Курнаев Введение в пучковую електронику 2008
.pdfтов заметна лишь при малых температурах, где они дают вклад в остаточное сопротивление, обусловленное факторами, не зависящими от температуры.
При наклепе и отжиге твердых растворов, даже слабоконцентрированных, их электрическое сопротивление изменяется в большей степени, чем сопротивление чистых металлов в тех же условиях; еще более значительно изменение электрического сопротивления при наклепе упорядоченных твердых растворов (рис. 1.81):
при наклепе порядок в расположении атомов вследствие относительного перемещения пачек скольжения и отдельных атомных плоскостей нарушается.
Пластическая деформация гетерогенных (неоднофазных) структур может и несколько увеличивать электропроводность – вследствие образования ориентированной структуры с частичным разрушением перегородок из плохопроводящей фазы.
При большом количестве статистически расположенных дефектов (аморфный металл) рассеяние приобретает коллективный характер. При этом правило Матиссена может нарушаться. По электропроводности аморфные металлы ближе к жидким металлам, чем к кристаллическим.
У аморфных металлических сплавов при ρ = (1...2) 10−4 Ом см, что в 2 – 3 раза превышает ρ соответствующих
кристаллических сплавов и слабо зависит от T. Это связано с особенностями структуры аморфных металлов. В кристаллических металлах длина свободного пробега электрона составляет примерно 50 периодов решетки даже при T, близкой к Тпл. Отсутствие дальнего порядка в металлических стеклах обусловливает малую длину свободного пробега, соизмеримую с межатомным расстоянием.
Электропроводность полупроводников
Электропроводность полупроводников в слабых электрических полях может быть обусловлена движением электронов в зоне проводимости и дырок в валентной зоне; также возможна проводимость по примесям σ:
σ = eneμe + enhμh + σ′,
91
где |
μ |
e |
= e τ |
e |
m* , μ |
h |
= e τ |
h |
m* |
– подвижности электронов и |
|
|
|
e |
|
h |
|
дырок.
Вслучае большой концентрации носителей заряда газ оказывается вырожденным; при этом подвижность почти не зависит от температуры.
Вболее важном случае невырожденного больцмановского распределения носителей заряда наиболее вероятна тепловая ско-
рость носителей заряда (для определенности электронов)
v = 8kBT(πm* ) 1 2 . Зависимость длины свободного пробега l от энергии электрона E может быть аппроксимирована в виде
l = AT p (E − EC )q , A = const , (1.40)
где EC – граница зоны (для электронов – зоны проводимости), а
числа p и q зависят от того, на чем (фононах, дефектах и т.д.) происходит рассеяние. Тогда после усреднения по энергиям можно
получить
μ = BT p+q−12.
Такая температурная зависимость содержит фактор T p из зависимости (1.40), фактор T q , полученный из (E − Ec)q при усреднении
(так как среднее отклонение энергии частиц от дна зоны – порядка T), а фактор Т –1/2 появился в результате деления на среднюю скорость. В частности, для рассеяния на продольных акустических (LA-) фононах при T > ΘD l пропорционально Т1 (числу фо-
нонов), т.е. p = –1, q = 0 и соответствующая подвижность μ = BT −32. При рассеянии на ионизованных дефектах длина пробега не зависит от температуры и обратно пропорциональна резерфордовскому сечению, т.е. (E – Eс)2, q = 2, p = 0, и μ пропорциональна Т3/2, кроме того, подвижность не зависит от знака заряда примеси. С двумя указанными (обычно основными) механизмами рассеяния на LA-фононах и ионизованных дефектах конкурируют и некоторые другие. Так, в ионных кристаллах при высоких температурах может оказаться основным рассеяние электронов на ТО-фононах, тогда значение μ пропорционально exp[=ωE (kBT )],
где ωE – характерная частота оптических фононов.
92
Значительно уменьшить подвижность электрона в полярном кристалле может образование полярона, который обладает большой m*.
Рассеяние в полупроводниках может быть обусловлено не только ионизованной, но и нейтральной примесью; сечение рассеяния обратно пропорционально скорости электрона, так что подвижность оказывается не зависящей от E и Т и примерно равной
μ ≈ e(20=a0n0 ), где n0 – концентрация примесей. Такое рассеяние
наиболее эффективно для быстрых электронов (которые меньше взаимодействуют с ионизованными примесями) при низких температурах (когда мало фононов).
Рассеяние происходит также на дислокациях (особенно если они оказываются заряженными), на границах зерен и др.
Электропроводность аморфных полупроводников
Предположим, что плотность состояний имеет вид, изображенный на рис. 1.34, б. В рамках этой модели в аморфном полупроводнике различают три механизма проводимости.
1. Проводимость, связанная с носителями, которые возбуждены в нелокализованном состоянии. В этом случае перенос осуществляется аналогично тому, как это имеет место в кристаллических полупроводниках. Опыт показывает, что во многих аморфных полупроводниках ток переносится дырками. Тогда
σ = σ0 exp[−(EF − EV )(kBT )],
где σ ≈100...500 Ом-1 см–1 не зависит от Т; при этом значение μ пропор-
ционально T −1.
Проводимость, связанная с носителями, возбужденными в локализованные состояния, расположенные в «хвостах» зон, т.е. вблизи EA или
EB (см. рис. 1.34, б). Если ток переносится также дырками, то проводи-
мость, осуществляемая в этом случае путем перескоков, определяется |
||||
выражением σ = σ1 exp[−(EF − EB + |
E1) |
(kBT )], где EB – энергия края |
||
«хвоста» флуктуационных состояний; |
E1 |
– энергия активации перескоков |
||
(прыжков); обычно σ |
0 |
σ ~ 102…104. |
|
|
|
1 |
|
|
Прыжковая проводимость, связанная с носителями, которые совершают перескок между локализованными состояниями вблизи уровня Ферми с различными энергиями (рис. 1.82). Для прыжка в более высокоэнергетическое состояние электрон должен получить энергию E от фонона: при
Т = 0 К прыжковая проводимость равна нулю.
93
В прыжковой проводимости принимают участие только электроны с энергиями в интервале
порядка kBT около уровня Ферми.
Число таких электронов n = g (EF )kBT, где g (EF ) – плот-
ность состояний вблизи уровня Ферми. Вероятность перескока электрона пропорциональна фак-
тору Больцмана exp[− E (kBT )],
Рис. 1.82. О механизмах прыжковой
(перескоковой) проводимости где E – разность энергий, и за-
висит от перекрытия волновых функций. Отсюда прыжковая проводимость по локализованным состояниям вблизи уровня Ферми опреде-
ляется формулой Мотта:
σ = e2 pR2 g (EF ) .
Здесь |
вероятность |
перескока p = vph exp[−2αR − E (kBT )] ; |
vph ~ 1012...1013 c–1 – множитель, зависящий от спектра фононов; α – ко-
эффициент, зависящий от степени перекрытия волновых функций; R – расстояние, на которое осуществляется перескок.
Средняя энергия активации перескоков E тем меньше, чем выше плотность состояний. При сильной локализации электрон перескакивает лишь на ближайшее локализованное состояние, и тогда
Рис. 1.83. Зависимость (области 1 – 3′) электропроводности аморфного полупроводника от температуры
E =1 |
R3g (E |
F |
) . |
|
|
|
В области низких температур электроны с большей вероятностью перескакивают на более удаленные состояния, разность энергий между которыми меньше, чем для ближайших состояний. При этом прыжковая проводимость опреде-
ляется законом Momma:
σ = σ2 exp −(T0 T )14 .
Параметры σ2 и T0 зависят от g (EF ) и радиуса локализации волновых
функций. Общий вид зависимости электропроводности в координатах ln σ от
T −1 с учетом всех перечисленных механизмов переноса представлен на рис. 1.83.
94
Область 1 соответствует переносу по нелокализованным состояниям, 2 – по состояниям в «хвостах» зон, 3 и 3' – по локализованным состояниям вблизи уровня Ферми. При этом на участке 3' выполняется закон Мотта. Если плотность состояний, связанных с дефектами, велика, то следует ожидать, что не будет такого интервала температур, где процесс 2 был бы доминирующим. В этом случае участок 3 переходит в участок 1.
Электропроводность пористых полупроводников
У сильнолегированных полупроводников (оксидов с избытком металла) суммарный ток электропроводности складывается из тока, протекающего через объем кристаллов и контакты между ними; тока, проходящего по поверхности кристаллов; и, наконец, эмиссионного тока свободных электронов в порах оксидного слоя (рис. 1.84).
При низкой температуре электропроводность осуществляется в основном вследствие переноса электронов по приповерхностному слою кристаллов, который представляет собой, по существу, поверхностную зону вырожденного полупроводника, резко отличающуюся по своим свойствам от свойств объема. В высокотемпературной области электронный ток идет в основном по объему кристаллов (включая контакты между ними) и по порам слоя.
Электропроводность пористых слоев окислов чрезвычайно чувствительна к условиям приготовления образца, его пористости, плотности проходящего через слой тока, наличия и состава примесей и поверхностных пленок (рис. 1.85).
Рис. 1.84. Структура оксидного слоя: Iоб – ток по объему кри-
сталлов; Iпов – ток по поверхности; Iпор – ток свободных электронов в порах слоя
Рис. 1.85. Зависимость электропроводности BaO от температуры: 1 – монокристалл BaO, активированный в парах Ba; 2 – то же, обесцвеченный длительным прокаливанием в вакууме; 3 – плотная поликристаллическая пленка BaO
95
1.4.2. Теплопроводность твердых тел
Из анализа динамики электронной, фононной и фотонной составляющих плазмы твердого тела получены зависимости для теплопроводности металлов, полупроводников и диэлектриков.
Тепловая энергия в твердом теле передается в основном при переносе фононов, свободных электронов, фотонов.
В кинетической теории газов и газовой плазмы мощность потока тепловой энергии w при движении частиц
w = −divλ gradT , |
(1.41) |
где λ – коэффициент теплопроводности,
λ = ∑(1 3)CVjv jl j ; |
(1.42) |
j |
|
здесь сумма берется по сортам частиц, переносящих энергию; CV – теплоемкость, v – скорость, l – средняя длина свободного пробега частиц. Фактор 1/3 связан с усреднением по направлениям движения частиц.
Длину пробега для данного сорта рассеяний ji выражают через эффективное сечение соударения Σji и концентрацию рассеи-
вающих центров ni :
l ji =1 (Σji ni ) .
Длину пробега частиц j определяют по длинам пробега l j относительно соударений с различными сортами рассеивателей:
l ji =1 ∑(1 l ji ) . i
Эти же выражения можно использовать при описании переноса энергии в плазме твердого тела.
Фононная теплопроводность
Фононная теплопроводность играет примерно ту же роль, что и теплопроводность вследствие наличия тяжелых частиц в газовой плазме; она существенна в диэлектриках и полупроводниках. Соответствующий коэффициент, согласно (1.42),
λph = CVg vphlph ,
96
где lph – средняя длина пробега фонона в решетке; vph – средняя ско-
рость фононов (при T << ΘD совпадающая со скоростью звука, а при T ≥ ΘD имеющая близкие к ней значения). В общем случае при вычислении lph следует сложить частоты соударений с фононами, дефектами
структуры, поверхностью кристалла и др.
Фонон-фононное рассеяние играет основную роль в правильных кристаллах при T ≥ ΘD . Если T ≥ ΘD , то число фононов N ph ~ T , С ≈ const,
поэтому λph T −1. Коэффициент пропорциональности может быть оценен
несколькими способами; удобным приближением является формула Дугдела и Макдоналъда для трехфононных процессов
λ−ph1 −ph = 9αγT (vsCV a) ,
где a – коэффициент линейного термического расширения; γ – параметр Грюнайзена; vs = (vL + 2vT )3 – средняя скорость звука (здесь vL – скорость продольных волн; vT – скорость поперечных волн); CV – удельная
теплоемкость при постоянном объеме.
Рассеяние фононов на электронах также дает вклад в решеточное теплосопротивление. Оценка величины и температурной зависимости этого вклада показывает, что при высоких температурах
λ−ph1 −ph = (ekB )2 ze2 (ρe−ph T ),
где ze – эффективное число электронов проводимости на атом; ρe−ph – электрон-фононный вклад в ρ.
Так как ρe−ph примерно пропорционально T, при высоких температурах
λph−e не зависит от температуры. В переходных металлах λ−ph1 −e может быть соизмеримым или даже большим, чем λ−ph1−ph . При низких темпера-
турах λ−ph1 −e пропорционально T 2 .
Столкновения между фононами без переброса не препятствуют тепловому потоку, так как при рассеянии фононы «передают» друг другу часть переносимой энергии, а также импульса как указателя направления перемещения этой энергии. Поэтому нормальные фонон-фононные рассеяния
не дают вклада в l ph, а при отсутствии других механизмов рассеяния (пра-
вильный кристалл больших размеров) теплопроводность могла бы неограниченно нарастать. Такой рост λph наблюдается при T << ΘD , когда про-
цессы переброса «вымораживаются», т.е. их вероятность стремится к ну-
97
лю пропорционально β = 0,5...0,7; итак, при
фонон-фононное рассеяние оказывается неэффективным. В этом случае фононы в диэлектриках и полупроводниках рассеиваются границами тела – имеет место «кнудсеновское течение фононного газа» (под l понима-
ют характерный размер L' тела). Поскольку при T << Θ |
D |
C ~ T 3 |
, то |
|
Vg |
|
λph ~ L′T 3. В поликристаллических образцах длина l равна размеру моно-
кристаллов L'. Рассеяние может происходить также на точечных дефектах (примесях, вакансиях), дислокациях, других нарушениях упорядоченности в решетке, даже на случайных распределениях различных изотопов химических элементов. В частности, в сплавах замещения периодичность решетки для фононов нарушается из-за случайного распределения атомов разной массы по эквивалентным узлам, поэтому теплопроводность решетки сплава меньше теплопроводности любого из исходных материалов. Соответствующие длины пробега часто слабо зависят от температуры,
тогда при T << Θ |
D |
λ |
ph |
~ T 3 (из-за C |
), а при T ≥ Θ |
D |
– не зависит от Т. |
|
|
Vg |
|
Электронная теплопроводность
В металлах основную роль играет перенос энергии свободными электронами, он примерно на один-два порядка интенсивнее фононной теплопроводности (точно так же электронная теплопроводность преобладает над атомарной и ионной в сильноионизованной плазме). Хотя теплоемкость электронного газа значительно меньше, чем у решетки, скорости движения электронов существенно выше скорости звука, и результирующая теплопроводность получается большой. Поскольку и теплота, и заряд в металлах переносятся электронами, для металлов часто выполня-
ется закон Видемана – Франца
λ = (π2/3)(kB2 /e2 )Tσ
и анализируются отклонения от него, т.е. отличия числа Лоренца
|
L = λ (σT ) |
|
|
от |
L = (πkB ) 2 (3e2 ). |
|
|
Так, при высоких температурах с хорошей точностью L ≈ L0 , т.е. выполня- |
|||
ется закон Видемана – Франца. Если электросопротивление |
связано |
с |
|
электрон-фононными соударениями, т.е. пропорционально Т, |
то λe |
не |
|
зависит от Т. |
|
|
|
|
Существует несколько причин, по которым может быть L ≠ L0 . Прежде |
всего это неупругий характер рассеяния (при этом процессы рассеяния, обусловливающие электро- и теплосопротивление, имеют различную интенсивность, и нельзя ввести единое время релаксации для электро- и
98
теплосопротивления), а также сложная структура электронных зон и электронного спектра, и негладкий характер в пределах теплового слоя
(ширина которого порядка kBT ). Примером проявления последнего могут
служить межзонные s − d -переходы, существенно определяющие внешнее число Лоренца в переходных металлах.
Величина и вид температурных зависимостей L являются однозначными функциями плотности электронных состояний и ее производных (изменение фононного спектра учитывается зависимостью ΘD = ΘD (T ) ).
Проявление неупругого характера рассеяния при T ≥ ΘD также связано с рассеянием на магнонах. В модели Касуя L = L0 при T ≥TC (и так как ρ = AT + D , то λe = L0 (A + DT −1 ) , что обеспечивает рост теплопровод-
ности с температурой). Однако ниже точки Кюри L зависит от температуры вследствие проявления вкладов неупругого рассеяния.
В парамагнитных переходных металлах рассеяние на парамагнонах также имеет неупругий характер. L зависит от температуры и параметров широкой s- и узкой d-зон. При низких температурах теплосопротивление,
обусловленное парамагнонным рассеянием, изменяется как λe−−1 ph , про-
порциональное Т.
При высоких температурах L, связанное с рассеянием электронов на парамагнонах, меньше L0 и стремится к нему в пределе T → ∞ :
(LL0 )ρm ≈1(1+ T ) ,
( определяется параметрами s- и d-зон). Отметим, что для металлов, у которых уровень Ферми лежит вблизи максимума плотности состояний, моттовская составляющая, связанная с s – d-рассеянием, приводит к уве-
личению L по сравнению с L0 .
При низких температурах l меняется из-за возникновения больших различий во времени релаксации для электропроводности τσ и теплопровод-
ности τλ : при учете только нормальных электрон-фононных соударений
τ |
λ |
пропорционально M Θ4 |
T 3 , |
а λ |
e |
− M Θ4 |
T 2 , так что L ≠ L , а про- |
|
|
D |
|
|
D |
|
0 |
||
порционально (T ΘD )2 . |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Примесный вклад в электронное теплосопротивление λe−−1i |
– для чис- |
тых металлов при высоких температурах подчиняется закону Видемана – Франца – Лоренца: λe−−1i = ρi (L0T ) , где ρi – остаточное сопротивление.
С ростом Т этот вклад быстро убывает и для достаточно чистых металлов при не заметен на фоне других составляющих. Эксперименталь-
ные температурные зависимости теплопроводности металлов представлены на рис. 1.86.
99
Рис. 1.86. Температурные зависимости теплопроводности различных металлов
Фотонная теплопроводность в диэлектриках при высоких температурах
Перенос излучения, так же как и в газовой плазме, в общем случае не носит характера теплопроводности и может быть представлен в виде (1.41) только при малой (по сравнению с размером тела L') средней по
спектру фотонов длине пробега фотона lv ; в этом случае
λ |
v |
= (16 3)n2σ |
SB |
T 3 |
l |
v |
, |
(1.43) |
|
1 |
|
|
|
|
∞
lv = ∫lvG[hv(kBT )]d [hv(kBT )],
0
G (y)=15y4 exp(−y){π4 [1−exp(−y)]2}.
Из-за резкой спектральной зависимости lv закон усреднения существенно влияет на результат, при lv << L′ поток Sv растет при увеличении длины пробега lv . При оптической прозрачности lv >> L′, когда каждый
фотон выходит за пределы тела, более применимо приближение радиационного охлаждения
|
|
|
|
|
w = 4 σ |
SB |
T 4 ; |
(1.44) |
|||
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
||
здесь усредненный по Планку обратный пробег излучения |
|
||||||||||
|
|
( |
1 = ∫(1 lv )G1 [hv (kBT )]d [hv (kBT )], |
|
|||||||
1 |
(y)=15y3 |
π4 |
( |
)) |
. При |
v |
>> L′перенос энергии |
растет при |
|||
где G |
|
|
ey −1 |
l |
|
уменьшении lv . Из (1.41), (1.43), (1.44) следует, что (при постоянных lv )
100