- •1. Принципы выбора и методы обработки материалов
- •2. Металлы
- •2.1. Тугоплавкие металлы
- •2.1.1. Вольфрам
- •2.1.2. Молибден
- •2.1.3. Ниобий
- •2.2.Никель
- •2.3.Медь
- •2.4. Платинит
- •2.5. Щелочные металлы (Na, k, Cs, Li, Rb)
- •2.6.Ртуть
- •2.7. Амальгамы
- •3. Газопоглотители
- •4. Люминесценция, люминофоры и покрытия
- •4.1 Определение, виды, законы, характеристики
- •4.2. Основы технологии изготовления люминофоров
- •4.3. Свс-технология изготовления люминофоров
- •4.4. Люминофоры для компактных, ультрафиолетовых ламп
- •4.5. Нанесение люминофорных покрытий
- •5. Химия стекла и покрытий на стекле
- •5.1. Определение и классификация стёкол
- •5.2 Химическая устойчивость стёкол.
- •5.3. Обработка поверхности стекла.
- •5.4. Нанесение покрытий на стекло.
- •5.5. Химическое травление поверхности стекла
- •5.6. Нанесение покрытий на лон
- •7. Керамика
- •8. Ситаллы
- •9. Газы и пары металлов.
- •10. Эмиссионные покрытия для электродов
- •11. Припои для пайки металлов с металлами,
- •12. Эластомеры и полимеры
- •13. Вакуумные уплотнители, смазочные материалы, органические рабочие жидкости
- •14. Цоколёвочные мастики
- •15.Электропроводность полупроводников
- •16. Полупроводники (общие сведения и классификация) [26].
- •17. Химические процессы технологии материалов электронной техники (тмэт) [25, 26].
- •18. Обработка материалов [26].
- •19. Химические процессы фотолитографии [25, 26].
- •20. Химические процессы при эпитаксии [25, 26].
- •21.Получение защитных плёнок
- •22. Диффузия и ионная имплантация (для соединений aiiibv)
- •23. Травление полупроводников.
- •24. Получение деионизованной воды
- •25. Химия металлов (Ме) и металлических плёнок
13. Вакуумные уплотнители, смазочные материалы, органические рабочие жидкости
СnHmиSinHm уплотнители в вакуумной технике применяются: а) для уплотнения поверхностей раздела в подвижных конструкциях (краны, оси); б) для легко и быстро разбираемых соединений участков вакуумных систем; в) для устранения течей (отверстий, щелей) в вакуумных резервуарах и системах.
Вакуумные уплотнители бывают: жидкие (масла), пастообразные (смазки), пластилинообразные (воски) и твёрдые (замазки). Они могут применяться ( ввиду большого давления паров и низкой температуры разложения) только в аппаратах с динамическим вакуумом (постоянно или периодически работающие вакуумные насосы). При вымораживании (фреон (-25оС), углекислота (-78оС), жидкий воздух (-185оС)) многие уплотнители отдают конденсирующиеся пары и давление над ними снижается до неизмеримо малых значений.
Вакуумные масла (для промазки кранов): Апиезоновые «J», «К». При 100оС – давление 5·10-8÷10-8мм рт. ст., при 200оС – 4·10-5÷8·10-6мм рт.ст., при 250оС Апиезон «J» и при 300оС Апиезон «К» - 10-3мм рт.ст.
Смазка Рамзая – делается из парафина, вазелина и резины, рецепт и инструкция по приготовлению этой смазки даны в [1, т. 3, стр.228]. Смазки Апиезон «L» , «M» - тяжелыеCnHm, Апиезон «N» - смесь тяжелыхCnHmи резины.
Вакуумные воски, замазки, лаки, смолы: 1) склеивающий воск, пчелиный воск (температура размягчения – 50оС, расплавления – 60оС; 2) пицеин; 3) цемент Хотинского; 4) белый сургуч; 5) апиезоновые воски и замазки; 6) хлористое серебро (температура плавления – 455оС) – технология изготовления [1, т. 3, стр. 235]; 7) гербаль-лак; 8) растворы шеллака; 9) лаки из глинталевой смолы (продукт конденсации глицероля с ангидридом фталевой кислоты); 10) замазки из эпоксидных смол; 11) замазки из термопластовых синтетических веществ, например, поливинилацетат.
Смазочные материалы в высоковакуумной технике применяются для смазки шарикоподшипниках в отпаянных приборах (со «статически» высоким вакуумом). Особая задача – рентгеновские трубки с вращающимся антикатодом. Дело в том, что графитовая смазка работает только в присутствии паров Н2О. Решение было найдено в двух вариантах: 1) применением серебряной плёнки на стальных шариках; 2) применением двухсернистого молибдена (MoS2), который хорошо работает в качестве смазки в высоком вакууме. Применяется только природныйMоS2 , который имеет пластинчатую структуруS-Mo-S– это тёмно-серый блестящий графитоподобный минерал, образующий гибкие, мягкие пластинки, на ощупь - сальные. В продаже есть порошок с величиной частиц 1÷40мкм (толщина пластинок ~ 0,1 от размера частицы). ПлёнкиMoS2 теплоустойчивы: на воздухе (от -70 до 450оС), в Н2– до 985оС, в вакууме – до 110оС, вAr– до 1300оС.
Органические рабочие жидкости
Масла для вращательных насосов – минеральные масла, из которых удалены фракции с низкой точкой кипения. Предельный вакуум: 10-2÷10-3
мм рт. ст.
Масла для пароструйных, эжекторных и диффузионных насосов – минеральные масла, подверженные молекулярной дистилляции (высокий вакуум и малое расстояние между испарителем и дистиллятором). Предельный вакуум – 10-6÷10-7мм рт.ст. Давление паров различных масел в функции температуры даны в [1, т.3, стр. 249]. Требования к этим маслам: 1) малая склонность к разложению в испарителе насоса; 2) большая термоокислительная устойчивость ( в случае натекания системы или кислородсодержащих выделений при обезгаживании прибора и термообработки его элементов); они не должны быть гигроскопичны и не должны поглощать откачиваемые газы. Несмотря на низкое давление паров этих масел изготовление ряда приборов с применением указанных насосов невозможно из-за процессов разложения масел, к таким приборам относятся: фотоэлементы с чувствительным фотокатодом, ряд разрядных приборов, приборов с накаливанием Мо проволок (образуется Мо2С) и др.
Откачку с помощью ртутных диффузионных насосов с ловушками и холодильными камерами целесообразно проводить: 1) устройств с высокими напряжениями (пробои через остаточный газ и утечки через изоляцию уменьшаются); 2) устройств, где не допускаются следы СnHm(спектрометры, печи для определения скорости испарения материалов); 3) приборов разрядных, где столкновения с молекулами масел могут нарушить работу прибора (ускорители частиц).
Преимущества органических рабочих жидкостей: 1) экономия в вымораживающих ловушках; 2) малая мощность нагрева (~ 20% от парортутных насосов); 3) меньшие размеры насосов при той же скорости откачки; 4) более простая конструкция насосов и больший выбор материалов; 5) возможность использования воздушного охлаждения вместо водяного.