Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение

.pdf
Скачиваний:
39
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
18.36 Mб
Скачать

220

Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А

[ГЛ. 4

производились с использованием как зопдовой методики [171,172], так и оптическими методами [168, 170, 173]. Ши­ рина домена колеблется в пределах от 50—200 мкм [175] до 1400 мкм [174]. Скорость домена зависит от температуры, освещенности п характера легирования и лежит в преде­ лах от 2-№-3см,/сек [173] до 105 см/сек [1751. Скорость доменов увеличивается с возрастанием интенсивности под­ светки и ростом приложенного напряжения [171, 173]. Ориентация электрического поля относительно кристалло­ графических осей не влияет заметно на параметры не­ устойчивости [1721.

Колебания тока, вызванные захватом посителеп на примесные атомы медп наблюдались в полуизолпрующнх кристаллах р-тппа прп 77 ° К в условиях сильной под­ светки, когда число возникающих неравновесных электро­ нов больше, чем число равновесных дырок, так что прово­ димость является электронной [170]. Пороговое поле возникновения осцилляции составляло (1—2)-103 в/см. Частота колебаний тока равнялась нескольким герцам. Отрицательная дифференциальная проводимость и сопро­ вождающие ее колебания тока наблюдались также в весьма высокоомном 104—108 ом-см кристалле р-тппа [177]. Пороговое поле составляло около 200 в/см, период коле­ баний менялся от нескольких десятков микросекунд до сотен миллисекунд в зависимости от температуры, прпложенного напряжения, интенсивности и спектраль­

ного состава

падающего

света. Колебания наблюдались

в диапазоне

температур

77—300 ° К.

Эффекты электроакустического взаимодействия обя­ заны своим возникновением пьезоэлектрическим свойст­ вам арсенида галлия. В кристаллах со структурой цинко­ вой обманки электроакустическое взаимодействие макси­ мально при распространении звуковой волны в направле­ нии <'110'> с вектором смещения в направлении <100> [178].

Распространение упругой волны в пьезоэлектрическом материале сопровождается возникновением переменного электрического поля. В пьезополупроводнике под влия­ нием возникшего поля свободные носители стремятся перераспределиться, что приводит к появлению перемен­ ного электрического тока. За счет нелинейных взаимодей­ ствий уже во втором приближении в выражении для тока

4.6] В Л И Я Н И Е С И Л Ь Н О Г О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К О Г О поля 221

проводимости появятся члены, содержащие нулевую гар­ монику, т. е. постоянную составляющую тока. В этом случае принято говорить об увлечении свободных носите­ лей звуковой волиой или появлении акустоэлектрического тока [159]. Теория акустоэлектрического эффекта развита в работах [179—182]. В арсениде галлия акустоэлектрическнй ток наблюдался при возбуждении кристалла звуко­ вой волной частотой 9 Ггц [183]. Зависимости плотности акустоэлектрического тока от уровня акустической мощ­ ности, освещения и температуры хорошо согласуются с малосигиальной теорией [179, 180]. Эксперименты прово­ дились на полуизолирующем арсениде галлия с концент­ рацией электронов 10s «i - 3 и подвижностью 2-10'1 смУв-сек при 77° К. Вводимая в образец акустическая волна рас­ пространялась вдоль направления <Ч10)> и была поляри­ зована в направлении <(100>.

В работе [184] обнаружен и изучен поперечный акустоэлектрическпй эффект, для которого акустоэлектрическое' поле перпендикулярно вол-

новому

вектору

вводимой

в

л1

-

 

1

кристалл

ультразвуковой

 

 

 

 

 

 

 

волны.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Дрейф носителей под воз­

 

 

со

 

действием

приложенного

к

 

 

 

 

 

 

 

кристаллу

электрического

 

 

 

 

поля оказывает сильное вли­

 

 

 

 

яние на условия

распростра­

 

 

 

 

нения

акустической

волны.

Рпс. 4.44.

Зависимость

коэф­

Можно

показать

[178, 1851,

что в

простейшем

случае,

фициента

поглощения

звука

от дрейфовой

скоростл' носи­

когда направление распрост­

телей

[159].

 

ранения звука

совпадает

с

 

 

 

 

направлением дрейфа носителей, электронная часть коэффи­ циента поглощения звука обращается в нуль, когда дрей­

фовая скорость носителей сравнивается со

скоростью

звука в кристалле со. С дальнейшим ростом

дрейфовой

скорости электронный коэффициент поглощения стано­ вится отрицательным, т. е. происходит усиление звука в направлении дрейфа носителей. Зависимость электрон­ ного коэффициента поглощения от дрейфовой скоростл

электронов схематически

показана

сплошной кривой

на рис. 4.44. Штриховой

линией

нанесен решеточный

222 Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А [ГЛ. 4

коэффицисит^поглощения. Из рисунка видно, что с учетом решеточного поглощения коэффициент усиления обра­ щается в нуль не при одном, а при двух значениях дрейфо­ вой скорости, причем первый раз при скорости, несколько большей'чем со. Линейная теория электроакустического усиления"развита Уайтом [178]. При сопоставлении экспе­ риментальных результатов по электроакустическому уси­

лению" с данными

липейиой

теории весьма существенным

оказывается учет

влияния центров захвата («ловушек»).

Влияние захвата

носителей

на коэффициент усиления

звука учтено в рамках линейной теории [178] в работе [186]. Нелинейная теория электроакустического усиления развита в работах [187—194].

В арсениде галлия я-типа электроакустическое усиле­ ние исследовалось на образцах с концентрацией электро­ нов 9,6- 10 й см~3 и подвижностью 4700 смУв-сек при ком­ натной температуре [195]. Концентрация электронов опре­ делялась глубокими донорнымп уровнями, и поэтому удельное сопротивление материала сильно зависело от

температуры, падая от 4,5-104 до 600 ом-см

при увеличе­

нии температуры от 0 до 60 ° С. Велпчнпа

фактора

элект­

ромеханической

связи б =

]/4л:[}2/е/\.

(3 — пьезоэлектри­

ческий модуль, е — диэлектрическая

проницаемость, X —

модуль упругости) лежит в пределах 0,065 <

б <^ 0,085

[195]. Усиление,

измеренное

па

частотах

МО, 45,

60,

80

п 90

Мгц, приблизительно

пропорционально

частоте

и

растет

в указанном диапазоне

частот от

2 до 9

до/см.

Зависимость коэффициента поглощения звука от напря­ женности электрического поля, измеренная иа частоте 60 Мгц, и зависимость поглощения от концентрации элект­

ронов при нулевом поле хорошо

согласуются с

линейной

теорией

[178, 185].

 

<(110)> И Л И

Если

к кристаллу 7г-типа в

направлении

близком к нему приложено электрическое поле, вызываю­ щее дрейф носителей со скоростью, близкой к скорости звука, тепловые гдумы у катода будут усиливаться в на­ правлении дрейфа носителей, вызывая появление акустоэлектрического тока. Направление акустоэлектрического тока таково, что он стремится уравнять дрейфовую ско­ рость носителей со скоростью звука [1961. Это означает, что если напряженность поля превысит критическое зна­ чение Екр = со/и, где со — фазовая скорость звука, и —

4.6] В Л И Я Н И Е С И Л Ь Н О Г О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К О Г О П О Л Я 223

подвижность носителей, акустоэлектричеекпй ток будет направлен навстречу движению носителей, вызывая появ­ ление на вольтамперной характеристике участка насыще­ ния по току [197]. При определенных условиях в кри­ сталле может образоваться область, в которой акустоэлектрический ток при увеличении напряженности поля возрастет больше, чем ток проводимости. В этом случае возникает отрицательная дифференциальная проводи­ мость и, как следствие, возможно образование акустоэлектрического домена [198]. Условия возникновения акустической неустойчивости и образования домена теоре­

тически

 

рассмотрены

в

ра­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ботах

[199—204].

 

 

 

 

 

Напряженность

 

поли, 0/см

 

Непосредственно в момент

100

wo гоо зоо

 

т 5оп

 

включения

 

поля,

большего

 

 

 

 

 

 

 

 

 

J ^ K P I

плотность тока в обра­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зце определяется

омическим

75

 

 

 

 

 

 

 

 

 

сопротивлением

 

материала

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(рис. 4.45). По истечении про­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

межутка

времени, необходи­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

мого

для усиления тепловых

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

шумов

[190, 205], плотность

25

 

S

\ 2

 

 

 

 

 

 

тока уменьшается и по мере

 

 

 

\

 

 

п

3

-

 

формирования домена

падает

S

 

1

 

 

 

1

1

 

до величины,

определяемой

 

 

 

 

 

"

 

wo

гоо

 

зоо

w

скоростью

 

звука

 

1=еп0а.

 

 

 

 

 

 

Напряжение,

 

в

 

 

Скорость домена,

 

определен­

Рис. 4.45. Вольтампериая ха­

ная

зондовыми

 

измерения­

ми [206],

также

 

равна

ско­

рактеристика образца при раз­

рости

 

звука

и

 

составляет

личных

длительностях прило­

 

 

женного

напряжения.

 

3,2-105 см/сек.

Амплитуда по­

О м и ч е с к а я

ветвь

т

соответствует

ля в домене измерялась при

п у л ь с а н а п р я ж е н и я

 

з н а ч и т е л ь н о

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с л у ч а ю ,

к о г д а д л и т е л ь н о с т ь и м ­

температуре

 

77 °К в

образ­

м е н ь ш е

в р е м е н и

 

 

ф о р м и р о в а н и я

цах с концентрацией

элект­

д о м е н а

х„. П р и х

>

т 0

то к

не

з а ­

висит

от

н а п р я ж е н и я

 

(участок

3).

ронов 5-10

 

см~

 

и подвиж­

ток п а д а е т со в р е м е н е м д о з н а ч е н и я ,

 

 

 

 

1 5

 

 

3

 

 

 

 

В п р о ц е с с е ф о р м и р о в а н и я д о м е н а

ностью

5800

смЧв-сек

[207].

с о о т в е т с т в у ю щ е г о

с к о р о с т и

н о с и ­

При

средней

напряженности

т е л е й , р а в н о й с к о р о с т и з в у к а в ма ­

 

 

 

т е р и а л е .

 

 

 

 

поля иа образце 103 в/см амп­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

литуда

 

поля

в

 

стационарном движущемся

 

домене

со­

ставляла 4,5-103

 

в/см

и

возрастала до

5-Ю1

в/см

при

вхождении домена в анод. Очевидно, что именно

 

возраста­

нием

амплитуды

 

ноля

в

домене

и

вызываемой

полем

224 Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А (ГЛ. 4

ударной ионизацией материала объясняется эмиссия инфра­

красного излучения с длиной волны

0,85

мкм, наблюдав­

шаяся в работах 1208,

209] при

исчезновении

домена

у анода. Эмиссия излучения с длиной

волны,

соот­

ветствующей переходу

зона—зона,

наблюдалась

также

в момент образования домена [210]. При образовании акустоэлектрического домена [211] и при вхождении домена в анод [212] зарегистрировано также электромаг­ нитное излучение с частотой 300 Мгц — б Ггц. Выска­ зывается предположение, что наблюдаемые явления возни­ кают вследствие существования внутри акустоэлектри­ ческого домена ганновской генерации [213, 214].

Влияние магнитного поля на параметры электроаку­ стической неустойчивости теоретически и эксперимен­ тально изучалось в работах [215—217]. Показано, что в хорошем согласии с теорией пороговое поле возникнове­ ния осцилляции увеличивается, а величина тока, соответ­ ствующая распространению стабильного домена, падает с возрастанием напряженности поперечного магнитного поля. При пересечении пучка света акустоэлектрическнм

доменом шириной 1 мм (?г = 10l G см~3, ц = 8 - 1 0 3

см'/в-сек,

77° К) [218] наблюдалось усиление оптического

поглоще­

ния. Спектральная зависимость этого добавочного пох\погцения соответствует экспоненциальному расширению края собственного поглощения.

Влияние вцешной цепи па параметры колебаний тока, вызванных образованием и движением домена, исследо­ вано в работе [219].

Помимо рассмотренных выше эффектов, исследованных сравнительно подробно, следует отметить также ряд работ, посвященных изучению других явлений, связанных с силь­ ным полем в арсениде галлпя.

Влияние электрического поля на функцию распределе­ ния горячих электронов в арсениде галлия п-типа при низких температурах теоретически рассмотрено Левнпсоном

[220, 221]. Гальваномагнитные

эффекты в арсениде

галлия

7г-тнпа в греющем

электрическом поле изучались

в [222].

В работе [223]

наблюдались

колебания тока,

вызван­

ные 5-образной вольтамперной характеристикой образ­ цов. Природа эффекта не установлена. Отклонения от закона Ома в тонких (0,2—2,5 мкм) пленках арсенида галлия изучались в работе [224].

4.7]

'

Э Ф Ф Е К Т Г Л И Н А

225

4.7.Эффект Ганиа

В1963 г. Гани обнаружил, что еслп приложить элект­ рическое поле Е к однородным, произвольно ориентиро­

ванным образцам

из арсенида галлия

л-тнпа, то

прп

Екх>^ 2—3 кв/см

в образце возникают

спонтанные

коле­

бания тока [225]. Частота колебаний приближенно опре­

делялась как / л ^ д р / Х

[сек-1],

где

у д р — дрейфовая ско­

рость электронов

(~107 см/сек

при

критическом поле),

L — длина образца в сантиметрах.

 

Е*~> Екр

Позднее Гаин

[226,

227] установил,' что при

в образце, обычно у катода, возникает небольшой

участок

У

в)

Рис. 4.46. Доменный характер неустойчивости Ганна.'

а) Р а с п р е д е л е н и е н а п р я ж е н и п ' в д о л ь о б р а з ц а ; б) р а с п р е д е л е н и е н а п р я ж е н н о с т и

э л е к т р и ч е с к о г о п о л я

вдоль о б р а з ц а ;

в) зависимость п л о т н о с т и т о к а , п р о т е к а ю ­

щ е г о ч е р е з о б р а з е ц ,

от в р е м е н и .

С п л о ш н ы е л и н и и

соответствуют с л у ч а ю

 

Е > Е К р , ш т р и х о в ы е — Я < Е к р .

 

сильного поля—«домен», дрейфующий от катода к аноду со скоростью — 107 см/сек и исчезающий на аноде. Затем у катода формируется новый домен, и процесс периоди­ чески повторяется. Моменту возникновения домена соот­ ветствует падение тока, текущего через образец. Моменту исчезновения домена у анода — восстановление прежней величины тока. Период колебаний Т0 приблизительно равен пролетному времени, т. е. времени, за которое домен

дрейфует от катода к аноду (рис. 4.46).

15 А р с е н и д г а л л и я

226

Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А

[ГЛ. 4

Вес обнаруженные Гапном явления и целый ряд дру­ гих эффектов, наблюдаемых в арсениде галлия прп Е ^> .йкр» легко объяснить, учитывая характер зависи­ мости средней дрейфовой скорости электронов v от напря­ женности электрического поля Е (рис. 4 47).

_ , — ,

 

I

 

 

 

.2

 

 

 

 

 

 

S5 /

/

 

3

 

 

-/

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

1

I-

i

1 i - 1 i • ,

 

 

1

Е**

 

10

 

 

ка

 

£, КО/см

 

 

 

 

Рис. 4.47.

Зависимость

средней дрейфовой скорости электронов

 

 

от поля в арсениде галлия.

Ш т р и х о в а я

к р и в а я — п о

д а н н ы м

т е о р е т и ч е е к п х расчетов 11228]. К р и в а я 1

и з м е р е н а э к с п е р и м е н т а л ь н о п о п р о л е т у э л е к т р о п о в ч е р е з п о л у п з о л и р у ю щ и Н

G a A s 5229].

К р и в ы е 2

и 3

и з м е р е н ы м е т о д о м С В Ч - н а г р е в а [230] д л я

э п п т а к -

с п а л ь н о г о и о б ъ е м н о г о

о б р а з ц о в . В( —

п о р о г о в о е п о л о

эффекта

Г а и и а

(dv/dE=

= 0 ) .

tg a=iUi

п о д в и ж н о с т ь

электронов в

с л а б о м

п о л е .

 

К настоящему временп достоверно установлено, что причина, по которой средпяя скорость электропов начи­

нает

уменьшаться

с ростом поля (при Е > Et

см. рис. 4.47), заключается в переходе разогретых

электри­

ческим

полем электронов из центральной <(000)>

долины

в боковые долины, расположенные в направлении <10(Х> (см. рис. 4.40). Электроны в центральной долине имеют малую эффективную массу m^=0,07m0 и обладают зна­ чительной (порядка нескольких тысяч см2/в-сек) под­ вижностью. Электроны в верхних долинах имеют эффек­ тивную массу m* = 1,2 от0 (см. сноску на стр. 214) и соот­ ветственно значительно меньшую подвижность. В отсутствие электрического поля, или в случае слабого поля, практи­ чески все электроны находятся в нижней долине зоны1 проводимости. По мере роста поля часть электронов приоб­ ретает энергию большую, чем энергетический зазор между долинами Ае, и получает возможность перейти в боковые долины. (Так как плотность состояний пропорциональна

4.7)

Э Ф Ф Е К Т Г А Н И А

227'

m*3 '2 , то в арсениде галлия при (m*/m*)3i2~Q0 практи­ чески все электроны с энергией, большей чем Де, будут располагаться в боковых минимумах.) Благодаря тому, что с ростом поля Е у части электронов резко уменьшается дрейфовая подвижность, на кривой зависимости средней дрейфовой скорости электронов от поля v(E) появляется падающий участок, т. е. возникает отрицательная диффе­ ренциальная подвижность.

Описанный выше механизм формирования отрицатель­ ной дифференциальной подвижности за счет междолиниого перехода разогретых полем носителей обычно называют механизмом Рндли—Уоткинса—Хилсума [231, 232].

Прямое доказательство того, что отрицательная диф­ ференциальная подвижность в эффекте Ганна возникает за счет механизма Ридли—Уоткинса—Хилсума, дают эксперименты, в которых определена зависимость пара­ метров гаиновскон генерации от величины Де. В работах [152, 154, 155] исследовалась зависимость критической напряженности поля EKV от давления Р и от содержания фосфора, меняющего величину Де в кристаллах QaAst,—xPx, Очень хорошее совпадение полученных результатов с тео­ ретически рассчитанной Батчером и Фасеттом [156] кривой Е]<р (Р) служит убедительным доказательством того, что отрицательное сопротивление в эффекте Ганна возникает за счет потери электронами подвижности при переходе из <(00СГ> долины «легких» электронов в <(10СГ> долину «тяжелых» электронов.

Для того чтобы понять, каким образом наличие падаю­ щего участка на кривой v(E) позволяет объяснить наблю­ давшиеся Ганном явления, представим себе, что к одно­ родному образцу приложено поле Et. Если поле одно­ родно вдоль образца, то протекающий через него ток представляет собой поток электронов, движущихся от катода к аноду со средней скоростью vt (см. рис. 4.47). Предположим теперь, что в какой-либо части образца электрическое поле несколько превысило среднее зна­ чение. Это может произойти,'например, вследствие нали­ чия малой неоднородности в образце или просто вслед­ ствие флуктуации поля. Возрастание электрического поля в какой-то части образца означает, что на границах этого участка возник объемный заряд (отрицательный со сто­ роны катода и положительный со стороны анода).

15*

228

 

Я В Л Е Н И Я

П Е Р Е Н О С А

 

[ГЛ. 4

Поскольку

суммарное

поле

внутри

этого

уча­

стка больше чем

Et, скорость

электронов

в нем падает

с ростом поля

в

соответствии

с

видом

функции

v(E)

(см. рис. 4.47). К этим замедлявшимся электронам начнут,

догоняя

пх,

притекать носители, находящиеся

ближе

к катоду,

и

от них начнут «убегать» электроны,

находя­

щиеся ближе к аноду. При этом первоначально образовав­ шийся объемный заряд начнет увеличиваться. Увеличение объемного заряда приведет к еще большему росту поля. С ростом поля электроны в области флуктуации еще более замедлятся, процесс образования слоев объемного заряда усилится и т. д. Таким образом, небольшая начальная флуктуация поля в образце нарастает со временем на падающем участке v(E). В таких случаях принято гово­ рить о неустойчивости однородного распределения поля по отношению к малым флуктуацпям.

Если напряженпе на образце поддерживается по­ стоянным (т. е. образец подключен к генератору напряже­ ния), то с ростом дипольного слоя (домена) все большая часть напряжения будет падать на нем, и поле вне домена Ег начнет уменьшаться. Соответственно начнет умень­ шаться также и дрейфовая скорость электронов вне домена vr=u1 Ег (где Ux подвижность электронов в слабом поле). Нарастание поля в домене прекратиться тогда,

когда его скорость станет

равной скорости

электронов

вне домепа. Однако это новое равновесие

установится

при некоторой скорости vr

меньшей, чем vt.

При этом

по образцу будет распространяться с постоянной ско­ ростью Vr <С Vt сформировавшийся дипольный слой (ста­ бильный домен сильного поля) — рис. 4.48. Передний фронт домена обеднен электронами (depletion layer). Задний фронт обогащен электронами (accumulation layer).

Как правило, домен образуется вблизи катода, что связано с повышенной концентрацией неоднородностей вблизи контактов *). При формировании домена ток, как мы видели, падает (от величины jt=en0vi~en0u1Et до величины / г =ещи1Ет), и остается постоянным во время распространения домена вдоль образца. При исчезновении

*) Если флуктуация поля возникнет вблизи анодного контакта, она будет снесена в анод электронным потоком прежде, чем сумеет заметно нарасти.

4Л]

Э Ф Ф Е К Т

Г А Н Н А

229

домена

у анода ток вновь

возрастает

до величины j t .

Затем у катода образуется новый домен и цикл повто­ ряется. Этому случаю и соответствует наблюдавшаяся Ганном картина [225—227].

Очевидно, что для того, чтобы малая флуктуация пространственного заряда успела во время пролета через

о)

Рис.4.48. Сформировавшийся дппольный слой в гаиновском образце

а) Р а с п р е д е л е н и е п о л я в д о л ь о б р а з ц а ; б) р а с п р е д е л е н и е к о н ц е н т р а ц и и ' э л е к т р о - ыов в д о л ь о б р а з ц а . Стрелкой п о к а з а н о н а п р а в л е н и е д в и ж е н и я д о м е н а .

образец сильно нарасти и преобразоваться в домен, необ­

ходимо выполнение

условия

 

 

 

 

lmd I

 

(4.19)

 

<1,

 

здесь TQ—lIj=LlvK0

То

 

 

 

— период

гапиовских

колебаний,

Tmd—еИяеп0 щ — максвелловское

дифференциальное

вре­

мя, соответствующее

падающему

участку

кривой

v(E).

При этом дифференциальная подвижность ud—dv/dE

отри­

цательна, что соответствует отрицательному максвелловскому времени пли нарастанию объемного заряда.

Если rmd >> Т0, то домен не успевает

сформироваться.

Таким образом, домен не

формируется, если

т. е, если

4яел0 и^

> ДР

 

 

 

 

nQL;

 

д р

(4.20)

4яен,

 

 

Критерий (4.20) часто называют критерием Кремера [233].

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ