Курнаев Введение в пучковую електронику 2008
.pdf
|
4πmekT |
|
|
0 |
dξ |
|
|
4πmekT |
|
|
||||
dnx = − |
dpx |
∫ |
= |
dpx ln(1+exp(−θ)) = |
||||||||||
h3 |
|
ξ+1 |
h3 |
|
||||||||||
|
|
|
|
exp(−θ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
4πmekT |
|
|
|
|
|
Ex − EF |
||||||
|
= |
|
|
|
dpx ln 1 |
+ exp |
− |
|
|
. |
||||
|
|
h |
3 |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
Плотность термоэмиссионного тока, находим как количество всех электронов, падающих на поверхность металла на 1 см2 за 1 с
|
|
|
|
|
|
|
|
p2 |
|
|
p |
dp |
x |
|
||
и имеющих энергию E |
x |
≥W , где |
E |
x |
= |
|
|
x |
, dE |
x |
= |
x |
|
: |
||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
a |
|
|
|
|
2me |
|
me |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
∞ |
∞ |
|
|
px |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
jt = ∫ evxdnx = ∫ |
e |
|
dnx = |
|
|
|
|
|
|
|||||||
m |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
Wa |
Wa |
|
|
|
e |
|
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
|
e |
|
4πm kT |
|
|
||||
= ∫ |
|
|
|
px |
|
|
e |
|
dpx |
|
m |
|
h3 |
|
|||||||
Wa |
|
|
e |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
4πmekT ∞ |
|
|
|
||||
= |
|
|
|
|
|
∫ |
ln 1 |
+ |
||
|
|
h3 |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
Wa |
|
|
|
|
|
|
Ex − EF |
|
|
ln 1 |
+ exp |
− |
|
|
= |
|
|||||
|
|
|
kT |
|
exp − Ex − EF dEx.kT
При Ex >Wa |
Ex − EF >> kT , |
|
|
|
используем |
|
приближение |
|||||||||||||||||
ln(1+α) ≈ α при α→ 0 : |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
j ≈ |
4πmeekT |
∞ exp |
− |
Ex |
− EF |
dE |
x |
= |
4πmeekT |
exp |
− |
Wa − EF |
. |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
T |
h3 |
∫ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
h3 |
|
|
|
|
kT |
|
|
|
||
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
Wa |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В итоге получим: |
|
|
|
T 2 exp |
|
|
|
eϕa |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
j |
= A |
− |
|
− |
|
|
|
|
|
(2.1) |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
T |
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4πm ek2 |
|
|
|
|
|
A |
|
|||
это формула Ричардсона – Дэшмана, |
|
|
A0 |
= |
|
|
e |
=120 |
|
|
|
− |
||||||||||||
|
|
|
|
h3 |
см2 |
град2 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
универсальная постоянная Ричардсона; |
eϕa =Wa − EF |
− работа вы- |
||||||||||||||||||||||
хода. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Необходимо учесть прозрачность барьера D и температурную зависимость работы выхода. При изменении температуры вследст-
191
вие изменения концентрации электронов n0 меняется EF . Это можно учесть, введя температурный коэффициент работы выхода
α = e |
dϕ |
|
, тогда |
eϕ |
a |
(T ) = eϕ |
a |
(T |
) +α(T −T |
). Как известно, |
|
|
|||||||||||
|
|||||||||||
|
dT |
|
T =T |
|
|
0 |
0 |
|
|||
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
работа выхода может увеличиваться, или уменьшаться с ростом температуры в зависимости от металла. При расширении металла уменьшается плотность зарядов, обуславливающих скачок потенциала на границе, поэтому с ростом температуры уменьшается глубина потенциальной ямы и понижается уровень Ферми в металле. Если с ростом температуры уровень Ферми падает быстрее, чем глубина потенциальной ямы, то работа выхода будет увеличиваться. Если уровень Ферми понижается медленнее, то работы выхода уменьшается. Поэтому коэффициент α для различных материалов может быть как больше, так и меньше нуля и имеет значения
|
α |
|
~ 10 |
−5 |
÷10 |
−4 эВ |
. С учетом этого формула для плотности тер- |
||||||||||||||||
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
град |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
моэмиссионного тока примет вид |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
j |
= |
|
A e−α/kT 2 exp |
− |
eϕa |
|
= A T 2 exp |
− |
eϕa |
|
|
, |
(2.2) |
|||||
|
|
|
|
|
D |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
T |
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
A e−α/k |
− постоянная Ричардсона, |
которая, |
|
так же как |
|||||||||||||||||
где A = D |
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
работа выхода, определяется для каждого материала экспериментально и приводится в таблицах специализированной литературы по эмиссионной электронике. Значения постоянной Ричардсона А для разных металлов изменяются от 15 до 350 А/(см2 К2).
2.1.3. Распределение термоэлектронов по энергиям. Средняя энергия термоэлектронов
Число |
электронов, |
имеющих |
импульсы от px до px + dpx : |
|||||
|
4πmekT |
|
|
|
|
Ex − EF |
||
dnx = |
|
|
ln 1 |
+ exp |
− |
|
dpx. Так как термоэлектроны – |
|
h |
3 |
kT |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
это электроны, которые имеют импульсы, удовлетворяющие усло-
вию: px2 ≥Wa , следовательно:
2me
192
px2
2me
поэтому |
dnx ≈ |
− EF ≥Wa − EF = eϕa >> kT ,
4πmekT |
|
|
Ex − EF |
||
|
|
exp |
− |
|
dpx . |
h |
3 |
|
|||
|
|
|
kT |
Пусть |
v′x |
– |
скорость |
термоэлектрона |
в вакууме. |
Тогда: |
||||||||
m v′2 |
m v2 |
|
|
p2 |
|
p′2 |
|
|
|
v′2 . |
|
|||
e x |
= |
e |
x |
−W |
, т.е. |
x |
= |
x |
+W , где |
p′ |
= m |
e |
Число |
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
||||||||||
2 |
|
2 |
a |
|
2me |
|
|
a |
x |
|
x |
|
||
|
|
|
|
2me |
|
|
|
|
|
электронов, эмитированных с единицы поверхности в единицу
времени и имеющих энергию от |
E′ |
|
до |
E′ |
+ dE′ : |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x |
|
|
|
|
|
x |
|
|
|
x |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
mv′2 |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4πmekT |
|
|
|
|
|
|
EF |
|
|
|
|
|
|
x |
|
+Wa |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
||||||||||||||
dN = v′dn |
x |
= p′ |
dp′ |
|
exp |
|
exp − |
|
|
= |
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
x |
|
|
x |
|
|
x |
|
|
h |
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4πmekT |
|
|
|
|
eϕa |
|
|
|
Ex′ |
|
′ |
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
= |
|
|
|
3 |
|
|
|
exp − |
|
|
|
|
|
exp |
− |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
h |
|
|
|
kT |
|
|
|
|
dEx. |
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|||||||||||
Учтем, что |
|
|
|
|
|
j |
|
|
= |
4πmek 2T 2 |
|
exp |
|
− |
eϕa |
, |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
T |
|
|
|
|
|
h |
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
||||||
тогда |
dN = |
|
jT |
exp |
− |
Ex′ |
dE′ |
= |
N |
|
exp |
− |
Ex′ |
dE′ |
, |
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
ekT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x |
|
|
kT |
|
|
|
|
|
kT |
|
x |
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
где N = |
jT |
|
. Следовательно, функция распределения электронов в |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
e |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
вакууме по составляющей кинетической энергии, обусловленной движением перпендикулярно плоскости катода:
f (Ex ) = |
1 dN |
= |
1 |
|
− |
Ex |
– |
|||
|
|
|
|
exp |
|
|
||||
N dEx |
kT |
|
||||||||
|
|
|
|
kT |
|
это модифицированное распределение Максвелла. Для компонент энергии Ey и Ez максвелловское распределение, так как в этих
направления электроны не преодолевают потенциального барьера:
193
|
|
|
Ey |
|
|
Ez |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
exp |
− kT |
− |
|||||||
f (Ey ) = |
exp |
kT |
|
|||||||
|
|
|
|
, f (Ez ) = |
|
|
|
|
. |
|
4πkT |
|
|
4πkT |
|
|
|||||
|
Ey |
Ez |
Средняя энергия движения электронов в перпендикулярном направлении к плоскости катода:
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
|
|
|
|
|
∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x = ∫ Ex f (Ex )dEx = kT ∫ξexp(−ξ)dξ = |
||||||||||
|
|
|
|
|
E |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
+ |
∞ |
|
= kT. |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
= kT −exp(−ξ) ξ |
|
|
|
∫ |
exp(−ξ)dξ |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
Тогда полная |
∞ |
средняя энергия |
|
термоэлектронов, с учетом |
||||||||||||||
|
|
z = |
|
y = |
kT |
|
ξexp(−ξ)dξ = |
1 |
kT , будет равна: |
|||||||||
E |
E |
∫ |
||||||||||||||||
|
2 π |
2 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
E = Ex + Ey + Ez = 2kT .
Возможна достаточно простая экспериментальная проверка распределения электронов по энергиям методом задерживающего поля. Для этого нужно приложить не ускоряющее электроны электрическое поле, а тормозящее (рис. 2.5). В этом случае до анода дойдут только те электроны, скорость vx которых удовлетворяет
условию: 12 mvx2 ≥ −eUa . Тогда полный ток на анод площади S:
|
∞ |
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
|
|
|
|
|
|
Ex |
|
dEx |
|
|||
Ia = Se |
∫ |
|
vxdn = Se |
|
∫ |
|
|
|
|
− |
|
= |
||||||||||
|
|
|
exp |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
kT |
|
kT |
||||||||||||||||||
− |
2eVa |
|
|
|
|
− |
2eVa |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
m |
|
|
|
|
|
|
m |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
e |
|
|
|
eUa |
|
|
|
e |
|
|
|
eUa |
. |
|
|
||||||
= Sj |
exp |
= I |
T |
exp |
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
T |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Из этого соотношения: |
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
e |
|
|
|
|
|
|
11600 |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
ln Ia = ln IT + |
|
Ua = ln IT + |
|
|
|
Ua. |
|
|||||||||||||||
kT |
|
|
T |
|
||||||||||||||||||
Линейная зависимость |
|
ln Ia (Ua ) |
|
в области отрицательных |
Ua (см. рис. 2.5) может служить экспериментальным доказательством максвелловского распределения термоэлектронов.
194
Метод контактной разности потенциалов
Для определения работы выхода некоторого металла измеряется контактная разность потенциалов между данным металлом и металлом, работа выхода которого известна. На границе контакта двух различных материалов (граница А на рис. 2.8), возникает внутренняя контактная разность потенциалов, так как из-за свободного перетекания электронов из одного металла в другой в кон-
тактирующих участках устанавливается общий химический потенциал или единый уровень Ферми. В результате в месте соприкосновения устанавливается внутренняя контактная разность потенциалов
|
Uвн = |
1 |
(EF1 − EF 2 ) , а между гра- |
|
|
||
eUкрп |
|
e |
|
ницами соприкосновения металла |
|||
|
с вакуумом (границы В и С на |
||
|
рис. 2.8) устанавливается внешняя |
||
|
контактная разность потенциалов |
||
Рис. 2.8. Определение работы |
Uкрп =ϕa1 −ϕa2 , причем до более |
||
высокого потенциала заряжается |
|||
выхода по контактной разности |
металл с меньшей работой выхода. |
||
потенциалов |
Таким образом, если известны |
||
|
|||
|
работы выхода одного материала |
можно найти работу выхода другого металла, если измерить их контактную разность потенциалов. Для измерения контактной разности потенциалов можно использовать метод смещения вольтамперных характеристик (ВАХ).
В случае, если катод и анод изготовлена из одного материала
Uкрп = 0 |
(сплошная линия ВАХ на рис. 2.9). В случае разных ма- |
|
териалов |
к |
внешней разности потенциалов Ua добавляется |
( ϕaA < ϕaK ) |
или вычитается ( ϕaA > ϕaK ) контактная разность по- |
тенциалов Uкрп . В результате по смещению ВАХ определяется
Uкрп .
197
Значения работы выхода наиболее часто используемых для термокатодов металлов приведены в табл. 2.1.
Таблица. 2.1
|
Работа выхода поликристаллических металлов |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Работа |
Ir |
W |
Mo |
Ta |
C |
La |
Th |
Ba |
Cs |
|
выхода |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
eϕa, эВ |
4,7 |
4,54 |
4,3 |
4,12 |
4,1 |
3,3 |
3,3 |
2,49 |
1,81 |
Рис. 2.9. Определение контактной разности потенциалов методом смещения вольт-амперных характеристик
2.1.5. Эффект Шоттки
При отсутствии (или пренебрежимо малой) напряженности ускоряющего электроны внешнего электрического поля эмитированные электроны создают около поверхности отрицательный пространственный заряд, ограничивающий ток термоэмиссии. Поэтому при слабом внешнем ускоряющем электрическом поле в режиме ограничения тока объемным зарядом плотность тока на анод определяется законом «3/2», т.е. ток на анод зависит от напряжения на
аноде ja Ua3/ 2. При дальнейшем увеличении Ua объемный заряд
у катода исчезает и, казалось бы, ток должен выйти на насыщение, при котором все эмитированные электроны уходят на анод. Однако, как показали эксперименты, при дальнейшем увеличении Ua ,
при напряженностях поля больше 104 В/см ток эмиссии продолжает медленно расти ( exp (E1/2)). Рост электронного тока эмиссии под действием внешнего электрического поля вследствие уменьшения работы выхода электрона из твердого тела из-за понижения в поле потенциального барьера (рис. 2.10) ϕЕ = ϕa − Δϕш называется эф-
198