- •А.А. Шерченков, ю.И. Штерн Материалы электронной техники
- •Оглавление
- •Лабораторная работа № 1 Определение удельного сопротивления полупроводников
- •Теоретические сведения
- •Бесконтактные методы
- •Контактные методы
- •Температурный коэффициент сопротивления кремния
- •Контрольные вопросы
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Собственный полупроводник
- •Примесный полупроводник
- •Вырожденный и невырожденный полупроводники
- •Концентрация электронов и дырок
- •Температурная зависимость концентрации носителей
- •Температурная зависимость подвижности носителей заряда
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Экспериментальные результаты
- •Контрольные вопросы
- •Теоретические сведения Эффект Холла
- •Температурная зависимость коэффициента Холла
- •Температурная зависимость удельного сопротивления
- •Расчет дрейфовой подвижности
- •Описание измерительной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Вычисление коэффициента термоЭдс
- •Температурная зависимость коэффициента термоЭдс
- •Зависимость коэффициента термоЭдс от концентрации свободных носителей
- •Измерительная установка
- •Порядок выполнения работы
- •Требования и отчету
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 5 Исследование температурной зависимости подвижности электронов и дырок в полупроводниках
- •Теоретические сведения Определение подвижности
- •Температурная зависимость подвижности носителей заряда в полупроводнике
- •Порядок выполнения работы
- •Сущность методов икс
- •Техника выполнения анализа
- •Порядок выполнения работы
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Дифференциальный сканирующий калориметр dsc-50
- •Порядок проведения измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
Собственный полупроводник
В собственном полупроводнике электроны и дырки возникают и исчезают всегда парами, поэтому концентрации электронов n и дырок р равны:
,
где
– собственная концентрация.
В табл.1 приведены значения ширины запрещенной зоны и собственной концентрации для наиболее важных полупроводников при комнатной температуре.
Собственная концентрация определяет собственную электропроводность полупроводника при данной температуре
(3)
где
е -
заряд электрона;
,
- подвижности соответственно электронов
и дырок, представляющие собой скорости
их дрейфа в единичном электрическом
поле.
Таблица 1
Ширина запрещенной зоны и собственная концентрация некоторых полупроводников
-
Полупроводник
Ширина запрещенной зоны
,эВСобственная концентрация ,см-3
Германий
Кремний
Арсенид галлия
0,67
1,12
1,4
2,5х1013
2х1010
1,5х106
Примесный полупроводник
При рассмотрении собственного полупроводника предполагалось, что его кристаллическая структура идеальна, т.е. атомы располагаются точно в узлах пространственной решетки (рис.3,а). В зонной теории твердых тел показывается, что всякое нарушение периодического потенциала решетки кристалла приводит к возникновению локальных энергетических уровней в запрещенной зоне. Такими нарушениями кристаллической структуры могут быть примесные атомы, вакансии, дислокации и т.д.
Пусть
в кристалле кремния один атом полупроводника
замещен атомом примеси V
группы периодической таблицы Менделеева,
например фосфором (рис.3, б). Атом фосфора
имеет пять валентных электронов. Четыре
из них образуют прочные ковалентные
связи с четырьмя ближайшими атомами
кремния. Связь пятого валентного
электрона с атомом фосфора существенно
ослабляется из-за влияния окружающих
атомов кремния. Это
приводит к уменьшению
энергии,
необходимой для отрыва валентного
электрона от атома фосфора
примерно в
раз (
- диэлектрическая проницаемость
полупроводника). На зонной диаграмме
энергетический уровень электрона
располагается вблизи дна зоны проводимости
и называется донорным уровнем
(рис.4). Для ионизации атома фосфора
теперь требуется энергия, равная
,
по порядку величины составляющая сотые
доли электрон-вольта. Эта энергия
сравнима с величиной средней тепловой
энергии решетки kT=0,025
эВ (при комнатной температуре). Поэтому
под действием тепловых колебаний решетки
электрон может перейти с донорного
уровня в зону проводимости, создавая
примесную проводимость.
Атомы
примеси III
группы периодической таблицы, например
бор, создают на зонной диаграмме
акцепторные энергетические уровни
,
расположенные
вблизи потолка валентной зоны (рис.3,в).
Величина энергии ионизации акцепторной
примеси
составляют доли электрон-вольта, поэтому
электроны из валентной зоны могут
переходить на акцепторные уровни под
действием тепловой ионизации (рис.4.).
Это
приводит
к образованию свободных дырок в валентной
зоне и примесной проводимости.
Примеси, создающие донорные уровни в полупроводнике, называются донорами, создающие акцепторные уровни – акцепторами (табл.2).
Если
в полупроводнике преобладает донорная
примесь (
),
концентрация электронов в зоне
проводимости оказывается много больше
концентрации дырок в валентной зоне
(n>>p).
Такой полупроводник называется
электронным, или n-типа,
а его электропроводность определяется
соотношением
Рис. 3. Периодический потенциал решеток: идеального кристалла U(r) (a); кристалла с одним атомом фосфора (б); кристалла с одним атомом бора (в)
Рис.4. Схема уровней донорной Ed и акцепторной Ea примесей.
Таблица 2
Энергия ионизации наиболее важных примесей в кремнии и германии
|
Энергия ионизации, эВ |
|
||||
Полупроводник |
Доноры |
Акцепторы |
||||
|
P |
As |
Sb |
B |
Ga |
In |
Si |
0,045 |
0,049 |
0,039 |
0,045 |
0,065 |
0,16 |
Ge |
0,012 |
0,013 |
0,01 |
0,01 |
0,011 |
0,011 |
В полупроводнике с преобладанием акцепторной примеси, наоборот, p>>n. Такой полупроводник называется дырочным, или р-типа, а его электропроводность равна
σp=epμp.
Носители, определяющие тип проводимости полупроводника, называются основными, а носители противоположного знака – неосновными.
