Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Курнаев Введение в пучковую електронику 2008

.pdf
Скачиваний:
221
Добавлен:
16.08.2013
Размер:
10.8 Mб
Скачать

Таблица П.1.3

451

Приложение 2

ЗНАЧЕНИЕ ПАРАМЕТРА Q ДЛЯ ВЫЧИСЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ ПО ФОРМУЛЕ БОДАНСКИ (2.16а)*

 

 

 

Ион

 

H

D

He

C

O

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Z1

 

1

1

2

6

8

Cаморас-

 

 

 

M1

 

1

2

4

12

16

Мишень

 

 

 

пыление

 

 

eI, эВ

 

13,6

13,6

24

11,2

13,6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Z2

M2

eϕ, эВ

U, эВ

 

 

 

 

 

 

Бериллий

4

9

3,92

3,48

0,1

0,3

0,59

1,6

1,3

1,4

Углерод

6

12

4,7

7,41

0,035

0,1

0,32

0,32

1,5

1,5

Кремний

14

28

4,8

3,91

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Титан

22

48

3,95

4,34

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Железо

26

56

4,31

4,15

0,042

0,13

0,21

3,2

13

Медь

29

64

4,4

3,56

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Молибден

42

96

4,3

6,9

0,007

0,045

0,12

0,93

18

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вольфрам

74

184

4,54

8,76

0,007

0,019

0,106

0,93

2,2

20

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*Приведены также значения атомных номеров и масс падающих частиц и их потенциалов ионизации и атомов мишени и значение работы выхода поверхности (eϕ) и энергии связи атомов на ней U (эВ).