерически воспрепятствовать сильному сближению), она может удер живаться на поверхности вандерваальсовыми силами; такой процесс следовало бы описывать как адсорбцию. И все же в конце концов связь между частицей и кристаллом станет обыч ной связью внутри кристалла. Это может произойти на после дующих этапах роста, вероятно, при встраивании частицы в из ломе (Р12).
Процесс растворения мы также разделили на ряд этапов (Д1—Д13). Во многих случаях они носят обратный характер по
отношению |
к стадиям роста, |
но последовательность этих стадий |
и их число |
при растворении |
иные, чем для стадий PI — Р15 . Мы |
хотим, таким образом, подчеркнуть, что последовательность и число стадий как при росте, так и при растворении окончательно еще не установлены. Однако для всех этапов роста PI—Р15 можно хотя бы умозрительно предположить обратные им стадии растворения. Если такая обратимость существует в действи тельности, то механизм и лимитирующие процессы для роста и растворения должны быть одинаковыми, а уравнения скоростей их полностью идентичными, если не считать перемены знака. Сле
довательно, рост и растворение должны быть взаимно |
обрат |
|
ными процессами. |
Однако большая часть экспериментов |
пока |
зывает, что они не обратимы. Одной из причин служит то, что адсорбированные примеси, активаторы, компоненты раствори теля или минерализатора препятствуют росту и, наоборот, уско ряют растворение1 ).
') Рост и растворение существенно отличаются также по морфологии поверхностей кристалла — средняя плотность ступеней при растворении, повидимому, гораздо выше, чем при росте. — Прим. ред.
108 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
Надо отметить, что рост при высоких пересыщениях или растворение при высоких недосыщениях не требует наличия сту пеней и изломов на кристаллической поверхности.
3.5. ПРОЦЕССЫ РОСТА П Р И О Т К Л О Н Е Н И И ОТ Р А З Л И Ч Н Ы Х УСЛОВИЙ РАВНОВЕСИЯ
При кристаллизации в однокомпонентной системе по меха низму полиморфных превращений в силу идентичного химиче ского состава обеих фаз диффузия в нашем обычном понимании не может лимитировать скорость роста. Но если структурные изменения при фазовом переходе значительны, то атомам не обходимо переместиться на большое расстояние при образовании новой структуры и эта «микродиффузия» может стать лимити рующей стадией процесса. Полиморфные превращения обычно представляют собой переходы первого рода, для которых ско рость реакции пропорциональна концентрации вещества, претер певающего в данный момент полиморфное превращение. Кон станта скорости обычно изменяется с температурой по закону Аррениуса
|
|
k = ae~blRT, |
|
(3.8) |
где k — константа скорости, а и Ъ суть константы в первом при |
||||
ближении (Ь — энергия |
активации), |
R — газовая |
постоянная, |
|
Т — абсолютная |
температура. Резкое |
изменение наклона кривой |
||
зависимости log |
k от |
1/Т свидетельствует о двух |
механизмах |
|
роста, действующих в разных температурных областях. Предэкспоненциальный множитель а также может зависеть от темпе ратуры. Подробнее зависимость константы скорости от темпера туры обсуждается в работах по химической кинетике [12—14]. На фиг. 3.7 схематично изображена энергия устойчивой и не устойчивой фаз. Чем выше энергетический барьер между ними, тем больше энергия активации АБ* и тем меньше при данной температуре скорость превращения. С повышением температуры константа k возрастает, но если при этом система выйдет из области термодинамической устойчивости р-фазы, то, разумеется, эта фаза не сможет образовываться. Если энергетический барьер между модификациями настолько велик, что скорость превра
щения очень мала и а-фаза способна длительное |
время суще |
ствовать в неравновесных условиях, говорят о ее |
метастабиль- |
ности.
Зарождение устойчивой модификации в твердой фазе, как правило, не встречает затруднений, поскольку эпитаксиальное зарождение обычно протекает легко. С другой стороны, это об стоятельство имеет свои недостатки, так как быстрое образова ние многих центров кристаллизации при полиморфном переходе затрудняет получение монокристалла.
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
109 |
Диффузия не участвует и при росте в чисто однокомпонентной системе расплав — кристалл, так как фазы в данном случае имеют тоже одинаковый состав. В реальных же условиях при ходится учитывать диффузию примесей. Так как рост происхо дит почти при температуре плавления, растущая поверхность, вероятно, всегда атомарно-шероховата и обязательно содержит ступени и изломы. Присоединение частицы к грани и двумерную диффузию к месту встраивания в кристалл можно рассматривать как возможные лимитирующие стадии. Однако в большинстве
ДЕ |
^неустойчивая |
Барьер |
| I |
фаза) |
L _ |
(устойчивая I фаза)
I
Ф и г. 3.7. Энергетический барьер при фазовом превращении.
систем эти процессы протекают, по-видимому, быстрее, чем от водится теплота плавления. Последняя отводится от растущей поверхности посредством теплопроводности, конвекции и излу чения. В зависимости от условий эксперимента, физических характеристик и геометрии системы теплота отводится либо посредством всех перечисленных выше процессов, либо несколь кими из них в том или ином сочетании. Например, излучение практически не играет никакой роли при температурах роста ниже 800—1000 °С. При выращивании кристаллов металлов или родственных им по характеристикам материалов (полуметаллов) вытягиванием из расплава важную роль играет теплопровод ность вдоль выращиваемого образца.
При температурах выше 800—1000 °С излучение уже дает за метный вклад в теплоотвод, который особенно значителен при выращивании кристаллов, прозрачных в спектральной области вблизи максимума на кривой излучения абсолютно черного тела при температуре выращивания. В этом случае кристалл пред ставляет собой своеобразный «светопровод», через который
