Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации

.pdf
Скачиваний:
13
Добавлен:
21.10.2023
Размер:
9.49 Mб
Скачать

сти в пограничном слое, способствующая переносу атомов примеси в глубь расплава. Турбулентный пограничный слой состоит из ла­ минарного подслоя, области развитого турбулентного движения и лежащей между ними переходной области с переменным характером движения временами ламинарным, временами турбулентным. В турбулентной и в меньшей степени в переходной области происхо­ дит быстрое осреднение концентрации и температуры расплава, вызванное смешением частиц жидкости, характерным для турбулент­ ного режима. Поэтому при турбулентном характере пограничного слоя определяющими являются параметры ламинарного подслоя. Ламинарный подслой в большей степени зависит от режима движения жидкости, характеризуемого числом Рейнольдса, чем турбулентный пограничный слой в целом [140].

Исходя из этого, характер изменения эффективного коэффи­ циента распределения примеси от интенсивности перемешивания [136] может трактоваться как переход характера пограничного слоя от ламинарного до турбулентного. Достижение области малого из­ менения эффективности коэффициента распределения примеси от интенсивности перемешивания объяснимо достижением устойчивого турбулентного характера пограничного слоя. При дальнейшей ин­ тенсификации движения металлического расплава ламинарный под­ слой, вероятно, уменьшается до размеров, сравнимых со ступенями роста кристалла. Одновременно уменьшается величина переходной области. Это делает возможным проникновение вихревых потоков расплава к фронту кристаллизации, растворению его и к последующей кристаллизации из расплава с большим содержанием примеси.

Недостаточная величина ламинарного подслоя также может привести к нарушению теплообмена на фронте кристаллизации и вызвать ступенчатый механизм кристаллизации, аналогичный рас­ смотренному в работе [141 ]. Ступенчатый механизм при зонной пе­ рекристаллизации может быть представлен в виде следующих этапов: переохлаждения расплава, вызванного растворением перекристаллизованной и преимущественно расплавляемой части загрузки; быст­ рой кристаллизации (при k —> 1) расплава на фронте плавления и преимущественно на фронте кристаллизации с выделением большого количества скрытой теплоты плавления; медленной кристаллизации при малом переохлаждении; повышения температуры расплава и подавления кристаллизации. Затем следует повторение цикла.

Все это должно привести к ухудшению условий кристаллизаци­ онной очистки, т. е. к увеличению эффективного коэффициента рас­

пределения

примеси (при k < 1).

В работе

[142] при зонной перекристаллизации стеариновой ки­

слоты обнаружено наличие оптимальной интенсивности перемешива­ ния, при которой эффективный коэффициент распределения примеси наиболее близок к равновесному.

Таким образом, для получения наилучших условий кристалли­ зационной очистки необходимо создание турбулентного пограничного слоя. При этом характер движения в основной массе расплава не имеет определяющего значения.

13 В . Н . В и г д о р о в и ч

193

Теорию электромагнитного перемешивания расплава при зонной перекристаллизации разрабатывали на примерах совмещения в од­ ном устройстве функций нагрева для создания расплавленной зоны и воздействия на расплав зоны для ее перемешивания [143—145]. В качестве такого устройства могут служить многосекционные спи­ ральные нагреватели сопротивления, секции которого питаются сдвинутыми по фазе токами.

Для изучения перемешивания бегущим электромагнитным полем расплавов металлов и полупроводниковых материалов при кристал­ лизации использовали метод приближенного моделирования.

При точном' моделировании необходимо совпадение всех крите­ риев подобия и граничных условий [146 ]. Однако при точном модели­ ровании магнитогидродинамических процессов в «металлических» жидкостях существуют два критерия —■критерий относительной электропроводности и критерий Прандтля, которые зависят только

от

параметров

жидкости

[147, 148]. Совпадение этих критериев

для

различных

расплавов

может быть только случайным.

При приближенном моделировании требуется совпадение гранич­ ных условий и некоторых определяющих критериев подобия, кото­ рые при данном процессе наиболее существенны [149]. Это делает возможным приближенное моделирование одной «металлической» жидкости другой при перемешивании расплава в процессах кристал­ лизационной очистки, потому что теплопередача в кристаллиза­ ционных процессах определяется условиями роста кристаллов. При этом критерий Нуссельта — автомоделей, т. е. характеризует тепло­ обмен расплава с кристаллом и контейнером, но от него не зависит.

Для исследования методом приближенного моделирования усло­ вий перемешивания бегущим электромагнитным полем расплава ме­ таллов и полупроводников в процессах кристаллизационной очистки

А.

С. Жеребович [28,

с. 158— 161 ] разработал специальный стенд.

для

Расплавы металлов и полупроводников электропроводны, поэтому

их перемешивания

все большее применение

находит электро­

магнитное воздействие

на расплав [28, с. 92—99;

150; 151]. В связи

с этим были исследованы различные устройства [150—153] (см. также ссылки на изобретения 1_6.

1 Б а с о в Ю. П., К о з л о в В. П. и К о н о в а л о в Э. Е. Авт. свид.

298369, 1969 (кл. ВО 1j, 17/08).— «Открытия, изобретения, пром. образцы», 1971,

И, с. 31.

2

Р о з и н К- М. Авт.

свид. №

165311, 1963 (кл. В0 1j, 17/08). — «Бюл.

изобр.

итов. знаков», 1964, №

18,

с. 54; №

167305, 1963 (кл. BOlj, 01/00). — «Бюл.

изобр.

и тов. знаков», 1965,

№ 1,

с. 38.

 

 

 

 

3

Пат. (США), № 3401021, 1965 (кл. 23—273).

[кл. 2 lh, 25 (Н 05 в) ]. —

4

П у р ч и н с к и й М . С. Авт. свид. № 238032, 1969

«Открытия, изобретения, пром. образцы», 1969, № 9, с. 57.

 

5

В и г д о р о в и ч В. Н.,

Ж е р е б о в и ч А. С.,

Ч а п л ы г и н Д . А . Авт.

свид.

№ 232213, 1967 (кл. BOlj,

17/08).— «Открытия, изобретения, пром. образцы»,

1969,

№ 1, с. 19.

 

 

 

 

 

 

 

6 Г о л о в и н Б . И . , Б а н к о в Л. М., И в л е в а В. С., К а н е в с к и й Б . М .

Авт. свид. № 210105, 1966

(кл. BOlj,

17/08; Н05, в. 3/10). — «Изобретения, пром.

образцы и тов. знаки», 1968, №

6,

с.

16.

 

 

194

Сравнение характерных результатов, полученных на устрой­ ствах с перемешиванием и без перемешивания, позволяет для совер­ шенствования и интенсификации процессов кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов для промышленного приме­ нения выбрать метод бесконтактного (индукционного) бегущего электромагнитного перемешивания расплава. Основными преиму­ ществами этого способа являются следующие [154]:

управляемость режима перемешивания; стерильность процесса, поскольку перемешивание осуществляется

бесконтактным силовым воздействием на расплав, что полностью исключает опасность дополнительного загрязнения материалом пере­ мешивающего устройства и позволяет использовать данный способ для зонной перекристаллизации веществ, находящихся в запаянных ампулах, например полупроводниковых соединений;

увеличение размеров установки, а следовательно, и повышение ее производительности;

более высокая эффективность очистки и стабильность состава кристалла по его поперечному сечению вследствие усреднения пере­ мешиванием расплава;

турбулентное движение вследствие интенсивного перемешивания расплава, для которого свойственны малая толщина (—1СГ3 см) пограничного слоя у омываемой поверхности, что позволяет умень­ шить температурные градиенты, а также увеличить скорости и умень­ шить число проходов.

Таким образом, применение индукционного электромагнитного перемешивания для интенсификации процессов кристаллизационной очистки полупроводниковых материалов и выращивания монокри­ сталлов и осуществление автоматического контроля и управления этими процессами позволят не только достичь прогресса при решении технологических задач по совершенствованию и интенсификации, но упростить и значительно удешевить процессы очистки и производство полупроводниковых материалов, а также добиться получения вос­ производимых результатов.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1.

Б а к л и

Г.

Рост

кристаллов. М.,

ИЛ, 1954. 407 с. с ил.

 

 

 

1954.

2.

К у з н е ц о в

В.

Д.

Кристаллы

и кристаллизация.

Гостехтеориздат,

3.

412 с. с ил.

 

 

Кристаллизация.

М., «Металлургия»,

1965,

342

с. с ил.

М а л л и н Дж.

4.

Ч а л м е р с

Б. Теория затвердевания. М., «Металлургия»,

1968.

288

с.

с ил.

5.

Б а н н Ч.

Кристаллы,

их роль в природе и науке. М.,

«Мир», 1970. 312

с. с ил.

6.

В и л ь к е К-

-Т. Методы выращивания кристаллов. Л., «Недра»,

1968.

423 с.

с ил.

7.Л ю б о е Б. Я. Кинетическая теория фазовых превращений. М., «Металлур­ гия», 1969. 263 с. с ил.

8.Технология полупроводниковых материалов. Пер. с англ. Под ред. М. И. Иглицина. М., Оборонгиз, 1961, 314 с. с ил.

9. Процессы роста и выращивание кристаллов. М., ИЛ, 1963. 530 с. с« ил.

10.Кристаллизация и фазовые переходы. Под ред. Н. Н. Сироты. М., «Мир», 1965. 445 с. с ил.

11.П а л а т н и к Л. С., П а п и р о в И. И. Ориентированная кристаллизация. М., «Металлургия», 1964. 408 с. с ил.

12.Проблемы роста кристаллов. Избранные доклады на международном симпо­ зиуме. М., «Мир». 1968. 392 с. с ил.

13.Кристаллизация. Сборник статей (ВНИИ химических реактивов и особо чистых химических веществ). Л ., «Химия», 1970.

14.С а ж и н Н. П. Развитие в СССР металлургии редких металлов и полупровод­ никовых материалов. М., ВНИИ «Цветметинформация», 1967. 136 с. с ил.

15.Б е л я е в А. И. Физико-химические основы очистки металлов и полупровод­ никовых материалов. М., «Металлургия», 1973. 288 с. с ил.

16.Методы получения особочистых неорганических веществ. Л., «Химия», 1969.

480 с.

с ил. Авт.: Б.

Д. С т е п и н , И. Г. Г о р ш т е й н, Г. 3. Б л ю м ,

Г. М.

К у р д ю м о в ,

И. П. О г л о б л и н а .

17. Металлургия и технология полупроводниковых материалов. М., «Металлур­

гия», 1972. 544 с.

с ил. Авт.: Б. А. С а х а

р о в , В. Н. В и г д о р о в и ч,

В. Н. М а с л о в ,

А. Я- Н а ш е л ь с к и й,

Е. Б. С о к о л о в , В. И. Ф и -

с т у л ь, Ю. М. Ш а ш к о в .

18.Полупроводниковые соединения An iBv . Пер. с англ. М., «Металлургия», 1967. 728 с. с ил.

19.Physics and chemistry of II—III compaunds. Ed. Aven. M. and Prener J. S., Amsterdam, 1967, 844 p.

20. Г л а з о в В. M.,

З е м с к о в В.

С. Физико-химические основы легирования

полупроводников.

М., «Наука»,

1967, 372 с. с ил.

21.Н а ш е л ь с к и й А. Я- Технология полупроводниковых материалов. М., «Металлургия», 1972. 432 с. с ил.

22.П ф а н н В. Зонная плавка. М., Металлургиздат, 1960. 272 с. с ил.; М., «Мир», 1970. 368 с. с ил.

23.П а р р Н. Зонная очистка и ее техника. М., Металлургиздат, 1963. 210 с. с ил.

24. Х е р и н г т о н

Е. Зонная плавка

органических веществ. Пер. с

англ. М.,

«Мир», 1965. 260

с. с ил.

однородных полупроводниковых

кристал­

25. Р о м а н е н к о

В. Н. Получение

лов. М., «Металлургия», 1966. 183

с. с ил.

 

26.В и г д о р о в и ч В. Н. Очистка металлов и полупроводников кристаллиза­ цией. М., «Металлургия», 1969. 296 с. с ил.

27.Зонная плавка. Сборник переводных статей. М., «Металлургия», 1966.

28.Физико-химические основы кристаллизационных процессов глубокой очистки

металлов. Сборник статей. М., «Наука», 1970.

29. Symposium fiber Zonenschmelzen und Kolonenkristallisieren. Karlsruhe, 1963,

477 S.

30.Л о з о в с к и й В. H. Зонная плавка с градиентом температуры. М., «Метал­ лургия», 1972. 240 с. с ил.

196

31.

К р е с т о в н и к о в

А. Н., В и г д о р о в и ч

В. Н. Химическая термодина­

 

мика. М., Металлургиздат,

1961—1962. 280 с. с ил.; «Металлургия», 1973. 256 с.

32.

с ил.

 

 

 

теории сплавов алюминия. Металлургиздат,

1951.

П е т р о в Д. А. Вопросы

 

256 с. с ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

33.

В u г t о п J. А., Р г i гп

R. С., S 1 i с h t е г W. Р. — «J. Chem. Phys.»,

1953,

 

v. 21, N 11,

р. 1987—1991.

[ Б а р т о н А . , П р и м Р . С., Ш л и х т е р В . Р .—

34.

В кн.: Германий. М., ИЛ, 1955, с. 74—81].

 

 

№ 4, с. 1030—

М е р ж а н о в И. А.,

А н и к и н А. Г. — ЖФХ, 1968, т. 42,

35.

1034 с ил.

 

 

В о л ь п я н

А. Е., К у р д ю м о в

Г. М. — «Завод­

В и г д о р о в и ч В. Н.,

36.

ская лаборатория», 1969,

т. 35, № И,

с. 1350—1356 с ил.

 

 

К и р г и н ц е в А. Н. Математическая теория процессов зонной плавки. Ново­

37.

сибирск, Изд-во АН СССР, 1960. 72 с. с ил.

№ 2,

p. 381—388.

 

M a t z G .— «Chem. Inh. Techn.», 1964, v. 36,

химия

38.

К р е с т о в н и к о в

A.

H., В и г д о р о в и ч

В.

H. — «Физическая

v металлургических процессов и систем». М., «Металлургия»,

1965 (МИСиС.

\

Сб. № 41,

с. 205—216 с

ил.

 

 

 

 

 

39.' В и г д о р о в и ч В. Н., В о л ь п я н А. Е. — ЖФХ, 1968, т. 42, № 7, с. 1631— 1634.

40.

P f a n n W. G. — «Trans.

AIME»,

1952,

v. 194, № 2, р. 747 ] [П ф а н н В. —

41.

В кн.: Германий. М.,

ИЛ,

1955,

с. 92— 109].

 

 

 

В и г д о р о в и ч В. Н., М а р ы ч е в В . В. — ЖФХ, 1965. т. 39, № 8, с. 2068—

42.

2070.

В. В. — Научные

 

труды

(Гиредмет). Т. XIII. М., «Ме­

Д о б р о в е н с к и й

 

43.

таллургия», 1964, с. 237—245.

 

 

 

 

по физико-химическим основам

Ш а ш к о в Ю. М. — «Труды V конференции

44.

выплавки стали». Т. II, М., Изд-во АН

 

СССР, 1961, с. 315—319 с ил.

В о л ь п я н А. Е., А в е р ь я н о в а

В. А.,

Г и н з б у р г М. И. — ТОХТ,

45.

1969, т. 3, № 6, с. 926—930.

 

В.

И.,

Г и н з б у р г

М. И.,

В о л ь ­

С а х а р о в Б. А., А в е р ь я н о в а

46.

п я н А. Е. — «Цветные, металлы», 1970,

№ 7, с. 52—55.

И. М.,

С т е п а ­

А л е к с а н д р о в Б.

Н., В е р к и н

 

Б. И.,

Л и в ш и ц

47.

н о в а Г. И. — ФММ,

1956, т. 2, № 1,

с. 105—119.

И. М.,

С т е п а ­

А л е к с а н д р о в Б.

Н., В е р к и н

1,

Б. И.,

Л и в ш и ц

 

н о в а Г. М. — ФММ,

1958, т. 6,

 

с. 167—168.

 

 

48.С л у ц к и й Е. Е. Таблицы для вычисления неполной Г-функции и функции вероятности у?. Под ред. А. Н. Колмогорова М., Изд-во АН СССР, 1950. 72 с.

сил.

49.

П е й з у л а е в Ш. И. — «Изв. АН СССР. Неорганические материалы», 1967,

50.

т. 3, №

9, с. 1523—1532

с ил.

G o u l d

G. R. — «Trans. АШЕ», 1961, v. 221, № 3, р. 1154—1158.

51.

М и л ь в и д с к и й М.

Г. — «Кристаллография», 1961, т. 6, № 5, с. 803—

 

804 с ил.

 

52.Проблемы современной физики. Сборник переводных статей. № 2. М., ИЛ, 1955, с. 9—15.

53.Методы получения чистых металлов. Сборник переводных статей. М., ИЛ, 1957.

54.

384 с. с ил.

 

S. — «J. Metals», 1955, v. 7,

7,

p. 838—840.

М i 1 1 i k е п К-

55.

B i r m a n

J. L. — «J. Appl. Phys.»,

1955,

v. 26,

Ю, p. 1195—1196.

56.

R e i s H.,

H e l f a n d E . - d .

Appl. Phys.»,

1961,

v. 32, №

2, p. 228—232.

57.

E c k s c h l a g e r

K-, E t t e l

V.,

S t o p k a

P.,

K o d e j s

Z. — «Collect.

58.

Czech. Chem. Communs»,. 1971, v. 36,

№ 12,

p. 3900—3915.

 

В о л ч о к

Б. A. — ФТТ, 1962,

t . 4,

№ 4,

c. 1071— 1073 с ил.

 

59.

К р е с т о в н и к о в A. H., Р о з и н

К- M. — «Изв. вуз. Цветная металлур­

60.

гия», 1965, № 2, с. 105—112 с ил.

 

 

 

 

 

А. Н .'— «Фи­

Р о з и н К-

М., В и г д о р о в и ч В. Н., К р е с т о в н и к о в

 

зическая химия металлургических процессов и систем». М., «Металлургия»,

61.

1965 (МИСиС. Сб. № 41), с. 217—226 .с ил.

 

 

 

 

 

В и г д о р о в и ч

В. Н., В о л ь п я н

А. Е. — ТОХТ, 1967, т. 1, № 4, с. 474—

 

480 с ил.

 

 

 

 

 

 

 

197

62.В и г д о р о в и ч В . Н., В о л ь п я н А . Е. — ТОХТ, 1968, т. 2, № 2, с. 210— 219 с ил.

63.В о л ь п я н А . Е. — В кн.: Физико-химические основы кристаллизационных

64.

процессов глубокой очистки металлов. М.,

«Наука», 1970, с. 7—16.

 

В и г д о р о в и ч

В. Н.,

В о л ь п я н

А.

Е., Ф е р ш т е р Л.

 

М. — ТОХТ,

65.

1969, т. 3, № 4, с. 529—535 с ил.

 

 

 

№ 2,

с. 281 —

В о л ь п я н А .

Е., К у р д ю м о в Г. М. — ТОХТ, 1970, т. 4,

 

285 с ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

66.

В о л ь п я н А . Е. — ТОХТ, 1971, т. 5,

№ 5, с. 737—743 с ил.

№ 6,

с. 814—

67.

В и г д о р о в и ч

В. Н.,

С е л и н

А. А. — ТОХТ, 1971, т. 5,

68.

822 с ил.

 

 

 

1959, v. 14, № 3, p. 386; G o 1 d L., J о h n -

G о 1 d L. — «J. Phys. Soc. Japan»,

69.

s t o n V . — «J.

Franklin

Inst.»,

1960,

v. 170, № 5 , p .367—381.

 

 

D a v i e s L. — «Trans. А1МЕ»,

1959, v. 215, № 4, p. 672—675.

т.

37,

№ 10,

70.

В и г д о р о в и ч

В. H.,

В о л ь п я н

А. Е. — ЖФХ, 1963,

71.

с. 2168—2173 с ил.

В и г д о р о в и ч

В. Н. — «Материалы

Всесоюзного

Н и с е л ь с о н

Л. А.,

 

совещания по методам получения особо

чистых веществ». НИИТЭХИМ, 1967,

72.

с. 48—54.

Л. А. — Научные, труды

(Гиредмет). Т. X. М.,

Металлург-

Н и с е л ь с о н

издат, 1963, с. 127—149.

73.В и г д о р о в и ч В. Н. — «Заводская лаборатория», 1965, т. 31, № 5, с. 568— 573 с ил.

74. Н а г г i s о n J. D., Т i 1 1 е г W. А. — «Trans. А1МЕ», 1961, v. 221, № 6, р. 649.

75.П е й з у л а е в Ш . И., К о н о в а л о в Э. Е. — «Изв. АН СССР, Металлы», 1967, № 2, с. 79—83 с ил.

76.

К о н о в а л о в

Э. Е., П е й з у л а е в Ш .

И. — ЖАХ, 1967, т. 22; с. 736—

77.

740 с ил.

Э. Е., П е й з у л а е в Ш .

И., М и н а ш и н а Л . Я- — ЖПХ,

К о н о в а л о в

1967, т. 40, с. 1242—1245 с ил.

78.В и г д о р о в и ч В . Н., В о л ь п я н А . Е., Ш у л е ш к о Г . И. — «Цветные металлы», 1968, № 7, с. 63—65 с ил.

79.Ш а в г а В. А., С е л и н А. А., В и г д о р о в и ч В. Н., М а р ы ч е в а В. В. — «Изв. АН СССР. Металлы», 1971, № 5, с. 68—74 с ил.

80.

В и г д о р о в и ч В. Н., С е л и н

А. А. — «Изв. АН

СССР, Металлы»,

1971,

 

№ 5, с. 106—108 с ил.

 

 

 

81.

Му н и ц

И. Н. — «Производство

алюминия». Л .,

изд-во ВАМИ,

1970

 

(Труды

ВАМИ. Сб. № 68), с. 122—129 с ил.

 

 

82.Н и к и т и н а Г. В . . Р о м а н е н к о В. Н. — ТОХТ, 1970, т. 4, № 6, с. 839— 844.

83.

Н и к и т и н а Г.

В.,

Р о м а н е н к о

В. Н. — Доклады АН СССР,

1966,

84.

т. 170,

1, с. 107— 109 с

ил.

 

Г. В., Р о м а н е н к о В . Н.,

О р ­

А б д у к а р и м о в Э .

Т.,

Н и к и т и н а

 

л о в

А. Г. — «Изв. АН Узбекской ССР. Серия физико-математических наук»,

85.

1971, № 5, с. 43—46 с ил.

 

 

В. П. — ТОХТ, 1972, т. 6, № 1, с.

131 —

В и г д о р о в и ч В . Н., Ш у м и л о в

 

134 с

ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

86.

В и г д о р о в и ч

В. Н. Я ф а р о в

Р. К- — ТОХТ,

1974, т. 8, № 8, с. 677.

87.

М а р а е в

С. Е.,

Е л и н а

Н. И.,

Му д р о в а

Е.

И. — В кн.: Получе­

88.

ние и анализ веществ особой чистоты. М., «Наука»,

1966, с. 67—70 с ил.

 

М а р а е в

С. Е . — В

кн.: Физико-химические основы кристаллизационных

 

процессов

глубокой очистки

металлов. М., «Наука»,

1970, с. 105—110

с ил.

89.

Б а й м а к о в А. Ю.,

С е л и в а н о в а

И. Н. — «Цветные металлы»,

1959,

 

№ 3, с. 32—37 с ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

90.

S c h i l d k n e c h t

Н.,

V e t t e r Н. — «Angew. Chemie»,

1959, v. 71, р. 723—

 

726.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

91.

J o h n s o n L. R.,

Z i m m e r m a n

W. — «Rev. Scient.

Instr.», 1960,

v. 31,

№ 2, p. 203—204.

92.Technique of organie chemistry. Ed. J. Weissberger L., Interscience publisher, LTD, 1956, v. Ill, p. 395—562.

198

93.

V a n

H

o o k

A . —

« C r y sta lliz a tio n (th e o r y

a n d p ra ctice)» , N . Y .,

R e in h o ld ,

 

1961,

p .

3 2 5 .

 

 

 

 

 

 

 

 

9 4 .

А л е к с а н д р о в

Б. H. ,

В е р к и н Б .

И. ,

Л а з а р е в Б . Г .— Ф М М , 1956,

 

т. 2 , № 1, с . 9 3 — 9 4 с и л .

 

 

 

 

 

9 5 .

Ф и зи ч еск и е

и

х и м и ч еск и е

св ой ств а

м етал л ов

вы сок ой чистоты . П ер .

с ф р а н ц .

 

и а н гл .

М .,

« М ет а л л у р ги я » , 1964 .

3 4 4 с.

с и л .

 

9 6 . В и г д о р о в и ч В. Н . , Ч е р н о м о р д и н И . Ф ., М а р ы ч е в В . В . —

 

« И зв . А Н

С С С Р ,

М ет а л л у р г и я и

го р н о е

д ел о » ,

1964,

1,

с.

8 9 — 9 6

с

и л .

 

 

9 7 .

H

a r m a n

 

Т .

С . —

«J .

E le c tr o c h e m .

S o c .» ,

1956,

v .

103,

2,

р.

 

1 28 — 132.

9 8 .

Ф

р е н к е л ь

 

М.

Я. ,

Я р о ш е в с к и й

А . А .—

« Д о к л а ды

А Н

С С С Р »,

1967,

 

т.

175,

 

2 ,

с .

4 0 3 — 4 0 6 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

9 9 .

К

и р

 

г и н ц е в

А . Н .— « Д о к л а ды А Н

С С С Р», 1967, т. 176, №

4, с. 8 8 4 — 8 8 6 с и л .

100.

В и г д о р о в и ч

 

В.

Н . ,

В о л ь п я н А .

Е . —

« И зв . А Н

С С С Р ,

М ет а л л у р ги я

 

и

т о п л и во »,

1964,

5 ,

с . 6 6 — 7 8

с и л .

 

Е.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

101.

В и г д о р о в и ч

 

В.

Н. ,

В о л ь п я н А .

— « И зв .

 

А Н

С С С Р .

М е т а л л у р ­

 

ги я и

 

то п л и в о » ,

1 965,

1,

с . 9 7 — 105

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

102.

Н

и с е л ь с о н

 

Л .

А . —

В

к н .:

 

Ч и сты е

м етал л ы

и

 

п о л у п р о в о д н и к и . М ., М е-

 

т а л л у р г и зд а т ,

1959,

с . 129 — 141

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

103.

Н

и с е л ь с о н

 

Л.

А . —

Ж Ф Х ,

1960,

т. 3 4 ,

7 ,

с .

1 4 6 0 — 1469

с

и л .

 

 

104. Ш

а х о в

Г. А . М ет а л л у р г и я о бщ и й

к у р с . М ., М ет а л л у р г и зд а т , 1941. 4 8 4 с . с

и л .

105.

В и г д о р о в и ч

 

В .

Н .

П о л у ч е н и е

 

х и м и ч еск и х

вещ еств

вы сок ой

чистоты

 

(О б зо р

и н о ст р а н н ы х п а тен т о в ).

Ц Н И И П И ,

1964 .

2 8

с.

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

106 .

R

e i s

s

 

Н .,

Н

е

1 f

a

n

d

Е . — «J.

A p p l.

P h y s .» ,

1961,

v .

3 2 ,

р.

2 2 8 — 2 3 2 .

 

107.

К

и р г и н ц е в

А.

Н. ,

К у д р и н

В.

Д . ,

К

у д р и н а

 

К -

Н . — Ф Т Т ,

1963,

 

3 ,

с .

9 3 6 — 941

 

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

108.

Р

f a

n

n

W .

G . —

« A n a l.

C h em .» ,

1 9 6 4 ,

v . 3 6 ,

р .

2 2 3 1 — 2 2 3 4 .

 

 

 

 

 

 

109.

Ш в а р ц м а й е р

 

В .

Н еп р ер ы в н а я

р а зл и в к а

(р а зв и т и е

и

п р и м ен ен и е ).

М .,

 

М е т а л л у р г и зд а т ,

 

1962 .

3 8 6 с . с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

П О . Ч е р н о м о р д и н

 

И.

Ф. , К р е с т о в н и к о в

 

 

А. Н. ,

 

В и г д о р о ­

 

в и ч

 

В .

Н . —

« И зв .

в у з .

Ц в етн а я

м е т а л л у р г и я » ,

1968,

•№

1,

с .

9 8 — 103.

 

111.

K

e n n e d y J .

 

К- ,

P a r k e

N. G

«J .

A p p l.

P h y s .» ,

 

1 964,

 

v .

 

3 5 ,

7,

 

р. 2 2 4 8 — 2 2 5 1 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

112.

Ж е р е б о в и ч А .

С . , В и г д о р о в и ч В .

Н

. Д

р

е

с

т

о

в

н

и

к

о

в А . Н

. -

 

« И зв .

 

А Н

С С С Р ,

 

М етал лы »,

1 9 6 8 ,

 

2 ,

с .

122 — 131

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

113.

K

e n n e d y J .

К -

« R e v .

S c ie n t . In str .» ,

1 962,

 

3,

 

р .

3 8 7 — 3 9 4

 

[П р и б о р ы

 

д л я н а у ч н ы х

и ссл е д о в а н и й ,

1 962,

3,

с .

131 — 138

 

с

и л ].

 

 

 

 

 

 

 

 

114.

В и г д о р о в и ч

 

В .

Н .,

Ф е р ш

т е р Л .

М . —

« И зв .

 

А Н

С С С Р , М еталлы »,

 

1968,

 

4 ,

с .

5 9 — 6 2

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

115.

Р о з и н К - М . , В и г д о р о в и ч В . Н . ,

К р е с т о в н и к о в А . Н .

« И зв .

 

А Н С С С Р ,

О Т Н ,

 

М ет а л л у р г и я и

т о п л и во »,

1961,

 

6,

с .

6 6 — 83 .

 

 

 

 

 

116 .

В о л ч о к

 

Б.

А

 

. — « И зв . А Н

С С С Р ,

О Т Н ,

М ет а л л у р г и я

и

топ л и во »,

1963,

 

3 ,

 

с .

111 — 115

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

117.

В и г д о р о в и ч

В.

Н. ,

Ф е р ш т е р

 

Л . М . —

« И зв .

А Н

С С С Р ,

М еталлы »,

 

1 9 6 6 ,

 

4 ,

с .

163 — 166

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

118.

В и г д о р о в и ч

В.

Н. ,

Ч е р н о м о р д и н

 

И .

Ф . —

«И зв . А Н

С С С Р ,

М е ­

 

талл ы »,

 

1965,

 

2 ,

с . 8 2 — 8 7 с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

119.

В

и г д

о

р о в и

ч В . Н .,

М а р ы ч е в В .

В ., К о

л

е

с

н е в А . П . —

«Ц ветны е

 

м етал лы »,

1 9 6 9 ,

4 ,

с . 5 5 — 5 9

с

и л .;

В

к н .:

Ф и зи к о -х и м и ч еск и е

осн овы

к р и ­

 

ст а л л и за ц и о н н ы х

п р о ц есс о в

г л у б о к о й

оч и стк и

м ета л л о в .

М .,

« Н а у к а » ,

1970,

 

с .

1 10 — 122

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

120 .

В и г д о р о в и ч

В.

Н. ,

М а р ы ч е в

В.

В. ,

 

К

о л е с н

е в

А. П. ,

В о л ь ­

 

п я н А .

Е . —

« Э л ек тр он н ая

т е х н и к а . М атер и ал ы »,

1972,

5 , с .

100 — 108 с и л .

121 .

В и г д о р о в и ч

В.

Н. ,

М а р ы ч е в В .

В. ,

К

о л е с н е в

А . П .— « И зв . А Н

 

С С С Р ,

 

М етал лы »,

1 969,

2 , с .

7 5 — 8 3

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

122.

В и г д о р о в и ч

В.

Н- ,

К о л е с н е в

А. П. ,

М а р ы ч е в

В. В. ,

В о л ь ­

 

п я н А .

Е . —

В

 

к н .:

Ф и зи к о -х и м и ч еск и е осн овы

к р и ст а л л и за ц и о н н ы х п р о ц ес ­

 

сов г л у б о к о й

оч и стк и

м ета л л о в .

 

М .,

« Н а у к а » ,

1970,

 

с .

154— 158

с и л .

 

 

123.

М а р ы ч р в

В .

 

В . ,

К о л е с н е в

 

А .

П . , П о н о м а р е н к о

В . И . ,

В и г д о ­

 

р о в и ч

В .

Н .

« Ц ветн ы е

м еталлы »,

1 9 7 3 , №

9 ,

с .

9 — 11 с

и л .

 

 

 

 

12 4 . В и г д о р о в и ч В. Н. ,

В о л ь п я н А. Е. , Ф е р ш т е р Л . М .— Т О Х Т ,

1 9 7 0 , т . 4 , № 5 , с . 7 6 7 —

771 с и л .

19Э

125.

В и г д о р о в и ч

В .

Н .

— Т О Х Т ,

1967,

т . 1, №

2,

с. 1 86 — 199

с

и л .

 

126.

В и г д о р о в и ч В .

Н. ,

Ф е р ш т е р Л .

М .— « Э л ек тр отер м и я »,

1 9 6 4 ,

вы п. 35,

 

с . 5 0 — 5 3 с и л .

 

 

 

 

А . А.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

127.

В и г д о р о в и ч

В.

Н. ,

У г л о в

« Э л ек тр отер м и я »,

1 9 6 6 ,

вы п. 52,

 

с . 5 5 — 5 7 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

128.

В i 1 1 i g Е . — « Р го с .

R o y . S o c .» , 1 9 5 6 , v . A

2 3 5 ,

p .

3 7 — 5 5 .

 

 

 

 

 

 

129.

И н д e н б о м В .

Л . — « К р и ст а л л о г р а ф и я » , 1 957, т.

2 ,

вы п . 5 ,

с .

5 9 4 — 6 0 3 с ил.

130.

Ц и в и н с к и й С . В . —

М атер и ал ы

п ер в о г о

со в ещ а н и я п о

п о л у ч ен и ю

п о л у ­

 

п р о в о д н и к о в ы х м о н о к р и ст а л л о в

сп о со б о м

С теп а н о в а и п ер сп ек т и в а м

 

и х

п р и ­

 

м ен ен и я в п р и б о р о с т р о е н и и . Л .,

И зд -в о Ф Т И и м . А . Ф . И о ф ф е А Н

С С С Р ,

1968,

 

с . 1 73 — 186 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

131.

D a l l m a n S . ,

H a h u

D . — «Z. a n g e w . P h y s .» , 1966,

B d 2 0 , № 5 ,

R .

4 5 2 — 4 57 .

13 2 . В и г д о р о в и ч

В . H . , Ф е р ш т е р Л . М. , Ф а р б е р Э .

В , — Ф Х О М ,

 

1 9 7 1 , № 4 , с . 2 3 — 2 9 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

133 .

В и г д о р о в и ч

В . Н . ,

Ф е р ш т е р

Л .

М. , Ф а р б е р Э .

 

В . — « Э л ек ­

 

т р о н н а я т е х н и к а .

М а т ер и а л ы » ,

1 9 7 2 ,

2, с . 87.— 8 9

с и л .

 

 

 

 

 

 

13 4 . К о н о н о в Г . И . , Ш аш к ов Ю. М . •— « Д о к л а ды А Н С С С Р », 1 9 6 8 , т . 1 7 9 , № 3,

 

с . 6 5 6 — 6 5 9 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

135 .

В е р т е

Л .

А . Э л ек т р о м а гн и т н а я

р а зл и в к а

и

о б р а б о т к а

ж и д к о г о

м ета л л а .

 

М .,

« М ет а л л у р ги я » ,

1967 .

2 0 6

с .

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

136 .

Ч е р н ы ш

о в

И .

А .

 

Э л е к т р о м а г н и т н о е

 

в о зд ей с т в и е

на

м ета л л и ч еск и е

р а с ­

 

плавы . М -,

М е т а л л у р г и зд а т ,

1963 .

 

8 5

с .

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

137.

О к о р о к о в

Н.

В . Э л ек т р о м а гн и т н о е п ер ем еш и в а н и е м ета л л а в д у г о в ы х с т а л е ­

 

п л а в и л ь н ы х

п е ч а х .

М .,

М е т а л л у р г и зд а т ,

1961.

176

с .

с и л .

 

 

 

 

 

 

 

138 .

В и г д о р о в и ч В .

Н. ,

Ж

е р е б о в и ч А .

С . —

« И зв . А Н

С С С Р ,

М етал лы »,

 

1972,

3,

с . 103 — 105

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

139 .

Б е л ь с к и й

А.

А. , В и г д о р о в и ч

В .

Н .,

И

в а

н о

в а

Р .

В . —

«И зв .

 

А Н

С С С Р ,

М етал лы »,

1969,

5 ,

 

с . 8 5 — 8 9

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

140 .

Ш л и х т и н г Г .

Т е о р и я

п о гр а н и ч н о г о

с л о я .

М ., « Н а у к а » ,

1 9 6 9 ,

7 4 2 с .

с

и л .

141.

М о д ж ж е в с к и

 

А . —

В

кн-:: Р о с т

к р и ст а л л о в .

 

Т .

7 .

М .,

« Н а у к а » ,

1967,

 

с . 2 9 1 — 2 9 2 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

14 2 . А в р а м е н к о Н . В. , Д у г а ч е в а

 

Г. М. , А н и к и н А . Г . — Ж Ф Х ,

 

1968,

т . 4 2 ,

5 ,

с . 1284 — 1285 с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

143 .

Р о з и н

К . М . —

« Э л ек тр отер м и я »,

1 967,

вы п .

5 9 ,

с .

12 — 13

с и л .

 

 

 

 

144 .

В и г д о р о в и ч

 

В. Н. ,

Ж е р е б о в и ч А

.

С. ,

Ч

у й к о в

Б. И . —

« Э лек ­

 

т р о тер м и ч еск а я

п р о м ы ш л ен н о сть .

 

С ер и я

 

 

Э л ек т р о т ер м и я » ,

 

1971,

 

вы п . 105,

 

с . 15— 17

с

и л .

W.

 

 

 

 

 

о t 1 e r

G.

 

 

 

 

 

 

 

 

W.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

145.

J о h n .s t о

n

 

А .,

К

R .,

T

i l l e r

 

A . —

«T ran s.

А 1 М Е »,

 

1963,

v . 2 2 7 , №

4 ,

p .

8 9 0 — 8 9 6 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

146 .

Г у х м а н

А .

А .

В в е д е н и е

в

т ео р и ю

 

п о д о б и я .

М .,

« В ы сш ая ш к о л а » ,

1 9 6 3 .

 

2 5 4

с.

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

147.

К и р к о

И . М . И с с л ед о в а н и е

эл ек т р о м а гн и т н ы х

я в л ен и й

в

м е т а л л а х

м етодом

 

р а зм е р н о ст и

и п о д о б и я .

Р и г а ,

И зд -в о

А Н

Л а т в .

С С Р ,

1959 .

3 9 с .

с

и л .

 

 

148.

К и р к о

И . М . Ж и д к и й

м етал л в эл ек т р о м а гн и т н о м

п о л е . М .— Л .,

«Э н ерги я »,

 

1 964 .

160

с л с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

149 .

К л а й н

С . Д ж .

П о д о б и е и

п р и б л и ж ен н ы е

м етоды . М .,

«М ир»,

1968 .

3 0 2 с.

 

с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

15 0 .

В и г д о р о в и ч

 

В . Н . ,

Ж е р е б о в и ч

 

А .

С .

М етоды

и у с т р о й с т в а

 

д л я п ер ем еш и в а н и я р а сп л а в а в п р о ц е с с а х к р и с т а л л и за ц и о н н о й о ч и ст к и м е ­

 

т а л л о в и

п о л у п р о в о д н и к о в ы х

м а т ер и а л о в .

М ., В Н И И

« Ц в етм ети н ф ор м ац и я »,-

 

1 9 6 9 2 4 с . с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

15 1 . В и г д о р о в и ч

 

В . Н . ,

Ж е р е б о в и ч

 

А . С . — « Ф и зи к а и х и м и я о б ­

 

р а б о т к и м ета л л о в » ,

1 9 6 9 ,

3 , с .

 

2 3 — 3 2

с

и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 5 2 . А н т и п о в

В .

В . , Р о з и н

К . М. , Р у с о в и ч

М. С . , Ш а с к о л ь -

 

с к а я

М. П . , Ш и м а н ю к

В . Т . .— В к н ,: Р о с т и д еф ек ты м е т а л л и ч е ­

 

с к и х к р и с т а л л о в .

К и ев ,

« Н а у к о в а

 

д у м к а » ,

1 9 7 2 ,

с .

301.— 3 0 6

с и л .

 

 

 

 

1 5 3 .

В и г д о р о в и ч

В . Н . ,

Ч у й к о в

Б .

И ..—

« З а в о д ск а я л а б о р а т о р и я » ,

1971,

 

т . 3 7 , № 5 , с . 6 2 8 — 6 2 9 с и л .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

15 4 . В и г д о р о в и ч В. Н. , М а р к о в Ф .

В . — Н а у ч н ы е т р у д ы по п р о б л ем а м

м и к р о эл ек т р о н и к и (М о ск о в ск и й и н ст и т у т эл ек т р о н н о й т е х н и к и ), В ы п . X I X .

С ер и я х и м и ч е с к а я , 1 9 7 4 , с . 173.— 183 с и л . ■ .

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ