- •Прочтите перед началом работы!
- •Обратная связь
- •Комплект пользовательской документации
- •Оглавление
- •Содержание
- •1. Основные сведения
- •1.1. Устройство
- •1.1.1. Блок подвода и сканирования
- •1.1.2. Сменные держатели образца
- •1.1.3. Сменные сканеры
- •1.1.4. Измерительные головки
- •1.1.4.1. Универсальная измерительная головка
- •1.1.4.2. Сканирующая измерительная головка
- •1.1.4.3. СТМ головка
- •1.1.5. Защитный колпак
- •1.1.6. Система управления
- •1.2. Правила безопасности
- •1.3. Условия эксплуатации
- •1.4. Правила хранения и транспортирования
- •2. Ввод в эксплуатацию
- •2.1. Установка интерфейсной платы
- •2.2. Установка программного обеспечения
- •2.3. Подключение электромеханических узлов
- •2.4. Порядок включения/выключения прибора
- •3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
- •3.1. Основные операции, выполняемые при подготовке прибора к работе
- •3.2. Электромеханическое конфигурирование
- •3.2.1. Сканирование образцом
- •3.2.2. Сканирование зондом
- •3.2.3. Особенности подключения при работе с эквивалентом сканера
- •3.2.4. Отключение осей сканирования
- •3.2.5. Особенности подключения для Solver PRO-M
- •3.3. Включение прибора
- •3.4. Загрузка калибровочных параметров сканера
- •3.5. Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование образцом»
- •3.5.1. Начальная подготовка универсальной измерительной головки
- •3.5.2. Установка зондового датчика
- •3.5.3. Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера
- •3.5.3.1. Включение лазера
- •3.5.3.2. Окно настройки оптической системы регистрации изгибов кантилевера
- •3.5.3.3. Общая информация о наведении лазерного луча на кантилевер
- •3.5.3.4. Наведение лазерного луча на кантилевер
- •3.5.3.5. Настройка положения фотодиода при помощи индикатора сигналов фотодиода
- •3.5.3.6. Подстройка положения лазерного луча
- •3.5.4. Предварительная установка измерительной головки
- •3.5.5. Подготовка и установка образца
- •3.5.6. Установка измерительной головки на блок подвода
- •3.5.7. Установка защитного колпака
- •3.6. Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование зондом»
- •3.6.1. Установка зондового датчика
- •3.6.2. Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера
- •3.6.2.1. Включение лазера
- •3.6.2.2. Окно настройки оптической системы
- •3.6.2.3. Общая информация о наведении лазерного луча на кантилевер
- •3.6.2.4. Процедура наведения лазерного луча на кантилевер
- •3.6.2.5. Настройка положения фотодиода при помощи индикатора сигналов фотодиода
- •3.6.2.6. Подстройка положения лазерного луча
- •3.6.3. Подготовка и установка образца
- •3.6.3.1. Установка образцов небольших размеров
- •3.6.4. Установка сканирующей измерительной головки
- •3.6.4.1. Установка измерительной головки на блок подвода
- •3.6.4.3. Предварительный подвод образца к зонду
- •4. Контактная атомно-силовая микроскопия
- •4.1. Метод Постоянной Силы
- •4.1.1. Основные операции при работе по методам контактной микроскопии
- •4.1.2. Переключение прибора для работы по контактным методам
- •4.1.3. Установка начального уровня сигнала DFL
- •4.1.4. Подвод образца к зонду
- •4.1.5. Установка рабочего уровня коэффициента усиления обратной связи
- •4.1.6. Установка параметров сканирования
- •4.1.7. Сканирование
- •4.1.8. Сохранение полученных данных
- •4.1.9. Завершение работы
- •4.2. Метод Латеральных Сил
- •4.2.1. Краткая характеристика метода
- •4.2.2. Подготовка к измерениям
- •4.2.3. Сканирование
- •4.3. Метод Постоянной Высоты
- •4.3.1. Краткая характеристика метода
- •4.3.2. Подготовка к измерениям
- •4.3.3. Настройка параметров
- •4.3.4. Сканирование
- •4.4. Метод Отображения Сопротивления Растекания
- •4.4.1. Краткая характеристика метода
- •4.4.2. Подготовка к измерениям
- •4.4.3. Настройка параметров
- •4.4.4. Сканирование
- •4.4.5. Способы улучшения изображения
- •4.5. Метод Модуляции Силы
- •4.5.1. Краткая характеристика метода
- •4.5.2. Подготовка к измерениям
- •4.5.3. Настройка параметров
- •4.5.4. Сканирование
- •4.5.5. Способы улучшения изображения
- •4.6. Контактный Метод Рассогласования
- •4.6.1. Краткая характеристика метода
- •4.6.2. Подготовка к измерениям
- •4.6.3. Настройки параметров
- •4.6.4. Сканирование
- •4.7. Спектроскопия
- •4.7.1. Силовая спектроскопия (DFL(Height))
- •4.7.1.1. Введение: исходное состояние, основные операции при работе с методикой спектроскопии
- •4.7.1.2. Переход в окно спектроскопии
- •4.7.1.3. Установка вида измеряемой зависимости
- •4.7.1.4. Установка интервала изменения аргумента
- •4.7.1.5. Задание прочих параметров
- •4.7.1.6. Выбор точек спектроскопии
- •4.7.1.7. Запуск измерений
- •4.7.1.8. Просмотр данных спектроскопии
- •4.7.1.9. Вычисление силы адгезии
- •5. Полуконтактная атомно-силовая микроскопия
- •5.1. Полуконтактный метод
- •5.1.1. Основные операции при работе по методам полуконтактной микроскопии
- •5.1.2. Переключение прибора для работы по полуконтактным методам
- •5.1.3. Установка рабочей частоты пьезогенератора
- •5.1.4. Подвод образца к зонду
- •5.1.5. Установка рабочего уровня коэффициента усиления обратной связи
- •5.1.6. Установка параметров сканирования
- •5.1.7. Сканирование
- •5.1.8. Сохранение полученных данных
- •5.1.9. Завершение работы
- •5.2. Полуконтактный Метод Рассогласования
- •5.2.1. Краткая характеристика метода
- •5.2.2. Подготовка к измерениям
- •5.2.3. Настройка параметров
- •5.2.4. Сканирование
- •5.3. Метод отображения фазы
- •5.3.1. Краткая характеристика метода
- •5.3.2. Подготовка к измерениям
- •5.3.3. Настройка параметров
- •5.3.4. Сканирование
- •5.3.5. Способы улучшения изображения
- •5.4. Спектроскопия
- •5.4.1. Амплитудная спектроскопия (Mag(Height))
- •5.4.1.1. Основные операции при спектроскопических измерениях
- •5.4.1.2. Переход в окно спектроскопии
- •5.4.1.3. Установка вида измеряемой зависимости
- •5.4.1.4. Установка интервала изменения аргумента
- •5.4.1.5. Задание прочих параметров
- •5.4.1.6. Выбор точек спектроскопии
- •5.4.1.7. Запуск измерений
- •5.4.1.8. Просмотр данных спектроскопии
- •5.4.1.9. Калибровка амплитуды колебаний кантилевера
Глава 2. Ввод в эксплуатацию
2. Ввод в эксплуатацию
2.1. Установка интерфейсной платы
Компьютер поставляется с установленной интерфейсной платой. Если компьютер не входит в комплект поставки, плата устанавливается либо инженероминсталлятором (при инсталляции прибора), либо самим заказчиком.
Процедура установки интерфейсной платы:
1.Отключите компьютер от сети.
2.Снимите кожух компьютера.
3.Выберите пустой и доступный слот для установки интерфейсной платы.
4.Снимите заглушку с выбранного слота. Аккуратно вставьте интерфейсную плату в слот до упора. Проследите, чтобы плата вошла в разъем ровно, без перекосов.
5.Закрепите интерфейсную плату винтами от заглушки.
6.Убедитесь, что внутренние провода не касаются интерфейсной платы. При необходимости закрепите свободные провода внутри компьютера.
7.Закройте компьютер кожухом, подключите компьютер к сети.
2.2.Установка программного обеспечения
Установите программу управления Nova. Для этого:
1.Вставьте установочный диск в CD-ROM.
2.Запустите файл setup.exe. На экране появится диалоговое окно мастера установки. Для установки программы управления следуйте инструкциям мастера установки.
После окончания установки на рабочем столе появится ярлык программы Nova.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Подробно процедура установки программного обеспечения описана в книге «Программное обеспечение для СЗМ».
29
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
2.3. Подключение электромеханических узлов
*ВНИМАНИЕ! Перед подсоединением или отсоединением разъемов выключите контроллер. Отсоединение или подсоединение разъемов во время работы прибора может привести к повреждению электронной схемы.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Процедура подключения для модели Solver PRO-M отличается от процедуры подключения для модели Solver PRO и будет рассмотрена ниже.
Для подключения узлов прибора выполните следующие действия:
1.Подключите с помощью кабеля блок подвода и измерительную головку к блоку коммутации (см. Рис. 2-1) в соответствии с подписями на разъемах.
Рис. 2-1. Блок коммутации
1– платформа прибора; 2 – блок коммутации; 3 – ответные разъёмы блока коммутации
#ПРИМЕЧАНИЕ. Блок коммутации имеет два идентичных разъема
SCANNER.
30
Глава 2. Ввод в эксплуатацию
2.Соедините блок коммутации с СЗМ контроллером следующим образом: Для конфигурации с эквивалентом сканера:
При работе с эквивалентом сканера подключение прибора производится в соответствии со схемой представленной на Рис. 2-2.
Рис. 2-2. Схема подключения узлов прибора при использовании эквивалента сканера
Для конфигурации без эквивалента сканера:
Подключите блок коммутации к СЗМ контроллеру в соответствии с подписями на разъемах.
#ПРИМЕЧАНИЕ. СЗМ контроллер имеет два идентичных разъема
SCANNER.
3.Заземлите СЗМ контроллер.
31
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
Особенности подключения для Solver PRO-M
Вкомплект поставки Solver PRO-M входит сканирующая измерительная головка
семкостными датчиками. Кроме того, в Solver PRO-M используется другая модель контроллера (см. спецификацию к контракту). Эквивалент сканера не входит в комплект поставки прибора.
Для подключения узлов Solver PRO-M выполните следующие действия:
1.Подключите кабель блока подвода к любому из ответных частей разъема SCANNER на блоке коммутации.
2.Подключите сканирующую измерительную головку к СЗМ контроллеру с помощью кабельных разъемов HEAD и CONTROLLER 2.
3.Подключите блок коммутации к СЗМ контроллеру с помощью кабельного разъема SCANNER.
4.Заземлите СЗМ контроллер.
2.4.Порядок включения/выключения прибора
Включение
1.Включите компьютер.
2.Запустите программу управления одним из приведенных ниже способов:
−при помощи ярлыка программы, расположенного на рабочем столе;
−при помощи файла NOVA.exe, находящегося в каталоге программы. На мониторе появится главное окно программы.
3.Включите прибор тумблером на передней панели СЗМ контроллера.
* ВНИМАНИЕ! Перед включением прибора необходимо
зафиксировать все разъёмы. Отсоединение разъёмов во время работы прибора может привести к повреждению электронных элементов.
После включения прибора, программа управления проводит инициализацию прибора для определения его конфигурации. По завершении процесса инициализации, индикатор состояния прибора, отображаемый в левом нижнем углу главного окна программы, может находиться в одном из трех состояний:
– инициализация прошла успешно. Прибор готов к работе;
– не включен контроллер;
– не установлена интерфейсная плата, либо неисправен контроллер.
32
Глава 2. Ввод в эксплуатацию
*ВНИМАНИЕ! Контроллер рекомендуется включать после запуска программы управления.
Теперь прибор готов к работе.
*ВНИМАНИЕ! При первом запуске программы Nova после переустановки, либо при смене контроллера необходимо произвести калибровку АЦП Z относительно ЦАП Z при включенном контроллере (при этом зонд должен быть отведен от образца). Проведение калибровки необходимо для нормального функционирования двухпроходных методов и спектроскопии от Z. Для проведения калибровки выберите
ToolsÆNova PowerScriptÆScriptsÆADCDACCalibration_1_6.
Выключение
1.Отведите зонд от образца.
2.Отключите обратную связь (кнопка ).
3.Выключите контроллер эквивалента сканера.
4.Выключите СЗМ контроллер.
5.Выключите виброзащиту.
6.Закройте программу управления.
33