Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Яффе Б. Пьезоэлектрическая керамика

.pdf
Скачиваний:
35
Добавлен:
24.10.2023
Размер:
10.5 Mб
Скачать

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ

243

в результате чего образуется непрерывный проводящий слой, не­ посредственно сцепленный с поверхностью керамики. Большинство серебросодержащих препаратов включает немного тонкоизмельченного стекла или стеклообразующего состава, чтобы обеспечи­ валось связывание поверхности керамики с электродами при тем­ пературе вжигания.

На практике серебряные электроды могут являться источником ряда затруднений, в частности тогда, когда необходимы очень хохорошо воспроизводимые и оптимальные свойства керамических элементов. В идеальном случае серебряный слой должен прочно сцепляться с поверхностью керамики, он должен быть очень тон­ ким, иметь практически нулевое электрическое сопротивление и высокую стойкость к химическим и физическим воздействиям. Кроме того, должна быть обеспечена возможность такой пайки выводов к серебру, чтобы спай имел большую прочность при рас­ тяжении и хорошую надежность. На практике эти идеальные свой­ ства получить не всегда возможно.

Сцепление электродов с керамикой особенно важно. Если имеется какая-либо потеря прочности сцепления, то зазор между электродом и керамикой с высокой е действует как последователь­ но включенная емкость малой величины. Присутствующий в зазоре воздух очень сильно понижает эффективную емкость керамиче­ ского элемента преобразователя. При приложении электрического поля наибольшее падение напряжения происходит в указанном за­ зоре. Это мешает поляризации, если зазор возник до осуществле­ ния этой стадии. При последующем использовании керамического элемента он ухудшает эффективность работы преобразователя. В худшем случае металл электродов может даже отслоиться от керамики, что приводит ее в полную негодность. Для возбужде­ ния механических перемещений во многих случаях к пьезоэлектри­ ческим преобразователям прикладывается высокое электрическое напряжение большой мощности. В этих условиях дефектное сцеп­ ление электродов с керамикой проявится очень быстро.

Материалы для электродов и способы их нанесения

Металл

Способ нанесения

Золото

Вжигание

 

Золото

Вакуумное

напыление

Никель

Электролиз

 

Медь

Электролиз

 

Палладий

Вжигание

 

Платина

Вакуумное

напыление

Серебряная паста

Высушивание на воздухе

Для точных научных измерений часто используют золото, напы­ ленное в вакууме, когда имеется полная уверенность в его плот­ ном контакте с поверхностью. Часто слой золота закрепляется

244

ГЛАВА It

слоем высыхающей на воздухе серебряной пасты. К этому типу электродов нельзя припаивать проводники, однако он дает на­ дежные измерения.

Серебро, вожженное в пьезоэлектрическую керамику некото­ рых типов, в частности в ниобаты, из-за возникающей термохими­ ческой реакции иногда вызывает осложнения при работе. В этом случае молено перейти на золотые электроды.

Временные электроды для поляризации

Ф и г . 11.2. Элемент для работы на сдвиговых колебаниях.

Высыхающая на воздухе серебряная паста удобна для полу­ чения временных электродов. Они необходимы, например, в тех случаях, когда заполяризованные керамические элементы доЛжны использоваться на сдвиговых колебаниях (фиг. 11.2).

М . П О Л Я Р И З А Ц И Я

Поляризация осуществляется приложением сильного постоян­ ного электрического поля к металлизированным керамическим об­ разцам. Поле может поддерживаться постоянным, прилагаться в импульсном режиме, изменяться по напряженности и т. д.; поляр­ ность поля может периодически изменяться на обратную [28, 29]. Из-за низкой диэлектрической прочности воздуха используются ван­ ны с маслом или средами, имеющими равноценные диэлектрические свойства.

К сожалению, поляризующее поле может вызывать диэлектри­ ческий пробой. Эта тенденция усиливается пустотами, трещинами и другими физическими дефектами. Пробивная прочность зависит также от толщины и формы керамических элементов и от конфигу­ рации электродов. Поэтому поляризация иногда является самой трудной операцией при получении преобразователей желаемой формы.

Различные составы значительно отличаются друг от друга по величине требуемого поляризующего поля, которое должно пре­ вышать коэрцитивное поле. В связи с тем, что последнее имеет тенденцию к уменьшению с понижением частоты, вместо того, что­ бы повышать напряженность поляризующего поля, можно уве­ личивать время поляризации. Увеличение времени поляризации

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ

245

ВаТЮз вплоть до 1 ч обеспечивает практически полное преодо­ ление междоменных механических напряжений. Требуемая напря­ женность поляризующего поля обычно тем меньше, чем выше тем­ пература поляризации. Некоторые сегнетоэлектрики, например чи­ стый РЬТЮз, для практических целей поляризовать фактически невозможно.

Наиболее объективно характеризуют керамику свойства, кото­ рые оцениваются после того, как она заполяризована до насыще­ ния. Этот уровень удобно достигать на небольших тонких конт­ рольных дисках. Ввиду старения керамики существует общепри­ нятое правило выдерживать временной интервал между процессом поляризации и измерениями для оценки свойств. Иначе говоря, когда речь идет о характеристиках, то предполагаются значения у хорошо состаренной керамики. Чтобы установить оптимальные свойства и условия поляризации керамики определенного состава, целесообразно изучить процесс поляризации таким образом, как это описано Черри и Адлером [28]. Для составов данного класса требуемые условия поляризации могут варьировать в широких пределах. Например, тогда как два промышленных состава на основе Pb (Ti, Z r)0 3 только незначительно различаются по содер­ жанию добавки, один поляризуется до насыщения за несколько секунд при напряженности 20 кВ/см, другой же после такой обра­ ботки обычно имеет практически нулевой коэффициент электро­ механической связи, и для его поляризации необходимо несколько десятков минут при вдвое большей напряженности. Существуют другие виды керамики, время поляризации которых имеет порядок микросекунд при комнатной температуре.

Хорошо известно, что диэлектрическая прочность изделия за­ висит от его толщины. Из опыта также широко известно, что площадь электродов оказывает влияние на диэлектрическую проч-- ность в том отношении, что легче найти имеющий высокую пробив­ ную прочность образец с малой площадью электродов, чем с боль­ шой. Имеется много работ по изучению этих эффектов. Одна ра­ бота [30], относящаяся к данному вопросу, была проведена по изучению промышленной керамики Pb (Ti, Z r)0 3. Эту работу мож­ но рассматривать как характерную по изучению поведения при пробое большинства составов керамики, выпускаемой промышлен­ ностью. Предположение случайного объемного распределения оди­ наковых пустот и расчет ожидаемого поведения при пробое как функции пористости дали хорошее согласие с экспериментом. В этой же работе приведены также результаты в зависимости от размеров пор, площади и толщины образца. Влияние толщины образца описывается выражением

Е — 27-

(11.1)

2 С °’39,

где Е — напряженность пробивного поля, кВ/см; t — толщина об­ разца, см. В логарифмических' координатах зависимость £ от 1

246

ГЛАВА 11

выражается прямой линией. Было найдено удобным характери­ зовать наклоном такой прямой линии п другие керамические ма­ териалы или образцы одинакового качества, отличающиеся по свойствам от образцов, данные для которых приведены выше (от­ носительная плотность 95%, диаметр пор 5— 10 мкм). Графическое выражение зависимости (11.1) является полезным (фиг. 11.3). По

Ф и г . 11.3. Зависимость пробивной напряженности электрического поля от отно­ сительной толщины образца, полученная на основании эмпирического соотноше­ ния Е = с/-0'39 [30].

этому графику, зная величины пробивного напряжения изделия данной толщины, можно определить пробивное напряжение для более тонких или более толстых образцов.

Изображение той же самой зависимости на новом графике (фиг. 11.4), на этот раз в абсолютных единицах, также целесооб­ разно. Этот график показывает, что с увеличением толщины мак­ симальное допустимое напряжение увеличивается, но максималь­ ная напряженность поля уменьшается. Как только напряженность пробивного поля оказывается меньше напряженности, требуемой для поляризации, 'устанавливается предельное значение поляри­ зующего напряжения для данной толщины изделия данного опре­ деленного состава, если только не удается найги условия, при ко­ торых керамика этого состава поляризуется при более низкой

ИЗГОТО'ВЛЕИИЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ

247

напряженное и поля. Последнее иногда можно достигнуть изме­ нением температуры и времени поляризации.

Другой фіктор, ограничивающий поляризующее напряжение, заключается в относительно большой деформации, которую испы­ тывает керамика некоторых составов. Сегнетоэлектрик с малым

Ф и г . 11.4. Зависимость пробивной напряженности и пробивного напряжения электрического по^я от толщины образца [30].

искажением элементарной ячейки практически не будет обнару­ живать деформации при поляризации. Также не будет деформи­ роваться никакая из керамик, имеющих большое искажение ячей­ ки, но поляризующихся в основном путем 180-градусной переориен­ тации доменов, при которой .деформация отсутствует. В некоторых составах с большими коэффициентами электромеханической связи, например в Pb(Ti, Zr) Оз, деформация во время поляризации мо­ жет доходить до 0,5% в направлении, параллельном поляризую­ щему полю, и до 0,2% в перпендикулярном направлении. Легко представить, что некоторые толстые детали, имеющие кривизну, например сферические сегменты, толстостенные трубки и т. д., мо­ гут механически разрушаться вследствие напряжений, возникающие

248

ГЛАВА И

при поляризации в результате этих чрезвычайно больших дефор­ маций. На выпуклых поверхностях возникают напряжения рас­ тяжения, а керамика имеет малую прочность на растяжение. Аналогичные соображения применимы к образцам с неметаллизи­ рованными краями. Во многих случаях механическое повреждение может предшествовать электрическому пробою, однако маскирует­ ся последним. Парадоксально, но является фактом, что такие ке­ рамические элементы могут разрушиться во время поляризации, так как они имеют слишком высокие значения пьезоэлектрических коэффициентов d или механической добротности.

В промышленном производстве поляризация является часто критической операцией и должна проводиться опытным и внима­ тельным оператором. Необходимо соблюдать меры предосторож­ ности против электрического удара по конструкции поляризую­ щего устройства и избегать случайного разряда остаточных ста­ тических зарядов керамики. На образцах с большей емкостью они могут достигать большой величины.

Н.

В О С П Р О И З В О Д И М О С Т Ь С В О Й С Т В

И К О Н Т Р О Л Ь К А Ч ЕСТ В А

При

работе с пьезоэлектрической

керамикой

мы имеем дело

с изделиями массового производства, механические

и электрические

свойства которых можно измерить с высокой точностью. Относи­ тельно легко определить диэлектрическую проницаемость, диэлек­ трические потери, частотную постоянную, различные коэффициенты

электромеханической

связи, другие коэффициенты (например,

d

и

g),

механическую

добротность и т. д. с точностью в пределах

 

от I до 0,01%. Часто из-за доступности этих методов измерений возникает большое желание улучшить воспроизводимость свойств керамических элементов внутри каждой партии и между пар­ тиями.

Существуют два общих подхода к решению этой проблемы:

1.Точная характеристика сырьевых материалов, использование каждого из них с одними и теми же свойствами и тщательное соблюдение всех параметров технологии изготовления.

2.Исчерпывающее научное изучение каждого возможного из­ менения в материалах и процессах, чтобы можно было осуще­ ствлять непрерывное управление в соответствии с корректирую­ щими критериями.

На практике оба этих мероприятия удорожают продукт, и не­

обходимо соблюдать разумные требования воспроизводимости свойств, соразмеряя затраты на ее достижение с общей стоимостью изделий.

ЛИ Т ЕР А Т У Р А

1.Кооу С. In: Science of Ceramics (Stewart G. H ., Ed.), New York, Academic Press, 1962, p. 239— 254.

£. Gravley С. К. Пат. СШ А № 2696651, December 14, 19§4.

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ

249

3.

ТгаиЬ К., Best

С. A., Baldwin W. J. — «Cermaic Age»,1955,

4.

Weston

T. B.,

Webster A. H M c N a m a r a V. /VI. — «J. Can.

 

V . 36, p.

15— 20.

v. 65, p. 9— 14'.. Ceram. Soc.», 1967,,

5.

Howatt

G. N., Breckenridge R. G., Brownlow J.

M. — «J. Am. Ceram. Soc.»;.

 

1947, V .

30,

 

p. 237— 242.

 

 

 

 

 

 

6.

Gravley

С. К. Пат. СШ А

№ 2554327, May 22, 1951.

 

 

 

7.

Crownover J. W. Пат. СШ А № 2841827, July

8, 1958.

 

 

8.

Gravley

С. К. Пат. СШ А

№ 2875501, March 3, 1959.

 

 

9.

Borei J. P.,

Petermann L. А. Пат. СШ А

2956327, October

18,

1960.

10.

Brandmayr

R.

Brown

A. E., DiVila S.,

Fischer

R. J. Пат. СШ А

№ 29906021.

 

July 4,

1961.

Eger ton L. — «J. Am. Ceram.

 

 

 

 

11.

Jaeger

R.

E.,

Soc.»,

1962, .v. 45,

p. 209— 213.

12.

Dungan R. II,

Пат. СШ А

№ 2960747, November 22, 1960.

 

 

13.

Haertling

G.

II. — «Am.

Ceram. Soc. Bull.»,

1964, v. 43, p. 875—879.

14.

Vincent

G.

L. — «Ceram.

Ind.», 1962, v. 78, №

4, p. 66— 69.

 

 

15.Gruintjes G. S., Oudetnans G. J. Special Ceramics (Popper P., Ed.), London' Academic Press, 1965, p. 289.

16.

Лурье M. С. — «Д АН С С С Р », 1959, т. 128, с. 73— 74.

 

 

 

 

17.

Лурье М. С., Васильева Е. И., Игнатьева И.

В. — «Изв. А Н

С С С Р , сер. физ.»г

 

1960, т. 24, с. 1376— 1379.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

18.

Suchoff

L. А. Пат. СШ А

№ 3002861, October 3, 1961.

 

 

 

 

19.

Feldman С. — «Rev. Sei.

Inslr.»,

1955, v. 26,

p. 463— 466.

 

 

 

20.

Muller E. К-, Nicholson

B. J.,

Francombe

M.

H. — «Electrochem. Tech.»,

1963',

 

v. 1, p. 158— 163.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

21.

Feuersanger

 

A. £ ., Hagenlocher A. K,., Solomon

A , L. — «J. Electrochem. Soc.»v

 

1965, V. Ill,

 

p. 1387— 1391.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

22.

Hagenlocher A. K. Electrochem. Soc. Extended Abstr. ol Dielectrics and Insu*

 

lation Div.,

 

Cleveland, Ohio,

May

1— 6, 1966,

v.

3, Abstract

11, p. 27— 28,

23.

Reisman

A.,

Holtzberg

F.,

Banks

E . — «J.

Am. Chem. Soc.»,

1958, v,

80,

 

p. 37— 42.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

24.

Shafer M.

IR.,

Roy R. — «J.

Am.

Ceram.

Soc.»,

1959,

v. 42,

p.

482— 486.

 

25. Reisman A., Holtzberg F . — «J. Am. Chem. Soc.», 1955, v. 77, p. 2115—2119.

26.

Henry В. С.,

Шуи A. V. — «J. Can. Ceram. Soc.», 1965, v. 34,

p. 137— 141.

 

27.

Brandmayr

В. I ., Brown

A. E.,' Dunlap A. M. N A S A

Accession

№ N66-14809.

 

Rep. №

ECOM-2614, Avail. C F ST I, 37 pp.

 

 

 

 

 

 

 

28.

Cherry

W.

L.,

Jr., Adler

R. — «Phys. Rev.»,

1947, v.

72, p.

981—’982.

 

29.

Berlincourt

D,,

Brunarski F. T. Пат. СШ А № 2928163, March 15, 1960.

 

30.

Gerson

R.,

Marshall T.

С. — «J. Appl. Phys.»,

1959,

v. 30,

p.

1650— 1653.

Глава 12

ПРИМЕНЕНИЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ

А. О Б Щ И Е П О Л О Ж Е Н И Я

Пьезоэлектрический эффект представляет собой связь между электрическими силами и деформациями, с одной стороны, и ме­ ханическими силами и деформациями, с другой; вследствие этого пьезоэлектрики могут служить в качестве преобразователей элек­ трической энергии в механическую и обратно. В принципе они могут конкурировать со всеми другими Электромеханическими пре­ образователями, включая электромагнитные двигатели и генера­ торы. Практически же пьезоэлектрические преобразователи огра­ ничиваются применением в устройствах, характеризующихся лишь очень малыми механическими перемещениями и малыми величи­ нами электрического заряда, возникающего за каждый цикл. При возбуждении в звуковом и ультразвуковом диапазоне преобразо­ ватели могут тем не менее развить существенную акустическую или электрическую мощность, даже в пределах 1— 10 л. с.

Пьезоэлектрический эффект присущ диэлектрическим телам, не имеющим центра симметрии, и представляет собой обратимое превращение упругой энергии в электрическую энергию поляри­ зации диэлектрика. Накопление упругой энергии может вызвать высокие механические напряжения, ограниченные лишь механическ0й прочностью, однако относительные деформации неизменно всегда малы и редко превышают 1/1000. Накопление электрической энергии поляризации может вызвать высокие электрические поля, ограниченные только электрической прочностью диэлектрика, но плотность заряда никогда не бывает очень большой. Сегнетоэлектричеокая керамика с диэлектрическими проницаемостями, превы­ шающими 1000, на два порядка превосходит кварц по плотности возникающего электрического заряда, но она значительно уступает электрохимическим устройствам, таким, как батареи.

Эффективность использования пьезоэлектрических устройств зависит от согласования электрического и механического импедансов источника энергии и нагрузки. Ограниченные плотности заряда и амплитуда деформаций у пьезоэлектриков делают нецелесооб­ разным их применение на низких частотах (например, при 50 Гц) и совершенно неприменимыми при статических усилиях и полях. Пьезоэлектрики становятся значительно более пригодными на по­ вышенных частотах, так как электрический ток пропорционален

ПРИМЕНЕНИЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ

2 51

заряду, умноженному на частоту. Поэтому пьезоэлектрики исполь­ зуются на акустических.частотах и особенно на ультразвуковых. Они вполне пригодны для приема или 'передачи упругой энергии в среду, сравнимую по плотности и модулю упругости с пьезоэлек­ трическим материалом. Однако они требуют механических преоб­ разующих систем, например рупоров, для хорошего согласования с такой низкоплотной средой, как воздух. Пьезоэлектрики хорошо использовать для приема и передачи сигналов с высокоимпеданс­ ными электрическими схемами. Они менее пригодны для работы с иизкоимпеданснымн схемами, если только частота не находится далеко в ультразвуковой области.

Хорошие источники информации по пьезоэлектрическим устрой­

ствам

и

их применениям — книга Катца [I], в

которой делается

упор

на

схемные применения, книга Л4эзона

«Физическая аку­

стика» [2] и более подробное руководство «Физическая акустика» под редакцией Л'іэзона, том I [3], в особенности гл. Ill, написанная Берлинкуром и др., и глава V, написанная У. Мэзоном. Многие современные области применения пьезоэлектрической керамики описаны в книге фирмы Филиппе [4].

Б. З В У К О С Н И М А Т Е Л И

В звукоснимателях применялось больше элементов из различ­ ной пьезоэлектрической керамики, чем во всех других устройствах вместе взятых. В течение периода примерно с 1935 по 1950 г. адап­ теры были доминирующей областью применения первого сегнето- электрика-— монокристаллической сегнетовой соли. Затем было обнаружено, что пьезоэлектрическая керамика лучше по своей ме­ ханической и химической стабильности. Керамика, изготовленная различными способами, позволила создать также различные кон­ струкции, например маленькие трубчатые элементы или элемен­ ты новых конфигураций — такие, как мультиморф ') (фиг. 11.1) в дополнение к обычному склеенному биморфу, состоящему из пло­ ских керамических пластинок, расположенных на бронзовой про­ кладке (фиг. 12.1), Силы, действующие на иглу при ее движении по канавке грампластинки, составляют всего около 1—5 г. Преоб­ разование энергии осуществляется путем изгибной деформации биморфа, и оно пропорционально отношению длины к толщине биморфа. Его изгиб приводит к сильному сжатию в одной пла­ стине и к растяжению в другой. Возникающее электрическое поле перпендикулярно механическому напряжению, следовательно, в этом случае используется коэффициент электромеханической связи fe31. Поскольку знаки механического напряжения в верхнем и ниж­ нем слоях изгибаемой балки (биморфа) противоположны, то обе эти пластины, поляризованные по толщине, в процессе изготовления

‘) Зарегистрированная торговая марка фирмы «Клнвайт -корпорейщн»,

2 5 2 ГЛАВА 12

необходимо соединять так, чтобы их полярные оси были направле­

ны в противоположные стороны (параллельное соединение)

или в

одну и ту же сторону (последовательное соединение)

(фиг.

12.1).

Сипа

Последний способ, ведущий

к более высокому электри­

- І І 7

ческому напряжению, в об­

 

щем предпочтительней. Ти­

 

пичное

выходное напряже­

 

ние для керамики находится

Сипа

в пределах от 0,1 до 0,5 В.

 

Модифицированные твердые

 

растворы

титаната — цирко­

 

ната свинца в значительной

 

мере заменили титанат ба­

 

рия, поскольку они дают

5

выходное

напряжение, по

Фиг. 12.1. Керамические элементы для

крайней

мере

в два

раза

тельно (а) и параллельно (б).

ют керамику, имеющую вы­

звукоснимателей, соединенные последова­

большее. Обычно использу­

 

сокие

коэффициенты

связи,

в состав которой входят до­ норные добавки. Преимущество такой керамики . заключается в том, что изделия из нее обладают высокой податливостью и низкой механической добротностью.

В. АКУСТИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ

Амплитуда перемещения даже у изгибных пьезоэлектрических элементов обычно недостаточна для излучения в воздушное про­ странство значительной мощности на низкой звуковой частоте. Однако в хорошей конструкции пьезоэлементы неплохо работают в ограниченном пространстве — в шлемофонах, в особенности если не требуется уделять особое внимание низким частотам. Следует использовать керамику с максимально возможным пьезоэлектри­ ческим коэффициентом d31, например керамику Pb(Ti, Z r)0 3 с до­ норными добавками.

Из-за ограниченного смещения трудно изготовить широкопо­ лосные пьезоэлектрические излучатели, пригодные для работы на низких частотах, однако пьезоэлементы нашли применение в ка­ честве высокочастотных излучателей, в особенности как приборы, излучающие сигнал на конкретных звуковых частотах. Они обычно представляют собой единичную поляризованную пластину из кера­ мики, приклеенную к бронзовой плате. В одном известном кино­ аппарате используется подобное устройство в качествехронирую­ щего устройства для передвижения обратимой пленки. Здесь также необходимость высоких значений d3J определяет выбор состава ке­ рамики.