Предельные отклонения размеров элементов топологии фш

Класс точности ПП	1	2	3	4	5
Предельные отклонения размеров элементов топологии ФШ, мм	±0,10	±0,05	±0,03	±0,02	±0,01

Качество совмещения комплекта ФШ определяют величиной несо­вмещения по контактным площадкам:

где δ, M_i, D_i см. рис.15.

Рис.15. Несовпадение центров контактных площадок фотошаблонов

Для ПП всех классов точности несовмещение δ не должно превышать следующих значений:

Таблица 7

Значения несовмещений по контактным площадкам

Класс точности ПП	1	2	3	4	5
Значение несовмещения комплекта ФШ, δ, мм	0,02...0,15	0,15...0,10	0,10...0,07	0,075...0,050	0,05...0,03

Ширину технологического поля, расположенного по контуру рабочей зоны рабочего ФШ, обычно выбирают в пределах 30 мм.

Оригиналы ПП ранее изготавливали вручную методом аппликации печатных элементов на основание оригинала; на фотокоординатографах; методом вырезания по контуру пленки, нанесенной на стеклянное основа­ние, методом вырезания и гравирования линий на пленке, покрытой эмалью, и методом вычерчивания на бумаге пишущим инструментом с тушью или чернилами. Масштаб оригинала может быть 1:1, 5:1, 10:1. После изготовле­ния и контроля оригинал помещали в установку экспонирования, где с него контактным или проекционным методом получали скрытое изображение топологии ПП.

В качестве фотоматериалов применяют фотографические пластинки; фототехнические пленки; диазоматериалы (диазопластинки и диазопленки), чувствительные к ультрафиолетовому излучению; бессеребряные светочув­ствительные материалы. Время экспонирования выбирают опытным путем в зависимости от светочувствительности фотоматериала, освещенности ис­точника светового излучения, спектральной чувствительности диазомате-риалов, спектра источника излучения.

Для получения группового фотошаблона, на котором выполняют ри­сунок топологии двух и более ПП, применяют операцию мультиплицирова­ния — повторение экспонирования рисунка оригинала на всей поверхности фотоматериала.

После экспонирования и мультиплицирования осуществляется хими­ко-фотографическая обработка фотоматериала, контроль полученного фо­тошаблона, ретуширование — удаление дефектов.

Широко распространен метод получения фотошаблонов на лазерных растровых генераторах изображений (фотоплоттерах) сканированием лазер­ного пятна по поверхности пленок или стеклянных пластин и испарением маскирующего покрытия или засветки фотоматериала в соответствии с ри­сунком ПП. Программу перемещения лазерного пятна получают при проек­тировании (трассировке) ПП по программе. В фотоплоттере имеется биб­лиотека часто повторяющихся в топологических чертежах элементов и узлов, использование которых значительно облегчает изготовление фото­шаблонов. Лазерная система фотоплоттера, содержащая лазер, акустоопти-ческий генератор, многогранную призму и фокусирующий объектив, фор­мирует лазерное пятно постоянного размера, которое сканирует по рабоче­му полю заготовки.

Формирование растрового изображения рисунка (оригинала) в фо­топлоттере вне зависимости от сложности рисунка происходит с высо­кой скоростью в течение нескольких минут. Тиражирование ФШ прово­дится без использования методов контактной печати с высокой точно­стью. Работа фотоплоттеров поддерживается входными и выходными форматами Gerber; PLT (САПР PCAD); BRD (САПР МПП); Autocad.

Изготовленные фотошаблоны используют для получения рисунков топологии ПП контактной печатью. Количество полученных отпечатков для различных типов фотошаблонов различно: для эмульсионных ФШ — 50 операций контактной печати; для диазотипных ФШ — 100 операций кон­тактной печати; для эмульсионных стеклянных ФШ с фиксирующими от­верстиями с защитной пленкой при однократном нанесении — 300 операций контактной печати.