книги из ГПНТБ / Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия
.pdfПределы, применимости светового микроскопа |
21 |
достаточно большие углы, задерживаются диафрагмой, и только электроны, отклонившиеся на очень малые углы, пройдут через отверстие диафрагмы и будут продолжать свое движение в микроскопе. Вследствие этого в точках конечного изображения, соответствующих месту распо ложения тяжелых атомов объекта, электронов окажется меньше, чем в других точках этого изображения. Таким образом, хотя в данном случае амплитудный контраст в том смысле, в каком его понимают в световой микроскопии, не имеет места (прозрачность объекта везде одинакова), все ню можно считать, что из-за наличия апертурной диафрагмы достигается эффект, эквивалентный амплитуд ному контрасту.
После объектива электроны проходят через две увели чивающие линзы — промежуточную и проекциопную. Наконец, неоднородности распределения плотности элек тронов в пучке, соответствующие определенным деталям объекта, необходимо сделать видимыми. Это достигается за счет того, что электронный пучок падает либо на люминесцентный экран, либо на фотопленку или фото пластинку. Оператор наблюдает за люминесцентным экра ном через стеклянное окно в тубусе микроскопа. При обнаружении интересной структуры указанный экран, под которым расположена фотопленка или пластинка, удаляется с пути электронного пучка с целью получения
Ф и г. 1.4а. Общий вид колонны электронного микроскопа. Прибор
с одной |
промежуточной линзой |
типа |
«Элъмископ 101». |
|
1 — электронная |
пушка; 2 — конденсор; |
з |
— конденсор; 4 — камера шлю |
|
зования объекта |
и система отклонения |
пучка; |
5 — объектив; в — проме |
жуточная линза; 7 — проекционная линза; 8 — окно для наблюдения; в — фо токамера; ю — сервомотор для перемещения катода; 11 — катод; 12 — управ ляющий электрод; 13 — анод; 14 — электромагнитный стигматор конденсора; 15 — регулировка апертурных диафрагм конденсора; 16 — отклоняющая система; 1 7 — автоматический пуск воздуха и откачка камеры шлюзования объекта; 18 — патрончик объекта; 19 — исследуемый объект; 20 — устройство
для защиты объекта от загрязнений; 21 — регулировка апертурных диафрагм объектива; 22 — электромагнитный стигматор объектива; 23 — селекторные диафрагмы промежуточной линзы; 24 — зеркало для наблюдения промежуточ ного изображения; 25 — электромагнитный стигматор промежуточной линзы;
26 — экран |
для наблюдения промежуточного изображения; |
27 — привод |
|||||||||
экрана промежуточного |
изображения; |
28 — экспозиционная |
заслонка; |
||||||||
29 |
— контроль |
юстировки |
объектодержателя; зо |
— бинокулярная |
лупа; |
||||||
31 |
— окно |
для |
наблюдения; |
32 — экран периферийного |
поля |
|
зрения; |
||||
33 |
— экран |
центрального |
поля |
зрения; |
34 — экран малого |
поля |
зрения; |
||||
35 |
— рукоятка |
для открывания |
двери |
|
фотокамеры; 36 — контроль |
экрана |
|||||
конечного |
изображения; 37 — привод |
механизма |
перемещения фотопленки |
||||||||
и пластинок; 38 — дверь фотокамеры; |
39 — клапан для напуска |
воздуха. |
Пределы применимости светового микроскопа |
23 |
фотоснимка. После проявления и печатания, осуществляе мых обычным путем, получают так называемую электропную микрофотографию. Увеличение конечного изображе ния может достигать 500 000 раз. Интересно отметить, что при таком казалось бы огромном увеличении деталь струк туры размером 2 нм на конечном изображении будет иметь размер только 1 мм.
В настоящее время имеется большой выбор промышлен ных образцов просвечивающих электронных микроскопов. Все эти стандартные модели соответствуют приведенному выше общему описанию, за исключением того, что для большей универсальности между объективной и проме жуточной линзами в них можно устанавливать дополни тельную линзу. В отличие от стеклянных линз преломляю щую силу магнитной электронной линзы можно очень легко менять путем изменения тока возбуждения в обмот ке. Благодаря этому увеличение, обеспечиваемое микро скопом, можно менять непрерывно от нескольких сотен до сотен тысяч раз, а указанная дополнительная линза облегчает возможность получения резкого изображения во всем этом широком диапазоне. Основное назначение этой линзы состоит в обеспечении возможности простого и быстрого перехода на режим электронографических исследований. Выше был описан электронный микроскоп в том виде, в каком он обычно применяется для получения увеличенных изображений исследуемых объектов. Однако
этим |
не ограничиваются виды исследований, которые |
Ф и г. |
1.46. Общий вид электронного микроскопа. Прибор с двумя |
промежуточными линзами типа ЕМ 300 (фирма «Филипс»).
1 — электронная пушка; 2 — катод накаливания; 3 — управляющий электрод;
4 — анод (юстируемый); |
5 — люк |
(эмиссионная камера); |
в — первый кон |
|||||||||
денсор; |
7 — держатели |
апертур; s |
— вторая |
конденсорная |
линза; 9 — стиг- |
|||||||
матор |
конденсора; |
ю — устройство |
для центровки |
луча; 11 |
■— вобблер; |
|||||||
12 |
— объективная линза; 13 — держатель апертурной диафрагмы объектива; |
|||||||||||
14 |
— ввод |
объекта; |
15 — объектодержатель; |
1в — стол объекта; |
17 — меха |
|||||||
низм |
для |
стереосъемки; |
1 8 — держатель |
дифракционной |
диафрагмы; |
|||||||
19 |
— первая промежуточная |
линза; |
20 — вторая |
промежуточная линза; |
||||||||
21 |
— проекционная |
линза; 22 — электромагнитный затвор; 23 — полумаски; |
||||||||||
24 |
— окно |
(проекционный тубус); |
25 — фотокамера |
для |
35-миллиметровой |
пленки; 28 — бинокулярная лупа; 27 — экран для фокусировки; 28 — глав ный экран; 29 — механизм перемещения объекта; 30 — фотокамера для пла стинок; 31 — окно для наблюдения фотокамеры; 32 — магазин для неэкспо нированных пластинок; 33 — приводной механизм с магазином для неэк спонированных пластинок; 34 — подъемный механизм; 35 — патрубок для
откачки; 36 — механизм и магазин для экспонированных пластинок.
24 |
Глава 1 |
можно проводить с помощью электронного микроскопа. Этот прибор широко применяется металлургами и кри сталлографами, которые изучают структуры, отличающие ся высокой степенью регулярности. Такие структуры характеризуются периодичностями, и непосредственную картину этих периодичностей можно наблюдать на дифрак ционном изображении объекта. Подробно этот вопрос будет рассмотрен в гл. 3, а здесь укажем только, что при сопряжении люминесцентного экрана не с плоскостью объекта, а с фокальной плоскостью объективной линзы дифракционную картину можно наблюдать непосред ственно.
Тот факт, что исследуемый объект должен быть пре дельно тонким, очень сильно затрудняет возможность получения каких-либо данных о его трехмерной структуре. Одним из преимуществ микроскопа другого типа — раст рового электронного микроскопа — является то, что он позволяет получить рельефную картину поверхности объекта. И растровых приборах различных типов электрон ный луч фокусируется к предельно возможное малое пят но, и этот так называемый электронный «зонд» подобно пятну телевизионной трубки перемещается в определен ном порядке по поверхности исследуемого объекта. При этом падающий электронный пучок обусловливает в соот ветствующих областях объекта как вторичную эмиссию электронов, так и рентгеновское излучение. Возникающее рентгеновское излучение будет характеристическим для химических элементов, из которых состоит поверхность объекта, и, следовательно, если измерять его длину волны от точки к точке, то этим самым можно произвести соот ветствующий химический анализ поверхности объекта. Вторичные электроны также можно собирать специаль ным коллектором, и вторично-электронный ток будет изменяться в зависимости от свойств и рельефа поверхно сти. Таким образом, если изменения этого тока преобра зовать в соответствующие изменения напряжения и полу ченные сигналы подать на электроннолучевую трубку (развертка которой синхронизирована с разверткой элек тронного зонда, сканирующего объект), то на экране трубки можно получить картину топографии поверхности объекта с заметным трехмерным эффектом.
Пределы применимости светового микроскопа |
25 |
Обе указанные выше возможности были осуществлены на практике. Первая из них привела к разработке растро вого рентгеполучевого микроапализатора, вторая — к созданию растрового электронного микроскопа, которые подробно описаны в гл. 4. Преимущества этих приборов в определенной мере достигаются за счет ухудшения раз решающей способности, но в последнее время разработан также просвечивающий растровый электронный микро скоп с разрешающей способностью, сравнимой с разре шающей способностью первоклассного просвечивающего электронного микроскопа. В просвечивающем растровом приборе также должны исследоваться тонкие объекты, и электроны, формирующие тонкий электронный зонд, проходят через сканируемый объект и в дальнейшем используются для формирования увеличенного изобра жения.
1.4. ИСТОРИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА
1.4.1.ПРОСВЕЧИВАЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП
Впоследующих главах подробно описаны составные части и принцип действия электронных микроскопов, причем основное внимание уделяется новейшим приборам. История электронного микроскопа сравнительно коротка, так как первые модели этого прибора были созданы в нача ле 30-х годов. Краткий обзор этапов развития электрон ного микроскопа целесообразно начать именно с этого
периода.
Изобретателем электронной оптики общепринято счи тать Г. Буша, который в 1926 г. сообщил о том, что магнит ные и электростатические поля с осевой симметрией дей ствуют на заряженные частицы как линзы. Годом или дву мя позднее Де Бройль указал на целесообразность и перспективность разработки геометрической электронной оптики одному из своих парижских учеников Л. Сциларду, который в случайном разговоре спросил Д. Габора, поче му он не пытается собрать электронный микроскоп из нескольких линз. Габор ответил, что любой предмет, помещенный на пути электронного луча, сгорит дотла и, кроме того, живые объекты в вакуум помещать нельзя. Досле этого разговора Сцилард отклонил предложение
Пределы применимости светового микроскопа |
27 |
своего учителя Де Бройля заняться разработкой геометри ческой электронной оптики.
В1931 г. был построен первый электронный микроскоп,
идиректор предприятий фирмы «Г. Сименс Шуккертверке» по исследованиям Р. Рюдепберг получил патент на приме нение такого прибора. Создателями первого микроскопа были М. Кноль и Э. Руска, которые работали в Берлин ском высшем техническом училище. В 1933 г. Руска начал работать над созданием более совершенного электронного микроскопа. Позднее, работая в фирме «Сименс и Гальске», он вместе с Б. фон Боррисом продолжал дальнейшее
усовершенствование прибора. Б 1939 г. фирма «Сименс и Гальске» выпустила свою первую промышленную модель просвечивающего электронного микроскопа. То обстоя тельство, что Рюдепберг тоже получил в 1931 г. патент на прибор, по-видимому, следует считать случайным совпадением.
В том же, 1931 г. Брюхе построил электростатический эмиссионный электронный микроскоп. Этот прибор позво ляет получать и изучать увеличенное изображение по верхности объекта, испускающего электроны. Брюхе также работал в Берлине в фирме «Альгемайне электри- цитэтс-гезелынафт».
11а протяжении 30-х годов был проведен ряд работ
сцелью усовершенствования электронного микроскопа.
В1932 г. Л. Мартон построил простой прибор в Брюсселе.
В1934 г. он получил первые электронные микрофотогра фии биологических объектов и в 1937 г.— первые электрон номикроскопические изображения бактерий. Кроме «Си менс и Гальске» ряд других промышленных фирм («Метро политен Виккерс» в Англии, «Рэдио корпорейшп оф Аме рика», Бельгийское оптическое общество в Генте) начали рассматривать возможности разработки электронных микроскопов. К концу 30-х годов Маль в лабораториях
фирмы «Альгемайне электрицитэтс-гезелынафт» построил просвечивающий электростатический электронный микро скоп. Вскоре такой же прибор был построен И. Тани в Японии.
Выше были перечислены имена известных деятелей раннего периода развития электронной микроскопии — Руска, Брюхе, фон Борриса, Кноля, Мартона, Маля,