![](/user_photo/_userpic.png)
книги / Производство хлора, каустической соды и неорганических хлорпродуктов
..pdfИд = 1,41079. Давление насыщенного пара четыреххлористого кремния при различных температурах приведено в табл. 10-2.
Таблица 10-2'. Давление насыщенных паров S i GI4 при различных температурах
t, °с |
р, |
i, |
°С |
Р, |
U вс |
Р, |
мм рт. ст. |
мм рт. ст. |
мм рт. ст. |
||||
- 68,0 |
4,0 |
- 2 5 ,0 |
19,0 |
25 |
' 235 |
|
- 6 4 ,0 |
1,5 |
- |
21,0 |
24,5 |
30 |
287 |
- 6 0 ,0 |
2,0 |
— 15,3 |
34,5 |
35 |
346 |
|
— 56,5 |
2,5 |
— 10,0 |
45,5 |
40 |
419 |
|
- 5 1 ,0 |
3,5 |
|
- 5 , 3 |
58,0 |
45 |
501 |
- 4 7 ,0 |
5,0 |
|
0 |
77 |
50 |
599 |
— 42,5 |
6,5 |
|
5 |
98 |
55 |
709 |
— 36,6 |
9,5 |
|
10 |
124 |
57 |
760 |
— 32,7 |
11,5 |
|
15 |
153 |
60 |
839 |
— 27,0 |
17,0 |
|
20 |
191 |
|
|
Основные термодинамические |
константы по данным [1, 55]; |
||
Теплота образования, кал/моль |
— 154 000 |
||
SiCl4 (ж) ................. |
............................... |
||
SiCl4 (г) .................................................... |
|
|
- 1 4 6 810 |
Изобарно-изотермический потенциал, |
|
||
кал/моль: |
|
|
|
SiCl4 (ж) .................................................... |
|
|
— 137 970 |
SiCl4 (г) .................................................... |
|
|
— 137 290 |
Теплоемкость, калДмоль -град) |
|
||
SiCl4 (ж) .................................................... |
|
|
32,4 |
SiCl4 (г) .................................................... |
|
|
21,7 |
Энтропия, калДмоль -град) |
|
|
|
SiCl4 (ж) .................................................... |
|
|
57,3 |
SiCl4 (г) . . ............................................ |
79,2 |
||
Теплота испарения |
SiCl4 (ж), кал/моль . . |
6900 |
|
Теплота плавления |
SiCl4 (т), |
кал/моль . . |
1840 |
В четыреххлористом кремнии заметно растворяется газообраз ный хлор: при 0 °С в 1 г SiCl4 растворяется 0,131 г хлора, при пар циальном давлении хлора 1 атм растворимость хлора в SiCl4 при 0 °С составляет 14,04 вес. %, при 20 °С — 7,63 вес. %. С жидким хлором четыреххлористый кремний смешивается в любых отношениях. Эвтектическая точка смеси SiCl4—С12 на кривой температуры за мерзания соответствует —117 °С и содержанию хлора 86%. Четы реххлористый кремний смешивается с TiCl4, РОС13, ВС13, СС14, а также со сложными и простыми эфирами органических кислот.
При взаимодействии с водой четыреххлористый кремний практи чески полностью гидролизуется. При этом в зависимости от соот ношения SiCl4 : Н20, кислотности среды, температуры, скорости перемешивания и других факторов образуются промежуточные соединения, содержащие различное число гидроксильных групп или атомов хлора и отличающиеся структурой. Конечный продукт
.34* |
531 |
гидролиза (силикагель) представляет собой высокомолекулярный гидроксиполисилоксан.
' |
При |
нагревании |
смеси паров |
четыреххлористого |
кремния |
и |
сухого |
кислорода |
образуется |
гексахлордисилоксан |
Si2OCl6 |
(т. |
кип. 137 °С и т. пл. |
—28,1 °С). При температуре красного кале |
ния SiCl4 частично образует с водородом силикохлороформ, а при пропускании смеси SiCl4 и водорода над раскаленным углем полу чается Металлический кремний.
Четыреххлористый кремний реагирует с аммиаком при комнат ной температуре с образованием аммиаката SiCl4‘6NH3. Восстано вление SiCl4 металлами (цинком, алюминием, бериллием, магнием) протекает при 200 —300 °С. Взаимодействие SiCl4 с железом начи нается только при температуре красного каления.
Наряду с четыреххлористым кремнием известны соединения низшей валентности (SiCl, SiCl2) и высшие хлориды кремния (полихлорсиланы) гомологического ряда Si„Cl 2л+2. Полихлорсиланы с п = 2i—5 при комнатной температуре — бесцветные маслянистые жидкости, SieCl14 — твердое вещество, Si10Cl22 — вязкая жидкость, Si25Cl52 — пластичная масса.
Все полихлорсиланы энергично гидролизуются, легко окисляются на воздухе. Атомы хлора в полихлорсиланах вступают во все реак ции, свойственные хлору в четыреххлористом кремнии.
Применение четыреххлориотого кремния
Четыреххлористый кремний применяют' главным образом для получения различных кремнийорганических соединений. Наиболее освоен в промышленности процесс получения эфиров ортокремневой кислоты, используемых в качестве высокотемпературных теплоно сителей и пеногасителей, для приготовления специальных смол, пластификаторов и смазок. Эфир ортокремневой кислоты (этилси ликат) широко применяется при изготовлении форм для литья по выплавляемым моделям.
Четыреххлористый Кремний используют при получении кремний органических полимеров взаимодействием SiCl4 с металлооргани ческими соединениями [56, 57].
Значительные количества четыреххлористого кремния расхо дуются для получения аэросила — высокодисперсной двуокиси крем ния, которая служит наполнителем резины. Для этой цели SiGl4 сжигают в водородном пламени [58] или гидролизуют водой при повышенной температуре [59].
Четыреххлористый кремний может быть использован как дымо образующее вещество. Дымообразующий эффект сильно возрастает при добавлении аммиака [60].
Для получения полупроводникового кремния применяют SiCl4 особой чистоты. В последние годы в полупроводниковой технике нашел применение также Si 2С16.
532
Теоретические ооновы получения четыреххлориотого^кремния
Четыреххлористый кремний получают преимущественно хлори рованием элементарного кремния или его сплавов (например, ферро силиция).
Механизм взаимодействия кремния с хлором подробно изучен Мартиным 161] и схематически может быть представлен следующим образом:
1 |
|
Cl— S i —Cl |
|
SiClg |
SiCl3 |
12.1». S iC l4 |
|
- S i — |
|
|
|||||
1 |
|
| |
|
|
|
|
|
I |
|
Cl— S i —Cl |
|
Cl— S i —Cl — |
SiCi3 |
SiCl4 |
|
— S i — |
|
|
|||||
1 |
|
| |
|
| |
|
|
|
|
Cl—S i—Cl |
+с1г |
SiCl3 |
SiCl4 |
SiCl4 |
||
— S i — +C1* |
|||||||
1 |
-> |
1 |
---- |
SiCl3 |
’ |
|
SiCl4 |
— S i — |
|
Cl—S i —Cl |
|
S iC l4 |
|||
1 |
|
|
|
| |
|
|
|
|
C l - S i —Cl |
|
Cl— S i —Cl |
SiClg |
+C1, SiCl4 |
||
— S i — |
|
|
|||||
[ |
|
| |
|
| |
1 |
|
SiCl4 |
- S i - |
|
Cl— S i —Cl |
|
SiClg |
SiClg |
||
|
|
1 |
|
|
|
|
|
цепь |
|
I |
|
II стадия |
III |
ста |
конеч |
|
I стадия |
|
|||||
Si-ато |
|
хлорирова |
|
хлорирова |
дия |
хло |
ная ста |
мов |
|
ния |
|
ния |
рирова |
дия хло- |
|
|
|
|
|
|
ния |
рирова- |
|
|
|
|
|
|
|
|
НИЯ |
Температура начала хлорирования кремния, рассчитанная по предложенной [9] эмпирической формуле, равна —40 °С [41]. Между тем, по экспериментальным данным [62, 63], кремний начи нает хлорироваться при 200 —240 °Ci Добавление в качестве катали заторов хлоридов калия, кальция, алюминия или их смесей позво ляет снизить температуру процесса до 140 °С [63]. В условиях, предотвращающих образование на поверхности металла окисной пленки, удалось осуществить хлорирование кремния в шаровой мельнице при комнатной температуре [64, 65].
Чем ниже температура хлорирования, тем больше вероятность образования высших хлорсиланов. По данным [61], при температуре хлорирования 300—310 °С образуется 4% Si2Cl6, при 250—260 °С 4,6%, при 180—200 °С — 8,6%. В присутствии катализатора (2% КС1) и при 160 °С в продукте хлорирования содержится 79% полихлорсиланов (из них 64,3% Si2Cl6 и 14,7% Si3Cl8) [63]. При температуре выше 450 °С образовавшиеся на первой стадии Si2Cle или Si3Cl8 взаимодействуют с хлором и практически полностью пре вращаются в BiCl4.
Кинетика реакции кремния с хлором изучена в недостаточной степени. В одной из работ [66] авторы проводили исследования мето дом раздельного калориметрирования. Установлено, что скорость хлорирования зависит от чистоты кремния: чем чище кремний, тем ниже порядок реакции и выше энергия активации (соответственно 15 и 24 ккал/моль). Зависимость выхода SiCl4 от температуры при хлорировании ферросилиция, по данным [62], представлена на рис. 10-5.
533
При хлорировании ферросилиция наряду с SiCl4 образуются побочные продукты. По данным работ [56, 62], следует ожидать пре имущественного образования хлорного железа. Практика промыш ленного производства четыреххлористого кремния не подтверждает этого предположения. Исследованиями [67] установлено, что со держание соединений железа различной валентности (в % от общего количества) в продуктах хлорирования ферросилиция находится в прямой зависимости от температуры реакции:
t, °c |
Fe*+ |
Fe2+ |
^емет |
|
400 |
61,2 |
38,8 |
— |
|
600 |
62,3 |
37,7 |
— |
|
800 |
55,6 |
44,4 |
||
— |
||||
|
|
|
||
1000 |
26,5 |
36,5 |
37,5 |
|
1200 |
13,5 |
33,6 |
52,9 |
Увеличение количества металлического железа при температуре выше 1000 °С может быть объяснено в первую очередь сильным вос становительным действием субхлорида кремния (SiCl2), образующе гося только при 1000—1200 °С.
Температура хлорирования, °С
|
Т е м п е р а т у р а , °С |
Рис. 10-5. Зависимость выхода SiCl4 |
Рис. 10-6. Хлорирование различных |
от температуры хлорирования. |
кремнийсодержащих материалов: |
|
1 — аморфный кремнезем; 2 — кристоба- |
|
лит; з — кварц. |
Известно, что при хлорировании как кремния, так и силицидов, выделяется большое количество тепла, что затрудняет создание высокопроизводительных процессов. В связи с этим усилия иссле дователей направлены на поиски условий, благоприятствующих отводу избыточного тепла. Предложен [68] способ хлорирования ферросилиция в расплаве хлоридов железа и щелочных металлов. Подробно изучен [69, 70] механизм этого процесса и показана роль попутно образующихся хлоридов железа как переносчиков* хлора. Хлорирование ферросилиция в расплаве NaCl— FeCl3 протекает в две стадии
1. Si+4FeCi3 ^ |
4FeCl2 + SiCl4 |
Fe -f 2FeC13 = 3FeC12
2. 2FeCl2-f Cl2 = 2FeCl3
534
Оптимальная температура процесса 600—650 °С, нижний предел обусловлен возможностью кристаллизации расплава, верхний пре дел — увеличением уноса хлоридов натрия и железа реакционными газами.
Фирма «Монсанто» [71] запатентовала способ получения SiCl4 хлорированием в кипящем слое тонкоизмельченных кремния и инерт ных добавок (уголь, окись алюминия, кварц). Роль таких добавок сводится к предотвращению спекания шихты вследствие возможного образования небольшого количества плава хлоридов щелочных и щелочноземельных металлов. Некоторые уточнения режима хло рирования в кипящем слое изложены в патентах [72, 73].
Представляет интерес способ хлорирования гранулированной смеси кремния, двуокиси кремния и углерода [741. Соотношение компонентов в шихте подбирают таким образом, чтобы количество тепла, выделяющееся при хлорировании кремния, соответствовало бы количеству тепла,/необходимому для инициирования и поддержания эндотермической реакции хлора с двуокисью кремния и углеродом. Это позволяет вести автотермический процесс при постоянной тем пературе без отвода тепла.
Природное окисное сырье не нашло широкого применения для промышленного производства четыреххлористого кремния. Хлори рование двуокиси кремния может осуществляться только в присут ствии восстановителя. На скорость хлорирования и степень извле чения Si02 влияет как температура, так и химическая активность различных модификаций кремнезема [75—77]. Так, температура начала хлорирования аморфного кремнезема в присутствии угля равна 730—740 °С, кварца — 1220 °С [76]. Степень хлорирования при 1100—1150 °С в присутствии угля (1 : 1) в течение 1 ч составляет для песка 1,62%, плавленого кварца 15,2%, аморфного кремнезема 40,56% [77]. Зависимость выхода SiCl4 от температуры для некото рых разновидностей Si02 показана на рис. 10-6. Реакция аморфной S i02 с хлором в присутствии угля замедляется при 850—1000 °С, а затем резко ускоряется, что объясняется превращением аморфной кремневой кислоты в кристобалит.
Из всех видов природного сырья наибольший интерес для произ водства четыреххлористого кремния представляют диатомит и тре пел, так как они являются аморфной разновидностью кремнезема и обладают сильно развитой поверхностью. В лабораторных усло виях проводилось хлорирование брикетов, приготовленных из диа томита, древесного угля и сульфит-целлюлозного щелока. При 1100— 1150 °С выход продукта достигал 46—50% [78].
Предложен [79] способ хлорирования диауомита в среде расплав ленных солей. Вследствие каталитического влияния хлоридов ще лочных металлов температура реакции снижена до 750—800 °С и создается хороший контакт между измельченной шихтой (диатомит, уголь) и хлором в среде расплава. Способ был проверен на опытной установке производительностью 1 т/сут.
535
Производство четыреххлориетого кремния
Промышленное получение четыреххлористого кремния начато в 30-х годах, когда нашли широкое применение кремнийорганические соединения. Мощность первых установок — около 1 т/сут SiCl4, мощность современных цехов достигает 15 тыс. т/год.
Основным промышленным способом получения SiCl4 как в Со ветском Союзе, так и за рубежом является хлорирование кремния, ферросилиция или карбида кремния в шахтных печах. Некоторое количество четыреххлористого кремния получают в качестве побоч ного продукта в производствах хлоридов титана, алюминия и цир кония.
В соответствии с ГОСТ 8767—58 к четыреххлористому кремнию предъявляются следующие требования:
Плотность, г/см3 |
|
. . . 1,48—1,50 |
Температура, °С |
. |
55 |
начала перегонки, не менее |
||
конца перегонки, не более . . . . |
59 |
|
Остаток после перегонки, %, не более |
2,5 |
|
Содержание железа (Fe), % , не более |
0,001 |
Сырье. Кремний. В промышленности кристаллический кремний получают из кварца в шахтных дуговых электрических печах мощ ностью 2000—5000 кВА; в качестве восстановителя используют древесный уголь или нефтяной кокс. На получение 1 т кремния рас ходуется около 1400 кВт‘Ч электроэнергии.
В соответствии с ГОСТ 2169—69 выпускается кремний четырех марок (КрО, Кр1, Кр2 и КрЗ), содержащий от 95,5 до 99% Si. Коли чество железа, алюминия и. кальция колеблется от 0,5 до 1,5%.
Ферросилиций — сплав железа с кремнием. Среднекремнистый (43—50% Si) и высококремнистый (72—95% Si) ферросилиций вы плавляют в шахтных дуговых электрических печах. Малокрем нистый (9—15% Si) ферросилиций выплавляют в доменных печах.
В соответствии с ГОСТ 1415—61 выпускают три марки ферроси лиция следующего состава (%):
|
Si |
Мп |
Сг |
р |
s |
Си-90 ............................ |
87—95 |
0,5 |
0,2 |
0,04 |
0,04 |
Си-75 ............................ |
74—80 |
0,7 |
0,5 |
0,05 |
0,04 |
Си-45 ............................ |
40—47 |
0,8 |
0,5 |
0,05 |
0,04 |
В производстве четыреххлористого кремния используют только ферросилиций марок Си-75 и Си-90.
Технология получения четыреххлористого кремния. Технологи ческая схема процесса (рис. 10-7) включает следующие стадии: 1) измельчение сырья и составление шихты; 2) хлорирование; 3) по следовательная конденсация твердых возгонов и четыреххлористого кремния; 4) ректификация четыреххлористого кремния; 5) очистка отходящих газов. Некоторые отличия схем, принятых различными заводами, обусловлены типом основного оборудования, в частности хлоратора.
536
В качестве сырья применяется шихта, содержащая 70% метал лического кремния и 30% ферросилиция марки Си-75 или только ферросилиций марки Си-90; размер кусков ферросилиция составляет примерно 50—60 мм. Желательно, особенно при хлорировании в го ризонтальной печи, чтобы сырье имело следующий гранулометри ческий состав:
Размер зерен, мм |
. . . 25— 3Q |
50 — 80 |
80 — 120 |
Содержание, % |
5 — 10 |
25 — 30 |
65— 70 |
Сырье такого состава способствует равномерному распределению хлора по сечению печи и предотвращает сильные перегревы при взаимодействии хлора с ферросилицием, обладающим развитой поверхностью.
Рис. 10-7. |
|
|
|
|
|
« |
Технологическая схема производства четыреххлорйстого кремния: |
||||||
J — щековая |
дробилка; 2 — ковшовый элеватор; |
3 — грохот; 4 — шахтный подъемник; |
||||
5 — загрузочный бункер; 6 — печь, |
хлорирования; 7 — конденсатор хлорного железа; |
|||||
6 — скруббер; |
9 — кипятильник; |
10, |
14 — холодильники; 11 — сборник технического |
|||
продукта; |
12 — ректификационная |
колонна; |
13 |
— дефлегматор; 15 — сборник готового |
||
продукта; 16 — разлагатель твердых |
отходов; |
17 |
— камерл. гидролиза; 18 — колонна для |
|||
поглощения отходящих газов. |
|
|
|
|
Ферросилиций дробят на щековой дробилке, затем ковшовым элеватором подают на грохот, где установлены сита разных разме ров. Крупные куски из верхнего сита возвращаются на повторное дробление. Мелочь, прошедшую через последнее сито, отбрасывают только в том случае, если хлорирование проводят в горизонтальной печи.
Дробленый ферросилиций с помощью шахтного подъемника бо дают в загрузочные бункера, из которых он самотеком поступает в подогреватель сырья (в период пуска печи). Сырье при 300—400 °С загружают через определенные промежутки времени в печь хло рирования.
Печь хлорирования (рис. 10-8) представляет собой двухконусный стальной аппарат шахтного типа с водяной рубашкой. Поверхность охлаждения около 7 м2. Диаметр широкой части печи 900 мм, узкой 480 мм, общая высота печи 3300 мм. Нижний конус печи имеет мень шую высоту (650 мм) и футерован диабазовой плиткой в один слой.
537
Печь заполняют на высоту 600—700 мм кусками битого и предвари тельно высушенного графита, который служит подушкой для рас пределения хлора. Непосредственно на графит загружают ферро силиций, поддерживая высоту слоя шихты в пределах 250—350 мм. Производительность печи — около 2 т/сут SiCl4.
Для хлорирования ферросилиция используют испаренный жидкий хлор. Газообразный электролитический хлор, содержащий примеси
|
|
двуокиси углерода |
и |
кисло |
||||||||
|
|
рода, |
окисляющие |
кремний, |
||||||||
|
|
для этой |
|
цели |
не |
приме |
||||||
|
|
няется. Хлор |
подают в печь |
|||||||||
|
|
через |
|
|
распределительный |
|||||||
Реакцио* |
|
коллектор. |
Реакция |
хлори |
||||||||
Термопара |
рования |
протекает |
с |
выде- |
||||||||
ные газы |
||||||||||||
|
лением большого |
количества |
||||||||||
|
|
тепла, |
которое |
отводится во |
||||||||
|
|
дой через |
|
стенки |
аппарата. |
|||||||
|
|
Температура в |
зоне реакции |
|||||||||
|
|
колеблется в пределах 800— |
||||||||||
|
|
1200 °С. |
|
|
|
|
|
газы |
из |
|||
|
|
Реакционные |
|
|||||||||
|
|
печи |
хлорирования |
посту |
||||||||
|
|
пают |
в |
конденсатор, |
состо |
|||||||
|
|
ящий |
из |
двух вертикальных |
||||||||
бода |
|
труб |
с |
|
общим |
|
конусным |
|||||
|
бункером. |
|
Внутренний |
диа |
||||||||
|
|
метр |
труб |
400 |
мм, |
высота |
||||||
|
|
5200 мм, объем бункера 2 м3. |
||||||||||
|
|
Внутри |
труб |
раололожены |
||||||||
|
|
скребковые мешалки, снима |
||||||||||
|
|
ющие |
со |
стенок |
сконденси |
|||||||
|
|
ровавшиеся хлориды. Трубы |
||||||||||
|
|
и бункер |
снабжены |
рубаш |
||||||||
Рис. 10-8. |
Двухконусный аппарат для |
ками. |
В |
|
рубашку |
первой |
||||||
трубы подают воду для охла |
||||||||||||
хлорирования ферросилиция. |
ждения, |
|
в |
результате |
чего |
|||||||
основная |
масса твердых возгонов. |
конденсируется и осаждается |
||||||||||
Вторую |
трубу |
конденсатора |
и конусный бункер во избежание конденсации в них паров четырех хлористого кремния обогревают паром, поддерживая температуру S0—120 °С. Всего в конденсаторе улавливается примерно 90—95% твердых хлоридов и других возгонов.
Окончательную очистку паров четыреххлористого кремния от твердых хлоридов и других примесей проводят в дополнительном «сухом конденсаторе, обогреваемом паром, либо в скруббере, ороша емом четыреххлористым кремнием. При мокрой очистке достигается практически полное удаление всех твердых частиц, однако такая установка громоздка и требует дополнительных энергетических затрат.
538
В скруббере, представляющем собой вертикальную колонну с распределительными тарелками, реакционные газы движутся про тивотоком жидкому четыреххлористому кремнию, который промы вает газы, увлекая твердые частицы. Поступающая в кипятильник суспензия подвергается отпариванию. Пары SiCl4 . после конден сации вновь возвращаются на орошение скруббера, а скапливающиеся в кипятильнике твердые хлориды и другие частицы периодически выгружаются.
Пары четыреххлористого кремния конденсируются в трубчатых холодильниках, охлаждаемых последовательно водой и рассолом. Полученный сырец подвергают ректификации в системе, состоящей из перегонного куба, ректификационной колонны, дефлегматора, змеевиковых холодильников и сборников кубовых остатков и гото вого продукта. Ректификационная колонна представляет собой стальную трубу, заполненную керамическими кольцами размером 50x50x5 мм. Вначале, для удаления растворенного в сырце газо образного хлора, змеевиковый холодильник включают как обратный и нагревают смесь до тех пор, пока температура паров после дефлег матора не достигнет 55 °С. После этого переключают холодильник и отбирают основную фракцию SiCl4 в сборники готовой продукции. Отбор готового продукта прекращают, когда температура паров достигнет 75 °С.
В качестве отходов получают твердые хлориды и частицы, оса ждаемые при сухой и мокрой очистке реакционных газов. Эти отходы в настоящее время не используются, а разлагаются водой в спе циальных емкостях.
Отходящие газы различных стадий процесса (конденсации и рек тификации, разложения твердых и кубовых остатков) направляют сначала в камеру гидролиза четыреххлористого кремния, выпол няемую из кирпича и футерованную изнутри диабазовой плиткой. Для лучшего соприкосновения газов с водой камера разделена на отсеки, в которых вращаются распылители, создающие плотную завесу из брызг воды. Непоглощенные отходящие .газы (в основном хлор) удаляют из камеры воздушным эжектором и передают в ко лонну, орошаемую известковым молоком. Кислые шламовые воды из разлагателя направляют в отстойники-нейтрализаторы.
На некоторых зарубежных предприятиях [57, 80], а также на одном из отечественных заводов в производстве четыреххлористого кремния применяют горизонтальные печи хлорирования (рис. 10-9). При этом изменяется и конденсационная система, практически составляющая одно целое с хлоратором.
Диаметр горизонтальной части печи 600 мм; с одной стороны зта часть печи закрывается дверцей, охлаждаемой водой, а с другой — переходит в первую конденсационную трубу. Печь имеет также не большую вертикальную трубу, заканчивающуюся заслонкой, через которую загружают ферросилиций. Горизонтальная и вертикальная трубы, а также штуцер для ввода хлора снабжены рубашками для охлаждения. Температура охлаждающей воды на выходе из рубашек
539>
вертикальной и горизонтальной труб должна быть не выше 60— 69 °С, а на выходе из рубашек шнека конденсационной трубы, из
Ферросилиций
дверцы и хлорного штуцера — не выше 50—55 °С. При соблюдении этих условий можно предотвра тить коррозионное разрушение
|
|
|
аппаратуры. |
|
|
часть |
уста |
|||||
|
|
|
|
Конденсационная |
||||||||
|
|
|
новки |
состоит |
из трех . располо |
|||||||
|
|
|
женных друг над другом горизон |
|||||||||
|
|
|
тальных труб, также снабженных |
|||||||||
|
|
|
рубашками для охлаждения. В пер |
|||||||||
|
|
|
вой |
и |
второй |
трубах |
размещены |
|||||
|
|
|
шнеки |
со |
скребками, непрерывно |
|||||||
|
|
|
снимающими |
со |
стенок |
твердые |
||||||
|
|
|
возгоны. К концу первой трубы |
|||||||||
|
|
|
подсоединен |
длинный |
абшайдер |
|||||||
|
|
|
диаметром |
300 мм, |
соединенный |
|||||||
|
|
|
патрубком со второй |
конденсаци |
||||||||
|
|
|
онной трубой. |
Абшайдер |
служит |
|||||||
|
|
|
для сбора твердых возгонов, ниж |
|||||||||
|
Твердые |
ний его конец закрыт шибером и |
||||||||||
|
хлориды |
оборудован пневматическим вибра |
||||||||||
Рис. 10-9. Горизонтальный аппарат |
тором для разрыхления осадка на |
|||||||||||
стенках. Между второй и третьей |
||||||||||||
для хлорирования ферросилиция: |
трубами имеется |
гидрозатвор для |
||||||||||
1 — реактор; 4 2 — загрузочное |
устрой |
|||||||||||
ство; 3 — горизонтальные конденсаторы; |
поддержания |
постоянного |
давле |
|||||||||
4 — спиральные |
транспортеры |
твердых |
||||||||||
хлоридов; 5 — абтайдер; 6 — труба аб- |
ния |
в |
системе. |
Хвостовая часть |
||||||||
шайдера для ^выводатвердых хлоридов; |
конденсационной системы |
и |
рек |
|||||||||
7 — сборник. |
|
|
||||||||||
ном не отличаются от |
этой же |
тификационная колонна в основ- |
||||||||||
части |
установки, |
показанной на |
||||||||||
приведенной выше схеме (см. рис. 10-7). |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Расходные коэффициенты на 1 т SiCl4 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Хлор, т ............................... |
|
|
|
|
1,41 |
|
|
|
|
|||
Ферросилиций (Си-90), т . |
|
|
|
|
0,215 |
|
|
|
|
|||
Шихта, т ! |
|
|
|
|
|
0,15 |
|
|
|
|
||
кремний Кр1 . . . . |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
ферросилиций Си-75 . |
|
|
|
|
0,064 |
|
|
|
|
|||
Известковое молоко, т . . |
|
|
|
|
0,14 |
|
|
|
|
|||
Вода промышленная, м3 . |
|
|
|
|
200 |
|
|
|
|
|||
Азот, м3 . . . . . . . . |
|
|
|
|
30*—40 |
|
|
|
|
|||
Электроэнергия, кВт*я |
|
|
|
|
1 -1 ,5 |
|
|
|
|
|||
Пар, |
Мкал ........................ |
|
|
|
|
|
|
|
|
Очистка четыреххлористого кремния
При получении монокристаллов кремния, кремниевых эпитакси альных пленок, специальных оптических стекол и особо чистой двуокиси кремния к исходному сырью — четыреххлористому крем-
540