СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
3.Подготовка прибора к работе по методам АСМ
Внастоящем разделе рассматривается общая подготовка прибора для проведения АСМ измерений. Общая подготовка включает операции, которые необходимо выполнить при подготовке прибора к работе с использованием любого из АСМ методов.
3.1.Основные операции, выполняемые при подготовке прибора к работе
Подготовку прибора к работе с использованием методов АСМ в общем случае можно разделить на следующие основные операции:
Шаг 1 |
Электромеханическое конфигурирование (см. стр. 34) |
|
||||
|
|
|
|
|||
Шаг 2 |
Включение прибора (см. стр. 38) |
|
|
|||
|
|
|
||||
Шаг 3 |
Загрузка калибровочных параметров сканера (см. стр. 39) |
|
||||
|
|
|||||
Шаг 4 |
Если используется эквивалент сканера, то следует подготовить его к |
|||||
|
работе как описано в Приложении (см. Приложение п. 1.5 «Подготовка |
|||||
|
сканера к работе с эквивалентом» на стр. 202). |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
Шаг 5 |
Подготовка прибора: |
|
|
|
|
|
|
Подготовка |
прибора |
для |
конфигурации |
«Сканирование |
образцом» |
|
(см. стр. 41); |
|
|
|
|
|
|
Подготовка |
прибора |
для |
конфигурации |
«Сканирование |
зондом» |
|
(см. стр. 58). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3.2. Электромеханическое конфигурирование
*ВНИМАНИЕ! Все переключения при установке необходимой конфигурации производятся при выключенном электропитании
При полной комплектации прибора по выбору пользователя может быть установлена одна из трех возможных типовых конфигураций прибора:
1.Конфигурация «Сканирования образцом», включающая универсальную измерительную головку, блок подвода и сканер.
2.Конфигурация «Сканирования зондом», включающая сканирующую измерительную головку и блок подвода с держателем образца.
3.Конфигурация «Двойного сканирования», включающая сканирующую измерительную головку, блок подвода и сканер.
34
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
3.2.1. Сканирование образцом
Вданном типе конфигурации:
1.Кабель блока подвода подключается к разъему SCANNER блока коммутации
(Рис. 3-1).
2.Кабель универсальной измерительной головки подключается к разъему HEAD на блоке коммутации (Рис. 3-2).
Рис. 3-1 |
Рис. 3-2 |
3.Выбранный сканер вставляется в позиционер на универсальном основании блока подвода (Рис. 3-3, Рис. 3-4, Рис. 3-5).
Рис. 3-3 |
Рис. 3-4 |
35
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
4. Разъем сканера присоединяется к разъему на блоке подвода (Рис. 3-5).
Рис. 3-5
5.При работе без эквивалента сканера кабели блока коммутации с разъемами HEAD и SCANNER подключаются к соответствующим разъемам СЗМ контроллера.
3.2.2. Сканирование зондом
В данном типе конфигурации:
1. Кабель блока подвода подключается к разъему блока коммутации
(Рис. 3-1).
2.Кабель сканирующей измерительной головки с разъемом HEAD подключается к разъему HEAD на блоке коммутации (Рис. 3-6).
Рис. 3-6
36
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
3.Кабель сканирующей измерительной головки с разъемом SCANNER подключается к свободному разъему SCANNER на блоке коммутации
(Рис. 3-6).
#ПРИМЕЧАНИЕ. на блоке коммутации имеется два полностью эквивалентных разъема SCANNER..
4.В позиционер вставляется каретка с держателем образца (Рис. 3-7, Рис. 3-8).
Рис. 3-7 |
Рис. 3-8 |
5.При работе без эквивалента сканера кабели блока коммутации с разъемами HEAD и SCANNER подключаются к соответствующим разъемам СЗМ контроллера.
3.2.3.Особенности подключения при работе с эквивалентом сканера
Для подключения прибора при работе с эквивалентом сканера выполните следующие действия:
1.Подключите кабель блока коммутации с разъемом HEAD к ответному разъему СЗМ контроллера.
2.Подключите кабель блока коммутации с разъемом SCANNER к ответному разъему контроллера эквивалента сканера.
37