Оптический пирометр и яркости его нити при температурах ниже и выше температуры нагретого тела (б, в) и равной ей (г) :
1 - объектив, 2 - фотометрическая лампа, 3 - светофильтр, 4 - окуляр, 5 - измерительный прибор, б - переменный резистор, 7 - источник питания, 8 - корпус, 9 - нить
Так как предельная рабочая температура нити накала лампы лишь 1400 °С, при переходе к верхнему пределу измерения пользуются светофильтром, ослабляющим яркость.
При измерениях объектив пирометра направляют на нагретое тело так, чтобы одновременно видеть его и нить накала фотометрической лампы. Изменяя сопротивление резистора 6, доводят яркость нити до яркости наблюдаемого объекта: их совпадение воспринимается глазом как исчезновение нити на фоне светящегося тела (рисунок ниже б—г).
В этот момент температуры нити и объекта измерений будут одинаковы. Найденную температуру отсчитывают по шкале измерительного прибора (вольтметра), отградуированной в градусах.
Точность оптического пирометрирования в некоторой степени зависит от стабильности источника питания нити фотометрической лампы. При работе оптическая ось прибора должна быть расположена горизонтально, а шкала — вертикально.
Автоматические системы регулирования и поддержания температуры
Системой автоматического регулирования называют устройство, управляющие по определенному закону одним или несколькими параметрами технологического процесса. Система автоматического регулирования температуры обычно разрабатываются по единой структурной схеме.
3 - задатчик
УС - устройство сравнения
ЧЭ - чувствительный датчик
ОР - объект регулирования
ИУ- исполнительное устройство
У - усилитель
Температура термической установки прямо пропорционально подводимой мощности питания. Так как при разогреве нагревательных элементов из молибдена или вольфрама их сопротивление возрастает в десятки раз, чтобы не перегружать источник питания по току, установку разогревают при пониженном напряжения.
Блоки питания на терристорах – высоким быстродействием и КПД, малые габариты и низкой стоимостью, а на магнитных усилителях - высокой надежностью.
Двухпозиционное регулирование - периодически включаются на номинальную мощность, а потом полностью отключаются.
Трехпозиционное регулирование - полная мощность, частичная мощность, отключение.
Позиционное регулирование - низкая точность.
Диффузионные процессы требуют точность ± 0,5*С на длине 600 мм. Регуляторы, используемые в системах автоматического регулирования, работают по одному из четырех основных законов: пропорциональному (П), интегральному (И), пропорционально-интегральному (ПИ) и пропорционально-интегрально-дифферинциальному (ПИД).
Регуляторы пропорционального действия (П-регуляторы).
Раздел 10 Установки совмещения и экспонирования
Установки бывают: контактной и проекционной фотопечати. Установки контактной фотопечати применяются в тех случаях, когда к разрешающей способности и качеству получаемых на пластинах рисунков предъявляют сравнительно низкие требования.
Существенный недостаток - быстрый износ фотошаблонов из-за контакта с п/п.
Чем сложнее структура м/с тем меньше дефектов должно быть на фотошаблоне, а также фотошаблоны из-за сложности рисунков быстрее выходят из строя и изготовление их довольно долгое. Установка ЭМ-576 служит как для контактной фотопечати (экспонирования), так и для фотопечати с зазором, может эксплуатироваться автономно или в линии фотолитографии и состоит из стола
