Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Литература / (тоже супер) физосновы для экз

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
05.06.2026
Размер:
11.11 Mб
Скачать

90

Р А З Д Е Л 1

зарядов, втекающих в рассматриваемый объем или вытекающих из него.

Закон сохранения количества электричества для полупроводников с учетом процессов генерации и рекомбинации свободных носителей заряда, а также одновременного присутствия разноименно заряженных подвижных носителей выражается следующими соотношениями:

p = − p p0

t

τ p

n = − n n0 t τn

1q divJp + Gp,

1q divJn + Gn.

(1.117)

(1.118)

Эти соотношения называют уравнениями непрерывности для дырочной и электронной составляющих плотности тока в полупроводнике. Первые слагаемые в правых частях уравнений (1.117), (1.118) характеризуют процессы рекомбинации дырок и электронов (p и n — неравновесные, p0 и n0 — равновесные концентрации дырок и электронов, τp и τn — времена жизни дырок и электронов). Величины Gp и Gn характеризуют скорости процессов генерации дырок и электронов.

В общем случае плотности дырочного и электронного токов включают в себя дрейфовую и диффузионную составляющие, причем для одномерного приближения каждая из этих составляющих может быть выражена таким образом:

Jp = qpμ p E qDp

dp

,

(1.119)

dx

 

 

 

Jn = qnμn E + qDn dn.

(1.120)

 

dx

 

 

Подставляя эти выражения в (1.117), (1.118) и снова ограничиваясь одномерным случаем, получаем уравнения непрерывности:

p

= −

p p0

+ Dp

2 p

− μ p E

p

pμ p

E

+ Gp, (1.121)

t

τ p

x2

x

x

 

 

 

 

 

ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ

91

n

= −

n n0

+ Dn

2n

− μn E

n

nμn

E

+ Gn.

(1.122)

t

τn

x2

x

x

 

 

 

 

 

 

При выводе уравнения ВАХ p-n-перехода обычно пользуются упрощенными уравнениями непрерывности, которые тем не менее с достаточной точностью описывают реальные физические процессы. Для упрощения уравнений (1.121) и (1.122) сделаем следующие допущения:

1)уровень инжекции электронов и дырок мал; отсюда следует, что напряженность электрического поля и гради-

ент этой напряженности в p- и n-областях близки к нулю (E ≈ 0, ∂E/∂x ≈ 0);

2)процессы генерации электронов и дырок в каждой из рассматриваемых областей отсутствуют, т.е. Gn = 0 и Gp = 0;

3)ограничимся рассмотрением только стационарного случая, когда ∂p/∂t = 0, ∂n/∂t = 0. С учетом сделанных предположений уравнения непрерывности можно записать в виде

Dp

2 p

pn

= 0,

(1.123)

x2

τ p

 

 

 

 

Dn

2n

 

np

= 0,

(1.124)

x2

τn

 

 

 

 

где pn = p p0 и np = n n0 — избыточные концентрации дырок и электронов в n- и p-областях соответственно.

Избыточные концентрации дырок pn и электронов np возникают под действием напряжения, приложенного кp-n-переходу.ДляустановлениязависимоститокаI,про- ходящего через p-n-переход, от приложенного к переходу внешнего напряжения U необходимо найти решения полученных упрощенных уравнений непрерывности (1.123) и (1.124), справедливых для любого сечения полупровод-

никовой структуры, содержащей p-n-переход. Рассмотрим решение уравнения (1.124), описы-

вающего перемещение неосновных избыточных дырок в n-области, а затем полученные результаты распространим на процесс перемещения неосновных избыточных электронов в p-области. Учитывая, что Dpτ p = L2p, где

92

Р А З Д Е Л 1

Lp — диффузионная длина дырок в n-области, запишем уравнение (1.124) в виде

2 p

pn

= 0.

(1.125)

x2

L2p

 

 

 

При решении этого уравнения будем считать, что ширина запирающего слоя является пренебрежимо малой. Это означает, что граница запирающего слоя с n-областью соответствует координате x= 0. Если дополнительно пренебречь возможностью генерации и рекомбинации подвижных носителей заряда внутри запирающего слоя, а пределы изменения напряжения U положить такими, чтобы инжекция характеризовалась только низким уровнем (δ ≤ 1), то n-область будет электрически нейтральной. Так как сопротивление запирающего слоя намного превышает сопротивление объемных p- и n-областей, то можно считать, что внешнее напряжение U полностью падает на p-n- переходе. Если принять, что n-область заключена между плоскостями, соответствующими металлургической границе p-n-перехода (x = 0) и внешнему омическому контакту (x= Wn), то граничные условия, при которых решается уравнение (1.125), запишутся следующим образом:

pn = 0 при x = Wn,

(1.126)

pn = pn (eqU/(kT) − 1)

при x = 0.

(1.127)

0

 

 

С учетом условий (1.126), (1.127) решение уравнения непрерывности принимает вид

p(x) = C1ex/Lp + C2ex/Lp ,

(1.128)

где C1 и C2 — постоянные интегрирования, равные

C1 =

 

pn

 

x=0

 

 

 

eWn /Lp ,

(1.129)

 

 

 

 

 

W

 

 

2sh

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

 

C2 =

 

pn

 

x=0

 

 

 

eWn /Lp .

(1.130)

 

 

 

 

 

 

 

 

W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2sh

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

 

ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ

93

Следовательно, в окончательном виде решение уравнения непрерывности записывается как

 

 

Wn x

 

 

 

 

sh

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

 

p(x) = pp

(eqU/(kT) 1)

 

 

 

 

.

(1.131)

 

W

 

0

 

 

 

 

 

sh

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

Градиент концентрации дырок в n-области

dp = pn0 (eqU/(kT)

dx Lp

 

Wn x

 

 

sh

 

 

 

 

 

 

Lp

 

1)

 

 

 

 

 

 

 

.

(1.132)

 

W

 

 

sh

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

 

Оценивая значение этого градиента при x= 0 и подстав-

ляя полученное выражение в соотношение JD = −qDp dxdp ,

определяющее плотность диффузионной составляющей тока дырок в любом сечении n-области, получаем

 

qDp pn

W

 

 

JDp =

0

(eqU/(kT) 1)cth

n

.

(1.133)

Lp

Lp

 

 

 

 

Точно также можно определить плотность диффузионной составляющей тока электронов в p-области:

 

qDnnp

W

 

 

 

JD =

0

(eqU/(kT) 1)cth

 

n

 

.

(1.134)

 

 

n

Ln

 

 

 

 

Lp

 

 

 

Складывая (1.133) и (1.134) и умножая полученный результат на площадь S p-n-перехода, находим общий ток, представляющий собой сумму электронной и дырочной составляющих:

qDp pn

W

qDnnp

Wp

 

I = S

0

cth

n

+

0

cth

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp

Lp

Ln

Ln

(1.135)

(eqU/(kT) 1).

94

Р А З Д Е Л 1

При достаточно больших отрицательных значениях напряжения U второй сомножитель в соотношениях (1.135) близок к единице и, следовательно, через p-n- переход будет проходить ток, не зависящий от приложенного напряжения:

 

qDp pn

W

qDnnp

Wp

 

I0

= S

0

cth

n

+

0

cth

 

.

(1.136)

 

 

 

 

 

 

Lp

Lp

Ln

Ln

 

Этот ток представляет собой обратный ток насыщения. С учетом (1.136) выражение (1.135) можно записать в виде

I = I0(eqU/(kT) – 1).

(1.137)

Соотношение (1.137) представляет собой уравнение ВАХ идеализированного перехода, график которой приведен на рисунке 1.19.

Из (1.137) видно, что при достаточно больших положительных напряжениях ток через p-n-переход изменяется в зависимости от напряжения по экспоненциальному закону. Обратный ток насыщения зависит от отношения W/L. При Wn Lp и Wp Ln можно считать, что cth(W/L)1 и

 

D

p

 

D n

p0

 

 

I0

= qS

 

p n0

+

n

.

(1.138)

 

Lp

Ln

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 1.19

График вольт-амперной характеристики идеализированного p-n-перехода

ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ

95

Если выполняются условия Wn Lp cth(W/L) (L/W) и

 

 

D p

 

D n

p0

 

I0

= qS

p n0

+

n

.

Wn

Wp

 

 

 

 

и Wp Ln, то

(1.139)

Следовательно, в зависимости от протяженности объемных p- и n-областей полупроводниковой структуры обратный ток определяется их геометрическими размерами или диффузионными длинами неосновных наравновесных носителей заряда.

1.8. ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ В P-N-ПЕРЕХОДАХ

Вp-n-переходе, полученным путем контакта высоколегированных p- и n-областей, концентрации примесных атомов в которых составляют 1018–1020 см –3, возникают новые физические явления, приводящие к существенному изменению вида ВАХ. В этом случае начальная часть прямой ветви ВАХ становится немонотонной и на ней появляется падающий участок, т. е. наблюдается уменьшение тока при увеличении приложенного к p-n-переходу напряжения. В области ниспадающей прямой ветви ВАХ

дифференциальная проводимость G является отрицательной. Причина такой зависимости тока от напряжения заключается в следующем. При увеличении концентрации примесных атомов в p- и n-областях полупроводниковой структуры ширина потенциального барьера p-n-перехода уменьшается и может оказаться сравнимой

сдлиной волны де Бройля, которая при комнатной температуре составляет приблизительно 10–6 см. Уменьшение ширины барьера сопровождается увеличением напряженности электрического поля в нем. В результате вероятность так называемых туннельных переходов электронов и дырок через потенциальный барьер становится достаточно большой.

Всамом общем случае сущность туннельного эффекта заключается в том, что частица, имеющая кинетическую энергию, меньшую высоты некоторого потенциального барьера, при определенных условиях может

96

Р А З Д Е Л 1

преодолеть его без потери энергии, если с обеих сторон барьера имеются одинаковые энергетические уровни. Вероятность туннельного эффекта возрастает с уменьшением ширины и высоты барьера. Для появления туннельного эффекта в p-n-переходе необходимо выполнение двух основных условий. Во-первых, область объемного заряда p-n-перехода должна быть очень узкой (d 150 Å). Во-вторых, p- и n-области должны быть вырожденными, т. е. уровень Ферми должен располагаться выше дна зоны проводимости в n-области и ниже потолка валентной зоны в p-области. Вольт-амперные характеристики обычного и туннельного диодов приведены на рисунке 1.20.

Для анализа сущности туннельного эффекта рассмотрим энергетические диаграммы p-n-перехода, образованного контактированием вырожденных p- и n-областей, при различных напряжениях смещения. Потенциалы вырождения обеих областей будем считать одинаковыми. Вследствие вырождения различные разрешенные энергетические зоны по обе стороны от p-n-перехода содержат одинаковые энергетические уровни (рис. 1.21а).

Рис. 1.20

Вольт-амперные характеристики обычного

и туннельного диодов

ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ

97

а

б

в

г

Рис. 1.21

Энергетические диаграммы туннельного p-n-перехода для различных случаев смещения:

а — нулевое смещение; б — обратное смещение; в — малое прямое смещение; г — большое прямое смещение.

В очень узких p-n-переходах имеется значительная вероятность того, что электрон, движущийся в направлении потенциального барьера, преодолеет его и перейдет в область противоположной электропроводности, оказавшись в другой энергетической зоне, но на уровне с той же энергией. Туннельный ток, проходящий через p-n- переход, пропорционален произведению плотности заполненных энергетических уровней со стороны барьера, где электроны начинают движение, а также плотности свободных энергетических уровней с противоположной стороны. Электроны могут пересекать барьер в обоих направлениях. Следовательно, результирующий поток яв-

98

Р А З Д Е Л 1

ляется разностью двух противоположно направленных потоков электронов. В условиях термодинамического равновесия противоположные составляющие туннельного тока одинаковы и, следовательно, суммарный туннельный ток равен нулю.

Если к туннельному p-n-переходу приложено отрицательное смещение, то уровни Ферми в обеих областях смещаются, как показано на рисунке 1.21б. Это вызывает возрастание потока электронов, туннелирующих через переход из p-области в n-область.

На рисунке 1.21в показана энергетическая зонная диаграмма, соответствующая небольшому прямому смещению p-n-перехода. При этом электронный ток из n-области

вp-область превышает ток, проходящий в противоположном направлении. С увеличением напряжения ток быстро возрастает и достигает максимального значения, когда уровни Ферми в каждой из областей совпадают с краями соответствующих разрешенных энергетических зон.

При дальнейшем повышении напряжения ток начинает убывать, так как степень перекрытия энергетических зон по обе стороны p-n-перехода сокращается. Это приводит к уменьшению интенсивности туннельных переходов электронов из одной области в другую. Когда перекрытие энергетических зон полностью исчезает, туннельный ток становится равным нулю. Однако при этом появляется заметный диффузионный ток электронов из n-области

вp-область и дырок в противоположном направлении, что обусловлено снижением высоты потенциального барьера за счет достаточно высокого напряжения смещения (см. рис. 1.21г).

Следует заметить, что в области минимума прямой ветви ВАХ ток определяется главным образом процессами диффузии носителей заряда через p-n-переход. По-

явление диффузионной составляющей тока приводит к уменьшению отношения максимального и минимального токов, которое является важным параметром туннельного p-n-перехода.

Рассмотрим некоторые количественные соотношения, характеризующие процессы в туннельном p-n-переходе. Ве-

ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ

99

роятность туннельного перехода электрона из одной области в другую в единицу времени определяется выражением

 

аqE

 

4

2mn

 

 

 

W =

 

exp

 

 

(

E)3/2 ,

(1.140)

h

3

qhE

 

 

 

 

 

которое получено для треугольной формы потенциального барьера (рис. 1.22).

В соотношении (1.140) использованы следующие обозначения: а — постоянная кристаллической решет-

ки

полупроводника;

E

напряженность

электрического поля

в

области

объемного

заряда

p-n-перехода;

mn — эффективная мас-

са электрона; E — вы-

сота

потенциального

барьера; h — постоян-

ная Планка. Как видно

из (1.140), с увеличени-

ем высоты потенциаль-

ного барьера

E вероят-

ность туннелирования

Рис. 1.22

электрона W уменьша-

Упрощенная форма потенциального

барьера туннельного p-n-перехода

ется, а с увеличением

напряженности поля E или с уменьшением ширины барьера эта величина резко возрастает.

Туннельный ток из зоны проводимости n-области в валентную зону p-области для бесконечно малого интервала энергии от E до E+ E в пределах перекрывающегося промежутка энергетических уровней обеих областей определяется числом электронов в зоне проводимости dn, умноженным на число незанятых состояний в валентной зоне dp и на вероятность туннельного перехода электронов W. На основе статистики Ферми — Дирака можно записать, что

dn = Nc(n) (E)fc(n) (E)dE,

(1.141)

 

( p)

 

( p)

(E)dE,

(1.142)

dp = 1

fv

(E) Nv