Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу

1 – кварцевая труба, 2 – подложки, 3 – кварцевая лодочка, 4 – кварцевый стержень, 5 – ходовой винт.

Устройство загрузки-выгрузки обычно размещается в камере с ламинарным потоком воздуха, создающей обеспыленную атмосферу в зоне работы загрузчика лодочек с подложками. Камеры загрузки построены по принципу технологических скафандров. Перед загрузкой в реакционную трубу диффузионной установки подложки размещаются в кварцевой лодочке на расстоянии

7…10 мм друг от друга. (рисунок а). при загрузке возможно появление кварцевых микрочастиц, образующихся при трении лодочки о реакционную трубу (рисунок а). Эти микрочастицы, попадая на поверхность подложек вместе с потоком ПГС, приводят к дефектам структур. Поэтому разработаны различные конструкции загрузочных устройств, заменяющих трение скольжения трением качения (рисунок б, в) или вообще исключающих трение за счет использования консольных держателей и загрузчиков (рисунок г). Скорость перемещения лодочки с подложками при загрузке обычно не превышает 30…70 см/мин и тщательно контролируется системой управления для уменьшения термодинамических нагрузок на подложки и повышения воспроизводимости результатов процесса.

Программатор время - команда

ПВК 15х20М предназначен для управления технологическим оборудованием (испытательным или термическим) путём включения по 20-ть независимых выводов в любой комбинации в пятнадцати временных интервалах. Длительность каждого из 15-ти временных интервалов и комбинация включённых выходов программируется.

1.2. Основные технические данные.

1. Время выдержки в каждом из 15-ти временных интервалов от 1с до 39ч. 59мин. 59с.

2. Дискретность программирования времени 1 с.

3. Возможность автоматического, либо ручного перехода от предыдущего интервала к последующему.

4.Возможность программирования включения до 20 объектов в каждом цикле путём замыкания механического контакта, соответствующего каждому из 20 объектов.

5. Возможность ускорения циклов в 100 раз (для проверок и контроля).

6. Работа с управляющей ЭВМ. ЭВМ может корректировать время каждого из 15 интервалов.

1.3. Устройство пвк

Программатор представляет собой электронное цифровое устройство, работа которого осуществляется по программе, задаваемой с помощью коммутирующих штырей на панелях ВРЕМЯ - ИНТЕРВАЛ и КОМАНДА - ИНТЕРВАЛ.

Состав и работу программатора изучить по упрощённой структурной схеме программатора (см. рис 1).

Формирователь синхроимпульсов (А2)

Служит для формирования набора частот, используемых блоками ПВК. Формирователь синхроимпульсов выполнен на базе кварцевого генератора с f=1МГц и с делением частоты до f1=Т00кГц, f2=10кГц, f3=1кГц, f4= 100Гц. Эти частоты передаются на схему управления A3. В случае включения переключателя К частоты по каждой линии увеличивается в 100 раз, что вызывает 100-кратное увеличение скорости работы.

Схема управления (A3)

Служит для:

-формирования кодов связи с ЭВМ;

-формирования синхроимпульсов счёта времени, интервала и т.д.;

-формирования сигналов начала-конца счёта времени интервала и циклов;

-управление регистром и т.д.;

Счётчик времени (А1) служит для отсчёта времени каждого из 15 интервалов. Счётчик рассчитан на максимальное время 39ч. 59мин. 59 с. С дискретностью счёта 1с.

Коммутатор ВРЕМЯ-ИНТЕРВАЛ (А5)

Представляет собой устройство типа матрицы, горизонтальные шины которого соответствуют номеру интервала от 1 до 15, а вертикальные - времени выдержки этого интервала. Время выдержки набирается штырями, которые вставляются в отверстия коммутатора в соответствии с необходимым временем выдержки в данном интервале. Назначение коммутатора - программирование времени выдержки каждого интервала.

Коммутатор ИНТЕРВАЛ - КОМАНДА (А10) также выполнен в виде матрицы, на шины которого поступают сигналы об интервалах (от 1 до 15), а с перпендикулярных шин снимают команды о включении 20 объектов. Объекты программируются штырями, вставленными в соответствующие отверстия матрицы. Время включённого состояния объектов определяется временем, запрограммированным на коммутаторе ВРЕМЯ - ИНТЕРВАЛ для данного интервала. Для контроля каждого из 20 каналов в коммутаторе ИНТЕРВАЛ - КОМАНДА имеются шестнадцатый столбец Р. Вставленные в его гнёзда штыри вызывают включение соответствующих объектов при нажатии кнопки РУЧНОЙ РЕЖИМ.

Регистр (А9) переключает на коммутаторе ИНТЕРВАЛ - КОМАНДА А10 последовательно интервалы от 1 до 15. При этом объекты, запрограммированные на включение, включаются через дешифратор команд АН, представляющий собой блок реле, контакты которых включают заданный объект.

Блок интервалов (А8) служит для индикации текущего времени интервала и номера интервала.

Дешифраторы А6 и А7 преобразуют коды десятичных чисел (по 4 разряда) в коды сегментов индикаторов.