Литература / (тоже супер) физосновы для экз
.pdf
90 |
Р А З Д Е Л 1 |
зарядов, втекающих в рассматриваемый объем или вытекающих из него.
Закон сохранения количества электричества для полупроводников с учетом процессов генерации и рекомбинации свободных носителей заряда, а также одновременного присутствия разноименно заряженных подвижных носителей выражается следующими соотношениями:
∂p = − p − p0 |
|
∂t |
τ p |
∂n = − n − n0 ∂t τn
−1q divJp + Gp,
−1q divJn + Gn.
(1.117)
(1.118)
Эти соотношения называют уравнениями непрерывности для дырочной и электронной составляющих плотности тока в полупроводнике. Первые слагаемые в правых частях уравнений (1.117), (1.118) характеризуют процессы рекомбинации дырок и электронов (p и n — неравновесные, p0 и n0 — равновесные концентрации дырок и электронов, τp и τn — времена жизни дырок и электронов). Величины Gp и Gn характеризуют скорости процессов генерации дырок и электронов.
В общем случае плотности дырочного и электронного токов включают в себя дрейфовую и диффузионную составляющие, причем для одномерного приближения каждая из этих составляющих может быть выражена таким образом:
Jp = qpμ p E − qDp |
dp |
, |
(1.119) |
|
dx |
||||
|
|
|
||
Jn = qnμn E + qDn dn. |
(1.120) |
|||
|
dx |
|
|
|
Подставляя эти выражения в (1.117), (1.118) и снова ограничиваясь одномерным случаем, получаем уравнения непрерывности:
∂p |
= − |
p − p0 |
+ Dp |
∂2 p |
− μ p E |
∂p |
− pμ p |
∂E |
+ Gp, (1.121) |
|
∂t |
τ p |
∂x2 |
∂x |
∂x |
||||||
|
|
|
|
|
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
91 |
||||||||||
∂n |
= − |
n − n0 |
+ Dn |
∂2n |
− μn E |
∂n |
− nμn |
∂E |
+ Gn. |
(1.122) |
|
∂t |
τn |
∂x2 |
∂x |
∂x |
|||||||
|
|
|
|
|
|
||||||
При выводе уравнения ВАХ p-n-перехода обычно пользуются упрощенными уравнениями непрерывности, которые тем не менее с достаточной точностью описывают реальные физические процессы. Для упрощения уравнений (1.121) и (1.122) сделаем следующие допущения:
1)уровень инжекции электронов и дырок мал; отсюда следует, что напряженность электрического поля и гради-
ент этой напряженности в p- и n-областях близки к нулю (E ≈ 0, ∂E/∂x ≈ 0);
2)процессы генерации электронов и дырок в каждой из рассматриваемых областей отсутствуют, т.е. Gn = 0 и Gp = 0;
3)ограничимся рассмотрением только стационарного случая, когда ∂p/∂t = 0, ∂n/∂t = 0. С учетом сделанных предположений уравнения непрерывности можно записать в виде
Dp |
∂2 p |
− |
pn |
= 0, |
(1.123) |
||
∂x2 |
τ p |
||||||
|
|
|
|
||||
Dn |
∂2n |
|
− |
np |
= 0, |
(1.124) |
|
∂x2 |
τn |
||||||
|
|
|
|
||||
где pn = p – p0 и np = n – n0 — избыточные концентрации дырок и электронов в n- и p-областях соответственно.
Избыточные концентрации дырок pn и электронов np возникают под действием напряжения, приложенного кp-n-переходу.ДляустановлениязависимоститокаI,про- ходящего через p-n-переход, от приложенного к переходу внешнего напряжения U необходимо найти решения полученных упрощенных уравнений непрерывности (1.123) и (1.124), справедливых для любого сечения полупровод-
никовой структуры, содержащей p-n-переход. Рассмотрим решение уравнения (1.124), описы-
вающего перемещение неосновных избыточных дырок в n-области, а затем полученные результаты распространим на процесс перемещения неосновных избыточных электронов в p-области. Учитывая, что Dpτ p = L2p, где
92 |
Р А З Д Е Л 1 |
Lp — диффузионная длина дырок в n-области, запишем уравнение (1.124) в виде
∂2 p |
− |
pn |
= 0. |
(1.125) |
|
∂x2 |
L2p |
||||
|
|
|
При решении этого уравнения будем считать, что ширина запирающего слоя является пренебрежимо малой. Это означает, что граница запирающего слоя с n-областью соответствует координате x= 0. Если дополнительно пренебречь возможностью генерации и рекомбинации подвижных носителей заряда внутри запирающего слоя, а пределы изменения напряжения U положить такими, чтобы инжекция характеризовалась только низким уровнем (δ ≤ 1), то n-область будет электрически нейтральной. Так как сопротивление запирающего слоя намного превышает сопротивление объемных p- и n-областей, то можно считать, что внешнее напряжение U полностью падает на p-n- переходе. Если принять, что n-область заключена между плоскостями, соответствующими металлургической границе p-n-перехода (x = 0) и внешнему омическому контакту (x= Wn), то граничные условия, при которых решается уравнение (1.125), запишутся следующим образом:
pn = 0 при x = Wn, |
(1.126) |
|
pn = pn (eqU/(kT) − 1) |
при x = 0. |
(1.127) |
0 |
|
|
С учетом условий (1.126), (1.127) решение уравнения непрерывности принимает вид
p(x) = C1ex/Lp + C2e−x/Lp , |
(1.128) |
где C1 и C2 — постоянные интегрирования, равные
C1 = |
|
pn |
|
x=0 |
|
|
|
e−Wn /Lp , |
(1.129) |
|||||
|
|
|
|
|||||||||||
|
W |
|
||||||||||||
|
2sh |
|
|
|
n |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
Lp |
|
|
|
|||||||||
C2 = |
|
pn |
|
x=0 |
|
|
|
eWn /Lp . |
(1.130) |
|||||
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
||||||||||||
|
W |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
2sh |
|
|
n |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
Lp |
|
|
|
|||||||||
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
93 |
Следовательно, в окончательном виде решение уравнения непрерывности записывается как
|
|
Wn − x |
|
|
||||
|
|
sh |
|
|
|
|
|
|
|
|
Lp |
|
|
|
|||
p(x) = pp |
(eqU/(kT) − 1) |
|
|
|
|
. |
(1.131) |
|
|
W |
|
||||||
0 |
|
|
|
|||||
|
|
sh |
n |
|
|
|
||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
Lp |
|
|
|||
Градиент концентрации дырок в n-области
dp = pn0 (eqU/(kT)
dx Lp
|
Wn − x |
|
|||||
|
sh |
|
|
|
|
|
|
|
Lp |
|
|||||
− 1) |
|
|
|
|
|||
|
|
|
. |
(1.132) |
|||
|
W |
|
|||||
|
sh |
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
Lp |
|
|
|
||
Оценивая значение этого градиента при x= 0 и подстав-
ляя полученное выражение в соотношение JD = −qDp dxdp ,
определяющее плотность диффузионной составляющей тока дырок в любом сечении n-области, получаем
|
qDp pn |
W |
|
|
||
JDp = |
0 |
(eqU/(kT) − 1)cth |
n |
. |
(1.133) |
|
Lp |
Lp |
|||||
|
|
|
|
|||
Точно также можно определить плотность диффузионной составляющей тока электронов в p-области:
|
qDnnp |
W |
|
|
|
||
JD = |
0 |
(eqU/(kT) − 1)cth |
|
n |
|
. |
(1.134) |
|
|
||||||
n |
Ln |
|
|
|
|||
|
Lp |
|
|
|
|||
Складывая (1.133) и (1.134) и умножая полученный результат на площадь S p-n-перехода, находим общий ток, представляющий собой сумму электронной и дырочной составляющих:
qDp pn |
W |
qDnnp |
Wp |
|
|||||
I = S |
0 |
cth |
n |
+ |
0 |
cth |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
Lp |
Lp |
Ln |
Ln |
(1.135) |
||||
(eqU/(kT) − 1).
94 |
Р А З Д Е Л 1 |
При достаточно больших отрицательных значениях напряжения U второй сомножитель в соотношениях (1.135) близок к единице и, следовательно, через p-n- переход будет проходить ток, не зависящий от приложенного напряжения:
|
qDp pn |
W |
qDnnp |
Wp |
|
|||||
I0 |
= S |
0 |
cth |
n |
+ |
0 |
cth |
|
. |
(1.136) |
|
|
|
|
|||||||
|
|
Lp |
Lp |
Ln |
Ln |
|
||||
Этот ток представляет собой обратный ток насыщения. С учетом (1.136) выражение (1.135) можно записать в виде
I = I0(eqU/(kT) – 1). |
(1.137) |
Соотношение (1.137) представляет собой уравнение ВАХ идеализированного перехода, график которой приведен на рисунке 1.19.
Из (1.137) видно, что при достаточно больших положительных напряжениях ток через p-n-переход изменяется в зависимости от напряжения по экспоненциальному закону. Обратный ток насыщения зависит от отношения W/L. При Wn ≥ Lp и Wp ≥ Ln можно считать, что cth(W/L)≈ 1 и
|
D |
p |
|
D n |
p0 |
|
|
|
I0 |
= qS |
|
p n0 |
+ |
n |
. |
(1.138) |
|
|
Lp |
Ln |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|||
Рис. 1.19
График вольт-амперной характеристики идеализированного p-n-перехода
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
95 |
Если выполняются условия Wn ≤ Lp cth(W/L) ≈ (L/W) и
|
|
D p |
|
D n |
p0 |
|
|
I0 |
= qS |
p n0 |
+ |
n |
. |
||
Wn |
Wp |
||||||
|
|
|
|
||||
и Wp ≤ Ln, то
(1.139)
Следовательно, в зависимости от протяженности объемных p- и n-областей полупроводниковой структуры обратный ток определяется их геометрическими размерами или диффузионными длинами неосновных наравновесных носителей заряда.
1.8. ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ В P-N-ПЕРЕХОДАХ
Вp-n-переходе, полученным путем контакта высоколегированных p- и n-областей, концентрации примесных атомов в которых составляют 1018–1020 см –3, возникают новые физические явления, приводящие к существенному изменению вида ВАХ. В этом случае начальная часть прямой ветви ВАХ становится немонотонной и на ней появляется падающий участок, т. е. наблюдается уменьшение тока при увеличении приложенного к p-n-переходу напряжения. В области ниспадающей прямой ветви ВАХ
дифференциальная проводимость G является отрицательной. Причина такой зависимости тока от напряжения заключается в следующем. При увеличении концентрации примесных атомов в p- и n-областях полупроводниковой структуры ширина потенциального барьера p-n-перехода уменьшается и может оказаться сравнимой
сдлиной волны де Бройля, которая при комнатной температуре составляет приблизительно 10–6 см. Уменьшение ширины барьера сопровождается увеличением напряженности электрического поля в нем. В результате вероятность так называемых туннельных переходов электронов и дырок через потенциальный барьер становится достаточно большой.
Всамом общем случае сущность туннельного эффекта заключается в том, что частица, имеющая кинетическую энергию, меньшую высоты некоторого потенциального барьера, при определенных условиях может
96 |
Р А З Д Е Л 1 |
преодолеть его без потери энергии, если с обеих сторон барьера имеются одинаковые энергетические уровни. Вероятность туннельного эффекта возрастает с уменьшением ширины и высоты барьера. Для появления туннельного эффекта в p-n-переходе необходимо выполнение двух основных условий. Во-первых, область объемного заряда p-n-перехода должна быть очень узкой (d ≈ 150 Å). Во-вторых, p- и n-области должны быть вырожденными, т. е. уровень Ферми должен располагаться выше дна зоны проводимости в n-области и ниже потолка валентной зоны в p-области. Вольт-амперные характеристики обычного и туннельного диодов приведены на рисунке 1.20.
Для анализа сущности туннельного эффекта рассмотрим энергетические диаграммы p-n-перехода, образованного контактированием вырожденных p- и n-областей, при различных напряжениях смещения. Потенциалы вырождения обеих областей будем считать одинаковыми. Вследствие вырождения различные разрешенные энергетические зоны по обе стороны от p-n-перехода содержат одинаковые энергетические уровни (рис. 1.21а).
Рис. 1.20
Вольт-амперные характеристики обычного
и туннельного диодов
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
97 |
а |
б |
в |
г |
Рис. 1.21
Энергетические диаграммы туннельного p-n-перехода для различных случаев смещения:
а — нулевое смещение; б — обратное смещение; в — малое прямое смещение; г — большое прямое смещение.
В очень узких p-n-переходах имеется значительная вероятность того, что электрон, движущийся в направлении потенциального барьера, преодолеет его и перейдет в область противоположной электропроводности, оказавшись в другой энергетической зоне, но на уровне с той же энергией. Туннельный ток, проходящий через p-n- переход, пропорционален произведению плотности заполненных энергетических уровней со стороны барьера, где электроны начинают движение, а также плотности свободных энергетических уровней с противоположной стороны. Электроны могут пересекать барьер в обоих направлениях. Следовательно, результирующий поток яв-
98 |
Р А З Д Е Л 1 |
ляется разностью двух противоположно направленных потоков электронов. В условиях термодинамического равновесия противоположные составляющие туннельного тока одинаковы и, следовательно, суммарный туннельный ток равен нулю.
Если к туннельному p-n-переходу приложено отрицательное смещение, то уровни Ферми в обеих областях смещаются, как показано на рисунке 1.21б. Это вызывает возрастание потока электронов, туннелирующих через переход из p-области в n-область.
На рисунке 1.21в показана энергетическая зонная диаграмма, соответствующая небольшому прямому смещению p-n-перехода. При этом электронный ток из n-области
вp-область превышает ток, проходящий в противоположном направлении. С увеличением напряжения ток быстро возрастает и достигает максимального значения, когда уровни Ферми в каждой из областей совпадают с краями соответствующих разрешенных энергетических зон.
При дальнейшем повышении напряжения ток начинает убывать, так как степень перекрытия энергетических зон по обе стороны p-n-перехода сокращается. Это приводит к уменьшению интенсивности туннельных переходов электронов из одной области в другую. Когда перекрытие энергетических зон полностью исчезает, туннельный ток становится равным нулю. Однако при этом появляется заметный диффузионный ток электронов из n-области
вp-область и дырок в противоположном направлении, что обусловлено снижением высоты потенциального барьера за счет достаточно высокого напряжения смещения (см. рис. 1.21г).
Следует заметить, что в области минимума прямой ветви ВАХ ток определяется главным образом процессами диффузии носителей заряда через p-n-переход. По-
явление диффузионной составляющей тока приводит к уменьшению отношения максимального и минимального токов, которое является важным параметром туннельного p-n-перехода.
Рассмотрим некоторые количественные соотношения, характеризующие процессы в туннельном p-n-переходе. Ве-
ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ |
99 |
роятность туннельного перехода электрона из одной области в другую в единицу времени определяется выражением
|
аqE |
|
4 |
2mn |
|
|
|
|
W = |
|
exp − |
|
|
( |
E)3/2 , |
(1.140) |
|
h |
3 |
qhE |
||||||
|
|
|
|
|
которое получено для треугольной формы потенциального барьера (рис. 1.22).
В соотношении (1.140) использованы следующие обозначения: а — постоянная кристаллической решет-
ки |
полупроводника; |
||
E |
— |
напряженность |
|
электрического поля |
|||
в |
области |
объемного |
|
заряда |
p-n-перехода; |
||
mn — эффективная мас- |
|||
са электрона; E — вы- |
|||
сота |
потенциального |
||
барьера; h — постоян- |
|||
ная Планка. Как видно |
|||
из (1.140), с увеличени- |
|||
ем высоты потенциаль- |
|||
ного барьера |
E вероят- |
||
ность туннелирования |
Рис. 1.22 |
электрона W уменьша- |
Упрощенная форма потенциального |
барьера туннельного p-n-перехода |
ется, а с увеличением
напряженности поля E или с уменьшением ширины барьера эта величина резко возрастает.
Туннельный ток из зоны проводимости n-области в валентную зону p-области для бесконечно малого интервала энергии от E до E+ E в пределах перекрывающегося промежутка энергетических уровней обеих областей определяется числом электронов в зоне проводимости dn, умноженным на число незанятых состояний в валентной зоне dp и на вероятность туннельного перехода электронов W. На основе статистики Ферми — Дирака можно записать, что
dn = Nc(n) (E)fc(n) (E)dE, |
(1.141) |
||||
|
( p) |
|
( p) |
(E)dE, |
(1.142) |
dp = 1 |
− fv |
(E) Nv |
|||
