- •Тема 1 Введение.
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •Техническая система и иерархические уровни технической системы
- •Место технической системы среди других систем предприятия
- •Раздел 2 электронная гигиена
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •Раздел 3
- •Тема 4 «Оборудование для обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата финишной и суперфинишной обработки пластин
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •Требования к системе нагрева изделий
- •Индукционный нагрев
- •Принципиальная схема индукционного нагрева
- •Резистивныи нагрев
- •Схемы электрических печей сопротивления: а — прямой нагрев; б — косвенный нагрев; 1 — нагреваемый материал; 2 — выключатель или магнитный пускатель; 3 —- электронагревательный элемент
- •Электронно-лучевой нагрев
- •Электронно-лучевой испаритель с электронной пушкой Пирса
- •Лучистый нагрев
- •Принципиальная схема термической установки с лучистым нагревом:
- •Плазма и ее использование в ионно-плазменных процессах и ионно-лучевых источниках
- •Схемы возбуждения вч-разряда:
- •Нагрев лазером
- •Типовая схема лазерной технологической установки:
- •Раздел 4 классификация кристаллизационных процессов выращивания монокристаллов полупроводников
- •Конструкция установки для выращивания монокристаллов полупроводников методом чохральского
- •Конструкции тепловых узлов установок для выращивания монокристаллов полупроводников
- •Схемы тепловых узлов с различными видами экранировок:
- •Влияние параметров процесса выращивания монокристаллов на их свойства
- •Различные виды распределения гидродинамических потоков в расплаве:
- •Форма изотерм (пунктир) и потоков тепла (стрелки) в расплаве для нагревателей:
- •Галогенные лампы
- •Современные галогенные лампы предлагают целый ряд существенных преимуществ
- •Галогенно-вольфрамовый цикл
- •Раздел 5 оборудование для операций очистки
- •Конструкции узлов крепления пластин на столе
- •Конструкции узлов крепления пластин на столе
- •Конструкции узлов крепления пластин на столе:
- •Конструкция узлов обработки изделий:
- •Способы интенсификации процесса очистки
- •Пьезоэлектрические излучатели
- •Типы магнитострикционных излучателей:
- •Рабочие ванны с различными типами мешалок:
- •Типы распылительных форсунок:
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •Раздел 6 Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоёв
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Способы проведения жидкостной эпитаксии
- •Установка для жидкостной эпитаксии
- •Циклограмма давлений в установке каждения слоев при пониженном давлении
- •Раздел 7 Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •Раздел 8
- •Раздел 8.1 Оборудование для ионной имплантации.
- •Оборудование для очистки с применением низкотемпературной плазмы, радикалов и ионов
- •Установка с реактором диодного типа и анодной связью:
- •Установка плазмохимической обработки
- •Оборудование для плазмохимического удаления фоторезиста
- •Реакционно-разрядные камеры с подачей газа по четырем направлениям с равномерным рассредоточением потока (г) по отдельным трубкам и четырехсторонним рассредоточением потока (д)
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения гонких пленок
- •Вакуумная установка непрерывного действия "Магна-2м" для нанесения однослойных и многослойных тонких пленок магнетронным распылением:
- •Раздел 9 Газовые и вакуумные системы Общие сведения о вакуумной технике
- •Области вакуума
- •Пластинчато-роторный
- •Пластинчато-статорный
- •Плунжерный
- •Форвакуумный насос
- •Турбомолекулярный насос
- •Модернизированные диффузионные паромасляные насосы
- •Некоторые характеристики рабочих жидкостей высоковакуумных диффузионных насосов
- •Магниторазрядный вакуумный насос норд-25
- •Конденсационный насос со встроенным криогенератором
- •Газовые системы
- •Схемы смесителей:
- •Типовые конструкции клапанов:
- •Корпус; 6 — пружина; 7 — мембрана
- •Регулятор расхода газа: а — конструкция; б — схема включения
- •Магнитные электроразрядные вакууметры
- •Откачка химически активных газов.
- •Объемный дозатор поршневого типа
- •Тэрмоэлектрические преобразователи и термометры сопротивления
- •Общий вид (а) и рабочие концы хромель-алюмелевой (б), платинородий-платиновой (в) и малоинерционной (г) термопар
- •Градуировочные кривые термопар: 1 - хромель-копелевой хк, 2 - хромель-алюмелевой ха, 3 - из сплава нк-са, 4 - платинородий-платиновой пп, 5 - платинородий-платинородиевой пр30/6
- •Платиновые термометры сопротивления:
- •Приборы для измерения и регулирования температуры
- •Автоматический одноточечный потенциометр с ленточной диаграммой ксп4
- •Оптический пирометр и яркости его нити при температурах ниже и выше температуры нагретого тела (б, в) и равной ей (г) :
- •Автоматические системы регулирования и поддержания температуры
- •Раздел 10 Установки совмещения и экспонирования
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •Оборудование для перспективных методов литографии.
- •Система эос
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •Оптико-механическое оборудование для изготовления фотошаблонов
- •Способ генерирования.
- •Фотоповторитель для изготовления эталонных фотошаблонов.
- •Оптическая схема фотоповторителя
- •Раздел 11 Оборудования для сборки имс и заключительных операций
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Общая характеристика установки эм-4480
- •Технические данные установки эм-4480
- •Учебный элемент «Устройство и работа составных частей установки эм-4480»
- •Установка присоединения выводов эм-4480
- •Тумба управления
- •Устройство микросварки
- •Станина
- •Пульт управления
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 12 Оборудование для испытаний и измерений
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
- •Раздел 13 Промышленные роботы и гибкие производственные системы
- •Раздел 14 Ремонт, наладка и профилактические работы.
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Тема. Коэффициенты, характеризующие эффективность работы оборудования.
- •Конюхов и.Е. Ремонт технологического оборудования. Тема. Ремонтно-технологические характеристики оборудования.
- •Надежность.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Методика расчета ремонтного цикла и внутрициклового обслуживания.
- •Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
1. Проверка технического состояния при сдаче оборудования.
1.1. Перечень основных параметров, проверяемых, при сдаче автомата приведен таблице 1.
Таблица 1
Проверяемый параметр |
Технические требования |
I. Присоединение проволочных перемычек из алюминиевой проволоки диаметром 0,027-0,050 мм к металлизированным золотом или алюминием контактным площадкам кристалла и выводам корпуса |
должно обеспечиваться
|
2. Погрешность присоединения выводов относительно центров контактных площадок по осям Х,У |
не более +0,025 мм
|
3. Производительность для 16-ти выводной интегральной микросхемы при длине перемычки не более 1.5 мм, равных углах поворота, разновысотности контактных площадок кристалла и выводной рамки не более 50 мкм, продолжительности сварки не более 10 мс с учетом времени совмещения и подачи прибора |
не менее 280 приборов/ч
|
4. Время непрерывной работы. Перерыв в работе междудвумя последовательными включениями должен быть не менее 0,5 ч |
не менее 16ч |
2. Проверка технического состояния при эксплуатации оборудования.
2.1. Перечень основные периодических проверок технического состояния при эксплуатации приведен в таблице 2.
Проверяемый параметр |
Технические требования |
Периодичность проверки |
Погрешность определения координат точек совмещения по координатам Х, У |
не более ± 0,005 мм |
При появлении смещения сварных точек |
Погрешность выхода визиров в центры контактных площадок |
не более ± 0,02 мм |
При появлении смещения сварных точек |
Согласование отпечатка инструмента и визиров |
Должны совпадать |
При появлении смещения инструмента к га сварных точек, после замены инструмента |
Совпадение отпечатков инструмента при любом угле разворота сварной головки |
Должны попадать в площадку 100x100 мкм |
После замены инструмента
|
Диапазон регулирования усилия сжатия соединяемых элементов |
от 0,2 до 1,2 Н |
Один раз в год |
Дискретность шага позиционирования координатного стола по осям Х, У |
0,005 ±0,002 мм |
Один раз в 3 месяца |
Люфт в червячной паре механизма поворота |
0,5-0,8 мм на радиусе 100 мм |
|
Люфт координатного стола |
Не более 0,005 мм |
Один раз в 3 месяца |
Радиальное биение поверхности вала при снятом механизме подачи проволоки на расстоянии 5 мм от торца вала |
Не более 0,01 мм |
Один раз в 6 месяцев |
Производительность для 16-выводной интегральной микросхемы при длине перемычки не более 1,5 мм равных углах поворота, разновысотности контактных площадок кристалла и выводной рамки не более 50 мкм и продолжительности сварки не более 10мс |
Не менее 280 приборов/ч |
|
Надежность закрепления узлов, целостность всех узлов и деталей |
|
Один раз в неделю |
Наличие смазки в подшипниках |
Работа без смазки не допускается |
Один раз в месяц |
2.2. Перечень основных периодических проверок технического состояния генератора ультразвукового приведен в разделе 10 технического описания 3.529.141.-02 ТО.
2.3. Перечень основных периодических проверок технического состояния устройства перемещения приборов для автомата ЭМ-4020Б приведен в разделе 12 технического описания 3.880.063 ТО.
3. Присоединение проволочных перемычек проверяют в следующей последовательности:
- в режиме «Полуавтомат» произвести монтаж перемычек между контактными площадками одного прибора алюминиевой проволокой АК 069-ПТ диаметром 0,0035 мм, используя капилляр КУТ 32-35-100-15Вт. Допускается производить монтаж перемычек алюминиевой проволокой диаметром от 0,027 до 0,050 мм с использованием соответствующих капилляров. Проволоку промыть в спирте этиловом ректификованном.
-
под середину каждой перемычки подвести
иглу или пинцет и плавным движением
вверх оборвать перемычку. Сварка
считается удовлетворительной, если на
всех перемычках обрыв происходит по
проволоке или по ее утончению у места
сварки без разрушения соединения,
а
деформация сварного соединения,
рассчитанная по формуле
где
- деформация
соединения, %
d - диаметр проволоки, мкм
B - ширина сварного соединения, мкм (см.рис ниже) составляет не более 70%.
4. Погрешность присоединения выводов проверяют в следующеей последовательности:
- в режиме "Автомат" произвести монтаж перемычек 3-х приборов;
- при помощи микроскопа измерить расстояние от центра каждой контактной площадки кристалла до центра сварной точки по координатам Х, У (см, рис ниже);
- наибольшее измеренное расстояние от центра контактной площадки до центра сварной точки по .любой из координат принять за результат проверки.
5. Производительность автомата проверяют путем измерения времени разварки 5 приборов в режиме АВТОМАТ секундомером типа СОПпр-02-2-010 с последующим пересчетом. на часовую производительность для 16-ти выводной микросхемы в следующей последовательности:
- произвести подготовку автомата к работе согласно раздела13;
- запустить автомат и измерить время разварки 5 приборов;
- рассчитать производительность по формуле:
где N-5 - количество разварных приборов;
п - количество выводов у разварного прибора;
-
время
разварки N
приборов,
с.
Производительность, при соблюдении условий, должна быть не менее 280 приборов/ч, во всех остальных случаях приведенная производительность рассчитывается по формуле, I приведенной в п. 3 и также должна быть не менее 280 приборов/ч
6. Время непрерывной работы проверяют путем прогона автомата в течение 16 часов в режиме "Автомат" без монтажа перемычек в следующей последовательности:
- запустить автомат на прогон;
- через каждые 4 часа работы автомата производить проверку параметров, указанных в п.п.1,2 таблицы 1 по методикам, указанным в п.п. 3, 4. Режимы сварки регулируются при проверке.
В течение проверки не должно быть нарушений работоспособности автомата (выхода из строя электронных узлов и блоков, поломки и износа механизмов).
7. Погрешность определения координат точек совмещения по координатам Х, У проверяют в следующей последовательности;
1) произвести измерение габаритных размеров контактных площадок кристалла с помощью микроскопа;
2) подать прибор с посаженным кристаллом на позицию сварки нажатием кнопки ЗАГРУЗКА;
3) произвести, при необходимости, действия предусмотренные режимами "Ввод", "Коррекция", "Масштабирование", "Обучение",
4) программируемому параметру ПП7-3 присвоить значение 1 (работа с контролем распознавания), а ПП7-4 присвоить значение 0 (работа без повторного распознавания);
5) войти в режим "Автомат'' и нажать кнопку ПУСК;
6) установить на штативах индикаторы. Первый в направлении +Х, второй в направлении +У таким образом, чтобы их измерительные стержни касались корпуса механизма поворота;
7) установить показания индикаторов в ноль;
8) нажатием кнопок манипулятора >Х, >У вывести визиры на край контактной площадки в направлении координат +Х, +У , и снять показана индикаторов;
9) погрешность определения координат первой точки совмещения по формуле:
где
,
- размеры площадки по осям Х,У :мкм;
,
- измеренное расстояние по осям Х, У мкм
(см. рис. ниже)
10) отвести индикаторы в направлении +Х, +У из зоны измерения;
11) нажать кнопку ПУСК 2 раза;
12) повторить пункты 6), 7), 8), 9) для второй точки совмещения;
13) повторить измерения 3 раза. Наибольшее значение погрешности по любой из координат принять за результат проверки.
8. Диапазон регулирования усилия сжатия соединяемых элементов проверяют с помощью граммометров ГЮ-50, Г25-150 следующим образом:
1) установить тумблер НАГРУЖЕНИЕ в положение ВКЛ;
2) установить минимальное значение проверяемого усилия сжатия F уст с помощью гайки и пружины нагружения, контролируя его граммометром;
3) подвести под держатель инструмента рядом с последним рычаг граммометра, приподнять им инструмент в исходное положение до касания с верхним рычагом (но не касаться его) и снять показания граммометра.
Операцию повторить не менее 3 раз. Измеренное усилие сжатия определяют по формуле:
где Fуст – установленное усилие сжатия, Н
4) с помощью гайки и пружины нагружения, установить максимальное значение проверяемого усилия сжатия Fуст
5) повторить п.3)
9. Дискретность шага позиционирования координатного стола по осям Х, У проверяют с помощью индикатора в следующей последовательности:
1) тумблер разрешения пошаговой работы приводов установить в положение ШАГ
2) закрепить индикатор в штативе таким образом, чтобы его измерительный стержень касался корпуса механизма поворота в направлении координаты Х
3) снять показания индикатора
4) нажать кнопку манипулятора >Х
Координатные столы отработают один шаг
5) снять показания индикатора. Разность между двумя показаниями индикатора есть измеренное значение шага
6) выполнить п.п. 4, 5 два раза и сравнить измеренное значение с заданным значение шага
7) выполнить п.п. 2, 3, 4, 5, 6 на середине рабочего поля и в крайнем положении +Х
8) выполнить п.п. 2, 3, 4, 5, 6, 7 для координаты У
10. Люфт в червячной паре механизма поворота измеряют с помощью индикатора в следующей последовательности:
1) установить индикатор на штатив ножкой к рычагу механизма подачи проволоки на расстоянии от центра вращения 100 мм
2) приложить на рычаг механизма подачи проволоки усилие 5 Н так, чтобы он занял левое крайнее положение и установить на индикаторе нулевое показание
3) приложить усилие на рычаг в другую сторону и снять показания на индикаторе. Величина перемещения на одном зубе должна быть 0,5-0,8 мм
11. Люфт координатного стола проверяют с помощью индикатора в следующей последовательности:
1) тумблер разрешения пошаговой работы приводов установить в положение ШАГ
2) закрепить индикатор в штативе таким образом, чтобы его измерительный стержень касался корпуса механизма поворота в направление Х
3) нажать кнопку манипулятора >Х четыре раза
4) установить на индикаторе нулевое показание
5) нажать кнопку манипулятора >Х 4 раза и снять показания индикатора
6) нажать кнопку манипулятора ‹Х 4 раза и снять показания индикатора. Разность между 2 показаниями индикатора есть измеренная величина люфта
7) выполнить п.п. 2, 3, 4, 5, 6 для координаты У
11. Радиальное биение вала механизма поворота измеряют с помощью индикатора в следующей последовательности:
1) снять механизм подачи проволоки
2) установить индикатор на штативе ножкой к валу на расстояние 5 мм от торца
3) включить автомат;
4) с помощью кнопки ПУСК φ повернуть вал механизма поворота на 360°. Снять показания на индикаторе.
Радиальное биение поверхности вала не должно быть более 0,01 мм.
