Рабочие ванны с различными типами мешалок:

а — с лопастной; б — с пропеллерной; в — с турбинной;

1 — ванна; 2 — мешалка; 3 — приводной вал; 4 —отражательная перегородка

Для распыления жидких реагентов используют разные типы распылительных форсунок (рисунок ниже). Наибольшее распростране­ние нашли газовые (пневматические) форсунки.

Распыление жидкостей в пневматических форсунках (рисунок ниже, а) производится струей газа, движущегося с большой скоростью.

Типы распылительных форсунок:

а —газовая (пневматическая), б — гидравлическая шнековая; в — гидравлическая центро­бежная: 1 — корпус; 2 — сопло; 3 — клапан; 4—пружина; 5 — крышка; 6 — шнек

Жидкость подается в форсунку под давлением, самотеком или же засасывается благодаря инспекционному действию газовой струи. Контакт между жидкостью и газом может происходить как вне форсунки, так и внутри «ее. Пневматические форсунки по сравнению с гидравлическими и механическими применяют для более вязких жидкостей, но они потребляют больше энергии. Чем значительней расход газа в расчете на единицу объема распылен­ной жидкости, тем меньше размер получаемых капель и равно­мерней распыление.

Гидравлический расчет форсунок сводится к определению раз­меров выходных сечений для газа и раствора по их заданным рас­ходам.

Автомат гидромеханической отмывки, предназна­ченный для комбинированной очистки поверхностей полупроводнико­вых пластин химическими реактивами и щеткой перед нанесением фото­резиста, окислением, диффузией, осаждением пленок и после удаления фоторезиста, выпускается двух исполнений: с четырьмя и двумя трека­ми (унифицированными устройствами). Таким образом, производитель­ность автомата первого исполнения в два раза выше. Подача полупровод­никовых пластин в автомат производится в унифицированных кассетах емкостью 25 пластин. Отмытые пластины также помещаются в кассету. Работа автомата построена так, что оператор к полупроводниковым пла­стинам не прикасается.

Автомат смонтирован в сварном металлическом каркасе. Основные органы управления (пульт) расположены сверху в левой части автомата, а треки — в правой. Автомат должен быть обязательно подключен к вы­тяжной вентиляции.

Механическая часть каждого трека представляет собой агрегат, кинематическая схема которого показана на риcунке ниже. Ознакомившись с устройством одного агрегата, можно понять работу автомата. Агрегат 128 состоит из механизмов загрузки и разгрузки, каретки подачи полупро­водниковых пластин, механизма перемещения щетки, центрифуги и ванны.

Механизм загрузки начинает работать после установки унифици­рованной кассеты с полупроводниковыми пластинами на каретку 30 и включения агрегата. Пневмоцилиндр 24 наклоняет каретку 30 с кассе­той к пневматическому лотку 4, и привод, состоящий из электродвига­теля 28, ременной передачи и кулачка 26, вращает винт, который своей гайкой, связанной с кассетой, перемещает ее на шаг, равный 4,75 мм. Управляют перемещением кассеты кулачок 26 и микровыключатель 25. В это время срабатывает пневмосистема и потоком воздуха из сопла 31 полупроводниковая пластина из кассеты сдувается на пневматический лоток 4, а с него на каретку 6, приводом перемещения кассеты управля­ют микровыключателями 25, 2 и 29. Наличие полупроводниковой пла­стины на пневматическом лотке контролируется фотодатчиком.