Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение

.pdf
Скачиваний:
39
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
18.36 Mб
Скачать

Г Л Л В Л 3

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА 3.0. Введение

Среди многообразия экспериментальных методов оп­ тические методы в последнее десятилетие приобрели репу­

тацию достаточно точных методов, позволяющих

получать

сведения о зонной структуре полупроводниковых

материа­

лов

как чистых — с малой концентрацией примесей,

так

п спльиолегпрованных — с большой концентрацией

при­

месей [1—26].

 

 

Оптические методы включают в себя изучение спект­

ров

отражения и прозрачности в широкой

области

энергии фотонов (от ультрафиолетового до радиодиа­

пазона)

как при

отсутствии

внешних воздействий,

так

и при

действии

магнитного,

электрического полей

п

деформации.

 

 

 

Спектры обычного отражения (без внешних полей) да­ ют возможность непосредственного определения энерге­ тического зазора между экстремальными точками энерге­ тической диаграммы и величин эффективных масс свобод­ ных носителей в частично заполненных зонах. Спектры обычной прозрачности дают наиболее простую возмож­ ность достаточно надежного определения энергетического зазора между абсолютными эстремумамн зон и относитель­ ного расположения этих экстремумов в волновом прост­ ранстве, а также определение эффективной массы носите­ лей и соотношения между различными механизмами рассеяния носителей в кристалле. Спектры обычного отра­ жения и прозрачности дают, кроме того, возможность исследовать влияние легирования на зонную структуру.

В магнитном поле возникает ряд новых явлений: осцил­ ляции прозрачности, эффектыФарадея и Коттопа—Муттона,

3.1] С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й 91

которые позволяют наиболее точно определить энергети­ ческий зазор между абсолютными экстремумами зон, энер­ гию связи экситона и эффективные массы электронов и дырок в экстремальных точках как простых, так и слож­ ных зон, а также вдали от экстремумов при изучении силь­ но легированного материала.

Под действием электрического поля энергетический спектр вблпзи экстремальных точек существенно изменя­ ется, что приводит к изменению оптических спектров как отражения, так и прозрачности. Эти изменения позволяют определить дополнительные сведения о параметрах зон.

К интересным изменениям спектров отражения и проз­ рачности приводит всестороннее и одноосное сжатие или растяжение кристалла. Эти спектры дают возможность определить деформационные потенциалы н получить дру­ гие сведения об упругих свойствах кристалла.

В настоящей главе обобщен в большинстве своем мате­ риал, разбросанный в различных периодических жур­ налах, однако здесь имеются и оригинальные результаты, которые не были ранее опубликованы. Основное внимание

уделено экспериментальному материалу,

поэтому

мате­

матический аппарат сведен к минимуму,

необходимому

для понимания физики процессов взаимодействия

света

скристаллом.

3.1.Оптические свойства кристалла при отсутствии

внешних полей

На рис. 3.1 показаны спектры отражения Ща), кото­ рые для простоты дальнейшего анализа могут быть услов­ но разделены на шесть интервалов. В первом интервале взаимодействие света с кристаллом связано с переходами электронов из d-зоя в свободные состояния зоны проводи­ мости, во втором — со свободными носителями в зонах (подобно металлам), в третьем интервале основной меха­ низм взаимодействия—межзонные переходы, в четвертом— виутризониые переходы н фотоионизация примесных цент~ ров, в пятом — взаимодействие с колебаниями решетки — это полоса остаточных лучей. Наконец, шестой интервал, длинноволновый, где механизм взаимодействия квантов электромагнитной энергии с веществом имеет специфиче­ ские особенности, и основную роль здесь играет время

92

О П Т И Ч Е С К И Е

С В О Й С Т В А

[ГЛ. 3

р елаксации. Здесь

рассмотрим

третий, четвертый и

пятый

интервалы.

 

 

 

3.1.1. Межзонные переходы. С квантовомеханнческой точки зрения поглощение кванта света сопровождается

переходом

электрона

между

начальным

I и конечным V

1С'3

Ю2

10

!

Ш~'

Ю'г

/О'3

/0'г

/О''

I

10

ю2

Рпс. 3.1. Схема спектров отражопия кристаллов для трех различ­

ных копцонтрацпй электронов.

энергетическими уровнями, в общем случае расположен­ ными в различных точках k-пространства зоны Бриллюэна, тогда поглощение удельной электромагнитной мощ­ ности может быть представлено в виде

4 г а (со) | £ 0 | 2 =

2eriWu>,

 

(3.1)

где Ei'i — е( '—8; — энергия

перехода 1^>V.

Суммиро­

вание необходимо провести по всем

начальным

и

конечным состояниям в единице объема.с энергиями

&j

и &i>. Вероятность перехода

вычисляется

с помощью

га­

мильтониана взаимодействия

электромагнитной

волны

с

3.1]

С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й

93

электроном и равна

^ = ^ е х р ( i k r ) « - P ,

р = — i / i y — оператор импульса, k=2nv/A, — волновой вектор, v — показатель преломления кристалла, % — дли­ на волны света в вакууме, а — орт поляризации электро­ магнитной волиы, А 0 вектор-потепцпал. И далее, учиты­ вая (3.1), находим

а матричный элемент

перехода l-> I'

 

р « г =

jexp (ikr) • ссР| Z>.

(3.2)

В условиях одноэлектронной задачи, когда к и е(/с) находятся в пределах одной зоны Врпллюэна, волновые функции \\>i' п г|)/ являются функциями Блоха

4>nk (г) = ипк

(г) exp (ikr),

 

(3.3)

поэтому, подставляя (3.3) в (3.2), получаем условие

 

\Pf.L\ =/= 0

при

kz -

kr +

k + 2nG = 0

(3.4)

(G вектор обратной

решетки),

которое

является

ин­

терференционным

условием

или

правилом

отбора

для

оптического перехода в кристалле. Поеколькз^ максималь­

ная

величина волнового вектора фотона не

превышает

10е

см-1 (для ультрафиолетовых лучей Я ^ Ю - 5

см), то усло­

вие (3.4) означает, в дополнение к правилам отбора, связан­ ным с симметрией волновых функций начального и конеч­ ного состояний, что при взаимодействии фотона с электро­ ном в кристалле (без участия в этом процессе третьей ча стицы, например фонона) возможны лишь прямые (вер­ тикальные) переходы, при которых изменение квазпимпульса электрона к/-/ составляет малую долю п/ат№8 см~г,

meVI
Из формулы (3.5) видно, что а(со) имеет особенности в точках спектра, где V k , e равны нулю пли, в общем
VI
сила осциллятора.
где /,,,
/ ° 1 Г Р ( 8 | ) - Р ( е » ' ) ] Д ( < а » ' 1 - т ) ф
j — 1

94 О П Т И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А ГГЛ. 3

иначе не будут выполнены оба закопа сохранения (импуль­

са и

энергии).

Эреирайх [М13] показал,

что матричный

элемент Pfi равен

2 / 3 m2h~zP2,

где Р 2 = 0 , 4

4 атомн. ед . =

= 1,18* 10—38 эрг-г

и слабо

зависит от

температуры.

Тогда

частотная

зависимость

электропроводности будет

определяться в основном функцией плотности состояний g(e) и заполнением уровней в зонах, между которыми про­ исходят переходы, т. е.

е 2 V п « : ч

0.2.

[///]. 0/

0,2

[/00]

04

 

к,ат.ед.

Рис. 3.2. Энергетическая диаграмма п схема разрешенных опти­

 

ческих переходов [107].

 

случае, очень

малы.

Поскольку

е(к) = 8;- (к) е;(к),

то у к е ( к ) = 0 соответствует^

 

 

 

 

W

(к ) = Vk8/ (к).

(3.6)

Т О Ч К И волнового

пространства

зоны

Брпллюэна,

где вы­

полняются эти условия,

будут

давать основной

вклад в

проводимость сг(со), и здесь будут наблюдаться максимумы в спектре отражения.

3.1] С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В И Е П Ш И Х П О Л Е Й 95

Условие (3.6) является более легко выполнимым, чем условие

Vk8i- (k) = V R E Z (к) = О,

которое соответствует точкам особой симметрии, например для абсолютных экстремумов валентной зоны и зоны про­ водимости GaAs (рис. 3.2). Поэтому большинство экстре­ мумов в спектре о(ю) связано с переходами между точками, для которых выполняется условие (3.6).

Отражение. Особые точки функции плотности состоя­ ний связаны с особенностями Л(со), но, вообще говоря, в шкале частот особые точки g(e) и i?(w) не совпадают п между ними не установлено простых корреляций. Несмот­ ря па это, в настоящее время для определения энергии осо­ бых точек зопной структуры кристаллов широко исполь­

зуются спектры

отражения, по­

 

скольку

энергии

особых

точек

 

Д(со) вполне удовлетворительно

 

согласуются с

энергиями

зазо­

 

ров зопной структуры, оценеи-

 

пыми из теории, или определен­

 

ными из других,

пеоптпческпх

 

экспериментов.

 

 

 

 

 

На рис.3.3 показан спектр от­

 

ражения в области 1—12 эв для

 

кристалла GaAs при комнатной

 

температуре [15, 19, 26]. Пове­

 

рхность образца после механиче­

 

ской полировки травилась хими­

 

чески. Детали тонкой

структуры

 

в интервале 4—7 эв выявлялись

 

компенсацией

90 %

отражен­

 

ной интенсивности, так что ос­

 

тавшиеся 10 % содержали более

Рис. 3.3. Спектр отражения

четкую

структуру,

которая и

от травленой поверхности [1].

анализировалась.

Энергетичес­

Цифры соответствуют переходам

кие зазоры и их возможная иден­

таОл. 3.1.

тификация даны в табл. 3.1 [1].

 

Для

более надежной идентификации пиков в спектре

R (со) применяется несколько методов, в которых изучается

зависимость положения пиков от температуры, от давле­ ния, от состава в бинарных соединениях.

96 О П Т И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А [ГЛ. 3

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а

3.1

П е р е ­

Г

 

3

4

5 I

6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

х о д

г 2 5 ' - г 1 5

1<3 -^-1

 

X / ,

- * X i

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

lid), эв

4,2

2,3

2,90

5,12

5,55

6,6

 

2,6

3,14

6,9

 

 

 

 

 

 

 

Т °К

77

300

300

 

77

77

 

 

300

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В

работе

Белле [331 изучалось

влияние примесей

на

спектры межзонного отражения, т. е. на эпергетические зазоры с энергией е eg . Отраженно измерялось от трав­ леной поверхности образцов тг-тнпа с концентрацией элект­

ронов от 10г о до 6- 1С)18

с,и~3 прп 100 и 300° К. Устаповлепо,

что коротковолновый

пик дублета

Л г - > Л г смегцаотся с

ростом копцептрацтщ

электропов

от 3,00 эв (100° К) при

1G с.и~3

до 2,96 эв прп 6-101 8 см—3. Величина еппп-орбп-

тального

расщепления

Д(Л) в точке Л равпа (0,22+0,01) эв

п пс зависит пи от копцоитрацип пртшесей, ни от темпера­ туры. Прп понижении температуры от 295 до 100° К было обнаружено возникновение асимметрии обоих пиков отра­ жения Л-дублета.

Спектры поглощения чистого кристалла. Коэффици­ ент поглощения /С(а>) связап с электропроводностью а(со)

пвещественным показателем преломления v(co) соотно­ шением

пв области со 2> завпенмость не может быть пред­ ставлена простой формулой, содержащей характеристи­

ческие параметры полупроводника. Для области частот со 2? CU£, соответствующей началу поглощения за счет пря­ мых разрешенных переходов электронов между абсолют­ ными экстремумами зон, зависимость оптических кон­ стант от микроскопических параметров кристалла уста­ навливается в более простом виде, поскольку здесь v(co) слабо изменяется с частотой по сравнению с показателем поглощения |(со), поэтому /С(со)- ст(сй).

В простейшем случае прямых разрешенных переходов между зонами с квадратичным законом дисперсии и сфери­ ческими изоэнергетическими поверхностями, а также без

3.1]

С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й

97

учета кулоновского взаимодействии пары электрон—дыр­ ка (экснтоиа) спектральная зависимость коэффициента поглощения имеет вид

_ л ( й и - е г ) Г 2

 

ti(£>

 

 

 

 

,

,2е* (2т*)3!2

| п а

12

= c 0

„,

(3.7)

А

= — V T T — \Pl'l\

 

n s L '

m *

^ S

_ .

 

 

 

 

При больших энергиях фотонов необходимо учитывать отклонение от квадратичиостн закона дпсперспн, поэтому для вычисления поглощения более правильной будет фор­ мула Кейна [20].

ед

= ^ | м у Р ) ,

(3.8)

где суммирование проводится по всем трем ветвям валент­ ной зоны. Оптический матричный элемент

9

2

М1=—

i(acci + Cc«j)2 + («А — М;')2} ,

, , . = . ^ ( е - ' г - § - Д ) . 6 = ^ ( 6 - ^ ) А,

р 2 _

е (е_+_Д)

2 ^ e

+ ~3"A Jm n

Так как ветвь тяжелых дырок в арсениде галлпя парабо-

личиа,

то

 

 

 

 

я-1 = сг == 0, Ьг

= 1

и

__

к*_

(д%_

_

 

P i

2пЛ

дк

дк

На рис. 3.4 точечной линией показан спектр коэффици­ ента поглощения, вычисленный по формуле (3.8), а круж­ ками — экспериментальные данные Мосса [22, 32], от­ куда видно, что в области коротких длин волн согласие

7 А р с е н и д галлия

98

О П Т И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А

[ГЛ. 3

теории и эксперимента хорошее. Единственным подгоноч­ ным параметром служила ?«, которая выбрана равной 1,41 эв для лучшего согласия расчетной кривой с эксперименталь­ ными точками в области резкого падения поглощения с уменьшением энергии фотонов.

В длинноволновой области экспериментальные точки образуют более пологую зависимость от частоты, что

К.см4

Рпс. 3.4. Спектры

поглощения

Рис. Л.5. Спектр можзоп-

высокоолшого

материала

novo поглощения [7].

[22,

31].

 

вызвано влиянием примесей, а также экситоиа па край пог­ лощения, поскольку структура поглощения в этой области сильно зависит от температуры кулоновского, взаимодей­ ствия носителей и состава примесей в образце.

При энергии фотонов / ш ^ е г - ' г Д о = £ о + ^ 0 начинаются переходы электронов в зону проводимости из ветви валент­ ной зоны, отщепленной сшш-орбитальпьш взаимодейст­ вием, которое в спектре поглощения проявляется в виде ступеньки, показанной на рис. 3.5. Эта ступенька была об­ наружена Стожем [7], при изучении прозрачности образ­ цов арсенида галлия толщиной менее 1 мкм.

Прозрачность в более коротковолновой области изме­ рялась на еще более тонких пленках, приготовленных на-

3.1] С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й 99

пьтленпем па стеклянную подложку [30] и на плавленный кварц [27], однако идентификация сильно размытых осо­ бых точек этого спектра сложна из-за отсутствия одпозначной связи между свойствами напыленного слоя и моно-

.кристаллического слитка.

Экситонное поглощение. Формула (3.7) получена для чистого кристалла без учета кулоновского взаимодейст­ вия электронов и дырок в зонах, которое оказывает суще­ ственное влияние на спектр основного поглощения в об­

ласти энергии fiaii^Sg, так как

энергетический спектр

свя­

занных

электрона

и дырки

(экситоиа) имеет вид [28]

 

 

 

 

 

\

 

 

en

(k) = se

— ^ - е е х (Г),

 

ее ч (Г) =

т е „ —

эксптопная

постоянная Ридберга,

или

энергия основного состояния эксптоиа(при ?г=1), т* =

=•—— Таким образом, энергетический спектр экси-

тона

водородоподобеи

(п

= 1,

2, 3,

. . .),

и

соответ­

ствующий ему спектр

поглощения

является

линейчатым,

поскольку он

обусловлен

переходами

электронов из ва­

лентной зоны

на дискретные уровни

экситона.

Линей­

чатый

спектр

расположен

в длинноволновой

частп края

основного поглощения, где 7lco<^eg, а интенсивность линий поглощения обратно пропорциональна кубу квантового

числа п(К^-п~й).

Энергетическое

расстояние между

линиями

убывает ~

п~й (плотность

линий

возрастает

—?г2),

поэтому с

приближением Гио к sg

поглощение

стремится к постоянной величине /Со>0 и спектр становит­ ся квазпиепрерывным.

В области ho)^>Es коэффициент поглощения с учетом кулоновского взаимодействия электронов и дырок для

разрешенных переходов имеет

вид

к

-

^Е. е

х Р

z

А

~

со

si,

Z '

^ - S ( ¥ ) 3 ; 2 l ^ ( 0 ) P 4 l ( r ) ,

z =

я

Лео -

 

(3.9)

 

 

 

E g

7*

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ