- •А.А. Шерченков, ю.И. Штерн Материалы электронной техники
- •Оглавление
- •Лабораторная работа № 1 Определение удельного сопротивления полупроводников
- •Теоретические сведения
- •Бесконтактные методы
- •Контактные методы
- •Температурный коэффициент сопротивления кремния
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Собственный полупроводник
- •Примесный полупроводник
- •Вырожденный и невырожденный полупроводники
- •Концентрация электронов и дырок
- •Температурная зависимость концентрации носителей
- •Температурная зависимость подвижности носителей заряда
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Экспериментальные результаты
- •Контрольные вопросы
- •Теоретические сведения Эффект Холла
- •Температурная зависимость коэффициента Холла
- •Температурная зависимость удельного сопротивления
- •Расчет дрейфовой подвижности
- •Описание измерительной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Вычисление коэффициента термоЭдс
- •Температурная зависимость коэффициента термоЭдс
- •Зависимость коэффициента термоЭдс от концентрации свободных носителей
- •Измерительная установка
- •Порядок выполнения работы
- •Требования и отчету
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 5 Исследование температурной зависимости подвижности электронов и дырок в полупроводниках
- •Теоретические сведения Определение подвижности
- •Температурная зависимость подвижности носителей заряда в полупроводнике
- •Порядок выполнения работы
- •Сущность методов икс
- •Техника выполнения анализа
- •Порядок выполнения работы
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Дифференциальный сканирующий калориметр dsc-50
- •Порядок проведения измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
Дифференциальный сканирующий калориметр dsc-50
В лабораторной работе используется дифференциальный сканирующий калориметр DSC-50 (фирмы Shimadzu), работающий по принципу ДТА. Его схема представлена на рис.3. Образец и эталон находятся в нагревательном блоке. Тепловые потоки в единицу времени Qs и Qr поступают от нагревателя через некоторый участок с термическим сопротивлением R соответственно к образцу и эталону. При этом скорость нагрева нагревательного блока и, следовательно, скорость нагрева образца и эталона могут задаваться по программе. Измерения проводятся в потоке азота. Для контроля температуры образца Ts и нагревательного блока Tb используются хромель-алюмелевые термопары, для фиксации дифференциальной температуры T = Ts – Tr применяется хромель-константановая дифференциальная термопара. Для обеспечения стабильной базовой линии секции образца и эталона существует специальное теплопроводящее соединение. Дифференциальный сигнал усиливается и поступает на вход компьютера. В результате снимаемые кривые ДТА можно наблюдать на экране монитора в реальном времени и контролировать процесс измерения по компьютеру.
|
Рис.3. Принципиальная схема дифференциального сканирующего калориметра DSC-50 |
Порядок проведения измерений
Измерение базовой линии. На позиции образца и эталона помещаются пустые Al тигли и проводится измерение до температуры 560 °С.
Подготовка исследуемого образца к измерению. С помощью сапфирового скребка пленка аморфного полупроводника соскабливается с монокристаллической кремниевой подложки на кальку. Полученный порошок засыпается в предварительно взвешенный Al тигель и запрессовывается. Проводится взвешивание запрессованного тигля с порошком с точностью до четвертого знака после запятой и определяется вес исследуемого материала.
Проведение первого измерения. На позицию эталона помещается пустой Al тигель, на позицию образца - запрессованный Al тигель с исследуемым аморфным полупроводником и проводится измерение до температуры 560 °С.
Проведение второго измерения. Проводится повторное измерение в соответствии с п.3.
Вычитание базовой линии из кривой ДСК, полученной после первого измерения. Эта операция позволяет исключить влияние тигля и получить кривую ДСК, которая обусловлена только характеристиками исследуемого материала.
Вычитание экспериментальных данных, соответствующих кривой ДСК после второго измерения, из экспериментальных данных, соответствующих кривой ДСК после первого измерения. Результирующая кривая характеризует процесс эффузии водорода из аморфного гидрогенизированного полупроводника.
Порядок выполнения работы
Взять у преподавателя данные по исследуемому материалу.
Запустить программу Dsc_iter.exe в каталоге D:\Lab_works\Dsc.
Изменяя параметры Q1 (или Q2), E и 0, добиться совмещения модельной кривой ДСК с экспериментальной.
Требования к отчету
Отчет должен содержать:
1) кривую ДТА для исследуемого материала;
2) определенные значения тепловых эффектов исследуемых пиков, параметры E и 0.