книги из ГПНТБ / Ванюков, А. В. Теория пирометаллургических процессов учеб. пособие
.pdfслучае б имеет место перекрытие-валентной зоны и зоны проводимости. В обоих случаях имеются незаполненные квантовые уровни, на которые могут переходить элект роны практически без затраты энергии. Это обусловли вает высокую электропроводность материалов с такой структурой. Зонная структура, изображенная на рис. 15, а и б, характерна для металлов.
£
Зона |
£ |
, |
|
Зона |
|
|
|
проводимости |
|
проводимости |
|
Зона |
|
|
|
|
|
||
|
|
проводимости |
|
йЕ>2зВ |
|
Зона |
М < 2 з8 |
, |
|
|
проводимости |
V |
||
Валентная |
'///У У У 'Ъ |
/ / / / / / / и |
|
/ у / / / / / / ' / |
/Валентная'' |
|
'увалент ная |
||
|
/Л Валентная |
'/ / / зона А |
|
|
|
ас |
X |
|
ас |
|
б |
S |
|
г |
Рис. 13. Схема энергетических зон в твердых телах:
а, б — металлы, ѳ — полупроводники, г — диэлектрики
Полупроводники характеризуются наличием запре щенной зоны и полностью заполненной валентной зоной. К классу полупроводников условно относят вещества с шириной запрещенной зоны до 2,5 эВ (рис. 13, ß). Веще ства, имеющие ширину запрещенной зоны более 2,5 эВ, относятся к классу диэлектриков (рис. 13,а).
Зависимость концентрации носителей тока от шири ны запрещенной зоны при температуре 300 К представ лена ниже:
Ширина запрещен |
10 |
5 3 |
2 |
1 |
0,75 |
0,5 |
0,1 |
ной зоны, эВ • . . |
|||||||
Число свободных |
|
|
|
|
|
|
|
электронов п, см3 |
10—°5 |
10—35 10—° |
10-2 |
1011 |
ІО13 |
ІО13 |
1018 |
При ширине запрещенной зоны 3 эВ один «свобод ный» электрон находится в 1 -10® см3 вещества, а при ширине запрещенной зоны 2 эВ в 1 Ём3 находятся 100 электронов.
Физические и химические свойства полупроводников определяются шириной запрещенной зоны. С уменьше нием ширины запрещенной зоны возрастает концентра ция носителей заряда, а вместе с этим И электропровод
ность. В прямой зависимости от ширины запрещенной зоны находится и цвет полупроводникового материала. Кристалл полупроводника будет прозрачен для тех длин воли, для которых энергия кванта света Е [ Е — %ѵ, % — постоянная Планка 4,15-Ю-15 эВ-сек, ѵ — частота (см-1) световых колебаний] меньше ширины запрещен ной зоны. Если Е света будет превышать ширину запре щенной зоны, то энергия кванта света будет поглощаться кристаллом, возбуждая в кристалле пару электрон —
дырка. Именно по этой причине |
кристаллы ZnS (АЕ — |
||
= |
3,5 эВ) |
прозрачны, кристаллы CdS ( А Е — 2,3 эВ) име |
|
ют |
соломенно-желтый цвет, а |
кристаллы ZnTe (АЕ = |
|
= |
2,2 эВ) |
— оранжево-красный |
цвет. Кристаллы с ши |
риной запрещенной зоны>1 — 1,5 эВ прозрачны в инфра красном свете, чем пользуются при изучении их внут реннего строения.
От ширины запрещенной зоны зависит также и стой
кость соединений. Вещества |
с сильной ковалентной |
связью и большой шириной |
запрещенной зоны (напри |
мер, S i02, SiC, A b o s и др.) характеризуются и химичес |
|
кой инертностью. Химические процессы и прежде всего |
процессы окисления и восстановления протекают с об меном электронами между партнерами по реакции. По этой причине зонное строение веществ и проявляется в их химических свойствах.
§ 3. Уровень Ферми
Рассмотрим случай равновесного состояния системы электронов, находящихся в ограниченном объеме V при температуре абсолютного нуля. Пусть Ѵ = \ см3. В соот ветствии с принципом Паули и принципом минимума энергии электроны будут занимать наиболее низкие энергетические уровни начиная с нулевого и до некото рого максимального уровня Ферми Е р . Уровень Ферми совпадает с химическим потенциалом рассматриваемой системы электронов. Зависимость уровня Ферми от плот ности электронов N описывается уравнением
(1.3)
где т — масса электрона (9,1085-ІО-28 г) ; %— постоянная Планка, 4,15-Ю-15 эВ-с.
Таким образом, положение |
уровня Ферми в данной |
электронной системе целиком |
определяется плотностью |
электронов. Как известно из |
термодинамики, условие |
равновесия двух фаз относительно каких-либо химичес
ких |
компонент (в рассматриваемом случае электро |
||
нов) |
заключается в равенстве химических |
потенциалов |
|
обеих фаз. Этот результат имеет |
важное применение в |
||
задаче о контактных явлениях. |
В случае |
равновесия |
уровень Ферми должен иметь одну и ту же постоянную величину во всех соприкасающихся веществах. Установ ление равновесия при контакте двух различных веществ обязательно будет сопровождаться потоком электронов из одного проводника в другой.
Важно знать положение уровня Ферми в полупровод нике. Рассмотрим для простоты полупроводник с собст венной проводимостью (не содержащий примесей) с ши риной запрещенной зоны АЕ. Пусть энергии электронов и дырок отсчитываются от потолка валентной зоны. Ме тодами статистической физики могут быть получены фор
мулы, определяющие количество электронов п |
в зоне |
|
проводимости при температуре Т : |
|
|
Е р — Д£ |
|
|
п — А (mn Т)3/2 е |
кт |
(1.4) |
и количество дырок |
(р ) в валентной зоне: |
|
|
E F |
|
p = A { m p T f 2 e |
kT , |
(1.5) |
гдe m n и m p— соответственно массы электронов и дырок; А — постоянная величина.
Для полупроводников с собственной проводимостью имеем і і — р, так как каждая дырка образуется в резуль тате теплового возбуждения электрона из валентной зоны. Перемножая уравнения (1.4) и (1.5), получим
ДЕ
п р = А 2Т 3 (mn m pf /2 е кТ ■ |
(1.6) |
Для полупроводника с собственной проводимостью характерно равенство
ДЕ
Л. = р . = A T Zß (ргп ■m pf 14 е 2кт . |
(1.7) |
Возбуждение экспоненциально зависит от ширины запрещенной зоны. Приравнивая правые части формул (1.4) и (1.5), получим
2Е р |
АЕ |
|
e kT = |
(]Цр_\312 е кт |
(1.8) |
|
\ mn 1 |
|
или
E f = — А Е + |
— k T \ п ^ . |
||
F |
2 |
4 |
шп |
Если m n — m p , то |
сц |
II |
(1.9)
*
Следовательно, уровень Ферми будет в середине за прещенной зоны.
§ 4. Собственная электропроводность полупроводников
Электропроводность полупроводниковых кристаллов определяется наличием в зоне проводимости генериро ванных вследствие теплового или иного возбуждения' электронов и одновременным образованием дырок в ва лентной зоне.
Необходимо отметить, что процесс генерации элект ронов при подведении тепла сопровождается процессом рекомбинации, т. е. процессом уничтожения дырок и электронов при встрече.
Количество возбужденных электронов и дырок в рав новесных условиях определяется зависимостями (1.4) и (1.5).
Известно, что при постоянной температуре п р = п 2— = const. Величина общей электропроводности определя ется выражением:
к = х п + х р = еп ц п + е р ц р, |
(1.10) |
где рп и ßp — подвижность электронов и дырок.
Надо отметить, что подвижность электронов в боль шинстве случаев значительно больше подвижности ды
рок. Если выражать заряд в кулонах |
(е=1,6-10-19 Кл), |
||
концентрацию электронов и дырок |
в см-3, |
а подвиж |
|
ность в см2/(В.с), то |
электропроводность |
(х) получит |
|
размерность Ом-1-см-1. |
полупроводников |
||
Электропроводность |
собственных |
сильно зависит от температуры. С повышением темпера
туры все большее количество электронов будет получать энергию, необходимую для перехода в зону проводимос ти. Зависимость электропроводности от температуры оп ределяется выражением
X = щ е 2kT, |
(1.11) |
где х0— величина электропроводности, не зависящая от температуры при 1/Г-э-О, она соответствует случаю, когда все валентные электроны переш ли в зону проводимости.
График этой зависимости удобнее строить в полуло
гарифмических координатах. |
|
|
путем |
||
Строя |
такой |
график экспериментальным |
|||
(рис. 14), |
можно |
определить величину щ |
|
и ширину за |
|
|
|
прещенной |
зоны, |
которая |
|
Іпи |
|
равна тангенсу угла накло |
|||
|
|
на прямой |
к |
оси |
абсцисс, |
|
|
умноженному |
1 |
|
|
|
|
на —- . |
Возбудить электроны можно также облучением. Для этого необходимо, од нако, чтобы энергия кванта излучения была равна или превышала ширину запре щенной зоны, т. е. для гене рации носителей в полупро водниках с возрастающей шириной запрещенной зоны необходимо использовать
излучения с уменьшающейся длиной волны.
§ 5. Дефекты структуры кристаллов
Рассмотрение собственных полупроводников, прове денное выше, относилось к структуре идеальных кристал лов. В природе и технике с идеальными кристаллами приходится встречаться редко. Наличие дефектов в кристаллах существенно сказывается на физико-химиче ских свойствах вещества. От наличия дефектов зависят такие свойства твердых тел, как электропроводность, теплопроводность, механические свойства и т. д. Дефек
ты в кристаллах влияют на термодинамические свойства веществ и кинетику металлургических процессов. Разли чают следующие два основных вида дефектов в кристал лах: точечные и линейные или плоскостные. Точечные дефекты можно подразделить на атомные (ионные) и электронные.
К атомным можно отнести следующие шесть типов дефектов:
1.Химические примеси. Кристалл с содержанием при
меси 0,1% с химической точки зрения можно считать
О О О О О |
О О О О О |
О О О О О |
о о ® о о |
о о ф о о |
О О О О О |
О О О О О |
о о ® о о |
О® О О О |
О О О О О |
О О О О О |
0 ^ 0 0 0 |
О О О О О |
О О О О О ' |
о Ч ю о о |
а |
|
â |
в |
Рис. |
15. Схема |
кристаллической |
решетки: |
а — идеальный |
кристалл, |
состоящий из атомов А, б — В — при |
|
месь замещения; в — В — примесь внедрения |
|||
чистым, но с позиции |
физики такое |
содержание будет |
весьма значительным.
Любая точка в подобном кристалле удалена от ато ма примеси (при равномерном распределении) не более чем на несколько межатомных расстояний. Чужеродные атомы могут быть примесями замещения или примесями внедрения (рис. 15).
В качестве примесей следует рассматривать также нарушения в стехиометрии соединений. Влияние нару шений в стехиометрии соединений и чужеродных приме сей идентично.
2. Дефект Френкеля. В результате каких-то воздей ствий атом (ион) из узла решетки может перейти в меж доузлие с возникновением вакансии в решетке. Этот тип дефекта называется дефектом Френкеля. Он встречается как в элементарных веществах, так и в химических сое динениях.
В случае химических соединений дефекты Френкеля могут возникать в подрешетке как металла, так и аниона. Не исключена возможность одновременного возникнове ния дефектов Френкеля в подрешетках металла ( M e ) и аниона (X) :
M e |
X |
M e |
X |
M e |
X |
M e |
|
M e |
X |
|
|
X |
|
|
M e |
X |
M e |
X |
M e |
|
|
|
M e |
|
X |
M e |
X |
|
X |
Электронейтралы-юсть системы и стехиометрические соотношения между катионом и анионом при образова нии этого типа дефекта в кристалле не нарушаются.
3. Дефекты Шоттки связаны с выходом атома (иона) из узла решетки на поверхность и возникновением в кристалле вакансий. В случае соединения дефекты Шот тки могут возникать в подрешетке металла, аниона или одновременно и в той и другой подрешетке:
M e |
X |
M e |
'Q |
M e |
X |
С...; |
X |
M e |
X |
M e |
X |
M e |
X |
M e |
В случае одновременного возникновения вакансий в подрешетке металла и аниона стехиометрические соотно шения между компонентами соединения не нарушаются. Образование вакансий одного типа связано с отклонени ем в стехиометрии соединения и дополнительным воз никновением электронных дефектов с сохранением электронейтральности системы.
4. Дефект антиструктуры в кристаллах соединений: место катиона в узле решетки занимает анион или на оборот:
M e |
X |
\Х \ |
X |
M e |
X |
M e |
X |
M e |
X |
M e \Me\ M e X |
M e |
|||
X |
M e |
X |
M e |
X |
5. Наряду с возникновением перечисленных выше от носительно простых дефектов возможно образование и более сложных комплексных дефектов. В частности, для халькогенидов вследствие большой склонности к обра зованию ковалентных связей у атомов серы, селена и теллура друг с другом возможно их сближение вокруг
48
вакансии металла с образованием сложных комплексных дефектов с замыканием связей между отдельными ато
мами, например S — S. |
|
|
||||||
6. |
|
Дефектами в кристаллах следует считать наличие |
||||||
электронов |
в зоне |
проводимости |
и дырок в валентной |
|||||
зоне |
(характерно |
для диэлектриков и полупроводни |
||||||
ков) . |
|
|
|
или |
плоскостным |
дефектам кристал |
||
К линейным |
||||||||
лической структуры следует отнести различные виды |
||||||||
дислокаций |
(дислокация — это |
|
||||||
область в |
кристалле, |
в которой |
|
|||||
нарушена |
|
периодичность |
кри |
|
||||
сталлической |
решетки). |
Плот |
|
|||||
ность |
дислокаций |
в металличес |
|
|||||
ких кристаллах находится в пре |
|
|||||||
делах |
ІО4—ІО6 |
на каждый квад |
|
|||||
ратный сантиметр. Простейшими |
|
|||||||
типами |
дислокаций |
являются |
|
|||||
винтовая |
и |
краевая |
дислокации. |
|
На рис. 16 схематично изображе |
|
|
|
|
|
||
на краевая дислокация (1 ) в кри Рнс. |
16. |
Схема краевой |
ди |
||||
сталлической |
решетке. Дислока |
слокации |
в |
кубической |
ре |
||
|
шетке |
кристалла |
|
||||
ции возникают в результате не |
|
|
|
|
|
||
правильного |
роста |
кристаллов |
|
обработке. Они |
|||
или при термической |
и механической |
оказывают большое влияние на механические и электро физические свойства кристаллов.
§6. Дефекты структуры
иэлектрофизические свойства твердых тел
Введение в твердые тела примесей посторонних ато мов меняет строение энергетических зон кристаллов, что проявляется в изменении ряда физико-химических свойств, в частности электропроводности.
Рассмотрим легирование чистого кристалла германия атомами примесей. На рис. 17 схематично представлен случай замещения атома германия сурьмой. Сурьма — элемент пятой группы Периодической системы, содержит во внешней электронной оболочке на один электрон боль ше, чем германий. «Лишний» пятый электрон, не участ вующий в четырех валентных связях решетки, находится под действием периодического поля решетки и кулонов ского поля пома Sb+. Этот электрон вынужден занимать
4—341 |
4? |
более высокие энергетические уровни, т. к. его связь с ядром ослаблена. Поэтому при сообщении этому элект рону незначительной энергии (часто уже при комнатной температуре) он отрывается со своей орбиты и перехо дит в зону проводимости. При наложении электрическо го поля свободные электроны атомов сурьмы принимают участие в переносе электрического тока. У таких примес ных полупроводников обычно уже при комнатных тем-
Рнс. |
17. Атом донорной примеси |
Рис. 18. Атом акцепторной примеси |
сурьмы в монокристалле герма- |
индия в монокристалле германия, |
|
ння, |
образующий электрон про- |
вызывающий появление дырки |
|
воднмостк |
|
пературах появляется значительная величина проводи мости. Примесные элементы, способные при сообщении атомам незначительной энергии отдавать электроны в зону проводимости твердого тела, называются донор ными.
Наоборот, примеси, ионизирующие атомы основного кристалла с образованием дырок в валентной зоне, на зываются акцепторными примесями. Рассмотрим подоб ный случай на примере кристалла германия, легирован ного индием. Схема этого процесса приведена на рис. 18. Для образования связей с 4 ближайшими соседями у ин дия не хватает одного электрона. Его можно заимство вать у атома германия. Согласно расчету, для этого не обходимо приложить энергию £ = 0,015 эВ. Электрон, захваченный атомом индия, локализуется в этом атоме и не принимает участия в электропроводности. Но у со седнего атома германия обнаруживается нехватка одно го электрона — дырка. При воздействии на кристалл
электрического поля дырки получают приращение ско рости и движутся в направлении электрического поля. В твердом теле появляется дырочная проводимость. Движение дырок является лишь некоторой удобной аб страктной моделью. Фактически движется электрон, занимая вакантные места у атомов германия. Движение электрона описывается эквивалентным ему обратным движением электронных вакансий или дырок.
Рис. 19. Схема примесных уровней в кристалле полупроводника:
а — уровень донорной примеси; б — уровень акцепторной примеси
На схеме расположения зон твердого тела введение примесей связано с появлением дополнительных энерге тических уровней (рис. 19). Дополнительные уровни
энергий располагаются на |
расстоянии 0,01—0,04 эВ |
|
для донорной примеси от дна зоны проводимости |
(АЕД, |
|
рис. 19,а), для акцепторной |
от верха валентной |
зоны |
(Д£а, рис. 19,6). Возможно возникновение и более глу боких энергетических уровней. Малое расстояние донор ных и акцепторных уровней от соответствующих разре шенных зон приводит к тому, что их ионизация и возник новение свободных носителей происходят при небольших энергетических воздействиях. Так, уже при комнатной температуре примесные уровни оказываются ионизо ванными. Важно отметить, что каждой примеси соответ ствуют свои уровни в запрещенной зоне. Если положе ние этих уровней известно заранее, то измерение физиче ских свойств (например, оптических) позволяет определять тип примесей, присутствующих в полупровод нике, а в некоторых случаях далее оценивать их количе ство.
Влияние донорных и акцепторных примесей было