Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Курнаев Введение в пучковую електронику 2008

.pdf
Скачиваний:
265
Добавлен:
16.08.2013
Размер:
11 Мб
Скачать
☆

Таблица П.1.3

451

Приложение 2

ЗНАЧЕНИЕ ПАРАМЕТРА Q ДЛЯ ВЫЧИСЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ ПО ФОРМУЛЕ БОДАНСКИ (2.16а)*

 

 

 

Ион

 

H

D

He

C

O

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Z1

 

1

1

2

6

8

Cаморас-

 

 

 

M1

 

1

2

4

12

16

Мишень

 

 

 

пыление

 

 

eI, эВ

 

13,6

13,6

24

11,2

13,6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Z2

M2

eϕ, эВ

U, эВ

 

 

 

 

 

 

Бериллий

4

9

3,92

3,48

0,1

0,3

0,59

1,6

1,3

1,4

Углерод

6

12

4,7

7,41

0,035

0,1

0,32

0,32

1,5

1,5

Кремний

14

28

4,8

3,91

–

–

–

–

–

–

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Титан

22

48

3,95

4,34

–

–

–

–

–

–

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Железо

26

56

4,31

4,15

0,042

0,13

0,21

3,2

–

13

Медь

29

64

4,4

3,56

–

–

–

–

–

–

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Молибден

42

96

4,3

6,9

0,007

0,045

0,12

0,93

–

18

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вольфрам

74

184

4,54

8,76

0,007

0,019

0,106

0,93

2,2

20

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*Приведены также значения атомных номеров и масс падающих частиц и их потенциалов ионизации и атомов мишени и значение работы выхода поверхности (eϕ) и энергии связи атомов на ней U (эВ).