
книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение
.pdfГ Л Л В Л 3
ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА 3.0. Введение
Среди многообразия экспериментальных методов оп тические методы в последнее десятилетие приобрели репу
тацию достаточно точных методов, позволяющих |
получать |
||
сведения о зонной структуре полупроводниковых |
материа |
||
лов |
как чистых — с малой концентрацией примесей, |
так |
|
п спльиолегпрованных — с большой концентрацией |
при |
||
месей [1—26]. |
|
|
|
Оптические методы включают в себя изучение спект |
|||
ров |
отражения и прозрачности в широкой |
области |
энергии фотонов (от ультрафиолетового до радиодиа
пазона) |
как при |
отсутствии |
внешних воздействий, |
так |
и при |
действии |
магнитного, |
электрического полей |
п |
деформации. |
|
|
|
Спектры обычного отражения (без внешних полей) да ют возможность непосредственного определения энерге тического зазора между экстремальными точками энерге тической диаграммы и величин эффективных масс свобод ных носителей в частично заполненных зонах. Спектры обычной прозрачности дают наиболее простую возмож ность достаточно надежного определения энергетического зазора между абсолютными эстремумамн зон и относитель ного расположения этих экстремумов в волновом прост ранстве, а также определение эффективной массы носите лей и соотношения между различными механизмами рассеяния носителей в кристалле. Спектры обычного отра жения и прозрачности дают, кроме того, возможность исследовать влияние легирования на зонную структуру.
В магнитном поле возникает ряд новых явлений: осцил ляции прозрачности, эффектыФарадея и Коттопа—Муттона,
3.1] С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й 91
которые позволяют наиболее точно определить энергети ческий зазор между абсолютными экстремумами зон, энер гию связи экситона и эффективные массы электронов и дырок в экстремальных точках как простых, так и слож ных зон, а также вдали от экстремумов при изучении силь но легированного материала.
Под действием электрического поля энергетический спектр вблпзи экстремальных точек существенно изменя ется, что приводит к изменению оптических спектров как отражения, так и прозрачности. Эти изменения позволяют определить дополнительные сведения о параметрах зон.
К интересным изменениям спектров отражения и проз рачности приводит всестороннее и одноосное сжатие или растяжение кристалла. Эти спектры дают возможность определить деформационные потенциалы н получить дру гие сведения об упругих свойствах кристалла.
В настоящей главе обобщен в большинстве своем мате риал, разбросанный в различных периодических жур налах, однако здесь имеются и оригинальные результаты, которые не были ранее опубликованы. Основное внимание
уделено экспериментальному материалу, |
поэтому |
мате |
матический аппарат сведен к минимуму, |
необходимому |
|
для понимания физики процессов взаимодействия |
света |
скристаллом.
3.1.Оптические свойства кристалла при отсутствии
внешних полей
На рис. 3.1 показаны спектры отражения Ща), кото рые для простоты дальнейшего анализа могут быть услов но разделены на шесть интервалов. В первом интервале взаимодействие света с кристаллом связано с переходами электронов из d-зоя в свободные состояния зоны проводи мости, во втором — со свободными носителями в зонах (подобно металлам), в третьем интервале основной меха низм взаимодействия—межзонные переходы, в четвертом— виутризониые переходы н фотоионизация примесных цент~ ров, в пятом — взаимодействие с колебаниями решетки — это полоса остаточных лучей. Наконец, шестой интервал, длинноволновый, где механизм взаимодействия квантов электромагнитной энергии с веществом имеет специфиче ские особенности, и основную роль здесь играет время
92 |
О П Т И Ч Е С К И Е |
С В О Й С Т В А |
[ГЛ. 3 |
р елаксации. Здесь |
рассмотрим |
третий, четвертый и |
пятый |
интервалы. |
|
|
|
3.1.1. Межзонные переходы. С квантовомеханнческой точки зрения поглощение кванта света сопровождается
переходом |
электрона |
между |
начальным |
I и конечным V |
|
1С'3 |
Ю2 |
10 |
! |
Ш~' |
Ю'г |
/О'3 |
/0'г |
/О'' |
I |
10 |
ю2 |
Рпс. 3.1. Схема спектров отражопия кристаллов для трех различ
ных копцонтрацпй электронов.
энергетическими уровнями, в общем случае расположен ными в различных точках k-пространства зоны Бриллюэна, тогда поглощение удельной электромагнитной мощ ности может быть представлено в виде
4 г а (со) | £ 0 | 2 = |
2eriWu>, |
|
(3.1) |
|
где Ei'i — е( '—8; — энергия |
перехода 1^>V. |
Суммиро |
||
вание необходимо провести по всем |
начальным |
и |
||
конечным состояниям в единице объема.с энергиями |
&j |
|||
и &i>. Вероятность перехода |
вычисляется |
с помощью |
га |
|
мильтониана взаимодействия |
электромагнитной |
волны |
с |
3.1] |
С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й |
93 |
электроном и равна
^ = ^ е х р ( i k r ) « - P ,
р = — i / i y — оператор импульса, k=2nv/A, — волновой вектор, v — показатель преломления кристалла, % — дли на волны света в вакууме, а — орт поляризации электро магнитной волиы, А 0 — вектор-потепцпал. И далее, учиты вая (3.1), находим
а матричный элемент |
перехода l-> I' |
|
р « г = |
jexp (ikr) • ссР| Z>. |
(3.2) |
В условиях одноэлектронной задачи, когда к и е(/с) находятся в пределах одной зоны Врпллюэна, волновые функции \\>i' п г|)/ являются функциями Блоха
4>nk (г) = ипк |
(г) exp (ikr), |
|
(3.3) |
|||
поэтому, подставляя (3.3) в (3.2), получаем условие |
|
|||||
\Pf.L\ =/= 0 |
при |
kz - |
kr + |
k + 2nG = 0 |
(3.4) |
|
(G — вектор обратной |
решетки), |
которое |
является |
ин |
||
терференционным |
условием |
или |
правилом |
отбора |
для |
оптического перехода в кристалле. Поеколькз^ максималь
ная |
величина волнового вектора фотона не |
превышает |
10е |
см-1 (для ультрафиолетовых лучей Я ^ Ю - 5 |
см), то усло |
вие (3.4) означает, в дополнение к правилам отбора, связан ным с симметрией волновых функций начального и конеч ного состояний, что при взаимодействии фотона с электро ном в кристалле (без участия в этом процессе третьей ча стицы, например фонона) возможны лишь прямые (вер тикальные) переходы, при которых изменение квазпимпульса электрона к/-/ составляет малую долю п/ат№8 см~г,
94 О П Т И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А ГГЛ. 3
иначе не будут выполнены оба закопа сохранения (импуль
са и |
энергии). |
Эреирайх [М13] показал, |
что матричный |
||
элемент Pfi равен |
2 / 3 m2h~zP2, |
где Р 2 = 0 , 4 |
4 атомн. ед . = |
||
= 1,18* 10—38 эрг-г |
и слабо |
зависит от |
температуры. |
||
Тогда |
частотная |
зависимость |
электропроводности будет |
определяться в основном функцией плотности состояний g(e) и заполнением уровней в зонах, между которыми про исходят переходы, т. е.
е 2 V п « : ч
0.2. |
[///]. 0/ |
0,2 |
[/00] |
04 |
|
к,ат.ед. |
Рис. 3.2. Энергетическая диаграмма п схема разрешенных опти
|
ческих переходов [107]. |
|
|||
случае, очень |
малы. |
Поскольку |
е(к) = 8;- (к) — е;(к), |
||
то у к е ( к ) = 0 соответствует^ |
|
|
|
||
|
W |
(к ) = Vk8/ (к). |
(3.6) |
||
Т О Ч К И волнового |
пространства |
зоны |
Брпллюэна, |
где вы |
|
полняются эти условия, |
будут |
давать основной |
вклад в |
проводимость сг(со), и здесь будут наблюдаться максимумы в спектре отражения.
3.1] С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В И Е П Ш И Х П О Л Е Й 95
Условие (3.6) является более легко выполнимым, чем условие
Vk8i- (k) = V R E Z (к) = О,
которое соответствует точкам особой симметрии, например для абсолютных экстремумов валентной зоны и зоны про водимости GaAs (рис. 3.2). Поэтому большинство экстре мумов в спектре о(ю) связано с переходами между точками, для которых выполняется условие (3.6).
Отражение. Особые точки функции плотности состоя ний связаны с особенностями Л(со), но, вообще говоря, в шкале частот особые точки g(e) и i?(w) не совпадают п между ними не установлено простых корреляций. Несмот ря па это, в настоящее время для определения энергии осо бых точек зопной структуры кристаллов широко исполь
зуются спектры |
отражения, по |
|
|||||
скольку |
энергии |
особых |
точек |
|
|||
Д(со) вполне удовлетворительно |
|
||||||
согласуются с |
энергиями |
зазо |
|
||||
ров зопной структуры, оценеи- |
|
||||||
пыми из теории, или определен |
|
||||||
ными из других, |
пеоптпческпх |
|
|||||
экспериментов. |
|
|
|
|
|
||
На рис.3.3 показан спектр от |
|
||||||
ражения в области 1—12 эв для |
|
||||||
кристалла GaAs при комнатной |
|
||||||
температуре [15, 19, 26]. Пове |
|
||||||
рхность образца после механиче |
|
||||||
ской полировки травилась хими |
|
||||||
чески. Детали тонкой |
структуры |
|
|||||
в интервале 4—7 эв выявлялись |
|
||||||
компенсацией |
90 % |
отражен |
|
||||
ной интенсивности, так что ос |
|
||||||
тавшиеся 10 % содержали более |
Рис. 3.3. Спектр отражения |
||||||
четкую |
структуру, |
которая и |
|||||
от травленой поверхности [1]. |
|||||||
анализировалась. |
Энергетичес |
Цифры соответствуют переходам |
|||||
кие зазоры и их возможная иден |
таОл. 3.1. |
||||||
тификация даны в табл. 3.1 [1]. |
|
||||||
Для |
более надежной идентификации пиков в спектре |
||||||
R (со) применяется несколько методов, в которых изучается |
зависимость положения пиков от температуры, от давле ния, от состава в бинарных соединениях.
96 О П Т И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А [ГЛ. 3
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
3.1 |
|
П е р е |
Г |
|
3 |
4 |
5 I |
6 |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
х о д |
г 2 5 ' - г 1 5 |
1<3 -^-1 |
|
X / , |
- * X i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
lid), эв |
4,2 |
2,3 |
2,90 |
5,12 |
5,55 |
6,6 |
|
|
2,6 |
3,14 |
6,9 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|||
Т °К |
77 |
300 |
300 |
|
77 |
77 |
|
|
|
300 |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
работе |
Белле [331 изучалось |
влияние примесей |
на |
спектры межзонного отражения, т. е. на эпергетические зазоры с энергией е eg . Отраженно измерялось от трав леной поверхности образцов тг-тнпа с концентрацией элект
ронов от 10г о до 6- 1С)18 |
с,и~3 прп 100 и 300° К. Устаповлепо, |
||
что коротковолновый |
пик дублета |
Л г - > Л г смегцаотся с |
|
ростом копцептрацтщ |
электропов |
от 3,00 эв (100° К) при |
|
1®1G с.и~3 |
до 2,96 эв прп 6-101 8 см—3. Величина еппп-орбп- |
||
тального |
расщепления |
Д(Л) в точке Л равпа (0,22+0,01) эв |
п пс зависит пи от копцоитрацип пртшесей, ни от темпера туры. Прп понижении температуры от 295 до 100° К было обнаружено возникновение асимметрии обоих пиков отра жения Л-дублета.
Спектры поглощения чистого кристалла. Коэффици ент поглощения /С(а>) связап с электропроводностью а(со)
пвещественным показателем преломления v(co) соотно шением
пв области со 2> завпенмость не может быть пред ставлена простой формулой, содержащей характеристи
ческие параметры полупроводника. Для области частот со 2? CU£, соответствующей началу поглощения за счет пря мых разрешенных переходов электронов между абсолют ными экстремумами зон, зависимость оптических кон стант от микроскопических параметров кристалла уста навливается в более простом виде, поскольку здесь v(co) слабо изменяется с частотой по сравнению с показателем поглощения |(со), поэтому /С(со)—- ст(сй).
В простейшем случае прямых разрешенных переходов между зонами с квадратичным законом дисперсии и сфери ческими изоэнергетическими поверхностями, а также без
3.1] |
С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й |
97 |
учета кулоновского взаимодействии пары электрон—дыр ка (экснтоиа) спектральная зависимость коэффициента поглощения имеет вид
_ л ( й и - е г ) Г 2
|
ti(£> |
|
|
|
|
|
, |
,2е* (2т*)3!2 |
| п а |
12 |
= c 0 |
„, |
(3.7) |
А |
= — V T T — \Pl'l\ |
|
n s L ' |
|||
m * |
^ S |
_ . |
|
|
|
|
При больших энергиях фотонов необходимо учитывать отклонение от квадратичиостн закона дпсперспн, поэтому для вычисления поглощения более правильной будет фор мула Кейна [20].
ед |
= ^ | м у Р ) , |
(3.8) |
где суммирование проводится по всем трем ветвям валент ной зоны. Оптический матричный элемент
9 |
2Р2 |
М1=— |
i(acci + Cc«j)2 + («А — М;')2} , |
, , . = . ^ ( е - ' г - § - Д ) . 6 = ^ ( 6 - ^ ) А,
р 2 _ |
е (е_+_Д) |
2 ^ e |
+ ~3"A Jm n |
Так как ветвь тяжелых дырок в арсениде галлпя парабо-
личиа, |
то |
|
|
|
|
я-1 = сг == 0, Ьг |
= 1 |
||
и |
__ |
к*_ |
(д%_ |
_ |
|
P i |
2пЛ |
дк |
дк |
На рис. 3.4 точечной линией показан спектр коэффици ента поглощения, вычисленный по формуле (3.8), а круж ками — экспериментальные данные Мосса [22, 32], от куда видно, что в области коротких длин волн согласие
7 А р с е н и д галлия
98 |
О П Т И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А |
[ГЛ. 3 |
теории и эксперимента хорошее. Единственным подгоноч ным параметром служила ?«, которая выбрана равной 1,41 эв для лучшего согласия расчетной кривой с эксперименталь ными точками в области резкого падения поглощения с уменьшением энергии фотонов.
В длинноволновой области экспериментальные точки образуют более пологую зависимость от частоты, что
К.см4
Рпс. 3.4. Спектры |
поглощения |
Рис. Л.5. Спектр можзоп- |
|
высокоолшого |
материала |
novo поглощения [7]. |
|
[22, |
31]. |
|
вызвано влиянием примесей, а также экситоиа па край пог лощения, поскольку структура поглощения в этой области сильно зависит от температуры кулоновского, взаимодей ствия носителей и состава примесей в образце.
При энергии фотонов / ш ^ е г - ' г Д о = £ о + ^ 0 начинаются переходы электронов в зону проводимости из ветви валент ной зоны, отщепленной сшш-орбитальпьш взаимодейст вием, которое в спектре поглощения проявляется в виде ступеньки, показанной на рис. 3.5. Эта ступенька была об наружена Стожем [7], при изучении прозрачности образ цов арсенида галлия толщиной менее 1 мкм.
Прозрачность в более коротковолновой области изме рялась на еще более тонких пленках, приготовленных на-
3.1] С В О Й С Т В А П Р И О Т С У Т С Т В И И В Н Е Ш Н И Х П О Л Е Й 99
пьтленпем па стеклянную подложку [30] и на плавленный кварц [27], однако идентификация сильно размытых осо бых точек этого спектра сложна из-за отсутствия одпозначной связи между свойствами напыленного слоя и моно-
.кристаллического слитка.
Экситонное поглощение. Формула (3.7) получена для чистого кристалла без учета кулоновского взаимодейст вия электронов и дырок в зонах, которое оказывает суще ственное влияние на спектр основного поглощения в об
ласти энергии fiaii^Sg, так как |
энергетический спектр |
свя |
|||
занных |
электрона |
и дырки |
(экситоиа) имеет вид [28] |
|
|
|
|
|
|
\ |
|
|
en |
(k) = se |
— ^ - е е х (Г), |
|
|
ее ч (Г) = |
т е „ — |
эксптопная |
постоянная Ридберга, |
или |
энергия основного состояния эксптоиа(при ?г=1), т* =
=•—— Таким образом, энергетический спектр экси-
тона |
водородоподобеи |
(п |
= 1, |
2, 3, |
. . .), |
и |
соответ |
|
ствующий ему спектр |
поглощения |
является |
линейчатым, |
|||||
поскольку он |
обусловлен |
переходами |
электронов из ва |
|||||
лентной зоны |
на дискретные уровни |
экситона. |
Линей |
|||||
чатый |
спектр |
расположен |
в длинноволновой |
частп края |
основного поглощения, где 7lco<^eg, а интенсивность линий поглощения обратно пропорциональна кубу квантового
числа п(К^-п~й). |
Энергетическое |
расстояние между |
||
линиями |
убывает ~ |
п~й (плотность |
линий |
возрастает |
—?г2), |
поэтому с |
приближением Гио к sg |
поглощение |
стремится к постоянной величине /Со>0 и спектр становит ся квазпиепрерывным.
В области ho)^>Es коэффициент поглощения с учетом кулоновского взаимодействия электронов и дырок для
разрешенных переходов имеет |
вид |
|||
к |
- |
^Е. е |
х Р |
z |
А |
~ |
со |
si, |
Z ' |
^ - S ( ¥ ) 3 ; 2 l ^ ( 0 ) P 4 l ( r ) , |
||||
z = |
я |
Лео - |
|
(3.9) |
|
|
|
E g |
7*