
- •Тема 1 Введение.
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •Техническая система и иерархические уровни технической системы
- •Место технической системы среди других систем предприятия
- •Раздел 2 электронная гигиена
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •Раздел 3
- •Тема 4 «Оборудование для обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата финишной и суперфинишной обработки пластин
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •Требования к системе нагрева изделий
- •Индукционный нагрев
- •Принципиальная схема индукционного нагрева
- •Резистивныи нагрев
- •Схемы электрических печей сопротивления: а — прямой нагрев; б — косвенный нагрев; 1 — нагреваемый материал; 2 — выключатель или магнитный пускатель; 3 —- электронагревательный элемент
- •Электронно-лучевой нагрев
- •Электронно-лучевой испаритель с электронной пушкой Пирса
- •Лучистый нагрев
- •Принципиальная схема термической установки с лучистым нагревом:
- •Плазма и ее использование в ионно-плазменных процессах и ионно-лучевых источниках
- •Схемы возбуждения вч-разряда:
- •Нагрев лазером
- •Типовая схема лазерной технологической установки:
- •Раздел 4 классификация кристаллизационных процессов выращивания монокристаллов полупроводников
- •Конструкция установки для выращивания монокристаллов полупроводников методом чохральского
- •Конструкции тепловых узлов установок для выращивания монокристаллов полупроводников
- •Схемы тепловых узлов с различными видами экранировок:
- •Влияние параметров процесса выращивания монокристаллов на их свойства
- •Различные виды распределения гидродинамических потоков в расплаве:
- •Форма изотерм (пунктир) и потоков тепла (стрелки) в расплаве для нагревателей:
- •Галогенные лампы
- •Современные галогенные лампы предлагают целый ряд существенных преимуществ
- •Галогенно-вольфрамовый цикл
- •Раздел 5 оборудование для операций очистки
- •Конструкции узлов крепления пластин на столе
- •Конструкции узлов крепления пластин на столе
- •Конструкции узлов крепления пластин на столе:
- •Конструкция узлов обработки изделий:
- •Способы интенсификации процесса очистки
- •Пьезоэлектрические излучатели
- •Типы магнитострикционных излучателей:
- •Рабочие ванны с различными типами мешалок:
- •Типы распылительных форсунок:
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •Раздел 6 Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоёв
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Способы проведения жидкостной эпитаксии
- •Установка для жидкостной эпитаксии
- •Циклограмма давлений в установке каждения слоев при пониженном давлении
- •Раздел 7 Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •Раздел 8
- •Раздел 8.1 Оборудование для ионной имплантации.
- •Оборудование для очистки с применением низкотемпературной плазмы, радикалов и ионов
- •Установка с реактором диодного типа и анодной связью:
- •Установка плазмохимической обработки
- •Оборудование для плазмохимического удаления фоторезиста
- •Реакционно-разрядные камеры с подачей газа по четырем направлениям с равномерным рассредоточением потока (г) по отдельным трубкам и четырехсторонним рассредоточением потока (д)
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения гонких пленок
- •Вакуумная установка непрерывного действия "Магна-2м" для нанесения однослойных и многослойных тонких пленок магнетронным распылением:
- •Раздел 9 Газовые и вакуумные системы Общие сведения о вакуумной технике
- •Области вакуума
- •Пластинчато-роторный
- •Пластинчато-статорный
- •Плунжерный
- •Форвакуумный насос
- •Турбомолекулярный насос
- •Модернизированные диффузионные паромасляные насосы
- •Некоторые характеристики рабочих жидкостей высоковакуумных диффузионных насосов
- •Магниторазрядный вакуумный насос норд-25
- •Конденсационный насос со встроенным криогенератором
- •Газовые системы
- •Схемы смесителей:
- •Типовые конструкции клапанов:
- •Корпус; 6 — пружина; 7 — мембрана
- •Регулятор расхода газа: а — конструкция; б — схема включения
- •Магнитные электроразрядные вакууметры
- •Откачка химически активных газов.
- •Объемный дозатор поршневого типа
- •Тэрмоэлектрические преобразователи и термометры сопротивления
- •Общий вид (а) и рабочие концы хромель-алюмелевой (б), платинородий-платиновой (в) и малоинерционной (г) термопар
- •Градуировочные кривые термопар: 1 - хромель-копелевой хк, 2 - хромель-алюмелевой ха, 3 - из сплава нк-са, 4 - платинородий-платиновой пп, 5 - платинородий-платинородиевой пр30/6
- •Платиновые термометры сопротивления:
- •Приборы для измерения и регулирования температуры
- •Автоматический одноточечный потенциометр с ленточной диаграммой ксп4
- •Оптический пирометр и яркости его нити при температурах ниже и выше температуры нагретого тела (б, в) и равной ей (г) :
- •Автоматические системы регулирования и поддержания температуры
- •Раздел 10 Установки совмещения и экспонирования
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •Оборудование для перспективных методов литографии.
- •Система эос
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •Оптико-механическое оборудование для изготовления фотошаблонов
- •Способ генерирования.
- •Фотоповторитель для изготовления эталонных фотошаблонов.
- •Оптическая схема фотоповторителя
- •Раздел 11 Оборудования для сборки имс и заключительных операций
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Общая характеристика установки эм-4480
- •Технические данные установки эм-4480
- •Учебный элемент «Устройство и работа составных частей установки эм-4480»
- •Установка присоединения выводов эм-4480
- •Тумба управления
- •Устройство микросварки
- •Станина
- •Пульт управления
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 12 Оборудование для испытаний и измерений
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
- •Раздел 13 Промышленные роботы и гибкие производственные системы
- •Раздел 14 Ремонт, наладка и профилактические работы.
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Тема. Коэффициенты, характеризующие эффективность работы оборудования.
- •Конюхов и.Е. Ремонт технологического оборудования. Тема. Ремонтно-технологические характеристики оборудования.
- •Надежность.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Методика расчета ремонтного цикла и внутрициклового обслуживания.
- •Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
Раздел 11 Оборудования для сборки имс и заключительных операций
Установка монтажа кристаллов ЭМ-438А предназначена для монтажа кристаллов методом эвтектической пайки с ультразвуковым воздействием и является одной из первых установок этого типа, реализующих автоматический цикл работы. Принципиальная схема установки изображена на рисунке. Рабочий столик 16 оснащен устройством подогрева и системой подачи дискретных корпусов или отрезков лент с выводными рамками из кассет или системой протягивания сплошной ленты-носителя с выводными рамками. Столик 18 с установленной на нем кассетой с кристаллами 19 перемещается координатным приводом 17 так, что под инструментом 21, закрепленным в ультразвуковой головке, в начале каждого цикла обработки останавливается очередная ячейка кассеты с кристаллом. Инструмент опускается, включается вакуумная присоска, захватывает кристалл, затем инструмент перемещается в рабочую зону над столиком 16. Здесь кристалл опускается в корпус или на выводную рамку, установленные на столике и предварительно разогретые до температуры 523 ... 723 К (250 ... 450°С). Подачей тока в спираль 20 инструмент 21 также нагревается до 393 ... 573 К (120 ... 300°С), включается ультразвуковой генератор и производится процесс пайки. Вертикальные движения инструмент получает от электродвигателя 15, совершающего реверсивное вращение на один оборот в одну и другую стороны. При этом вращение передается через червяк 14 и червячное колесо 13, пару шестерен 12 и 10 на кулачок 11, толкатель которого поднимает и опускает сварочную головку.
Кинематическая схема установки эм-438а
Горизонтальные перемещения ультразвуковая головка 2 получает от кривошипа 9, входящего с помощью ролика 6 в паз водила 3 кулисного механизма. Перемещается ультразвуковая головка в шариковых направляющих корпуса 1.
Для регулировки величины и места хода предусмотрены два упора 5, ограничивающие угол поворота водила. При наезде водила на упор оно останавливается, но весь привод продолжает работать, проводя дальнейшее опускание инструмента. При этом вращаться валу позволяет пружина 7, связывающая диск 8, на котором укреплено водило с валом. Усилие прижима инструмента регулируется грузом 4.
На валах привода установлен ряд бесконтактных выключателей, управляющих автоматическим циклом работы и производящих в необходимые моменты времени включение и выключение привода перевода кассеты, включение спирали импульсного нагрева инструмента, реверсивное переключение двигателя 14, обдув кристалла на рабочем столике, вакуумирование вакуумной присоски инструмента.
Техническая характеристика установки ЭМ-438А:
Производительность........ 1000 крист./ч
Размеры монтируемых кристаллов……………. до 1,8X1,8 мм
Температура на рабочем столике.....523 ... 723 К (250 ... 450°С)
Температура нагрева инструмента.....393 ... 573 К (120 ... 300°С)
Потребляемая мощность.......0,6 кВт
Габаритные размеры........1020X660x1277 мм
Масса…………………..... 155 кг
Автомат присоединения кристаллов ЭМ-4085 предназначен ля присоединения кристаллов к корпусам ИС методом эвтектической пайки или с помощью клея. Подача приборов, поиск годного кристалла на пластине и его присоединение производятся автоматически. Автомат оснащен системой искусственного зрения, распознающей годные кристаллы по отсутствию маркировочных пятен, трещин и сколов. Мониторы позволяют контролировать процесс опознавания годных и бракованных кристаллов и процесс посадки кристаллов в корпус.
Размеры присоединяемых кристаллов от 1x1 до 4x4мм при захвате с пялец с автоматическим распознаванием годных и до 10x10мм при захвате с кассеты без распознавания. Кристаллы могут подаваться из кассеты либо с адгезионного носителя. В последнем случае пластина перед скрайбированием наклеивается на органическую пленку — адгезионный носитель и после скрайбирования ломается на кристаллы, которые остаются на носителе. При подаче в установку адгезионный носитель растягивается в рамке, кристаллы несколько расходятся и поочередно снимаются с носителя вакуумным захватом на инструменте и толкателем, действующим на кристалл снизу так, что носитель прогибается и отделяется от кристалла. Линейный шаговый двигатель перемещения рамки с адгезионным носителем обеспечивает быстродействие и надежность автомата.
Многомагазинный механизм подачи оснований корпусов обеспечивает их точную фиксацию на рабочей позиции. При этом автомат может комплектоваться системой питания дискретными корпусами либо отрезками лент с выводными рамками, либо системой питания корпусами на ленточном носителе из бобин. Двухкоординатный стол для перемещения сварочной головки позволяет осуществлять многокристальную сборку и программировать вибрацию инструмента.
Управление автоматом осуществляет микропроцессорный контроллер, имеющий режим обучения и автоматический режим работы.
Технические характеристики автомата ЭМ-4085:
Производительность........3600 крист./ч
Диаметр обрабатываемых пластин .... до 125 мм
Размеры присоединяемых кристаллов:
при использовании адгезионного носителя 1X1... 4X4 мм
при использовании кассет......до 10X10 мм
Максимальное число присоединенных кристаллов
при многокристальной сборке . . . . . . до 99
Погрешность присоединения:
по координатам X и Y.......±0,05 мм
по углу...........±5°
Температура нагрева рабочего стола . . . 523...473 К (250 .. 450 °С)
Потребляемая мощность.......1,6 кВт
Габаритные размеры........300x940x1870
Масса............450 кг
Питание установок осуществляется от сети переменного тока напряжением 380/220В, частотой
50 Гц. Автоматы обеспечивают работу при подаче сжатого воздуха с давлением 0,5-0,6 МПа.
Установки обеспечивают работу в нормальном режиме в точении не менее 16 час. в сутки.
Температура нагрева инструмента, регулируемая в пределах от 120 до300С
Усилие сжатия соединяемых элементов, регулируемое в пределах от 0,4 до ЗН
Время распознавания кристалла не более 0,4С
УСТРОЙСТВО АВТОМАТА.
Автомат состоит из следующих основных узлов и блоков:
Блок отображения информации или видеоконтрольное устройство (ВКУ) предназначен для наблюдения за кристаллами и отображения информации во всех режимах работы автомата.
Осветитель предназначен для наблюдения за кристаллом на позиции ориентации и в рабочей зоне. Стол электрооборудования предназначен для размещения электрических блоков, а так же для крепления корпуса, который является базой для всех основных узлов автомата. Пульт управления предназначен для оперативного управления автоматом и кнопки пульта управления расположены на столе перед оператором.
Обозначение кнопок |
Назначение кнопок |
СЕТЬ
|
Лампы сигнализирующие о наличии напряжения 220В в установке |
ВИЗИР
|
Переключатель включения визира на экране ВКУ. |
КРИСТАЛЛ-PEЗ-ВИДЕО
|
Переключатель выбора канала для отображения на экране ВКУ |
ВИЗИР 1
|
Переключатель сигналов, отображаемых на экране ВКУ. |
ВИЗИР 2
|
Кнопки для манипулирования инструментом и носителем кристаллов или для задания значений программируемых величин |
ВИЗИР 4 |
Кнопки задания вида программирования |
ПУСК |
Кнопка пуска установки |
МОНТ. |
Кнопка для осуществления монтажа в первом после пуска цикле |
СМЕНА
|
Кнопка поворота при замене липкого носителя кристаллов |
ПОДАЧА |
Кнопка запуска механизма подачи |
ИП.
|
Кнопка запуска инструмента и координатного стола в исходное положение |
ОСТАНОВ.
|
Кнопка остановки автомата в исходном положении |
СТОП |
Кнопка экстренной остановки автомата |
РЕЖИМ |
Кнопка задания режимов работы автомата |
АВТ. П/АВТ. ОБУЧ. ВВОД. ПОИСК, НАЛАД. |
Индикаторы режимов работы автомата |
Механизм переноса предназначен для держателей несущих инструмент и присоску:
присоска предназначена для съёма кристалла с адгезийного носителя и укладки его на планку крестовины.
инструмент предназначен для съёма кристалла с планки крестовины на рабочую позицию и присоединения кристалла на основание.
Ориентатор служит для окончательной ориентации кристалла перед захватом его инструментом.
Механизм подкола служит для подкола и облегчения съёма присоской кристалла с адгезийного носителя. Координатный стол предназначен для перемещения липкого носителя с кристаллами по осям Х и У. Крестовина предназначена для расположения кристаллов и имеет четыре лепестка.
ЗРУ (загрузочно-разгрузочное устройство) предназначено для автоматической, подачи корпусов п/л приборов в зону пайки кристаллов. Работа ЗРУ основана на автоматическом захвате ленты из падающей кассеты, перемещении её в зону пайки и загрузки в приемную кассету.
Кроме того при работе происходит автоматическое перемещение на шаг падающей кассеты вниз и приемной вверх. В режиме ПОИСК производится проверка работы и правильности настройки системы поиска кристалла. В этом режиме осуществляется построчный обход пластины с коррекцией положения каждого кристалла и индикацией его годности. В режиме НАЛАД. производят ремонт и наладку автомата.
Устройство УВВК-16-002 может работать как с видеосигналом, так и в режиме отображения алфавитно-цифровой информации. Возможен совмещенный режим, когда часть строк занято под алфавитно-цифровую информацию, а часть – под телевизионное изображение.
При работе с символами устройство само вырабатывает ССИ и отображает на экране символы, записанные по интерфейсу с процессора в память регенерации.
При работе с видеосигналом УВВК работает как телевизионный приемник с упрощенной формой видеосигнала.
Блок анализа изображения формирует сигналы: наличия кристалла, смещения центра кристалла относительно заданных значений, наличие дефекта по метке на поверхности кристалла. Анализ смещения координаты центра кристалла производятся следующим образом.
В счётчик заносится координата Хц кристалла. Видеосигнал, соответствующий сканируемому изображению, преобразуется в двухуровневый сигнал, соответствующий яркости нормального кристалла и яркости изображения между кристаллами. Преобразованный видеосигнал поступает на селектор резов.
При горизонтальном сканировании телевизионной системы поступает частота f, соответствующая скорости сканирования. При появлении уровня «1» из счетчика происходит вычитание с частотой f/2 до появления уровня «0». При этом возможно 3 варианта.
1 вариант. Кристалл расположен строго по заданной координате. В этом случае при появлении уровня «0» содержимое счетчика равно нулю.
2 вариант. Кристалл смещён влево. В этом случае при появлений уровня «0» в счетчике останется величина смещения кристалла влево.
3 вариант. Кристалл смещен в право. В этом случае счётчик обнулится до появления уровня «0», и начнет суммировать поступающие импульсы. При достижении уровня «0» в счетчике будет содержаться величина смещения вправо.
Дефекты кристалла (трещины, сколы), бракованная метка и т,д определяются подобным образом.