Принципиальная схема полуавтомата финишной и суперфинишной обработки пластин

Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку

Он предназначен для окончательного механического и химико-механического полирования пластин диаметром 150 мм. Обрабатываемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на диске 3. П/а имеет 4 прижимных диска, закрепленных на штоках пневмоцилиндра 1 на шариковых подшипниках и может свободно вращаться и устанавливаться на поверхности полировального стола 5.

Полировальный стол закрепляется на карусели 6, которая получает вращение от Э/Д 9 через ременную передачу и 2 пары цилиндрических зубчатых колес. Вращается карусель на двух радиальных и упорном шариковых подшипниках с частотой 80 об/мин, при этом прижимные диски так же начинают вращаться за счет трения о полировальный стол, совершая сложное планетарное движение. Из дозатора 2 на полировальник подается полирующая суспензия, стекающая со стола в сборный блок 7 и вновь подаваемая в дозатор насосом 8. Прижим пластин к полировальному столу осуществляется пневмацилиндрами, питаемыми сжатым воздухом через фильтр 10 и редуктор 11. Контролируется усилие прижима механизма 12. Клапаны 13 переключают подачу воздуха в верхнюю и нижнюю полость цилиндра и обеспечивают прижим или подъем пластин. Для обеспечения плавного перемещения штока, воздух в цилиндры подается через включение параллельно обратный клапан 15 и дроссель 14. При подаче воздуха он проходит в цилиндр через обратный клапан, а вытесняется из другой полости через дроссель, что ограничивает скорость перемещения штока. Для стабилизации температуры процесса полировальный стол 5 и прижимные диски 3 охлаждаются проточной водой, поступающей в них через Э/М клапан и управляемые манжетами коллекторы.

Неплоскостность пластины во время одностороннего механического шлифования и полирования во многом определяется качеством приклеивания пластин к блокам.

Требования к системе нагрева изделий

Система нагрева предназначена для нагрева обраба­тываемого изделия до заданной температуры.

Устройство для нагрева изделия должно обеспечить:

- отсутствие загрязнений обрабатываемых изделий материалом нагревателя и примесями из него;

- незначительную инерцию при переходе от одного температурного режима работы к другому;

- воспроизводимые и постоянные с заданной точностью значе­ния температур на всей длине технологической зоны и возмож­ность создания надежной системы автоматического регулирования температурного режима;

- определенный срок службы нагревателя при простоте обслу­живания.

Наиболее распространенными в полупроводниковом производ­стве видами нагрева являются индукционный и резистивный.

Индукционный нагрев

Индукционный нагрев — прогрессивный способ, обла­дающий следующими достоинствами: быстротой, равномерностью и высокой стабильностью нагрева. Нагрев токами высокой часто­ты позволяет осуществлять плавное и точное регулирование тем­пературы.

Индукционный нагрев основан на выделении тепла в резуль­тате возникновения вихревых токов и магнитного гистерезиса (у ферромагнитных материалов) в телах, помещенных в перемен­ное магнитное поле. Температура нагрева возрастает с увеличе­нием частоты тока, поэтому для индукционного нагрева применя­ют частоты, значительно превышающие промышленную (50 Гц) и достигающие десятков мегагерц. Система индукционного на­грева имеет индуктор, подводящие или согласующие цепи и ге­нератор токов высокой частоты. Преобразование электрической энергии в тепловую происходит в самом нагреваемом объекте.

Принципиальная схема индукционного нагрева показана на рис. ниже.