Литература / (тоже супер) физосновы для экз
.pdf
110 |
Р А З Д Е Л 1 |
Концентрация свободных электронов в германии определяется следующим образом:
n0 = GT3/2exp[–(Ec – EF)/kT] =
(1.2.1)
= Ncexp[–(Ec – EF)/kT].
Здесь G = 4,83 1021 м–3 К–3/2 — константа, связывающая число электронов в единице объема в зоне проводимости с температурой и энергией уровней, Nc — эффективная плотность состояний в зоне проводимости, определяемая выражением
Nc = 2(2πm*kT/h2)3/2 = 2{[(2πmk)3/2 T3/2]/h3}.
Согласно условиям задачи nn = 4,4 1022 м–3. Поскольку разница между донорным уровнем
идном зоны проводимости равна 0,01 эВ, а ширина запрещенной зоны Eg = 0,72 эВ, можно предположить, что все атомы примеси ионизированы,
ипоэтому можно пренебречь тепловой генерацией
носителей. Тогда можно вычислить величину Nc при заданной температуре Т = 300 К. Подставляя
в выражение для Nc значение T3/2 = 3003/2 = 5196, находим, что Nc = 4,83 1021 5196 = 25 1024 м–3.
Перепишем выражение (1.2.1) в виде exp[(Ec – EF)/kT] = Nc/nn или (Ec – EF)/kT = ln(Nc/nn). Отсюда получаем
Ec – EF = Eg – EF = kT ln(Nc/Nn) Дж.
Таким образом, EF = 0,72 – 300 1,38 10 –23 (1/ /610 – 19) ln(25 1021/4,4 1022) = 0,165 эВ. Это означает, что уровень Ферми находится примерно на 0,17 эВ ниже дна зоны проводимости.
Задача 1.3. Концентрация электронов и дырок в примесных полупроводниках. Выведите точное выражение для концентрации дырок pn в полупроводнике n-типа через концентрацию доноров Nд и собственных носителей тока ni. Выведите также выражение для концентрации электронов np
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
111 |
в материале p-типа через концентрацию акцепторов Nа и собственных носителей тока ni. Предположите, что все примеси ионизированы. Найдите отношение Nд/ni, если nn = 1,005 Nд. Вычислите pn, если концентрация собственных носителей ni для германия при температуре 300 К равна 4 1019 м–3. Найдите приближенные выражения для pn и np, если Nд ≥ ni в материале n-типа и Nа ≥ ni в материале p-типа.
Р е ш е н и е. Для полупроводника n-типа справедливо следующее равенство:
(1.3.1)
Здесь nn — концентрация электронов в материале n-типа, м–3; pn — концентрация дырок в этом материале, м–3; Nд — концентрация доноров (атомов
примеси), м–3. |
|
Используем классическое соотношение |
|
nn pn = ni2, |
(1.3.2) |
где ni — число пар «электрон — дырка», м–3. Отсюда находим концентрацию электронов
nn = ni2 / pn. |
(1.3.3) |
Подставляя (1.3.3) в (1.3.1) получаем |
|
ni2 / pn = pn + Nд. |
(1.3.4) |
Так приходим к уравнению |
|
pn2 + Nд pn − ni2. |
(1.3.5) |
Решение этого уравнения имеет вид |
|
pn = Nд/2{[1 + 4 (ni/Nд)2]1/2 – 1}. |
(1.3.6) |
Аналогично для полупроводника p-типа имеем
pp = np + Nа, |
(1.3.7) |
где pp — концентрация дырок, м–3; np — концентрация электронов, м–3; Nа — концентрация акцепторной примеси, м–3.
112 |
Р А З Д Е Л 1 |
Снова используя соотношение |
|
pp np = ni2, |
(1.3.8) |
определяем pp. Подставляя полученное выражение вместо pp в (1.3.7), после соответствующего преобразования получаем уравнение
n2p Nаnp − ni2 = 0, |
(1.3.9) |
решение которого имеет вид |
|
np = Nа/2{[1 + 4(ni/Nа)2]1/2 – 1}. |
(1.3.10) |
Таким образом, полученные решения (1.3.6) и (1.3.10) представляют собой точные соотношения для концентрации электронов и дырок в примесных полупроводниках.
Преобразуя выражение (1.3.1) и подставляя в него, согласно условиям задачи, nn = 1,005 Nа, получаем
pn = nn – Nд = 1,005 Nд – Nд = 0,005 Nд.
Подставляя значение pn/Nд = 0,005 в соотношение (1.3.6), имеем
0,005 = 1/2{–1 + [1 + 4(ni/Nд)2]1/2}
или 1,01 = [1 + 4(ni/Nд)2]1/2. Отсюда находим соотношение
Nд/ni = 14,1
и тогда
Nд = 14,1 4 1019 = 5,64 1020 м3. Следовательно, концентрация дырок равна
pn = 0,005 Nд = 0,005 5,64 1020 = 2,82 1018 м3.
Если Nд ≥ ni и к соотношению (1.3.6) применить биномиальную формулу
(1 + x)m = 1 + mx + m(m – 1)x2/2 + ..., то для первых членов получим
pn = 1/2{–Nд + Nд[1 + 2(ni/Nд)2]} = ni/Nд(Nд ≈ nn).
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
113 |
При условии, что Nа ≥ ni, для полупроводников p-типа имеем
np ≈ ni/Nа(pp ≈ Nа).
Задача 1.4. Подвижность электронов. Образец германия имеет концентрацию доноров Nd = 2 1020 м–3. Эффективная масса электрона m* = 1,57m0, а донор можно считать рассеивающим центром с r = 5 10–2 мкм. Чему равны средняя длина свободного пробега и среднее время между столкновениями при T = 300 К? Определить подвижность электронов.
Ре ш е н и е. Средняя длина свободного пробега
λ= 1/(Nπr2), где r — радиус сферического рассеивающего центра, а N — концентрация носителей заряда. В данном случае
λ= 1/(2 1020 π 25 1016) = 0,64 10–6 м.
Среднее время между столкновениями τ = λ/v, где v — средняя скорость электронов. Известно также, что
m*v2/2 = 3/2kT.
Тогда
τ= 2(m*/3kT)1/2 = 0,64 10–6
(1,57 9,106 10–31/3 1,38 10–23 300)1/2 =
=0,69 10–11 c.
Подвижность
μ= qτ/m* = 1,602 10–19 0,69 10–11/1,57
9,106 10–31 = 0,77 м2/(В с).
Задача 1.5. Диффузионная длина. Вычислить диффузионную длину электронов в германии p-типа и дырок в германии n-типа, если время жизни неосновных носителей заряда τn = τp = 10–4 c, коэффициенты диффузии для герма-
114 Р А З Д Е Л 1
ния p-типа Dn = 47 10–4 м2/с и для германия n-типа Dp = 47 10–4 м2/с.
Р е ш е н и е. Из выражения
Dnτn = L2n
находим диффузионную длину электронов
Ln = |
Dnτn = |
99 10−4 10−4 = 0,99 мм. |
Диффузионная длина дырок |
||
Lp = |
Dpτ p = |
47 10−4 10−4 = 0,69 мм. |
Задача 1.6. Дрейфовые и диффузионные токи.
Покажите, в чем заключается различие между дрейфовым и диффузионным токами в полупроводнике. Какую роль играет каждый из этих токов в работе полупроводникового прибора. Докажите, что коэффициент диффузии D для любого типа носителей заряда определяется выражением
D = kTμ/q,
где k — постоянная Больцмана; T — абсолютная температура; μ — подвижность носителей заряда; q — заряд электрона.
Р е ш е н и е. Если полупроводниковый образец находится во внешнем электрическом поле E, то через него течет дрейфовый ток плотностью
J = nqμE.
При инжекции носителей заряда с одной из сторон образца в этой области образуется высокая, а с противоположной стороны — низкая избыточная концентрация носителей. Поэтому носители диффундируют из области с высокой концентрацией.
Для плотности электронного и дырочного тока имеем
Jn = qDn (dxn),
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
115 |
Jp = −qDp dxp .
Следовательно, диффузионные электронный и дырочный токи записываются в виде
In = qDnS(dxn),
Ip = −qDpS dxp ,
где Dn и Dp — коэффициенты диффузии электронов и дырок, м2/с; S — площадь потоков.
В общем случае электроны и дырки могут перемещаться посредством дрейфа и диффузии. При этом плотность электронного тока имеет вид
Jn = nqμ n E + qDn ( |
n), |
(1.6.1) |
|
|
dx |
|
|
а плотность дырочного тока |
|
|
|
|
p |
(1.6.2) |
|
Jp = pqμ p E + qDp |
dx |
. |
|
|
|
|
|
Уравнения (1.6.1) и (1.6.2) называют уравнениями потока или диффузионно-дрейфовыми уравнениями. В обоих уравнениях члены, описывающие дрейфовый ток, положительны, так как противоположно заряженные частицы в электрическом поле, двигаясь в разные стороны, создают ток одного и того же направления. Члены, описывающие диффузионный ток, имеют противоположные знаки, поскольку градиент концентрации заставляет оба вида частиц диффундировать в одном направлении. А в силу того, что заряды частиц имеют разные знаки, токи, создаваемые их диффузией, текут в противоположных направлениях.
Рассмотрим неравномерно легированный образец. В условиях теплового равновесия, т.е. в услови-
116 |
Р А З Д Е Л 1 |
ях отсутствия освещения, градиентов температуры и внешнего электрического поля, имеем Jp = 0. Используя это условие в уравнении (1.6.2), получаем
d |
p |
|
|
|||
pqμ p E = qDp |
|
|
|
, |
(1.6.3) |
|
dx |
||||||
|
|
|
|
|||
а затем, подставляя E = –dV/dx и разделяя переменные, получаем уравнение
|
d p |
|
|
μ p |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
= |
− |
|
|
|
dV. |
|
|||
|
p |
|
Dp |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Интегрирование |
|
этого |
уравнения |
|||||||||
ствующее преобразование дают |
|
|
||||||||||
|
p = |
|
|
|
|
− |
|
μ pV |
|
|||
|
A exp |
|
|
|
|
|
, |
|||||
|
|
Dp |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
где A — константа. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Аналогично находим |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
n = |
|
|
|
|
− |
μ |
n |
V |
|
||
|
B exp |
|
|
. |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Dn |
|
|
||
(1.6.4)
и соответ-
(1.6.5)
(1.6.6)
Сравнивая (1.6.5) и (1.6.6) с выражениями
p = n exp |
|
− |
|
qV |
|
, |
(1.6.7) |
||||||
|
|
|
|
||||||||||
|
|
i |
|
|
|
kT |
|
|
|||||
n = n exp |
|
− |
qV |
|
, |
(1.6.8) |
|||||||
|
|
|
|||||||||||
|
|
i |
|
|
|
|
kT |
|
|
||||
получаем соотношение Эйнштейна |
|
||||||||||||
|
μ p |
= |
μn |
= |
q |
|
|
|
|||||
|
|
Dn |
|
|
|
||||||||
|
Dp |
|
|
kT |
|
|
|||||||
или в общем виде
D = kTqμ .
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
117 |
Другое доказательство. Для газа в равномерном состоянии имеем p = nkT. Градиент давления
dp/dx = kT(dn/dx)
представляет собой ту силу, которая заставляет газ расширяться в доступный для него объем.
Вполупроводнике, в котором на расстоянии x от инжектирующего контакта существует неравномерно распределенная избыточная концентрация электронов n, возникает внутреннее поле E.
Сила, действующая на электрон, равна qE, а сила, действующаяна n электронов,есть nqE = nqu/μ. В условиях теплового равновесия
nqEμn = qDn (ddxn),
т. е. дрейфовая составляющая тока равна диффузионной. Таким образом, для силы, действующей на n электронов или для градиента давления, имеем
Отсюда находим
qDn = kT.
μn
Аналогично находим соотношение для дырок qDp/μp = kT. Таким образом, в общем виде для коэффициента диффузии носителей заряда имеем соотношение:
D = kTqμ .
Задача 1.7. Потенциальный барьер на p-n- переходе. Объясните кратко, почему при нулевом смещении на границе p-n-перехода существует по-
118 Р А З Д Е Л 1
тенциальный барьер, и покажите, что его высота определяется выражением
ϕ = kT lg Nа Nд , e ni2
где Nа и Nд — концентрации акцепторов и доноров в дырочной и электронной областях соответственно; ni — концентрация собственных пар «электрон — дырка». Подробно расскажите, как приложенное внешнее напряжение действует на потенциальный барьер.
Р е ш е н и е. В реальных p-n-переходах либо Nа ≥ Nд, либо Nа ≤ Nд, где Nа и Nд — концентрации акцепторов и доноров в дырочном и электронном материалах. В любом из этих случаев заряд по обе стороныграницыпереходараспределенпо-разному и, следовательно, на переходе существует потенциальный барьер. В наиболее распространенном случае Nа ≥ Nд в дырочной области концентрация дырок pp высока, а концентрация электронов np очень низка. В электронной области высокая концентрация электронов nn и очень низкая концентрация дырок pn. При нулевом смещении дырочный и электронный ток состоит из двух компонент. Дырочный ток имеет следующие две компоненты: дрейфовый ток, создаваемый дырками — неосновными носителями в электронной области — при их переходе из электронной в дырочную область под действием электрического поля; диффузионный ток, создаваемый дырками — основными носителями дырочной области — при диффузии их из этой области через потенциальный барьер.
Поэтому плотности электронного и дырочного тока определяются выражениями
Jp = pqμ p E − qDp |
dp |
, |
(1.7.1) |
|
dx |
||||
|
|
|
||
Jn = pqμn E − qDn dn. |
(1.7.2) |
|||
|
dx |
|
|
|
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
119 |
Запишем условие нулевого смещения Jp = Jn = 0. Применим его к (1.7.1), откуда получим
pqμ p E = qDp dxdp
или, разделяя переменные, будем иметь
μ p |
dp |
|
|
||
|
|
Edx = |
|
. |
(1.7.3) |
|
p |
||||
|
Dp |
|
|
||
На рисунке 1.27 приведено распределение электростатического потенциала на p-n-переходе в условиях равновесия.
Рис. 1.27
Распределение потенциала на p-n-переходе
Согласно соотношению Эйнштейна для диффузии
μ p
Dp
Подставляя это ние (1.7.3), получаем
=μn = q .
Dn kT
соотношение в уравне-
q |
Edx = |
dp |
. |
(1.7.4) |
kT |
|
|||
|
p |
|
||
Интегрируя это уравнение в пределах от V1 до V2 и подставляя E = –dV/dx, имеем
