Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Мотт, Н. Электронные процессы в некристаллических веществах

.pdf
Скачиваний:
42
Добавлен:
22.10.2023
Размер:
18.34 Mб
Скачать

160

Глава 5

новлено, что здесь имеет место та разиовидпость перехода Мотта, которая описывалась в настоящей главе [362, 501]. Как было най­ дено в работе Спенко [457], концентрация, при которой происходит переход, может быть рассчитана по формуле (6.5), если диэлект­ рическую проницаемость определять из соотношения (4.28). Пере­ ход можно наблюдать только при достаточно высоких температу­ рах, поскольку существует щель растворимости, показанная на

Переход металл-неметалл

 

Концентрация

металла

Ф п г. 5.17. Свободпая

энергия металл-аммиачного раствора (из рабо­

 

ты [8'i]).

 

Пунктирной

кривой показана щель

растворимости

фиг. 5.17 пунктирной кривой. Очевидно, что только для кривых свободной энергии, подобных изображенным на фиг. 5.17 сплош­ ной линией, можно получить щель растворимости.

Природа перехода в металл-аммиачных растворах обсуждалась в работах Коэна и Томпсона [102] и Кеттролла и Мотта [84]. Если рассматривать проблему перехода с точки зрения, развиваемой в настоящей главе, то мы придем к заключению, что на металличе­ ской стороне перехода имеется небольшое число полостей, содер­ жащих внутри себя два электрона, а проводимость обусловлена лишними электронами, которые движутся по однократно заря­ женным полостям. Пустые полости схлопываются. С этой точки зрения проблема проводимости обсуждалась в работе Кеттролла и Мотта. Один из наиболее существенных моментов этой работы, как и работы Коэна и Томпсона, заключается в том, что на метал­ лической стороне перехода существуют полости, вследствие чего электроны движутся в сравнительно узкой зоне, подобной примес­ ной зоне в легированном полупроводнике.

Акривос и Мотт [3] рассмотрели данные, полученные по ядер­ ному резонансу в металл-аммиачных растворах вблизи точки пере-

Переход металл —• неметалл

161

хода. В твердом теле линия ЯМР чрезвычайно сильно уширяется случайно распределенным магнитным моментом х ) .

Уширеиие линии ЯМР в жидкости существенно меньше, так как за время прецессии происходит многократное изменение кон­ фигурации моментов, благодаря чему случайное магнитное поле усредняется до исчезагоще малой величины. В этих условиях сдвиг Ыайта определяется плотностью состояний на уровне Ферми, как это было описано в 3.17. Экспериментальные данные свидетель­ ствуют о том, что величина N (EF) уменьшается по мере прибли­ жения к переходу, как этого и следует ожидать на основании моде­ ли псевдощели, развитой в 5.11. Следствия, которые вытекают из экспериментов по электронному спиновому резонансу и подтверж­ дают эту модель, обсуждаются в работе Кеттролла [83].

*) Во время написания этой книги еще не было известно, имеется ли температура Нееля у некристаллического ансамбля спинов с антиферромагпитиой связью. В работах Симпсона [460] и Кобе и Хэндрича [281] были сде­ ланы расчеты на основе предположения о существовании антиферромагнит­ ного порядка. С другой стороны, в экспериментах Сандфорса и Голкомба [485] па кремнии, легированном фосфором, не было обнаружено упшрения линии ЯМР, обусловленного спинами на изоляторной стороне перехода металл — неметалл, вплоть до температуры 1,3 К. Отсюда следует, что тем­ пература Нееля, если она существует, должна быть ниже этой величины.

1 1 - 0 1 1 4 2

Г Л А В А 6

П Р О В О Д И М О С Т Ь П О П Р И М Е С Я М

ИП Р И М Е С Н Ы Е З О Н Ы

6.1.ВВЕДЕНИЕ

Ханг и Глейссман [255] впервые обнаружили новый механизм проводимости в легированных германии и кремнии, который доми­ нирует при низких температурах и который теперь известен под названием проводимости по примесям. На фиг. 6.1 представлены экспериментальные зависимости сопротивления примесного гер­ мания р-типа от температуры, полученные Фрицше и Куэвасом [187]. Можно видеть, что в области низких температур эти зави­ симости обладают следующими особенностями:

а) они имеют вид

о = а 3 е х р ( - ^ 3 - ) ,

где энергия активации е3 обычно на порядок меньше, чем энергия ионизации донора пли акцептора (е ( );

б) коэффициент о"3 сильно зависит от концентрации доноров или акцепторов.

Именно такие зависимости проводимости от температуры и свя­ зываются с механизмом проводимости по примесям, который иллю­ стрируется схемами на фиг. 6.2 и 6.3. Предполагается, что элект­ роны туннелируют от одного примесного центра к соседнему центру не занятому электроном. Такие центры могут существовать только в компенсированном материале, т. е. в материале, содержащем акцепторы1 ), поскольку мы рассматриваем здесь столь низкие значения концентрации доноров ND, что материал всегда находится далеко от перехода металл — неметалл, на полупроводниковой стороне. Необходимость существования компенсации была впервые подчеркнута в теоретических работах Конвелл [105] и Мотта [361] как основное условие возникновения механизма проводимости по примесям, что было экспериментально подтверждено в работах Фрицше [183—185]. Все акцепторы являются отрицательно заря­ женными ионами, в то время как доноры частично заряжены и ча­ стично нейтральны. Перенос тока обусловлен туннелированием электронов с нейтральных (заполненных) доноров на заряженные

х ) Если ND есть концентрация доноров, a NA — акцепторов, то для полупроводника тг-типа NA < ND. Степень компенсации К равна отношению

NA/ND.

300

 

 

Температура,

К

 

 

 

4

3

г

1,5

 

да"1

1

1

1

1

1

_

10'

 

106

I

10*

10

-

 

1

 

 

 

1

1

1

 

 

 

 

яг

1

а г

 

0,4

0,6

 

0,8

 

 

 

 

 

 

 

1/Т

 

 

 

 

Ф п г.

6.1. Удельное сопротивление

компенсированного германия р-тппа

 

 

 

 

(из

работы

[187]).

 

 

 

 

Кривые — 1—1в соответствуют

следующим

концентрациям

акцепторов

с м - 3 ) :

1

7,5 • , 1 0 " ; 2 — 1 , 4 - 1 0 " ;

з—1,5-101*;'

4 — 2 , 7 - 1 0 " ; 5 — 3 , 6 - 1 0 " ;

6 — 4 , 9 - 1 0 " ;

7 — 7 , 2 - 1 0 " ;

S—

9 - 1 0 " ;

9—1,4 1 0 " ; 10—2,4-10";

11—3,5-Ю10;

12—7,3-10";

13—1,0 • 1 0 1 7 ;

J4 — 1,5 • 10 1 ' -

 

 

 

15—5,3-10";

16—1,35-10".

 

 

 

 

11*

164

Глава 6

(незаполненные) (фиг. 6.3). Обычно считается, что разброс энерге­ тических уровней доноров связан со случайными электрическими нолями заряженных акцепторов и имеет порядок величины e2/xRA, где RA — среднее расстояние между акцепторами, однако мы уви­ дим, что и заряженные доноры также могут играть роль. Благодаря

Зона

проводимости

Доноры

е

е

А

Заряженные

акцепторы

Валентная

зона

Ф п г. 6.2. Энергетические уровни в легированном и компенсированном полу­

проводнике п-типа.

Перенос носителей осуществляется путем перескока (термически активированного туннелированпя) электрона с занятого центра А на пустой центр В.

разбросу уровней электрон может перемещаться от одного центра к другому, только поглощая или испуская фононы. При низких температурах будут преобладать процессы, проходящие с погло­ щением фононов, что приводит к возникновению активациониой

 

©

 

©

©

 

 

а

 

б

в

 

Ф и г. 6.3.

Положения

в решетке донорпых

центров (отмеченных

плюсом

 

 

в

кружке).

 

 

е/ — перескок

с энергией активации е 3 ;

б — возбуждение электрона в зопу е г ;

е — дви ­

 

жение в зоне

стрелка

обозначает лишний электрон .

 

зависимости с энергией активации е3 , которая имеет порядок величины среднего разброса энергетических уровней доноров. Аналогичная картина справедлива и для компенсированного полу­ проводника р-типа, у которого i V A > ND.

Выше, в гл. 5, мы отмечали, что проводимость по примесям может иметь место обычно только на изоляторной стороне перехода

Проводимость по примесям и примесные зоны

165

металл — неметалл, когда центры достаточно удалены друг от друга. С другой стороны, существует некоторое перекрытие вол­ новых фуикций электрона на этих центрах, благодаря которому происходит туннелирование. Вследствие туннелирования может образоваться зона, соответствующая перемещению электрона по занятым донорным центрам. Однако вдали от перехода металл — неметалл, на изоляторной стороне, величина щели Мотта — Хаб­ барда е2 1 2 , обусловленная отталкиванием электронов, находя­ щихся на одном атоме, будет больше ширины зоны. Другими сло­ вами, энергия е2 , необходимая для перемещения электрона с одно­ го донора на соседний, где уже находится другой электрон, оказы­ вается значительно больше ширины зоны. Щель е2 отделяет зону,

N(E)

 

а

6

в

 

 

Ф и г.

6.4. Плотность состояний электронов в полупроводнике

л-тлпа.

П о к а з а но

расщепление примесной зоны на зону

Е э (а) и зону

е 2 (Ь); в — зона

проводимо ­

сти.

Положение уровня Ферми

показано

д л я степени

компенсации К

< 0,5.

соответствующую движению по занятым центрам [зона е2 , с зако­ ном дисперсии (5.2)], от обсуждавшейся выше примесной зоны, которая соответствует перескокам электрона на пустые центры. Плотность состояний схематически изображена на фиг. 6.4, где представлены обе примесные зоны; каждая из них содержит одно состояние в расчете на один донорный центр. В компенсированном полупроводнике уровень Ферми расположен в нижней зоне, где перенос электрона происходит путем перескоков с энергией акти­ вации е3 , мы назовем эту зону «зоной е3 ». Обозначим через et энергию активации электрона с уровня Ферми в зону проводимо­ сти. В веществах, исследованных экспериментально [121, 185], энергии е 2 и е 3 настолько сильно различаются, что не могут быть измерены на одном и том же образце.

Характер проводимости в зоне е 2 будет различным в зависимо­ сти от того, выполняется или нет условие Андерсона. Если оно выполняется, то перенос электронов будет осуществляться пере­ скоками, если же нет, то волновые функции будут делокализованными, и перенос будет иметь обычный зонный характер. Как пока-

166

Глава 6

зал Поллак [417], именно такой случай имел место в материалах, на которых Д'Алтрой и Фэн [117] провели измерения высокочастот­ ной проводимости.

Обсудим происхождение энергии активации для перескоков е3 . Если бы центры были расположены в узлах кристаллической ре­ шетки, то зона е3 имела бы ширину / , которую можно рассчитать на основе приближения сильной связи, как это сделано в гл. 5. Хаотическое расположение примесных центров приводит, как было показано в гл. 2, к дополнительному уширеиию зоны. Однако наиболее важное следствие случайного распределения центров заключается в появлении случайного потенциала U0 (ср. 2.4), обусловленного наличием заряженных акцепторов. Уширеиие, обусловленное учетом этого фактора, показано на фиг. 6.2. Как установлено Тузом [381, 513], эта ситуация представляет, собой простой пример локализации Андерсона, отличающейся от его исходной модели (гл. 2) только тем, что центры расположены бес­ порядочно. Согласно Андерсону, при U0 > 5 / в с е состояния в при­ месной зоне должны быть локализованными. Возникает вопрос, во всех ли случаях выполнение этого условия приводит к андерсоновской локализации на неметаллической стороне перехода ме­ талл — неметалл. В 6.3 будут представлены соображения, позво­ ляющие считать, что это действительно так во всех интересующих

нас случаях; поэтому далее мы будем считать условие

U0^>5J

критерием локализации.

 

 

Заметим, однако, что существует случай, когда проводимость

не будет иметь перескокового характера, даже если ширина зоны

/

мала. Так обстоит дело при очень малой степени компенсации

К.

В этом случае свободные носители (дырки в нижней подзоне на фиг. 6.4) будут захвачены заряженными акцепторами с энергией связи порядка e2/xRD. Материал в этом случае подобен узкозон­ ному примесному полупроводнику и проводимость не будет носить перескоковый характер, если только случайные флуктуации доно­

ров не приведут к возникновению

локализации

дырок. Рассмот­

ренная выше

модель узкозонного

примесного

полупроводника

была впервые

предложена Моттом

[361] для объяснения энергии

активации е3 , когда андерсоновская локализация еще не была поня­ та. Насколько нам известно, экспериментальные подтверждения реализации такой модели отсутствуют. Наиболее прямым доказа­ тельством было бы' наблюдение термо-э. д. с , которая должна быть равна (к/е) г3/2кТ для такой модели, тогда как для термиче­ ски активированных перескоков она должна быть постоянной при низких температурах (см. 2.9.3). Другое доказательство можно получить, изучая высокочастотную проводимость [417].

Модель термически активированных перескоков была впервые рассмотрена в работах Туза [513] и Миллера и Абрахамса 1350, 351]. Большинство экспериментальных результатов, относящихся

Проводимость по примесям и примесные зоны

167

к проводимости по примесям, несомненно, описывается этой мо­ делью, и ниже она будет рассмотрена.

6.2. МОДЕЛИ ТУЗА И МИЛЛЕРА I I АБРАХАМСА

В теории Миллера и Абрахамса предполагается сильная лока­ лизация носителей, так что волновые функции локализованных состояний почти совпадают с функциями изолированных центров и перекрытие считается малым. Расчет содержит три этапа.

а) Вычисление вероятности р перехода носителя с одного цент­ ра на другой. Переход между этими центрами происходит с уча­ стием фоионов, поскольку существует разность WD энергий этих центров. Такая задача рассматривалась в разделах 2.9.1 и 4.3. Ответ может быть получен с помощью выражения (4.7), если поло­

жить 1п

V 2 e 2 a / x и считать, что к@

WD

^> кТ.

Это дает

 

E\WD

I e 2 a

\2

/

WD

\

/ Р

 

Р = ^ Ш \ - ъ г )

 

e x P ( - 2

a

i ? - ^ ) -

(6-1)

Здесь

s — скорость

звука,

Ех

— деформационный

потенциал,

р 0 — плотность, R — расстояние между центрами. Волновая функ­ ция центра предполагалась сферически симметричной, убывающей с расстоянием как ехр (—аг). Радиус центра 1/а гораздо больше

постоянной решетки (1/a ~ 50 А) . Предэкспоненциальный множи­

тель в (6.1) для германия составляет около 10 1 2 с - 1 . Как

указыва­

лось в гл. 4, этот множитель получен из теории довольно

прибли­

женно и его численное значение может варьироваться в широких пределах. Кроме того, может оказаться, что несправедливы пред­ положения, положенные в основу сделанных приближений.

б) Усреднение подвижности по всем значениям разности энер­ гий доиорных уровней WD. В результате усреднения получается энергия активации перескоков е3 .

В работе Миллера и Абрахамса предполагается, что электроны перескакивают только на ближайший центр, поскольку множитель ехр ( — 2 a R ) очень сильно убывает с расстоянием. В этом случае, согласно (2.37), имеем WD ~ IN (EF) 7?ЬН - В разд 2.9.1 подчер­ кивалось, что такое допущение не справедливо для предельно низ­ ких температур; в этом случае наиболее вероятны переходы на центры, где минимальна величина разности WD, хотя такие центры и более удалены. В этой области температур, согласно теории, величина In р пропорциональна T~ifi. В германии и кремнии такой

зависимости

не наблюдалось, однако ее получили

на

ЕиО

(см. 6.12), а также на аморфных материалах, которым

посвящены

гл. 7 и 8.

 

 

'

Предполагая, что перескоки происходят только на ближайший

центр, для

случая малых значений параметра компенсации

К,

Миллер и Абрахаме получили следующее выражение для энергии

168 Глава 6

активации перескоков 1 ) :

еп- I 1

1,35 \

,„ „.

е з = — Ы ~ ~ 5 г Ь

( 6 - 2 )

где i? д и R A — средние расстояния между донорами и акцепторами определенные так, что

^-RhND

= i,

RSAN А = 1 .

Расчет энергии активации е 3

для значений параметра К, не

малых по сравнению с единицей, представляет собой более слож­ ную задачу. Результаты расчета, выполненного Миллером и Абрахамсом, показаны на фиг. 6.5 сплошной линией 2 ) . Как показано в следующем разделе, в случае малой величины перекрытия энер-

1,5 I 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1

а №

I

а

3

о, г

0,4

0,6

0,8

1,0

 

 

к

 

 

Ф п г. 6.5. Зависимость энергии активации е3 от степени компенсации К, рассчитанная на основании соотношения (6.2) при ND = 2,66 - 10 1 6 с м - 3

(сплошная кривая).

К р у ж к а м и отмечены экспериментальные точки [381] .

*) Это выражение ошибочно. Правильная формула, полученная в работе Шкловского, Эфроса и Янчева [765], имеет вид

.

е* / 1

0,3 \

Вопросы перескоковой проводимости по примесям в полупроводниках обсуждаются в недавно опубликованном обзоре Шкловского [762].— Прим. перев.

2 ) Этот расчет нам представляется также неправильным. Обсуждение этого вопроса дано в обзоре Шкловского [762].— Прим. перев.

Проводимость по примесям и примесные зоны

169

гия активации г3 возрастает с уменьшением расстояния между центрами (RD на фиг. 6.6 и RA на фиг. 6.7).

в) Следующий этап расчета состоит в вычислении проводимо­ сти на основе выражения для вероятности перескока р, которое дается формулой (6.1). Как и в разд. 2.9.1, мы считаем, что только доля электронов, равная RDN (EF) кТ, принимает участие в про­ водимости. Для не слишком больших и не слишком малых значе­

ний

параметра

К плотность состояний на поверхности

Ферми

N (EF) можно

считать приблизительно равной (WnRh)'1,

где

WD

— средний

энергетический разброс уровней доноров (см.

фиг. 6.2). Таким образом, коэффициент диффузии равен

 

Множитель JCT/WD представляет собой долю электронов, эффек­ тивно участвующих в процессах перескока. Пользуясь соотноше­ нием Эйнштейна, нетрудно получить проводимость

а = 1 ^ » = 1 ш ф г 0 Ы )

« Р ( - 2 о Д | > — ж )

. (6.4)

В расчетах имеется еще один

этап. Множитель

ехр ( — a R )

очень сильно зависит от R и окончательное усреднение представ­ ляет собой вычисление сопротивления.сильно разветвленной цепи большого числа сопротивлений. Этот расчет был сделан по-разному

в работах Туза и Миллера

и

Абрахамса. Их основной результат

состоит в том, что множитель

ехр ( — 2 a R )

следует

заменить на

ехр {—1,09 (aR)3/2}.

Этого

не содержится

в работе

Т у з а 1 ) .

6.3. ПРОВОДИМОСТЬ ПО ПРИМЕСЯМ В КРЕМНИИ I I ГЕРМАНИИ

На этих материалах было проведено много измерений. В отноше­ нии сопоставления теории с экспериментом здесь имеются два пре­ имущества: хорошо известная структура зон и отсутствие услож­ нений, связанных с наличием двух предельных значений диэлект­ рической проницаемости е0 и 8» .

Вплоть до 1960 г. эксперименты с германием и кремнием про­ водились на образцах, легированных подходящими примесями. Однако для количественного сравнения с теорией желательно, чтобы концентрация основных носителей была постоянной, а изменялась компенсация К или, наоборот, была постоянной ком­ пенсация, а изменялась концентрация основных носителей. Такие условия были впервые реализованы Фрицше и Куэвасом [187] посредством введения примесей путем облучения медленными ней-

*) В обзоре Шкловского приведено правильное выражение этого экспо­ ненциального множителя. Оно отличается как от формулы Туза, так и от формулы Миллера и Абрахамса, хотя ближе к формуле Туза. — Прим. перев.

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ