Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Ванюков, А. В. Теория пирометаллургических процессов учеб. пособие

.pdf
Скачиваний:
29
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
22.07 Mб
Скачать

случае б имеет место перекрытие-валентной зоны и зоны проводимости. В обоих случаях имеются незаполненные квантовые уровни, на которые могут переходить элект­ роны практически без затраты энергии. Это обусловли­ вает высокую электропроводность материалов с такой структурой. Зонная структура, изображенная на рис. 15, а и б, характерна для металлов.

£

Зона

£

,

 

Зона

 

 

 

проводимости

проводимости

 

Зона

 

 

 

 

 

 

проводимости

 

йЕ>2зВ

 

Зона

М < 2 з8

,

 

проводимости

V

Валентная

'///У У У 'Ъ

/ / / / / / / и

 

/ у / / / / / / ' /

/Валентная''

 

'увалент ная

 

/Л Валентная

'/ / / зона А

 

 

 

ас

X

 

ас

 

б

S

 

г

Рис. 13. Схема энергетических зон в твердых телах:

а, б — металлы, ѳ — полупроводники, г — диэлектрики

Полупроводники характеризуются наличием запре­ щенной зоны и полностью заполненной валентной зоной. К классу полупроводников условно относят вещества с шириной запрещенной зоны до 2,5 эВ (рис. 13, ß). Веще­ ства, имеющие ширину запрещенной зоны более 2,5 эВ, относятся к классу диэлектриков (рис. 13,а).

Зависимость концентрации носителей тока от шири­ ны запрещенной зоны при температуре 300 К представ­ лена ниже:

Ширина запрещен­

10

5 3

2

1

0,75

0,5

0,1

ной зоны, эВ • . .

Число свободных

 

 

 

 

 

 

 

электронов п, см3

10—°5

10—35 10—°

10-2

1011

ІО13

ІО13

1018

При ширине запрещенной зоны 3 эВ один «свобод­ ный» электрон находится в 1 -10® см3 вещества, а при ширине запрещенной зоны 2 эВ в 1 Ём3 находятся 100 электронов.

Физические и химические свойства полупроводников определяются шириной запрещенной зоны. С уменьше­ нием ширины запрещенной зоны возрастает концентра­ ция носителей заряда, а вместе с этим И электропровод­

ность. В прямой зависимости от ширины запрещенной зоны находится и цвет полупроводникового материала. Кристалл полупроводника будет прозрачен для тех длин воли, для которых энергия кванта света Е [ Е — %ѵ, % — постоянная Планка 4,15-Ю-15 эВ-сек, ѵ — частота (см-1) световых колебаний] меньше ширины запрещен­ ной зоны. Если Е света будет превышать ширину запре­ щенной зоны, то энергия кванта света будет поглощаться кристаллом, возбуждая в кристалле пару электрон —

дырка. Именно по этой причине

кристаллы ZnS (АЕ —

=

3,5 эВ)

прозрачны, кристаллы CdS ( А Е — 2,3 эВ) име­

ют

соломенно-желтый цвет, а

кристаллы ZnTe (АЕ =

=

2,2 эВ)

— оранжево-красный

цвет. Кристаллы с ши­

риной запрещенной зоны>1 — 1,5 эВ прозрачны в инфра­ красном свете, чем пользуются при изучении их внут­ реннего строения.

От ширины запрещенной зоны зависит также и стой­

кость соединений. Вещества

с сильной ковалентной

связью и большой шириной

запрещенной зоны (напри­

мер, S i02, SiC, A b o s и др.) характеризуются и химичес­

кой инертностью. Химические процессы и прежде всего

процессы окисления и восстановления протекают с об­ меном электронами между партнерами по реакции. По этой причине зонное строение веществ и проявляется в их химических свойствах.

§ 3. Уровень Ферми

Рассмотрим случай равновесного состояния системы электронов, находящихся в ограниченном объеме V при температуре абсолютного нуля. Пусть Ѵ = \ см3. В соот­ ветствии с принципом Паули и принципом минимума энергии электроны будут занимать наиболее низкие энергетические уровни начиная с нулевого и до некото­ рого максимального уровня Ферми Е р . Уровень Ферми совпадает с химическим потенциалом рассматриваемой системы электронов. Зависимость уровня Ферми от плот­ ности электронов N описывается уравнением

(1.3)

где т — масса электрона (9,1085-ІО-28 г) ; %— постоянная Планка, 4,15-Ю-15 эВ-с.

Таким образом, положение

уровня Ферми в данной

электронной системе целиком

определяется плотностью

электронов. Как известно из

термодинамики, условие

равновесия двух фаз относительно каких-либо химичес­

ких

компонент (в рассматриваемом случае электро­

нов)

заключается в равенстве химических

потенциалов

обеих фаз. Этот результат имеет

важное применение в

задаче о контактных явлениях.

В случае

равновесия

уровень Ферми должен иметь одну и ту же постоянную величину во всех соприкасающихся веществах. Установ­ ление равновесия при контакте двух различных веществ обязательно будет сопровождаться потоком электронов из одного проводника в другой.

Важно знать положение уровня Ферми в полупровод­ нике. Рассмотрим для простоты полупроводник с собст­ венной проводимостью (не содержащий примесей) с ши­ риной запрещенной зоны АЕ. Пусть энергии электронов и дырок отсчитываются от потолка валентной зоны. Ме­ тодами статистической физики могут быть получены фор­

мулы, определяющие количество электронов п

в зоне

проводимости при температуре Т :

 

Е р — Д£

 

п — А (mn Т)3/2 е

кт

(1.4)

и количество дырок

(р ) в валентной зоне:

 

 

E F

 

p = A { m p T f 2 e

kT ,

(1.5)

гдe m n и m p— соответственно массы электронов и дырок; А — постоянная величина.

Для полупроводников с собственной проводимостью имеем і і — р, так как каждая дырка образуется в резуль­ тате теплового возбуждения электрона из валентной зоны. Перемножая уравнения (1.4) и (1.5), получим

ДЕ

п р = А 2Т 3 (mn m pf /2 е кТ ■

(1.6)

Для полупроводника с собственной проводимостью характерно равенство

ДЕ

Л. = р . = A T Zß (ргп ■m pf 14 е 2кт .

(1.7)

Возбуждение экспоненциально зависит от ширины запрещенной зоны. Приравнивая правые части формул (1.4) и (1.5), получим

2Е р

АЕ

 

e kT =

(]Цр_\312 е кт

(1.8)

 

\ mn 1

 

или

E f = — А Е +

— k T \ п ^ .

F

2

4

шп

Если m n — m p , то

сц

II

(1.9)

*

Следовательно, уровень Ферми будет в середине за­ прещенной зоны.

§ 4. Собственная электропроводность полупроводников

Электропроводность полупроводниковых кристаллов определяется наличием в зоне проводимости генериро­ ванных вследствие теплового или иного возбуждения' электронов и одновременным образованием дырок в ва­ лентной зоне.

Необходимо отметить, что процесс генерации элект­ ронов при подведении тепла сопровождается процессом рекомбинации, т. е. процессом уничтожения дырок и электронов при встрече.

Количество возбужденных электронов и дырок в рав­ новесных условиях определяется зависимостями (1.4) и (1.5).

Известно, что при постоянной температуре п р = п 2— = const. Величина общей электропроводности определя­ ется выражением:

к = х п + х р = еп ц п + е р ц р,

(1.10)

где рп и ßp — подвижность электронов и дырок.

Надо отметить, что подвижность электронов в боль­ шинстве случаев значительно больше подвижности ды­

рок. Если выражать заряд в кулонах

(е=1,6-10-19 Кл),

концентрацию электронов и дырок

в см-3,

а подвиж­

ность в см2/(В.с), то

электропроводность

(х) получит

размерность Ом-1-см-1.

полупроводников

Электропроводность

собственных

сильно зависит от температуры. С повышением темпера­

Рис. 14. Зависимость электропровод­ ности собственных полупроводников от температуры

туры все большее количество электронов будет получать энергию, необходимую для перехода в зону проводимос­ ти. Зависимость электропроводности от температуры оп­ ределяется выражением

X = щ е 2kT,

(1.11)

где х0— величина электропроводности, не зависящая от температуры при 1/Г-э-О, она соответствует случаю, когда все валентные электроны переш­ ли в зону проводимости.

График этой зависимости удобнее строить в полуло­

гарифмических координатах.

 

 

путем

Строя

такой

график экспериментальным

(рис. 14),

можно

определить величину щ

 

и ширину за­

 

 

прещенной

зоны,

которая

Іпи

 

равна тангенсу угла накло­

 

 

на прямой

к

оси

абсцисс,

 

 

умноженному

1

 

 

 

на —- .

Возбудить электроны можно также облучением. Для этого необходимо, од­ нако, чтобы энергия кванта излучения была равна или превышала ширину запре­ щенной зоны, т. е. для гене­ рации носителей в полупро­ водниках с возрастающей шириной запрещенной зоны необходимо использовать

излучения с уменьшающейся длиной волны.

§ 5. Дефекты структуры кристаллов

Рассмотрение собственных полупроводников, прове­ денное выше, относилось к структуре идеальных кристал­ лов. В природе и технике с идеальными кристаллами приходится встречаться редко. Наличие дефектов в кристаллах существенно сказывается на физико-химиче­ ских свойствах вещества. От наличия дефектов зависят такие свойства твердых тел, как электропроводность, теплопроводность, механические свойства и т. д. Дефек­

ты в кристаллах влияют на термодинамические свойства веществ и кинетику металлургических процессов. Разли­ чают следующие два основных вида дефектов в кристал­ лах: точечные и линейные или плоскостные. Точечные дефекты можно подразделить на атомные (ионные) и электронные.

К атомным можно отнести следующие шесть типов дефектов:

1.Химические примеси. Кристалл с содержанием при­

меси 0,1% с химической точки зрения можно считать

О О О О О

О О О О О

О О О О О

о о ® о о

о о ф о о

О О О О О

О О О О О

о о ® о о

О® О О О

О О О О О

О О О О О

0 ^ 0 0 0

О О О О О

О О О О О '

о Ч ю о о

а

 

â

в

Рис.

15. Схема

кристаллической

решетки:

а — идеальный

кристалл,

состоящий из атомов А, б В — при­

месь замещения; в — В — примесь внедрения

чистым, но с позиции

физики такое

содержание будет

весьма значительным.

Любая точка в подобном кристалле удалена от ато­ ма примеси (при равномерном распределении) не более чем на несколько межатомных расстояний. Чужеродные атомы могут быть примесями замещения или примесями внедрения (рис. 15).

В качестве примесей следует рассматривать также нарушения в стехиометрии соединений. Влияние нару­ шений в стехиометрии соединений и чужеродных приме­ сей идентично.

2. Дефект Френкеля. В результате каких-то воздей­ ствий атом (ион) из узла решетки может перейти в меж­ доузлие с возникновением вакансии в решетке. Этот тип дефекта называется дефектом Френкеля. Он встречается как в элементарных веществах, так и в химических сое­ динениях.

В случае химических соединений дефекты Френкеля могут возникать в подрешетке как металла, так и аниона. Не исключена возможность одновременного возникнове­ ния дефектов Френкеля в подрешетках металла ( M e ) и аниона (X) :

M e

X

M e

X

M e

X

M e

 

M e

X

 

 

X

 

 

M e

X

M e

X

M e

 

 

 

M e

X

M e

X

 

X

Электронейтралы-юсть системы и стехиометрические соотношения между катионом и анионом при образова­ нии этого типа дефекта в кристалле не нарушаются.

3. Дефекты Шоттки связаны с выходом атома (иона) из узла решетки на поверхность и возникновением в кристалле вакансий. В случае соединения дефекты Шот­ тки могут возникать в подрешетке металла, аниона или одновременно и в той и другой подрешетке:

M e

X

M e

'Q

M e

X

С...;

X

M e

X

M e

X

M e

X

M e

В случае одновременного возникновения вакансий в подрешетке металла и аниона стехиометрические соотно­ шения между компонентами соединения не нарушаются. Образование вакансий одного типа связано с отклонени­ ем в стехиометрии соединения и дополнительным воз­ никновением электронных дефектов с сохранением электронейтральности системы.

4. Дефект антиструктуры в кристаллах соединений: место катиона в узле решетки занимает анион или на­ оборот:

M e

X

\Х \

X

M e

X

M e

X

M e

X

M e \Me\ M e X

M e

X

M e

X

M e

X

5. Наряду с возникновением перечисленных выше от­ носительно простых дефектов возможно образование и более сложных комплексных дефектов. В частности, для халькогенидов вследствие большой склонности к обра­ зованию ковалентных связей у атомов серы, селена и теллура друг с другом возможно их сближение вокруг

48

вакансии металла с образованием сложных комплексных дефектов с замыканием связей между отдельными ато­

мами, например S — S.

 

 

6.

 

Дефектами в кристаллах следует считать наличие

электронов

в зоне

проводимости

и дырок в валентной

зоне

(характерно

для диэлектриков и полупроводни­

ков) .

 

 

 

или

плоскостным

дефектам кристал­

К линейным

лической структуры следует отнести различные виды

дислокаций

(дислокация — это

 

область в

кристалле,

в которой

 

нарушена

 

периодичность

кри­

 

сталлической

решетки).

Плот­

 

ность

дислокаций

в металличес­

 

ких кристаллах находится в пре­

 

делах

ІО4—ІО6

на каждый квад­

 

ратный сантиметр. Простейшими

 

типами

дислокаций

являются

 

винтовая

и

краевая

дислокации.

 

На рис. 16 схематично изображе­

 

 

 

 

 

на краевая дислокация (1 ) в кри­ Рнс.

16.

Схема краевой

ди­

сталлической

решетке. Дислока­

слокации

в

кубической

ре­

 

шетке

кристалла

 

ции возникают в результате не­

 

 

 

 

 

правильного

роста

кристаллов

 

обработке. Они

или при термической

и механической

оказывают большое влияние на механические и электро­ физические свойства кристаллов.

§6. Дефекты структуры

иэлектрофизические свойства твердых тел

Введение в твердые тела примесей посторонних ато­ мов меняет строение энергетических зон кристаллов, что проявляется в изменении ряда физико-химических свойств, в частности электропроводности.

Рассмотрим легирование чистого кристалла германия атомами примесей. На рис. 17 схематично представлен случай замещения атома германия сурьмой. Сурьма — элемент пятой группы Периодической системы, содержит во внешней электронной оболочке на один электрон боль­ ше, чем германий. «Лишний» пятый электрон, не участ­ вующий в четырех валентных связях решетки, находится под действием периодического поля решетки и кулонов­ ского поля пома Sb+. Этот электрон вынужден занимать

4—341

4?

более высокие энергетические уровни, т. к. его связь с ядром ослаблена. Поэтому при сообщении этому элект­ рону незначительной энергии (часто уже при комнатной температуре) он отрывается со своей орбиты и перехо­ дит в зону проводимости. При наложении электрическо­ го поля свободные электроны атомов сурьмы принимают участие в переносе электрического тока. У таких примес­ ных полупроводников обычно уже при комнатных тем-

Рнс.

17. Атом донорной примеси

Рис. 18. Атом акцепторной примеси

сурьмы в монокристалле герма-

индия в монокристалле германия,

ння,

образующий электрон про-

вызывающий появление дырки

 

воднмостк

 

пературах появляется значительная величина проводи­ мости. Примесные элементы, способные при сообщении атомам незначительной энергии отдавать электроны в зону проводимости твердого тела, называются донор­ ными.

Наоборот, примеси, ионизирующие атомы основного кристалла с образованием дырок в валентной зоне, на­ зываются акцепторными примесями. Рассмотрим подоб­ ный случай на примере кристалла германия, легирован­ ного индием. Схема этого процесса приведена на рис. 18. Для образования связей с 4 ближайшими соседями у ин­ дия не хватает одного электрона. Его можно заимство­ вать у атома германия. Согласно расчету, для этого не­ обходимо приложить энергию £ = 0,015 эВ. Электрон, захваченный атомом индия, локализуется в этом атоме и не принимает участия в электропроводности. Но у со­ седнего атома германия обнаруживается нехватка одно­ го электрона — дырка. При воздействии на кристалл

электрического поля дырки получают приращение ско­ рости и движутся в направлении электрического поля. В твердом теле появляется дырочная проводимость. Движение дырок является лишь некоторой удобной аб­ страктной моделью. Фактически движется электрон, занимая вакантные места у атомов германия. Движение электрона описывается эквивалентным ему обратным движением электронных вакансий или дырок.

Рис. 19. Схема примесных уровней в кристалле полупроводника:

а — уровень донорной примеси; б — уровень акцепторной примеси

На схеме расположения зон твердого тела введение примесей связано с появлением дополнительных энерге­ тических уровней (рис. 19). Дополнительные уровни

энергий располагаются на

расстоянии 0,01—0,04 эВ

для донорной примеси от дна зоны проводимости

(АЕД,

рис. 19,а), для акцепторной

от верха валентной

зоны

(Д£а, рис. 19,6). Возможно возникновение и более глу­ боких энергетических уровней. Малое расстояние донор­ ных и акцепторных уровней от соответствующих разре­ шенных зон приводит к тому, что их ионизация и возник­ новение свободных носителей происходят при небольших энергетических воздействиях. Так, уже при комнатной температуре примесные уровни оказываются ионизо­ ванными. Важно отметить, что каждой примеси соответ­ ствуют свои уровни в запрещенной зоне. Если положе­ ние этих уровней известно заранее, то измерение физиче­ ских свойств (например, оптических) позволяет определять тип примесей, присутствующих в полупровод­ нике, а в некоторых случаях далее оценивать их количе­ ство.

Влияние донорных и акцепторных примесей было

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ