- •II часть
- •1.Миниатюризация
- •1.1.Мотивация проведения исследований в области нт
- •1.2.Планы и стратегия развития
- •1.3.Границы изменения масштабов
- •1.4.Связь размеров структур с их функциональностью
- •1.4.1.Распределение атомов и связанные с этим свойства
- •1.4.2.Отношения величина - свойства
- •4 Связь размеров структур с их функциональностью
- •2.1.Введение
- •2.2.Биологические строительные блоки
- •2.2.1. Размеры строительных блоков и наноструктуры
- •2.2.2.Основные объекты нанобиотехнологии
- •2.2.3.Строительные блоки.Синтетические и биологические.
- •2.3.Принципы самосборки
- •2.3.1.Нековалентные взаимодействия
- •2.3.2.Межмолекулярная упаковка
- •2.3.3.Биологическая самосборка
- •2.4.1.Самосборка (Другой источник информации): Понятия и определения
- •2.4.2.Типы межмолекулярных взаимодействий
- •2.4.3.Измерение свойств веществ в наномировом масштабе.
- •3.Нанобиотехнология
- •3.1.Проблемы определения используемых понятий
- •3.2.Технологии типа от нано к био
- •3.3.Технологии типа от био к нано
- •3.4.Нанобиотехнология и молекулярные устройства
- •3.4.1.Общие вопросы
- •3.1. Основные направления развития биотехнологии
- •3.4.2. Молекулярные устройства.3.4.2.1. Общие вопросы
- •3.4.2.2.Молекулярные пинцеты
- •4.4.2.3.Ротаксаны и катенаны
- •4.4.2.4.Вращательное движение
- •4.4.2.5.Возвратно-поступательное движение
- •4.4.2.6.Схемы сборки путем нанизывания кольцевых молекулярных
- •4.Биотехнология, медицина и здравоохранение
- •4.1. Состояние исследований и разработок
- •4.2. Цели, проблемы и решения
- •4.3. Инфраструктура, стратегия и приоритеты
- •4.4. Достижения и новые парадигмы
- •4.4.1. Изучение особенностей биологических систем
- •4.4.2. Нанонаука и нанотехнология в процессах создания биологических тканей (тканевая инженерия)
- •4.4.3. Биологическое детектирование боевых отравляющих веществ
- •4.4.4. Флуоресцентные биологические метки на основе полупроводниковых нанокристаллов
- •4.5.5. Нанотехнология изготовления днк-чипов
- •4.5.Иомиметические нанотехнологии
- •4.5.1. Днк как строительный материал нанотехнологий
- •4.5.1.1. Направленная сборка с помощью днк
- •4.5.1.2. Днк как шаблон для молекулярной электроники
- •4.5.1.3. Моторы и наномашины на основе днк
- •4.5.2.1. Действие биологических моторов
- •4.5.2.2. Биологические моторы как часть синтетических систем
- •4.5.3. Искусственный фотосинтез
- •4.7. Использование наноустройств в космических исследованиях
- •5.2.1.Основные технические характеристики микроскопа "supra 60vp"
- •5.3. Сканирующая зондовая микроскопия
- •5.3.1. Общие принципы сканирующей зондовой микроскопии
- •5.4.Сканирующая зондовая микроскопия
- •5.5.Сканирующая туннельная микроскопия
- •5.7.Атомно-силовые измерения в биологических системах
- •6. Технология рекомбинантных днк
- •6.1.Векторы для Escherichia coli
- •6.2.Идентификация клонированных днк
- •6.3.Экспрессия эукариотических белков в е. Coli
- •6.4. Генетическая инженерия с участием других клеток-хозяев
- •6.5.Получение инсулина на основе методов генетической инженерии
- •6.6.Синтез соматотропина
- •6.7.Получение интерферонов
- •6.8.Генная инженерия растений
- •6.8.1.Получение трансгенных растений
- •6.8.1.6.Применение методов генетической инженерии для улучшения аминокислотного состава запасных белков растений
- •6.8.1.7.Повышение эффективности процесса фотосинтеза
- •6.8.1.8.Генно-инженерные подходы к решению проблемы усвоения азота
- •6.8.1.9.Устойчивость растений к фитопатогенам
- •6.8.1.10.Устойчивость растений к гербицидам
- •6.8.1.11.Устойчивость растений к насекомым
- •6.8.1.12.Устойчивость растений к абиотическим стрессам
- •6.9.1.Типы питания микроорганизмов
- •6.9.2.Типы энергетического обмена у микроорганизмов
- •6.9.3.Питательные среды для культивирования микроорганизмов
- •6.9.4.Источники углерода
- •6.9.5.Источники азота
- •6.9.6.Источники витаминов, гормонов и микроэлементов
- •6.9.7.Биохимические и биофизические факторы роста
- •6.9.8.Конструирование питательных сред для выращивания микроорганизмов
- •6.9.9.Технология приготовления питательных сред
- •6.9.10.Пастеризация как вариант термической стерилизации
- •6.9.11.Стерилизация фильтрацией
- •6.9.12Особенности культивирования эукариотических клеток в качестве продуцентов.
- •10. Что такое паспорт культуры?
- •1. Каковы причины введения международных правил в фармацевтическую практику?
- •9. Экобиотехнология
- •9.1. Введение
- •9.2. Состояние исследований и разработок
- •9.3. Цели, проблемы и решения
- •9.4. Инфраструктура, стратегия и приоритеты
- •9.5. Достижения и новые парадигмы
- •9.6.Биотехнология утилизации твердых отходов.
- •9.6.1. Биотехнология утилизации твердых отходов
- •9.6.2.Биотехнология очистки сточных вод
- •9.7.Биоэнергетика
- •9.8. Ксенобиотики и их биодеградация
4.7. Использование наноустройств в космических исследованиях
Н. Б. Тумарьян1
За последние тридцать лет организация НАСА завершила начальный, разведывательный этап изучения ближайших объектов Солнечной системы. Дальнейшие работы будут связаны либо с полетами к более удаленным целям (в частности к Солнцу или Плутону), либо с аппаратами, способными решать значительно более сложные задачи, такие, как высадка на поверхность небесных тел, отбор образцов и их доставка на Землю. Для осуществления этих крупномасштабных и дорогостоящих исследований НАСА разработала обширный проект под названием «Программа развития технологий для исследований в глубоком космосе» и обозначением Х2000, в рамках которого, начиная с 2000 г., каждые два-три года в космос должны выводиться ракеты с усовершенствованным бортовым оборудованием, предназначенным для изучения Солнечной системы и даже ее окрестностей. Особое внимание уделяется уменьшению размеров космических аппаратов; для этого постоянно снижаются размеры и вес систем авионики (авиационной электроники, бортового оборудования летательных аппаратов).
Рис.4.18. Прогноз развития авионики.
В решении этой задачи важную роль должно сыграть интегрирование микро-и нанотехнологий. На рис. 4.18 представлены прогнозы изменения основных параметров (вес, объем, потребляемая мощность) бортовых электронных устройств. Современному состоянию электронной техники соответствуют данные левой колонки, относящиеся к космическому кораблю «Марс Пасфайндер».
Первое поколение аппаратуры по проекту Х2000 соответствует интегральным системам авионики, в которых объединены функции управления и обработки данных, контроля за положением космического аппарата и его энергетическими установками, согласования режимов работы научных приборов и т. д. Дальнейшая миниатюризация оборудования и развитие техники автоматического управления должны привести к более высокой степени интеграции и созданию модульной, элементной архитектуры, предназначенной для эксплуатации в условиях длительных комических экспедиций. Новые системы авиони-ки будут иметь значительно меньшее энергопотребление по сравнению с современными системами.
Прототипом будущих однокристальных и многокристальных интегральных схем станет разрабатываемая по проекту Х2000 интегральная схема авионики, получившая название «Система на чипе» (System On A Chip, SOAC). Эта интегральная схема будет содержать систему управления энергетическими установками, систему датчиков, телекоммуникационные модули, центральный процессор и запоминающие устройства. Нанотехнология призвана обеспечить как миниатюризацию таких устройств, так и их интеграцию.
Примерно к 2020 г. ожидается реализация программы новых компьютерных технологий, которая позволит не только преодолеть пределы полупроводниковой технологии, но и создать полностью автономные, высокоэффективные и низкоэнергетические «мыслящие космические аппараты». Безусловно, для этого потребуется применение нанотехнологий, поскольку обычная, цифровая вычислительная техника (даже с учетом ее успехов за последние годы и возможного создания в будущем суперкомпьютеров) не сможет соревноваться с биологическими системами в задачах распознавания образов, чувственного восприятия, управления в сложных условиях или адаптации к окружающей среде. В разделе «5-е поколение» (рис. 4.18) представлены две нанотехнологий, которые будут определять возможности космических аппаратов 2020 г.:
• Квантовый компьютер. Такое устройство должно быть создано на основе объединения принципов традиционной вычислительной техники и квантовой физики. Хотя концепция квантового компьютера проста, этого нельзя сказать о ее реализации. Разработка квантового компьютера мотивируется двумя проблемами:
— Использование квантовых представлений, возможно, позволит решить математические задачи, недоступные обычным вычислительным методам.
— С точки зрения миниатюризации вычислительных устройств важен размер устройства, приходящийся на 1 бит информации. В последние годы в связи с развитием нанотехнологий и проблемами конструирования полупроводниковых микромеханических устройств ставится вопрос о доведении миниатюризации до квантового предела. Поэтому идея квантового компьютера, в котором носителями информации являются отдельные атомы, привлекает внимание ученых многих областей.
• Биомиметические устройства. Биомиметикой называется научное направление, связанное с имитацией биологических процессов. Это направление основано на исследованиях архитектуры, функций, механизмов и принципов действия биосистем. Ниже приводятся примеры биомиметических объектов, представляющих интерес для нанотехнологий:
— 1 г ДНК может содержать столько же информации, сколько библиотека Конгресса США.
— Мозг человека содержит около 1014 внутренних связей и может осущест-, влять до 1016 операций в секунду, причем его работа отличается высокой
точностью и очень низким энергопотреблением.
— Человеческий организм обладает высокоэффективной иммунной системой, которую можно назвать «системой саморемонта».
В дальнейшем, когда исследования этих явлений позволят создавать небольшие и легкие устройства с низким энергопотреблением, НАСА сможет создавать и запускать космические зонды для решения задач, недоступных в настоящее время.
6.5.9. Биологический нанокомплекс для переноса лекарственных соединений
С. Ли1
На рис. 4.19 представлен новый противораковый нанокомплекс РК1, который переносит к опухоли лечебный препарат цитотоксин (доксорубицин). Процесс направленного переноса обусловлен эффектом повышенной проницаемости и удерживания комплекса в пораженных болезнью тканях, где нарушена целостность сосудистой системы организма. Идея метода заключается в том, что К-2-(гидроксипропил)метакриламид, составляющий основу препарата РК1,
Рис.4.19 Биологический противораковый нанокомплекс РК1
Рис. 4.19. Биологический противораковый нанокомплекс РК1 [54].
образует наноразмерный комплекс, который из-за своих размеров не может проникать с кровотоком в здоровые ткани организма. Однако в пораженных раком тканях проницаемость сосудистой системы резко возрастает, вследствие чего в них проникают комплексы РК1. Доксорубицин, связанный с комплексом, не является токсичным и не представляет угрозы здоровым тканям. В своей активной форме он высвобождается главным образом внутри пораженных тканей. Объединение К-2-(гидроксипропил)метакриламида и доксо-рубицина в единый комплекс осуществляется при помощи связывающего агента, в качестве которого был выбран лабильный пептидный линкер, так как он является питательной средой для протеазы (известно, что опухолевые ткани производят протеазу в повышенных количествах). Использование РК1 позволяет более чем на порядок повысить применяемые дозы доксорубицина, как с помощью направленного переноса, так и из-за преимущественного выделения доксорубицина в пораженных тканях. Метод проходит клинические испытания в Европе. Дополнительным преимуществом данного препарата и аналогичных средств на полимерной основе является то, что в них используются монодисперсные нанополимеры (дендритного строения), что позволяет управлять эффектом направленного переноса, а также вводить так называемые домены «причаливания» (дающие возможность антигенам связывать комплекс именно при поступлении в зону опухоли) или добавлять другие антираковые препараты, обладающие синергизмом действия с цитотоксинами, включая ан-гиостатические агенты [53].
4.8. Нанотехнология на чипе: новая парадигма систем полного химического анализа
Т. А. Михалске1
Разработка более дешевых и удобных методов получения информации о химической и биологической структуре веществ имеет большое значение для медицины, контроля качества пищевых продуктов, служб правопорядка и национальной безопасности и других сторон общественной жизни США. Сейчас в разных странах ведутся работы по созданию широкодоступной системы химического анализа n-ChemLab™-on-a-chip. Эта система микро-полного анализа (micro-total analysis system ц-TAS) отличается от обычных датчиков, поскольку она осуществляет полный анализ (на вход системы подается анализируемая смесь, на выходе системы получается ответ о ее составе). Национальная лаборатория Сандия разрабатывает переносную демонстрационную модель ц-TAS, способную анализировать газообразные боевые отравляющие вещества и жидкие взрывчатые вещества. В работе над созданием ц-TAS участвует междисциплинарная исследовательская группа из 50 специалистов в различных областях (микрообработка, химическое распознавание, микрогидродинамика, информатика). Хотя нанотехнология играет важную роль в разработках системы ц-TAS, однако пока основные достижения в этой области связаны с миниатюризацией уже известных компонентов и устройств. Пока используются малогабаритные клапаны, трубки, насосы, разделительные колонки и т. д., представляющие собой уменьшенные копии деталей обычной аппаратуры. Хотя они функционируют не хуже (а иногда и лучше) своих крупномасштабных аналогов, однако такой подход не позволит создать химическую лабораторию микроскопических размеров.
Нанотехнология делает реальным замысел системы ц-TAS с совершенно новой архитектурой, или нано-TAS, поскольку предлагает совершенно новый подход к изготовлению клапанов, насосов, устройств химического разделения и обнаружения и т. д. из материалов с переключаемыми молекулярными функциями. Например, потоки жидкостей можно было бы направлять не по предварительно созданной системе физических каналов, а посредством изменения поверхностной энергии. Переключаемые молекулярные мембраны могли бы заменить механические клапаны. Посредством исключения сложных гидродинамических сетей и микромасштабных компонентов (используемых в современных проектах систем ц-TAS) концепция нано-TAS обеспечит более широкий набор рабочих функций и снижение энергопотребления системы полного химического анализа при гораздо меньших ее размерах.
4.9. Разработка систем наноразмерной робототехники
U. У. Тилден, Т. К. Ло/
В принципе, можно допустить мысль об изготовлении нанороботов, которые выполняли бы достаточно сложные функции либо независимо друг от друга, либо после самосборки в некоторые системы. Вообразите, например, высокоразрешающий видеоэкран, который может производить «саморемонт», просто имея микроскопического робота на каждом элементе экрана. Такие «пикселбо-ты» (pixel — элемент или точка растра) были бы способны производить свет, но были бы также достаточно «умными», чтобы удалить себя с экрана при поломке. Другие пикселботы при этом должны были бы почувствовать образовавшуюся вакансию и перегруппироваться для ее заполнения. Другой пример — введение в человеческий организм микророботов-санитаров, которые химически безвредны, но способны удалять раковые клетки в месте их образования. Обладая способностью отличать больные клетки от здоровых, такие роботы функционировали бы независимо от организма и непрерывно лечили бы ткани, не мешая обычному ходу биохимических процессов в организме. Аналогичный подход может быть использован для создания самооптимизующихся кремниевых запоминающих устройств и процессоров: при возникновении неполадок пользователь просто должен был бы подождать, пока компьютер сам себя не отремонтирует.
Для создания таких устройств требуется исследование свойств автономных систем, способных к самосборке. Сотрудники Лос-Аламосской национальной лаборатории изучают такие системы, создавая очень недорогие и достаточно крупные роботы (рис. 4.20), которые способны адаптироваться к окружению, включая взаимодействие с другими роботами при выполнении некоторых задач (например, при обнаружении неразорвавшихся мин, как показано на рисунке). Характеристики таких «умных» клеточных систем сохраняются при изменении масштаба и могут быть использованы при создании разнообразных наномашин, способных выполнять невообразимые операции. Подобные разработки могут иметь огромный коммерческий потенциал.
рис.4.20.
Модельная система для нанороботехники
[55,56].Самособирающиеся роботы (диаметром
7,5 см) отмечают место,где под землей
находится неразорвавшаяся мина. Такие
роботы дешевы,питаются от солнечных
батарей и не имеют процессора (что
облегчает их применение и миниатюризацию).
4.10. Интеграция нанотехнологий в микросистемах
С.Т.Пикро
Достижения нанотехнологии будут иметь важное значение для разработки интегрированных микросистем .
Интеграция микроэлектронных,микроэлектромеханических,оптических и химических микродатчиков в единые <<системы на-чипе>> является именно тем направлением,которое позволит одновременно использовать механические,оптические и химические свойства материалов.На рис.4.21 представлены возможные варианты применения таких миниатюрных интегрированных систем,которые смогут чувствовать,думать,говорить
Рис.4.21. Возможности создания и использования интегрированных микросистем, в которых совместно используются механические,электрические,оптические и химические свойства наноматериалов.
(общаться) и действовать. Однако для их создания необходимо научиться управлять наномасштабными процессами. Так, например, возможность создания указанных на рисунке МЭМС и устройств фотоники зависит от успехов в изучении новых явлений в нанонауке и процессов в нанотехнологии.
5. Новые методы исследования
Головин 68-76
5.1Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ), или Transmission Electronic Microscopy (ТЕМ) в английском написании. Исторически первым бы создан именно просвечивающий электронный микроскоп (М. Кнолль и Э. Руска, 1931 г.). С тех пор, несмотря на множество технических усовершенствований, улучшающих разрешение, облегчающих работу и анализ полученных изображений, его принципиальная схема (рис. 5.1.) не претерпела существенных изменений.
Электронно-лучевая пушка с термоэмиссионным или электрополевым катодом испускает поток электронов, который формируется в упорядоченный пучок необходимой геометрии с помощью магнитных линз, играющих роль конденсоров в оптической системе. Фокусировка пучка осуществляется изменением тока в магнитных катушках, а не положением линз, как в оптическом микроскопе. Она основана на отклонении электронов магнитным полем (силами Лоренца) в направлении, перпендикулярном как к вектору скорости движения, так и к вектору индукции поля.
Рис.5.1. Принципиальная схема просвечивающего электронного микроскопа.
Пучок проходит через образец, собирается магнитной объективной линзой, а затем с помощью проекционных линз подается на люминесцентный экран, который визуализирует информацию об образце. Получаемое изображение может быть увеличено дополнительно посредством оптического микроскопа. Все устройство размещают в колонне, откачиваемой до высокого вакуума, чтобы
Рис. 5.2. Общий вид просвечивающего электронного микроскопа "LIBRA 200FE" фирмы Carl Zeiss
избежать рассеяния и потерь энергии электронов от столкновения с молекулами воздуха (рис. 5.2).
Для регистрации изображения сначала применяли фоточувствительные материалы (фотопленку, фотопластинки), однако в последнее время они вытесняются цифровыми матрицами (как в цифровых фотокамерах). Это позволяет сразу же получать оцифрованную информацию об образце, обрабатывать ее, используя современные компьютерные программы анализа изображений и сохранять в долговременной памяти.
Для повышения разрешения, увеличения числа рабочих мод (доступных методов исследования), расширения сервисных возможностей современные электронные микроскопы могут быть дополнительно оснащены электрополе-выми катодами (на основе диода Шоттки), специальными энергетическими фильтрами (монохроматизаторами) для падающего пучка электронов и спектрометрами - для прошедшего, прецизионными гониометрами с большим числом степеней свободы (до шести), компьютеризированной системой управления прибором и обработки данных и др.
В качестве примера на рис. 5.2 показан просвечивающий микроскоп "LIBRA 200FE" германской фирмы Carl Zeiss.
Основные технические характеристики микроскопа "LIBRA 200FE"
Ускоряющее напряжение, кВ.............................................. 120...200
Предельное пространственное разрешение, нм....................... < 0,14
Энергетическое разрешение спектрометра, эВ........................ < 0,7
Вакуумная система................................................... Безмасляная
Управление и графический интерфейс.........................Под Windows ХР
В конце 2005 г. эта фирма сообщила о разработке и окончании испытаний ультравысокоразрешающего трансмиссионного электронного микроскопа (UHRTEM). В нем достигается субангстремное разрешение - 0,08 нм при U = = 200 кВ (и даже 0,07 нм в некоторых специфических направлениях на изображении структуры).
Образцы для ПЭМ должны быть тщательно подготовлены. Поскольку длина свободного пробега электронов в конденсированном веществе при рабочем ускоряющем напряжении в сотни киловольт составляет доли микрометра (максимум - единицы микрометров), для исследования этим методом доступны только очень тонкие фольги или срезы. Первые получают полировкой, электрохимическим или ионным травлением, вторые - срезанием тонких слоев на специальной машине - микротоме (главным образом, для полимерных и биологических материалов).
Другая возможность - приготовление реплик с поверхности исследуемого образца. Они могут изготавливаться методом осаждения, напыления и др. Лучшие результаты ПЭМ дает для пленок, имеющих толщину, сравнимую с длиной свободного пробега электронов.
Обычно используют два основных режима работы ПЭМ, которые позволяют получить: а) изображение образца или б) дифракционную картину рефлексов. Изображение формируется вследствие того, что разные атомы рассеивают и поглощают быстрые электроны с различной эффективностью. Пример изображения карбоновых наноструктур в ПЭМ высокого разрешения показан на рис. 5.3.
Как уже упоминалось выше, рассеяние может быть упругим и неупругим. В первом случае энергия и длина волны падающего излучения не меняются. Упругое рассеяние приводит к дифракции и интерференции волн, создающих дифракционную картину от объекта, неупругое вызывает различные возбуждения в атомах исследуемого вещества и переизлучение, что используется в разнообразных методах микроанализа химического состава.
рис. 5.3. Электронная микрофотография луковичных и трубчатых углеродных наноструктур, полученная с помощью просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения [3.18]
Как известно, в дифракционной картине от периодических структур имеются максимумы (рефлексы) различного порядка: нулевого, первого, второго и т.д. в зависимости от угла, отсчитанного от нерассеявшегося пучка, и периодичности структуры. Электронные микрофотографии получают в условиях, когда апертурная диафрагма вырезает из общего потока только центральный пучок (дифракционный максимум нулевого порядка). Они могут дать сведения о размерах и форме отдельных зерен, фаз и других структурных единиц.
Информация другого рода содержится в электронограмме - дифракционной картине, получаемой при пропускании максимумов более высокого порядка (при большей апертуре диафрагмы). После соответствующей обработки по ней можно судить о типе кристаллической решетки, межплоскостных расстояниях, ориентации кристаллитов и др.
Небольшие изменения в оптической системе ПЭМ позволяют наблюдать объект как в светлом, так и в темном поле (подобно оптической микроскопии).
Значительно увеличить объем информации, извлекаемый из снимков и изучения деталей, интенсивность которых близка к шуму, можно после использования специальных методов обработки изображения, например быстрого преобразования Фурье.
5.2.Растровая (сканирующая) электронная микроскопия (РЭМ), или Scanning Electronic Microscopy (SEM) в английском переводе. В отличие от обычного просвечивающего микроскопа в растровом изображение строится не одновременно во всех точках, а последовательно, путем сканирования образца сфокусированным пучком по определенной траектории от точки к точке. Синхронно на мониторе по экрану движется луч, формирующий изображение, как это делается в обычном телевизоре.
Обобщенная принципиальная схема РЭМ представлена на рис. 5.4.
Одновременно все изображенные (и не изображенные) на рис. 5.4 приспособления, конечно, не используют. Их устанавливают по мере необходимости и обычно поставляют опционно.
Впервые растровые электронные микроскопы были построены, так же как и просвечивающие, в 30-е годы прошлого века. Ввиду своей многофункциональности и универсальности они получили большее распространение, чем ПЭМ.
Зондом в РЭМ является тонкий пучок электронов (обычно диаметром порядка 1 мкм, а в лучших образцах ~ 1 нм), который сканирует образец в результате работы магнитной отклоняющей системы. Разрешение в РЭМ определяется диаметром пучка, ускоряющим напряжением (как правило, в диапазоне 0,1... 30 кВ) и рядом других обстоятельств. Обычно оно составляет около 1 мкм, но путем различных усовершенствований его можно довести до 1...5 нм, а в отдельных случаях (просвечивающая РЭМ) - до 0,2.. .0,3 нм.
Наряду с прошедшими через образец электронами в РЭМ можно регистрировать множество других эффектов и сигналов из облучаемой зоны: эмиссию света (катодолюминесценцию), тормозное и характеристическое рентгеновское излучение, отраженные, вторичные и Оже-электроны, разность потенциалов на противоположных сторонах образца и др. В каждом из этих сигналов содержится независимая информация об облучаемой зоне, что делает РЭМ намного более информативной и универсальной, чем ПЭМ.
Так, растровая микроскопия позволяет исследовать микрорельеф, определять локально химический состав, распределение отдельных элементов по образцу, проводить рентгеновский спектральный анализ в заданных точках и др. РЭМ дает возможность получать снимки с большой глубиной резкости, что делает его незаменимым инструментом в исследованиях шероховатых поверхностей, биообъектов и структур со сложной топологией, трехмерных наноэлек-тромеханических систем и т.п.
Все эти дополнительные возможности появляются благодаря неупругим столкновениям зондирующих электронов с атомами образца. Очень важны од-ноэлектронные возбуждения атомов. Если падающий электрон возбуждает электрон из верхней оболочки или валентной зоны, то такое возбуждение может релаксировать путем излучения фотона (катодолюминесценция), эмиссии вторичных электронов или Оже-электронов. Если происходит выбивание электрона из нижних оболочек (например, /("-оболочки с главным квантовым числом п - 1,
Рис.5.4. Обобщенная принципиальная схема РЭМ: ДЭ- детектор электронов; РД- детектор ренгеновского излучения
Рис. 5.5. Общий вид растрового электронного микроскопа "SUPRA 60VP"
L-оболочки с п = 2 и т.д.), то возникает характеристическое рентгеновское излучение .
Параметры всех этих видов эмиссии сильно зависят от природы атома, претерпевшего возбуждение. Следовательно, соответствующие сигналы содержат информацию о химическом составе области облучения. Падающие электроны могут вызвать и коллективные виды возбуждения (фононы, плазмоны и др.), которые также могут служить источником информации о материале образца.
В качестве примера современного растрового электронного микроскопа на рис. 5.5 показан прибор "SUPRA 60VP" фирмы Carl Zeiss. В вакууме он обеспечивает разрешение 1 нм (при ускоряющем напряжении 15 кВ) и позволяет достигать разрешения 2 нм (при С/" — '30 кВ) в условиях остаточного давления до 133 Па. Последнее полезно для исследования биообъектов. Высокое разрешение сочетается с большим набором аналитических возможностей (спектроскопия энергетических потерь, дисперсионных характеристик, дифракционные методы в обратном рассеянии и др.).
